JP2015086402A - Method for producing roll-shaped die for imprint - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、概略的にはインプリント用ロール状金型の製造方法に関し、詳細には、アルミニウム基材の円筒状の外周面に陽極酸化によって微細凹凸構造が形成されたインプリント用ロール状金型の製造方法に関する。 The present invention generally relates to a method for producing a roll mold for imprint, and more specifically, a roll mold for imprint in which a fine concavo-convex structure is formed on a cylindrical outer peripheral surface of an aluminum substrate by anodization. The present invention relates to a mold manufacturing method.
可視光波長以下の周期の微細凹凸構造を表面に有するフィルムは、反射防止機能等を発現することから、その有用性が注目されている。特に、モスアイ(Moth−Eye)構造と呼ばれる微細凹凸構造は、屈折率が、空気の屈折率から材料の屈折率に連続的に増大していくため、有効な反射防止機能を発現することが知られている。 A film having a fine concavo-convex structure with a period of less than or equal to the wavelength of visible light on the surface expresses an antireflection function and the like, and thus has attracted attention for its usefulness. In particular, a fine concavo-convex structure called a moth-eye structure is known to exhibit an effective antireflection function because the refractive index continuously increases from the refractive index of air to the refractive index of the material. It has been.
このような、微細凹凸構造を表面に有するフィルムの製造方法としては、基材フィルム(被転写体)の表面に、モールドの表面に形成された微細凹凸構造を転写するインプリント法が挙げられる。インプリント法としては、例えば、特許文献1に示されている方法が知られている。 As a method for producing such a film having a fine concavo-convex structure on its surface, an imprint method in which the fine concavo-convex structure formed on the surface of the mold is transferred to the surface of a substrate film (transfer object). As an imprint method, for example, a method disclosed in Patent Document 1 is known.
そして、特許文献1では、インプリント法で使用するモールドの製造方法として、高純度の円筒状アルミニウム素材の外表面を陽極酸化することで、アルミニウム素材の外表面に細孔を有する陽極酸化被膜を形成する方法が開示されている。 And in patent document 1, as a manufacturing method of the mold used by the imprint method, the anodic oxide film which has a pore on the outer surface of an aluminum raw material is anodized by anodizing the outer surface of a high purity cylindrical aluminum raw material. A method of forming is disclosed.
インプリント法では、上記のように陽極酸化を利用して製造されたモールド(転写ロール)と透明な基材フィルムとの間に紫外線硬化性樹脂を介在させた状態で、紫外線硬化性樹脂に紫外線を照射して硬化させることによって、モールドの表面に形成された微細凹凸構造が基材フィルムの表面に転写されたフィルムを得ている。 In the imprint method, an ultraviolet curable resin is interposed between a mold (transfer roll) manufactured using anodization as described above and a transparent substrate film, and an ultraviolet curable resin is irradiated with ultraviolet rays. Is irradiated and cured to obtain a film in which the fine concavo-convex structure formed on the surface of the mold is transferred to the surface of the base film.
このため、インプリント法で使用するモールドには、細孔が所定且つ均一な深さに形成され、さらに、規則的に配列されていることが求められている。このような要請に応じ、インプリント法で使用するモールドの製造では、陽極酸化を二段階に分けて実施する方法が用いられる。すなわち、下記の工程(1)〜工程(3)を順次行うことによって、好ましい細孔を有する陽極酸化被膜を得ている。 For this reason, the mold used in the imprint method is required to have pores formed at a predetermined and uniform depth and further regularly arranged. In response to such a request, a method of performing anodization in two stages is used in the manufacture of a mold used in the imprint method. That is, an anodic oxide film having preferable pores is obtained by sequentially performing the following steps (1) to (3).
(1)アルミニウム基材の表面を陽極酸化し、細孔が規則的に配列された酸化皮膜を形成する工程。
(2)リン酸水溶液やクロム酸/リン酸混合溶液に、アルミニウム基材を浸漬して酸化皮膜の少なくとも一部を除去し、工程(1)で形成された細孔の底部を規則的な窪みとして残す工程。
(3)再び陽極酸化を行い、工程(1)で形成された窪みを細孔発生点として、所定深さの細孔を形成する工程。
(1) A step of anodizing the surface of an aluminum substrate to form an oxide film in which pores are regularly arranged.
(2) The aluminum substrate is immersed in an aqueous phosphoric acid solution or chromic acid / phosphoric acid mixed solution to remove at least a part of the oxide film, and the bottom of the pores formed in the step (1) is regularly depressed. As a process to leave as.
(3) A step of performing anodic oxidation again to form pores with a predetermined depth using the depression formed in step (1) as a pore generation point.
上記(1)ないし(3)の工程を含むモールドの製造では、ロール状のアルミニウム基材にアルミニウム基材を貫通して延びる軸部材を取り付け、この軸部材の両端を保持することによって、処理槽内の処理液へのアルミニウム基材の浸漬等が行われる。このとき、処理槽内部に配置された軸受け機構によって、アルミニウム基材を処理液に浸漬する方法があるが、軸受け機構を処理槽内部に設けた場合、軸受けの潤滑材や、部材が摺動することによるゴミやチリが処理液に混入する可能性がある。 In the manufacture of the mold including the steps (1) to (3), a processing tank is provided by attaching a shaft member extending through the aluminum substrate to a roll-shaped aluminum substrate and holding both ends of the shaft member. The aluminum base material is immersed in the treatment liquid inside. At this time, there is a method of immersing the aluminum base material in the processing liquid by a bearing mechanism arranged inside the processing tank. However, when the bearing mechanism is provided inside the processing tank, the bearing lubricant and members slide. There is a possibility that dust and dust may be mixed in the processing solution.
一方、アルミニウム基材の外表面に可視光波長以下の周期で微細凹凸構造を形成する場合には、微小なゴミやほこりがアルミニウム基材表面に付着しただけでも、微細凹凸構造の形成に悪影響を及ぼす可能性がある。このため、処理槽の側壁に切欠き部を設け、軸部材の両端部をこの切欠き部を通して処理槽外に延ばし、処理槽外に配置した軸受け機構で軸部材の両端を支持する機構が提案された。 On the other hand, when a fine uneven structure is formed on the outer surface of an aluminum substrate with a period of less than or equal to the visible light wavelength, even if minute dust or dust adheres to the aluminum substrate surface, the formation of the fine uneven structure is adversely affected. There is a possibility of effect. For this reason, a mechanism is proposed in which a notch is provided on the side wall of the processing tank, both ends of the shaft member are extended outside the processing tank through the notch, and both ends of the shaft member are supported by a bearing mechanism arranged outside the processing tank. It was done.
