JP2015078978A - 計測方法及び計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザー光源140からのコヒーレント光を試料10及び表面の付着物12に照射し、プローブ101で集光したラマン散乱光及び蛍光を分光部110に導く。ラマン散乱光の波長域の光はミラー113で反射され、第1光検出部121で検出される。ラマン散乱光の波長域以外の光はミラー113を透過し、第2光検出部122で検出される。制御部130が2つの検出値に基づいて行う演算により、付着物の付着の程度に依存する蛍光強度の広範囲スペクトルにわたる積分値を、付着物の付着の程度に依存しないラマン散乱光の強度通過帯域幅積を尺度として定量的に、かつ、再現性をもって推定する。
【選択図】図1
Description
本発明の実施例2によれば、従来よりも簡潔かつ単純なもうひとつの構成を用いて、付着物の付着の程度を定量的に、かつ、再現性をもって推定することができる。
12 付着物
60 シリコン基板
61 蛍光性溶液
62 染料付着シリコン基板
100、109、200、300、400、500 付着物計測装置
101、301 プローブ
102、105、108、112 レンズ
103、116、117、119、511、512 帯域通過フィルタ
110、111、114、118、410、510 分光部
104、106、113、115 ミラー
107 ロングパスフィルター
121 第1光検出部
122 第2光検出部
130 制御部
140 レーザー光源
142 波長可変レーザー光源
150、151 光ファイバケーブル
420 回折格子
430 CCD検出部
520 フィルタ入れ替え部
700 計測装置
Claims (17)
- 試料に付加された対象物の付加の程度を計測する計測方法において、
コヒーレント光を試料に照射し、
前記コヒーレント光により、前記コヒーレント光の波長域から前記試料に固有のラマンシフトを隔てた波長域に散射されるラマン散乱光と、前記対象物から前記ラマン散乱光の波長域を含むスペクトルにわたって放射される蛍光とを集光し、
前記ラマン散乱光の波長域を選択することができる波長選択手段を用いて、前記集光されたラマン散乱光の波長域の光を前記集光された蛍光から分離し、
前記分離された波長域から前記ラマン散乱光の強度の値を検出すると共に、前記蛍光強度の値を検出し、
前記検出されたラマン散乱光の強度の値を尺度として前記蛍光強度の値を表すことにより、前記対象物の付加の程度を計測する
ことを特徴とする計測方法。 - 前記コヒーレント光の波長を一定に保つと共に、
前記波長選択手段として、前記ラマン散乱光の波長域の光及び前記ラマン散乱光の波長域を除く波長域の光に対して一方を反射し他方を透過する特性を有するミラーを用い、
前記集光されたラマン散乱光及び蛍光からなる光束を、前記ミラーに入射させ、
前記ミラーの反射光及び透過光をそれぞれ検出することにより、
前記ラマン散乱光の波長域の光を前記集光された蛍光から分離することを特徴とする請求項1に記載の計測方法。 - 前記コヒーレント光の波長を一定に保つと共に、
前記波長選択手段として、前記ラマン散乱光の波長域の光を透過する特性を備えた帯域通過フィルタを用い、
前記集光されたラマン散乱光及び蛍光からなる光束を第1の部分光束及び第2の部分光束に分割すると共に前記第1の部分光束を前記帯域通過フィルタに入射させ、
前記帯域通過フィルタの透過光及び前記第2の部分光束をそれぞれ検出することにより、
前記ラマン散乱光の波長域の光を前記集光された蛍光から分離することを特徴とする請求項1に記載の計測方法。 - 前記コヒーレント光の波長を一定に保つと共に、
前記波長選択手段として回折格子を用い、
前記集光されたラマン散乱光及び蛍光からなる光束を、前記回折格子に入射させ、
前記回折格子から出射角を異にして出射される前記ラマン散乱光及び蛍光の各スペクトル成分をそれぞれ検出することにより、
前記ラマン散乱光の波長域の光を前記集光された蛍光から分離することを特徴とする請求項1に記載の計測方法。 - 前記コヒーレント光の波長を一定に保つと共に、
前記波長選択手段として、前記ラマン散乱光の波長域の光を透過する特性を備えた第1の帯域通過フィルタを用い、
前記集光されたラマン散乱光及び蛍光からなる光束を、前記第1の帯域通過フィルタ又は前記蛍光の波長域の光を透過する特性を備えると共に前記第1の帯域通過フィルタに対して入れ替え可能に設けられた第2の帯域通過フィルタのいずれか一方に入射させ、
前記第1の帯域通過フィルタ及び前記第2の帯域通過フィルタの透過光をそれぞれ検出することにより、
前記ラマン散乱光の波長域の光を前記集光された蛍光から分離することを特徴とする請求項1に記載の計測方法。 - 前記コヒーレント光の波長を可変にすると共に、
前記波長選択手段として、所定の波長域の光を透過する特性を備えた帯域通過フィルタを用い、
前記ラマン散乱光の波長域が前記所定の波長域に合うように前記コヒーレント光の波長を設定したとき前記帯域通過フィルタによって透過される前記ラマン散乱光の波長域の光を、前記ラマン散乱光の波長域が前記所定の波長域と異なるように前記コヒーレント光の波長を設定したとき前記帯域通過フィルタによって透過される前記蛍光から分離することにより、
前記ラマン散乱光の波長域の光を前記集光された蛍光から分離することを特徴とする請求項1に記載の計測方法。 - 前記対象物は、前記試料の表面に付着するようにして前記試料に付加されたことを特徴とする請求項1に記載の計測方法。
- 前記試料及び前記対象物は、それぞれ溶媒及び溶質として溶液を構成するものであることを特徴とする請求項1に記載の計測方法。
- 試料に付加された対象物の付加の程度を計測することができる計測装置において、
コヒーレント光を試料に照射することができる照射手段と、
前記コヒーレント光により、前記コヒーレント光の波長域から前記試料に固有のラマンシフトを隔てた波長域に散射されるラマン散乱光と、前記対象物から前記ラマン散乱光の波長域を含むスペクトルにわたって放射される蛍光とを集光することができる集光手段と、
前記ラマン散乱光の波長域を選択することができる波長選択手段を有して構成され、前記集光されたラマン散乱光の波長域の光を前記集光された蛍光から分離することができる分光手段と、
前記分離された波長域から前記ラマン散乱光の強度の値を検出すると共に、前記蛍光強度の値を検出することができる検出手段と、
前記検出されたラマン散乱光の強度の値を尺度として前記蛍光強度の値を表すことができる演算手段とを
備えたことを特徴とする計測装置。 - 前記波長選択手段は、前記コヒーレント光の波長が一定に保たれた場合において、前記ラマン散乱光の波長域の光及び前記ラマン散乱光の波長域を除く波長域の光の一方を反射し他方を透過する特性を備えたミラーからなり、
前記検出手段は、前記ミラーの反射光を検出することができる第1検出部と、前記ミラーの透過光を検出することができる第2検出部とからなる
ことを特徴とする請求項9に記載の計測装置。 - 前記分光手段は、前記ラマン散乱光の波長域及び前記ラマン散乱光の波長域の前後の波長域を含む波長域の光を透過する特性を有して、前記ミラーの反射光又は透過光のうち前記ラマン散乱光の波長域を除く波長域の光を入射させるように設けられた帯域通過フィルタをさらに備え、
前記演算手段は、前記帯域通過フィルタの透過光の検出値から前記蛍光強度のスペクトル積分値を算出することができるようにした
ことを特徴とする請求項10に記載の計測装置。 - 前記波長選択手段は、前記コヒーレント光の波長が一定に保たれた場合において、前記ラマン散乱光の波長域の光を透過する特性を備えた帯域通過フィルタからなり、
前記分光手段は、前記集光されたラマン散乱光及び蛍光からなる光束を第1の部分光束及び第2の部分光束に分割することができるスプリッタと、前記帯域通過フィルタとからなり、
前記検出手段は、前記第1の部分光束を前記帯域通過フィルタに入射させて得られる透過光を検出することができる第1検出部と、前記第2の部分光束を検出することができる第2検出部とからなる
ことを特徴とする請求項9に記載の計測装置。 - 前記波長選択手段は、前記コヒーレント光の波長が一定に保たれた場合において、回折格子からなり、
前記検出手段は、前記回折格子から出射角を異にして出射される前記ラマン散乱光及び蛍光の各スペクトル成分をそれぞれ検出することができるように配置された複数の検出部からなる
ことを特徴とする請求項9に記載の計測装置。 - 前記波長選択手段は、前記コヒーレント光の波長が一定に保たれた場合において、前記ラマン散乱光の波長域の光を透過する特性を備えた第1の帯域通過フィルタからなり、
前記分光手段は、前記蛍光の波長域の光を透過する特性を備えた第2の帯域通過フィルタと、前記集光されたラマン散乱光及び蛍光からなる光束を前記第1の帯域通過フィルタ及び前記第2の帯域通過フィルタに入れ替わりで入射させることができるフィルタ入れ替え手段とをさらに備え、
前記検出手段は、前記フィルタ入れ替え手段によって入れ替えられた前記第1の帯域通過フィルタ又は前記第2の帯域通過フィルタの透過光を検出することができる検出部からなり、
前記演算手段はさらに、前記フィルタ入れ替え手段によって前記集光されたラマン散乱光及び蛍光からなる光束を前記第1の帯域通過フィルタ及び前記第2の帯域通過フィルタのいずれに入射させるかを制御することができ、かつ、前記検出部が得る検出値が前記第1の帯域通過フィルタ及び前記第2の帯域通過フィルタのいずれの透過光から得られたかを区別することによって前記分離されたラマン散乱光の波長域の光の強度帯域幅積及び蛍光強度のスペクトル積分値をそれぞれ検出することができる
ことを特徴とする請求項9に記載の計測装置。 - 前記コヒーレント光の波長を可変に制御することができる波長制御手段をさらに備え、
前記波長選択手段は、所定の波長域の光を透過する特性を備えた帯域通過フィルタからなり、
前記検出手段は、前記帯域通過フィルタの透過光を検出することができる検出部からなり、