しかしながら、切欠き部から電解液や処理液等の処理液が漏れ出るという問題が発生するため、切欠き部に止水構造を設ける必要があるが、止水構造が複雑になる等の問題があった。また、工程終了後の機器の洗浄や止水構造の保全管理にも多大な労力が必要となってしまう。 However, since a problem arises in that a treatment liquid such as an electrolyte or a treatment liquid leaks from the notch, it is necessary to provide a water stop structure at the notch, but there are problems such as a complicated water stop structure. there were. In addition, a great deal of labor is required for the cleaning of the equipment after the completion of the process and the maintenance management of the water stop structure.
このために、処理槽を二層構造とし、内側の処理槽本体から漏れ出た処理液を外側の槽で受けた後、内部の処理槽本体に送り返す機構が提案された。 For this purpose, a mechanism has been proposed in which the treatment tank has a two-layer structure, and after the treatment liquid leaked from the inner treatment tank body is received by the outer tank, it is sent back to the inner treatment tank body.
しかしながら、この機構では、漏れ出す処理液と、内側の処理槽に送り返す処理液の量を略同一に保つ必要があり、処理液の正確な流量制御が必要となる、処理装置全体の構造が複雑になる等の課題があった。 However, in this mechanism, the amount of the processing liquid that leaks out and the amount of the processing liquid that is sent back to the inner processing tank must be kept substantially the same, which requires precise control of the flow rate of the processing liquid, and the overall structure of the processing apparatus is complicated. There were issues such as becoming.
本発明は上記課題を解決するためになされたものであって、より簡単な機構の装置で、インプリント用ロール状金型を製造することができるインプリント用ロール状金型の製造方法を提供することを目的としている。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and provides a method for producing an imprint roll mold that can produce an imprint roll mold with an apparatus having a simpler mechanism. The purpose is to do.
本発明によれば、
アルミニウム基材の円筒状の外周面に陽極酸化によって微細凹凸構造が形成されたインプリント用ロール状金型の製造方法であって、
前記アルミニウム基材が処理液に浸漬される処理工程を1以上備え、該処理工程が、前記アルミニウム基材を略水平に支持し、前記アルミニウム基材の下側部分を円筒の半径より低い高さ位置まで前記処理液に浸漬し、中心軸を中心に回転させることによって、前記アルミニウム基材の外周面全体を処理する工程である、
ことを特徴とする製造方法が提供される。
According to the present invention,
A method of manufacturing a roll mold for imprinting in which a fine concavo-convex structure is formed by anodic oxidation on a cylindrical outer peripheral surface of an aluminum substrate,
One or more treatment steps in which the aluminum substrate is immersed in a treatment solution, the treatment step supports the aluminum substrate substantially horizontally, and the lower part of the aluminum substrate has a height lower than the radius of the cylinder. It is a step of treating the entire outer peripheral surface of the aluminum base material by immersing in the treatment liquid to a position and rotating around a central axis.
The manufacturing method characterized by this is provided.
このような構成によれば、より簡単な機構の装置で、インプリント用ロール状金型を製造することができる。 According to such a configuration, a roll mold for imprinting can be manufactured with an apparatus having a simpler mechanism.
本発明の他の好ましい態様によれば、
前記処理工程における下側部分を前記円筒の半径より低い高さ位置が、前記アルミニウム基材の下側部分の50%(体積比)以下が処理液に浸漬する位置である。
According to another preferred embodiment of the invention,
The lower position in the processing step is a position where the height lower than the radius of the cylinder is a position where 50% (volume ratio) or less of the lower part of the aluminum base is immersed in the processing liquid.
本発明の他の好ましい態様によれば、
前記処理工程における下側部分を前記円筒の半径より低い高さ位置が、前記アルミニウム基材の下側部分のほぼ10%(体積比)が処理液に浸漬する位置である。
According to another preferred embodiment of the invention,
The lower position in the processing step is a position where the height lower than the radius of the cylinder is the position where approximately 10% (volume ratio) of the lower part of the aluminum base material is immersed in the processing liquid.
本発明の他の好ましい態様によれば、
前記アルミニウム基材は、端部が該アルミニウム基材の両端から外方に延びる中心軸によって支持され、
前記処理液が収容される処理槽の両側壁には、該側壁の上端から下方に向かって延び前記中心軸が挿通可能な切り込み部が形成され、
前記アルミニウム基材の処理液への浸漬が、前記切欠き部に前記中心軸を挿通させることによって行われる。
According to another preferred embodiment of the invention,
The aluminum base is supported by a central axis whose ends extend outward from both ends of the aluminum base,
On both side walls of the treatment tank in which the treatment liquid is accommodated, a cut portion is formed extending downward from the upper end of the side wall and allowing the central axis to be inserted therethrough.
The immersion of the aluminum base material into the processing solution is performed by inserting the central axis through the notch.
以下、図面に基づいて本発明の好ましい実施形態のインプリント用ロール状金型の製造方法について説明する。 Hereinafter, a method for producing an imprint roll mold according to a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
本明細書において、「微細凹凸構造」または「微細凹凸形状」とは、凸部または凹部の平均間隔(周期)が可視光波長以下(400nm以下)の構造または形状を意味する。
「矩形」とは、略矩形も包含し、例えば、四辺の一部に切欠き等が設けられた形状、面取りが行われている形状も、全体としてほぼ矩形であれば、この「矩形」に含まれる。
In the present specification, “fine concavo-convex structure” or “fine concavo-convex shape” means a structure or shape having an average interval (period) between convex portions or concave portions of not more than a visible light wavelength (400 nm or less).
The term “rectangular” includes substantially rectangular shapes. For example, if a shape in which notches or the like are provided on a part of the four sides or a chamfered shape is substantially rectangular as a whole, this “rectangle” included.
本明細書において、「活性エネルギー線」とは、可視光線、紫外線、電子線、プラズマ、熱線(赤外線等)等を意味する。
また、本明細書において、(ポリ)オキシアルキレンアルキルリン酸化合物は、オキシアルキレン基を1つ有するオキシアルキレンアルキルリン酸化合物またはオキシアルキレン基を2つ以上有するポリオキシアルキレンアルキルリン酸化合物を意味する。
更に、本明細書において、「(メタ)アクリレート」とは、アクリレートまたはメタクリレートを意味する。
In this specification, “active energy rays” means visible light, ultraviolet rays, electron beams, plasma, heat rays (infrared rays, etc.) and the like.