前記分光手段は、前記ラマン散乱光の波長域が前記所定の波長域に合うように前記波長制御手段が前記コヒーレント光の波長を制御したときに前記検出部が検出する前記ラマン散乱光の波長域の光を、前記ラマン散乱光の波長域が前記所定の波長域と異なるように前記波長制御手段が前記コヒーレント光の波長を制御したときに前記検出部が検出する前記蛍光から分離することができる
ことを特徴とする請求項9に記載の計測装置。 - 前記コヒーレント光の波長が固定された光源をさらに備えたことを特徴とする請求項9ないし請求項14のいずれか1項に記載の計測装置。
- 前記コヒーレント光の波長が可変にされた光源をさらに備えたことを特徴とする請求項9又は請求項15のいずれか1項に記載の計測装置。
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06138035A (ja) * | 1992-10-27 | 1994-05-20 | Fuji Electric Co Ltd | 炭素膜の検査方法および磁気記録媒体の製造方法 |
US7359040B1 (en) * | 2006-10-13 | 2008-04-15 | Itt Manufacturing Enterprises, Inc. | Simultaneous capture of fluorescence signature and raman signature for spectroscopy analysis |
JP2008096432A (ja) * | 2006-10-06 | 2008-04-24 | Wafermasters Inc | ラマン及びフォトルミネッセンス分光法 |
JP2009513990A (ja) * | 2005-11-01 | 2009-04-02 | ノースウエスタン ユニバーシティ | マイクロチャネル分離用マトリックス、ダイナミックポリマーシステム及び組成物 |
JP2009103479A (ja) * | 2007-10-22 | 2009-05-14 | National Maritime Research Institute | 水質モニタ方法及び装置 |
JP2010501251A (ja) * | 2006-08-22 | 2010-01-21 | バイエル・ヘルスケア・エルエルシー | ソフトウェアを使用して光学的異常に関してスペクトル画像を補正する方法 |
WO2012076810A1 (fr) * | 2010-12-07 | 2012-06-14 | Ecole Polytechnique | Systeme et procede d'imagerie multitechniques pour l'analyse chimique, biologique ou biochiimique d'un echantillon. |
-
2014
- 2014-09-09 JP JP2014182955A patent/JP6488501B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06138035A (ja) * | 1992-10-27 | 1994-05-20 | Fuji Electric Co Ltd | 炭素膜の検査方法および磁気記録媒体の製造方法 |
JP2009513990A (ja) * | 2005-11-01 | 2009-04-02 | ノースウエスタン ユニバーシティ | マイクロチャネル分離用マトリックス、ダイナミックポリマーシステム及び組成物 |
JP2010501251A (ja) * | 2006-08-22 | 2010-01-21 | バイエル・ヘルスケア・エルエルシー | ソフトウェアを使用して光学的異常に関してスペクトル画像を補正する方法 |
JP2008096432A (ja) * | 2006-10-06 | 2008-04-24 | Wafermasters Inc | ラマン及びフォトルミネッセンス分光法 |
US7359040B1 (en) * | 2006-10-13 | 2008-04-15 | Itt Manufacturing Enterprises, Inc. | Simultaneous capture of fluorescence signature and raman signature for spectroscopy analysis |
JP2009103479A (ja) * | 2007-10-22 | 2009-05-14 | National Maritime Research Institute | 水質モニタ方法及び装置 |
WO2012076810A1 (fr) * | 2010-12-07 | 2012-06-14 | Ecole Polytechnique | Systeme et procede d'imagerie multitechniques pour l'analyse chimique, biologique ou biochiimique d'un echantillon. |
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