In this specification, the (poly) oxyalkylene alkyl phosphate compound means an oxyalkylene alkyl phosphate compound having one oxyalkylene group or a polyoxyalkylene alkyl phosphate compound having two or more oxyalkylene groups. .
Further, in the present specification, “(meth) acrylate” means acrylate or methacrylate.
本実施形態のインプリント用ロール状金型の製造方法は、例えば、下記の工程(a)〜(g)を含む。 The manufacturing method of the imprint roll-shaped metal mold | die of this embodiment includes the following process (a)-(g), for example.
(a)アルミニウム基材の表面状態を平滑化(鏡面化)にするために、切削加工および/または研磨加工を行う工程。
(b)アルミニウム基材を電解液中で陽極酸化してアルミニウム基材の表面に酸化皮膜を形成する工程。
(c)酸化皮膜の一部または全てを除去し、細孔発生点を形成する工程。
(d)アルミニウム基材を電解液中で、再度、陽極酸化し、細孔発生点を起点に細孔が発生した酸化皮膜を形成する工程。
(e)酸化皮膜の一部を除去し、細孔の径を拡大させる工程。
(f)電解液中で、再度、陽極酸化する工程。
(g)工程(e)と工程(f)を繰り返し行う工程。
(A) A step of performing a cutting process and / or a polishing process in order to make the surface state of the aluminum base material smooth (mirror finish).
(B) A step of forming an oxide film on the surface of the aluminum substrate by anodizing the aluminum substrate in the electrolytic solution.
(C) A step of removing a part or all of the oxide film to form pore generation points.
(D) A step of anodizing the aluminum substrate again in the electrolytic solution to form an oxide film in which pores are generated starting from the pore generation points.
(E) A step of removing a part of the oxide film and increasing the diameter of the pores.
(F) A step of anodizing again in the electrolytic solution.
(G) A step of repeating step (e) and step (f).
次に、上記工程(a)ないし工程(g)について説明する。 Next, the steps (a) to (g) will be described.
工程(a):
工程(a)では、ロール状金型の材料であるアルミニウム基材の表面に切削加工および/または研磨加工を施し、円筒状の外周面が所定の平滑度を有するように平滑化された(図1(a))にアルミニウム基材1を得る。
Step (a):
In step (a), the surface of an aluminum base material, which is a material for a roll-shaped mold, was subjected to cutting and / or polishing, and the cylindrical outer peripheral surface was smoothed so as to have a predetermined smoothness (see FIG. The aluminum base material 1 is obtained in 1 (a)).
ロール状金型を用いフィルム等を賦型する際には温調機能が必要とされることが多いため、アルミニウム基材としては、ロール内部に冷熱媒を通過させるためにスリーブ状構造などの中空もしくは数箇所に分けられた貫通穴加工が施されている円筒状のアルミニウム基材が用いられること多い。しかしながら、アルミニウム基材は円柱状でもよい。 Since a temperature control function is often required when forming a film or the like using a roll-shaped mold, the aluminum base material has a hollow structure such as a sleeve-like structure to allow the cooling medium to pass inside the roll. Or the cylindrical aluminum base material in which the through-hole process divided into several places is given is used in many cases. However, the aluminum substrate may be cylindrical.
アルミニウム基材1のアルミニウムの純度は、99%以上が好ましく、99.5%以上がより好ましく、99.8%以上がさらに好ましい。アルミニウムの純度が低いと、陽極酸化の際に、不純物の偏析により可視光を散乱する寸法の凹凸構造が形成されたり、細孔の規則性が低下したりするためである。 The purity of aluminum in the aluminum substrate 1 is preferably 99% or more, more preferably 99.5% or more, and further preferably 99.8% or more. This is because, when the purity of aluminum is low, an uneven structure having a size that scatters visible light due to segregation of impurities is formed during anodization, or regularity of pores is lowered.
また、アルミニウム基材は、切削加工する際に用いた油や研磨加工の際に用いたスラリー等が付着していることがあるため、切削加工後に脱脂処理されることが好ましい。 The aluminum base material is preferably degreased after the cutting process because the oil used for the cutting process or the slurry used for the polishing process may be attached.
工程(b):
工程(b)では、アルミニウム基材1の表面部分10(図1(a))を陽極酸化して、図1(b)に示すように、細孔12を有する酸化皮膜14が形成される。電解液としては、硫酸、シュウ酸、リン酸等が使用される。
尚、工程(b)に先立ち、アルミニウム基材の長さより長い軸部材がアルミニウム基材の中心に取り付けられ、軸部材の両端部を保持してアルミニウム基材を運搬、浸漬等が行われる。
Step (b):
In the step (b), the surface portion 10 (FIG. 1A) of the aluminum base 1 is anodized to form an
Prior to the step (b), a shaft member longer than the length of the aluminum base material is attached to the center of the aluminum base material, and the aluminum base material is transported and immersed while holding both ends of the shaft member.
以下にシュウ酸を電解液として用いる場合の具体例を説明する。
シュウ酸の濃度は、0.7M以下が好ましい。シュウ酸の濃度が0.7Mを超えると、電流値が高くなりすぎて酸化皮膜の表面が粗くなることがある。化成電圧が30〜60Vの時、周期が100nmの規則性の高い細孔を有する陽極酸化アルミナを得ることができる。化成電圧がこの範囲より高くても低くても規則性が低下する傾向にある。
A specific example in the case where oxalic acid is used as the electrolyte will be described below.
The concentration of oxalic acid is preferably 0.7 M or less. When the concentration of oxalic acid exceeds 0.7M, the current value becomes too high, and the surface of the oxide film may become rough. When the formation voltage is 30 to 60 V, anodized alumina having highly regular pores with a period of 100 nm can be obtained. Regardless of whether the formation voltage is higher or lower than this range, the regularity tends to decrease.
電解液の温度は、60℃以下が好ましく、45℃以下がより好ましい。電解液の温度が60℃を超えると、いわゆる「ヤケ」といわれる現象がおこり、細孔が壊れたり、表面が溶けて細孔の規則性が乱れたりすることがある。 The temperature of the electrolytic solution is preferably 60 ° C. or lower, and more preferably 45 ° C. or lower. When the temperature of the electrolytic solution exceeds 60 ° C., a so-called “burn” phenomenon occurs, and the pores may be broken, or the surface may melt and the regularity of the pores may be disturbed.
以下に硫酸を電解液として用いる場合の具体例を説明する。
硫酸の濃度は0.7M以下が好ましい。硫酸の濃度が0.7Mを超えると、電流値が高くなりすぎて定電圧を維持できなくなることがある。化成電圧が25〜30Vの時、周期が63nmの規則性の高い細孔を有する陽極酸化アルミナを得ることができる。化成電圧がこの範囲より高くても低くても規則性が低下する傾向がある。
A specific example in the case of using sulfuric acid as an electrolytic solution will be described below.
The concentration of sulfuric acid is preferably 0.7M or less. If the concentration of sulfuric acid exceeds 0.7M, the current value may become too high to maintain a constant voltage. When the formation voltage is 25 to 30 V, anodized alumina having highly regular pores with a period of 63 nm can be obtained. The regularity tends to decrease whether the formation voltage is higher or lower than this range.
電解液の温度は、30℃以下が好ましく、20℃以下がより好ましい。電解液の温度が30℃を超えると、いわゆる「ヤケ」といわれる現象がおこり、細孔が壊れたり、表面が溶けて細孔の規則性が乱れたりすることがある。 The temperature of the electrolytic solution is preferably 30 ° C. or less, and more preferably 20 ° C. or less. When the temperature of the electrolytic solution exceeds 30 ° C., a so-called “burn” phenomenon occurs, and the pores may be broken or the surface may melt and the regularity of the pores may be disturbed.
工程(c):
工程(c)では、工程(b)で表面が陽極酸化されたアルミニウム基材が処理槽内の処理液に浸漬され、図1(c)に示すように、酸化皮膜14の一部または全てが一旦除去される。
Step (c):
In the step (c), the aluminum substrate whose surface is anodized in the step (b) is immersed in the treatment liquid in the treatment tank, and as shown in FIG. Once removed.
陽極酸化の細孔発生点16にすることで細孔の規則性を向上させることができる。酸化皮膜14の一部を残して除去する場合には、酸化皮膜14中の規則性が十分に高められた部分を残すようにして酸化皮膜の除去を行ってもよい。
The regularity of the pores can be improved by setting the
酸化皮膜を除去する方法としては、リン酸水溶液に所定時間アルミニウム基材を浸漬する方法や、アルミニウムを溶解せず、酸化皮膜を選択的に溶解する溶液に溶解させて除去する方法が挙げられる。酸化皮膜を選択的に溶解する溶液としては、例えば、クロム酸/リン酸混合液等が挙げられる。 Examples of the method for removing the oxide film include a method of immersing the aluminum base material in a phosphoric acid aqueous solution for a predetermined time, and a method of removing the oxide film by dissolving it in a solution that selectively dissolves the oxide film without dissolving aluminum. Examples of the solution that selectively dissolves the oxide film include a chromic acid / phosphoric acid mixed solution.
工程(d):
工程(d)では、図1(d)に示すように、酸化皮膜が除去されアルミニウム基材1の表面部分10が再度、陽極酸化させられ、円柱状の細孔12を有する酸化皮膜14が形成される。
Step (d):
In step (d), as shown in FIG. 1 (d), the oxide film is removed and the
工程(d)での陽極酸化は、工程(b)と同様な条件で行われるのが好ましい。工程(c)の効果が失われない範囲であれば、工程(d)での陽極酸化の電圧、電解液の種類、温度等を適宜調整することが可能である。陽極酸化の時間を長くするほど深い細孔を得ることができる。 The anodization in step (d) is preferably performed under the same conditions as in step (b). As long as the effect of the step (c) is not lost, it is possible to appropriately adjust the voltage of the anodic oxidation in the step (d), the type of the electrolytic solution, the temperature, and the like. Deeper pores can be obtained as the anodic oxidation time is lengthened.
工程(e):
工程(e)では、図1(e)に示すように細孔12の径を拡大させる処理(以下、「細孔径拡大処理」とする。)が行われる。細孔径拡大処理は、酸化皮膜を溶解する溶液に浸漬して陽極酸化で得られた細孔の径を拡大させる処理である。このような溶液としては、例えば、5質量%程度のリン酸水溶液等が挙げられる。
細孔径拡大処理の時間を長くするほど、細孔径は大きくなる。
Step (e):
In the step (e), as shown in FIG. 1E, a process of expanding the diameter of the pores 12 (hereinafter referred to as “pore diameter expanding process”) is performed. The pore diameter expansion treatment is a treatment for expanding the diameter of the pores obtained by anodic oxidation by immersing in a solution dissolving the oxide film. Examples of such a solution include a phosphoric acid aqueous solution of about 5% by mass.
The longer the pore diameter expansion processing time, the larger the pore diameter.
工程(f):
工程(f)では、再度、陽極酸化が行われ、図1(f)に示すように、円柱状の細孔12の底部から下方に延ばされる、直径の小さい円柱状の細孔12’がさらに形成される。陽極酸化は、工程(b)と同様な条件で行われるのが好ましい。陽極酸化の時間を長くするほど深い細孔を得ることができる。
Step (f):
In step (f), anodic oxidation is performed again, and as shown in FIG. 1 (f),
工程(g):
工程(g)では、工程(e)の細孔径拡大処理と工程(f)の陽極酸化とを繰り返し、図1(g)に示すように、直径が開口部から深さ方向に連続的に減少する形状の細孔12を有する酸化皮膜14が形成され、アルミニウム基材1の表面10に陽極酸化アルミナ(アルミニウムの多孔質の酸化皮膜(アルマイト))を有するモールド18を得る。最後は、工程(e)で終わることが好ましい。
Step (g):
In the step (g), the pore diameter enlargement process in the step (e) and the anodic oxidation in the step (f) are repeated, and the diameter continuously decreases from the opening in the depth direction as shown in FIG. 1 (g). Thus, a
工程(e)と工程(f)の繰り返し回数は、3回以上が好ましく、5回以上がより好ましい。繰り返し回数が2回以下の場合、形成された細孔では、直径が階段状に減少している。このような細孔を表面に有するロール状金型で製造したフィルムの反射率低減効果は不十分となるためである。 The number of repetitions of the step (e) and the step (f) is preferably 3 times or more, and more preferably 5 times or more. When the number of repetitions is 2 or less, the diameter of the formed pores decreases stepwise. This is because the reflectance reduction effect of a film produced with a roll-shaped mold having such pores on the surface is insufficient.
細孔12の形状としては、略円錐形状、角錐形状、円柱形状等が挙げられる。円錐形状、角錐形状等のように、深さ方向と直交する方向の細孔断面積が最表面から深さ方向に連続的に減少する形状が好ましい。
細孔12の形状は、陽極酸化とエッチング(酸化皮膜除去)との繰り返し条件により決定される。
Examples of the shape of the
The shape of the
このようにして、外周面に微細凹凸構造が形成されたロール状金型を得る。 In this way, a roll mold having a fine concavo-convex structure formed on the outer peripheral surface is obtained.
尚、本実施形態では、細孔12間の平均間隔は、可視光の波長以下、すなわち400nm以下である。細孔12間の平均間隔は、20nm以上が好ましい。細孔12間の平均間隔とは、電子顕微鏡観察によって隣接する細孔12間の間隔(細孔12の中心から隣接する細孔12の中心までの距離)を50点測定し、これらの値を平均したものである。
In the present embodiment, the average interval between the
本実施形態では、細孔12の深さは、平均間隔が100nmの場合は、80〜500nmが好ましく、120〜400nmがより好ましく、150〜300nmが特に好ましい。細孔12の深さは、電子顕微鏡観察によって倍率30000倍で観察したときにおける、細孔12の最底部と、細孔12間に存在する凸部の最頂部との間の距離を測定した値である。
In the present embodiment, the depth of the
本実施形態では、細孔12のアスペクト比(細孔の深さ/細孔間の平均間隔)は、0.8〜5.0が好ましく、1.2〜4.0がより好ましく、1.5〜3.0が特に好ましい。 In the present embodiment, the aspect ratio of the pores 12 (depth of pores / average interval between pores) is preferably 0.8 to 5.0, more preferably 1.2 to 4.0, and 1. 5-3.0 is particularly preferable.
次いで、上記工程(c)に用いられる処理槽20の構成について説明する。
図2は、処理槽20の構成を示す模式的な正面からの断面図であり、図3は、図2の処理槽20の側面図である。
Subsequently, the structure of the
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view from the front showing the configuration of the
図2および図3に示されているように、処理槽20は、処理槽本体22と処理液供給部24とを備えている。
処理槽本体22は、上端が開口した直方体形状を有している。処理槽本体22の長軸方向の長さは、アルミニウム基材1に取付けられる軸部材26の長さより短く設定されている。処理槽本体22は、処理液Lを収容し、この処理液Lに中空円柱状のアルミニウム基材1が浸漬される。
As shown in FIGS. 2 and 3, the
The processing tank
処理槽本体22の長手方向両端の側壁22aには、切欠き部22bが形成されている。切欠き部22bは、軸部材26の直径より僅かに大きな幅を有し、側壁22aの幅方向中央位置で側壁22aの上縁から下方に向かって延び、側壁22aの上下方向ほぼ中央の高さ位置で終端している。
処理槽本体22の底部22cの内面は、処理槽本体22に浸漬される円筒状のアルミニウム基材1の周面(外周面)に沿うように、円弧状に湾曲していることが好ましい。底部22cの内面が円弧状に湾曲していることで、断面が略矩形状の処理槽を用いる場合と比較して、処理液の使用量を削減することができる。なお、「円弧状」とは、正確な円弧に限定されるものではなく、弧状の湾曲した他の形状も含む。
The inner surface of the bottom 22c of the
このような構成によって、軸部材26の端部26aの各々が処理槽本体22の側壁22aの切欠き部22bに挿通され更に外方に突出した状態で、処理液Lを収容した処理槽本体22内にアルミニウム基材1を配置することができる。
With such a configuration, the processing tank
切欠き部22bから処理槽本体22の外側に伸びる軸部材26は、回転駆動装置(図示されず)に接続され、軸部材26およびアルミニウム基材1が回転駆動されるように構成されている。アルミニウム基材1の回転速度は、基材の表面を一様に処理する観点から、毎分1回転(1rpm)以上であることが好ましく、3rpm以上であることがより好ましく、アルミニウム基材の表面に付着した処理液Lを飛散させないという観点から、30rpm以下であることが好ましく、25rpm以下であることがより好ましい。
A
処理槽本体22の寸法は、内部にアルミニウム基材1を収容できる寸法であれば特に制限されない。しかしながら、図2および図3に示されるように、アルミニウム基材1を内部に配置したとき、アルミニウム基材1の外周面と処理槽本体22の底面22cとの間に十分な広さの空隙が形成されることが必要である。
The dimension of the processing tank
具体的には、円筒状のアルミニウム基材1の中心軸Pから処理槽本体22の底面22cまでの距離Dが、基材Aの半径(r)の1.25〜2倍であることが好ましい。距離Dを半径(r)の1.25倍以上とすることで、アルミニウム基材1を処理槽本体22内に配置する際に、アルミニウム基材1が処理槽本体22の壁や処理液供給部24と接触し、アルミニウム基材1の表面が傷つくことを防止できる。また、アルミニウム基材1の外周面全体を適切に処理できる量の処理液Lを処理槽本体22内に収容することができる。さらに、距離Dを半径(r)の2倍以下とすることで、処理液Lの使用量が多くなりすぎることを抑制できる。
Specifically, the distance D from the central axis P of the cylindrical aluminum substrate 1 to the
処理槽本体22は、処理液Lとして用いられるリン酸水溶液、クロム酸/リン酸混合水溶液に対して耐食性を有する材料、例えばステンレス、チタン、繊維強化プラスチック(FRP)、ポリ塩化ビニル(PVC)などで形成されている。
The
処理液供給部24は、処理槽本体22に処理液Lを供給するものであり、図2に示すように、処理槽本体22の長手方向に沿うように、処理槽本体22の後壁22d側に設けられている。
The treatment
処理液供給部24は、水平方向に延びる供給管24aと、供給管24aに接続され下方に延びる吐出部24bとを備えている。供給管24aは、二重管構造を備え、ポンプ(図示略)等によって内側の管に送り込まれた処理液が、この管の中を流れつつ内側の管の吐出口から外側の管に排出され、外側の管を流れつつ外側の管の吐出口から吐出部24bに排出される。
The processing
内側および外側の管の吐出口は、内側および外側の管の長手方向に沿って連続的にスリット状に形成されていても、断続的に形成されていてもよい。 The outlets of the inner and outer tubes may be formed continuously in a slit shape along the longitudinal direction of the inner and outer tubes, or may be formed intermittently.
吐出部24bの下端は、処理槽本体22の底部22cの円弧形状付近に位置している。
このような構成によって、処理液供給部24から供給される処理液Lは、処理槽本体22の底部の円弧形状に沿って処理槽本体22内に注ぎ込まれるので、処理液Lを入れる際に、処理液Lが飛び散り、切欠き部から処理槽本体22の外に飛散することを防止できる。
The lower end of the
With such a configuration, the processing liquid L supplied from the processing
供給管24aおよび吐出部24bは、処理液Lとして用いられるリン酸水溶液、クロム酸/リン酸混合水溶液に対する耐腐食性を有する材料、例えばステンレス、チタン、繊維強化プラスチック(FRP)、ポリ塩化ビニル(PVC)などで形成される。
The
処理槽20には、処理槽本体22から処理液Lを排出する排出部28が設けられている。排出部28は、図3に示されるように処理液供給部24と、幅方向に対向する位置に設けられることが好ましい。このように配置することで、処理液供給部24から供給された処理液Lが、処理槽本体22の底部の円弧形状部分に沿って排出部28へとスムーズに移動できる。
The
排出部28から排出された処理液Lを、排出部28に接続された温度調整機構(図示せず)によって所定温度に調整し、さらにフィルター等を通して微小な粒子等を除去した後、再び、処理液供給部24から処理槽本体22に供給する構成でもよい。
The processing liquid L discharged from the
上述のように、処理槽本体22から所定量の処理液Lを排出し、温度を調整後に処理槽本体22に返送することで、処理液Lの温度を一定に保つことができる。なお、温度を厳密に管理する必要がない場合は、排出部28から処理液Lを連続的に排出する必要はなく、処理槽本体22内部に貯留されている処理液Lのみを用いてアルミニウム基材1の表面を処理してもよい。
As described above, the temperature of the processing liquid L can be kept constant by discharging a predetermined amount of the processing liquid L from the
アルミニウム基材1の搬送、保持するときは、軸部材26の両端に図2に示されているようなチャック用部材Cが装着され、チャック用部材Cを利用してアルミニウム基材1の搬送、処理槽20内への配置が行われる。なお、このチャック用部材Cは、アルミニウム基材1を処理槽本体22内に配置したとき、処理槽本体22の外部に位置することになる。
When the aluminum base material 1 is transported and held, chuck members C as shown in FIG. 2 are mounted on both ends of the
このような構成によって、処理槽20の上部に機械的な接点や稼働部を設ける必要がなくなるため、アルミニウム基材1の搬送の際に発生する微小なチリやゴミ等が、処理槽20の内部に入ってしまうことを防止することができる。また、軸部材26を保持する部分であるチャック用部材Cが、処理液Lに接触することがないため、チャック用部材Cが処理液Lにより腐食されないようにするための特殊なコーティング等を施す必要がなく、さらに洗浄や保守管理も大幅に簡便なものとすることができる。
With such a configuration, it is not necessary to provide a mechanical contact or operating part on the upper part of the
本実施形態のロール状金型の製造方法では、上記工程(c)において、アルミニウム基材1が処理槽本体22に収容された処理液に浸漬され、処理が行われる。
In the manufacturing method of the roll metal mold | die of this embodiment, in the said process (c), the aluminum base material 1 is immersed in the process liquid accommodated in the process tank
処理槽本体22に収容される処理液Lの量は、切欠き部22bの底部22eに軸部材26の両端部24aを支持させて、アルミニウム基材1を処理液Lが収容された処理槽本体22内に略水平に配置したとき、アルミニウム基材1の下方側の部分(体積で全体の10%、表面積で25%)が処理液Lに浸漬され、且つ、処理液Lの液面が、切欠き部22bの底部22eより低い高さ位置に位置する量である。したがって、アルミニウム基材1は、上側部分の体積比で90%の部分が、処理液Lに浸漬しない状態となる。なお、アルミニウム基材1の表面を処理する際に、アルミニウム基材を略水平に保持することが好ましいが、厳密に水平である必要はない。アルミニウム基材を略水平に保持する、とは、円筒状のアルミニウム基材1の中心軸が水平方向に対して±5度傾斜していても構わないことを意味する。
The amount of the processing liquid L accommodated in the processing tank
処理槽本体22に収容される処理液Lの量は、アルミニウム基材1を処理液Lに浸漬したとき、処理液Lの液面が、処理槽本体22の長手方向両端の側壁22aの切欠き部22bの底部22eより低い高さ位置に位置する量より少ない量であれば、上記量に限定されない。
また、処理液Lの量の下限は、アルミニウム基材1の少なくとも一部が浸漬される量であればよい。
The amount of the processing liquid L accommodated in the processing tank
Moreover, the minimum of the quantity of the process liquid L should just be the quantity in which at least one part of the aluminum base material 1 is immersed.
上記工程(c)では、上述したようにアルミニウム基材1の下側部分の10%を処理液Lに浸漬させた状態で軸部材26を回転させることによって、アルミニウム基材1を処理液L内で回転させながら、酸化皮膜の除去が行われる。
In the step (c), as described above, the
このような条件でアルミニウム基材1を処理することで、アルミニウム基材の表面を一様に処理することができる。 By treating the aluminum substrate 1 under such conditions, the surface of the aluminum substrate can be treated uniformly.
上述した処理槽20は、処理槽本体22に切欠き部22bが形成されているため、切欠き部22b内に、アルミニウム基材1を支持する軸部材を配置することによって、軸部材26で支持されたアルミニウム基材1を処理槽本体22内に容易に配置することができる。
The
また、処理液Lの量が、アルミニウム基材1の浸漬時の処理液の液面が切欠き部22bの底部22eの高さ位置より低い位置となるように設定されるので、リン酸やクロム酸/リン酸混合水溶液等を含む処理液の液漏れを防ぐための複雑な封止構造を設ける必要がなく、より簡便にアルミニウム基材1の表面処理を行うことができる。また、アルミニウム基材1を完全に浸漬させる場合と比較して、リン酸やクロム酸/リン酸混合水溶液等の使用量を大幅に低減できることから、使用後のリン酸やクロム酸/リン酸混合水溶液の処理に係る人的、経済的負担を大幅に軽減することができる。
さらに、表面処理終了後の処理槽20などの洗浄も容易となることから、洗浄水の使用量を格段に低減できる。
Further, since the amount of the processing liquid L is set so that the liquid level of the processing liquid when the aluminum base material 1 is immersed is lower than the height position of the bottom 22e of the
Furthermore, since it becomes easy to clean the
また、上述の説明においては、処理槽20を工程(c)に用いる場合を説明したが、処理槽20と実質的に同一の構造を有する槽を用いた上述の浸漬方法を、他の工程で使用してもよい。
Moreover, although the case where the
例えば、処理槽20と実質的に同一の構造の電解処理槽にシュウ酸などの電解液を収容し、アルミニウム基材を切欠き部の底部に配置した状態でアルミニウム基材の少なくとも一部分が電解液に浸漬されるように電解液の量を調整し、アルミニウム基材1を回転駆動させながら電圧を印加することで、上記工程(b)や工程(d)の陽極酸化処理を行ってもよい。
For example, an electrolytic solution such as oxalic acid is accommodated in an electrolytic treatment tank having substantially the same structure as that of the
さらに、処理液がリン酸等である上記工程(e)の細孔径拡大処理で、処理槽20と同様の構成を有する槽を用いて上述した浸漬方法を採用してもよい。
Furthermore, the immersion method mentioned above using the tank which has the structure similar to the
また、工程(a)〜(g)を経て製造された転写ロールの表面を、離型剤等により処理する工程(h)がさらに行われてもよく、この工程(h)において、処理槽20と同様の構成を有する槽を用いて上述した浸漬方法を採用してもよい。
Moreover, the process (h) which processes the surface of the transcription | transfer roll manufactured through process (a)-(g) with a mold release agent etc. may be further performed, In this process (h),
この工程(h)では、処理液として離型剤溶液を用いることで、工程(a)〜(g)で得られた微細凹凸構造が形成された転写ロールの表面を離型剤で被覆処理する。このように金型本体の表面を被覆処理することにより、離型性が向上され、ロール状金型の微細凹凸構造を基材シートに転写する際に、転写に用いる樹脂材料が微細凹凸構造の凹部に詰まるのを抑制できる。特に、表面にナノメートルオーダーの微細な凹凸構造が形成されたロール状金型を転写に用いる場合には、一旦、樹脂材料が凹部に詰まると除去するのが難しいため、金型本体の表面を被覆処理しておく必要がある。なお、金型本体の表面を被覆処理する前に、表面状態を清浄な状態にしておくことが好ましく、特にシミ、異物等の付着がある場合は、これらを除去しておくのが好ましい。 In this step (h), the surface of the transfer roll on which the fine uneven structure obtained in steps (a) to (g) is formed is coated with a release agent by using a release agent solution as a treatment liquid. . Thus, by covering the surface of the mold body, the releasability is improved, and when the fine uneven structure of the roll mold is transferred to the base sheet, the resin material used for transfer has a fine uneven structure. It is possible to suppress clogging of the recess. In particular, when using a roll-shaped mold with a nanometer-order fine concavo-convex structure formed on the surface for transfer, it is difficult to remove the resin material once clogged with the recess. It is necessary to coat it. In addition, it is preferable to make the surface state into a clean state before coating the surface of the mold main body, and it is preferable to remove these particularly when there is adhesion of stains or foreign matters.
さらにまた、処理液として水などの洗浄液を用いて、陽極酸化処理されたアルミニウム基材1や、クロム酸/リン酸水溶液で処理されたアルミニウム基材1の洗浄を行ってもよい。このとき、処理槽20と同様の構成を有する槽を用いて上述した浸漬方法を採用してもよい。この場合、電解液やクロム酸/リン酸水溶液などが溶解した洗浄液の発生を少なくできるため、洗浄水の処理に係る人的、経済的負担を大幅に軽減することができる。
Furthermore, the aluminum substrate 1 that has been anodized or the aluminum substrate 1 that has been treated with a chromic acid / phosphoric acid aqueous solution may be cleaned using a cleaning liquid such as water. At this time, you may employ | adopt the immersion method mentioned above using the tank which has the structure similar to the
次に、本実施形態の製造方法によって製造されたロール状金型が組み込まれる装置について説明する。この装置は、表面に微細凹凸構造を有するシート状部材を製造する装置である。 Next, an apparatus in which a roll mold manufactured by the manufacturing method of this embodiment is incorporated will be described. This apparatus is an apparatus for producing a sheet-like member having a fine uneven structure on the surface.
まず、装置によって製造される、表面に微細凹凸構造を有するシート状部材30について説明する。図4は、微細凹凸構造を有する部材であるシート状部材30の構造を示す模式的な断面図である。図4に示されているように、シート状部材30は、透明基材であるフィルム32の表面に、硬化樹脂による微細凹凸構造部34が形成されている公知のシート状部材である。
First, the sheet-
微細凹凸構造部34は、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の硬化物からなり、多数の略円錐形状凸部によって構成された所謂モスアイ構造を有している。微細凹凸構造部34は、未硬化の活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に、上述した製造方法によって製造されたロール状金型の表面の微細凹凸構造の形状が転写されることにより形成されている。
The fine concavo-
微細凹凸構造を構成する微細凸部は、略円錐形状の他、角錐形状等の突起(凸部)等でもよい。モスアイ構造は、微細凸部間の間隔が可視光の波長以下であり、空気の屈折率から材料の屈折率へと連続的に屈折率が増大していくため、有効な反射防止の手段となる。このため、シート状部材30、例えば、画像表示装置(テレビ、携帯電話のディスプレイ等)、展示パネル、メーターパネル等の対象物の表面に貼り付けられたり、インサート成形されたりして、反射防止膜として使用される。
The fine convex portion constituting the fine concavo-convex structure may be a substantially conical shape, or a projection (convex portion) such as a pyramid shape. The moth-eye structure is an effective anti-reflection means because the distance between the fine convex portions is less than the wavelength of visible light and the refractive index continuously increases from the refractive index of air to the refractive index of the material. . Therefore, the sheet-
また、対象物が画像表示装置である場合には、微細凹凸構造を前面板の表面に貼り付けてもよい。 Further, when the object is an image display device, a fine concavo-convex structure may be attached to the surface of the front plate.
更に、シート状部材30は、表面の微細凹凸構造によって撥水性を発揮するので、風呂場の窓や鏡、太陽電池部材、自動車のミラー、看板、メガネのレンズ等の、水、または蒸気等にさらされる物品用の撥水膜としても使用される。
Furthermore, since the sheet-
さらにまた、微細凹凸構造を表面に有する部材は、上述した用途以外にも、光導波路、レリーフホログラム、光学レンズ、偏光分離素子等の光学用途や、細胞培養シートとしても使用できる。 Furthermore, the member having a fine concavo-convex structure on the surface can be used as an optical application such as an optical waveguide, a relief hologram, an optical lens, and a polarized light separation element, and as a cell culture sheet, in addition to the applications described above.
次に、本実施形態のロール状金型製造方法によって製造されたロール状金型が組み込まれる装置40の構成を説明する。この装置は、表面に微細凹凸構造が形成されたシート状部材を製造する装置である。図5は、装置40の構成を示す模式的な図面である。
Next, the structure of the
製造装置40は、表面に微細凹凸構造を有するロール状金型(転写ロール)42を備えている。製造装置40は、更に、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物44を供給するタンク46と、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物44を介して透明フィルム32をロール状金型42に押し付ける押圧装置48と、活性エネルギー線を照射する活性エネルギー線照射装置50と、剥離ロール52と、を備えている。
ロール状金型42は、上記本実施形態の製造方法に従って製造された転写ロールである。
The
The roll-shaped
活性エネルギー線照射装置50としては、例えば、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ等が挙げられる。活性エネルギー線の照射量は、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の硬化が進行するエネルギー量であればよく、通常、100〜10000mJ/cm2程度である。 Examples of the active energy ray irradiation device 50 include a high-pressure mercury lamp and a metal halide lamp. The irradiation amount of an active energy ray should just be the energy amount which hardening of an active energy ray curable resin composition advances, and is about 100-10000mJ / cm < 2 > normally.
押圧装置48は、空気圧シリンダ52と、シリンダ52に取り付けられたニップロール54とを有し、空気圧シリンダ52が伸張することにより、ニップロール54が活性エネルギー線硬化性樹脂組成物44を介して透明フィルム32をロール状金型42に押し付けるように構成されている。
The
次に、製造装置40の動作について説明する。
図5に示されているように、長尺状の透明フィルム32が、矢印A方向に一定速度で回転するロール状金型42に向けて連続的に供給される。この透明フィルム32の上面(ロール状金型42側の面)に、タンク46により活性エネルギー線硬化性樹脂組成物44が供給される。
Next, the operation of the
As shown in FIG. 5, the long
上面に活性エネルギー線硬化性樹脂組成物44が供給されたフィルム32は、押圧装置48のニップロール54と、ロール状金型42との間に搬送される。空気圧シリンダ52を伸張させることにより、ニップロール54とロール状金型42の間で、フィルム32と活性エネルギー線硬化性樹脂組成物44とが挟持され、ロール状金型の外周面に向けて押し付けられる。この結果、フィルム32の上面に供給された活性エネルギー線硬化性樹脂組成物44が、フィルム32とロール状金型42との間に均一に行き渡らせられ、ロール状金型42の微細凹凸構造の凹部内に充填される。
The
次に、回転するロール状金型42の下方に設置された活性エネルギー線照射装置50が、活性エネルギー線を透明フィルム32とロール状金型42の外周面との間に介在する活性エネルギー線効果性樹脂組成物を硬化させる。この結果、透明フィルム32の表面に、ロール状金型42の凹部と相捕的な形状の微細凸部を有する微細凹凸部34が形成される。
Next, the active energy ray irradiation device 50 installed below the rotating roll-shaped
次に、剥離ロール52により、フィルム32の表面に硬化樹脂層34が形成されたシート状部材30がロール状金型42から剥離される。
Next, the sheet-
本発明は、上記実施形態に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範囲内で種々の変更、変形が可能である。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various changes and modifications can be made within the scope of the technical idea described in the claims.
1:アルミニウム基材
20:処理槽
22:処理槽本体
22a:側壁
22b:切欠き部
22c:底部
22d:後壁
24:処理液供給部
24a:供給管
24b:吐出部
26:軸部材
28:排出部
L:処理液
1: Aluminum substrate 20: Treatment tank 22:
Claims (5)
前記アルミニウム基材が処理液に浸漬される処理工程を少なくとも1以上備え、該処理工程が、前記アルミニウム基材を略水平に支持し、前記アルミニウム基材の下側部分を円筒の半径より低い高さ位置まで前記処理液に浸漬し、中心軸を中心に回転させることによって、前記アルミニウム基材の外周面全体を処理する工程である、
ことを特徴とする製造方法。 A method of manufacturing a roll mold for imprinting in which a fine concavo-convex structure is formed by anodic oxidation on a cylindrical outer peripheral surface of an aluminum substrate,
At least one treatment step in which the aluminum base material is immersed in a treatment liquid is provided, the treatment step supports the aluminum base material substantially horizontally, and a lower portion of the aluminum base material is higher than a radius of a cylinder. It is a step of treating the entire outer peripheral surface of the aluminum substrate by immersing in the treatment liquid up to a position and rotating around the central axis.
The manufacturing method characterized by the above-mentioned.
請求項1に記載の製造方法。 The lower position of the lower part in the treatment step is lower than the radius of the cylinder, and is a position where 50% (volume ratio) or less of the lower part of the aluminum base material is immersed in the treatment liquid.
The manufacturing method according to claim 1.
請求項2に記載の製造方法。 The height position of the lower part in the treatment step lower than the radius of the cylinder is a position where approximately 10% (volume ratio) of the lower part of the aluminum base material is immersed in the treatment liquid.
The manufacturing method according to claim 2.
前記処理液が収容される処理槽の両側壁には、該側壁の上端から下方に向かって延び前記中心軸が挿通可能な切り込み部が形成され、
前記アルミニウム基材の処理液への浸漬が、前記切欠き部に前記中心軸を挿通させることによって行われる、
請求項1ないし3のいずれか1項に記載の製造方法。 The aluminum base is supported by a central axis whose ends extend outward from both ends of the aluminum base,
On both side walls of the treatment tank in which the treatment liquid is accommodated, a cut portion is formed extending downward from the upper end of the side wall and allowing the central axis to be inserted therethrough.
The immersion of the aluminum base material in the treatment liquid is performed by inserting the central axis through the notch,
The manufacturing method of any one of Claims 1 thru | or 3.
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