JP2015076651A - 水晶振動素子の製造方法 - Google Patents
水晶振動素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015076651A JP2015076651A JP2013209878A JP2013209878A JP2015076651A JP 2015076651 A JP2015076651 A JP 2015076651A JP 2013209878 A JP2013209878 A JP 2013209878A JP 2013209878 A JP2013209878 A JP 2013209878A JP 2015076651 A JP2015076651 A JP 2015076651A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- groove
- vibrating arm
- protrusion
- corrosion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Description
基部と、この基部から同一方向に延設された二本の振動腕部と、これらの振動腕部に当該振動腕部の長手方向に沿って設けられ、互いに対向する第一溝面及び第二溝面を有する溝部と、を備えた水晶振動素子を製造する方法であって、
水晶ウェハの表裏に耐食膜を形成する耐食膜形成工程と、
前記耐食膜上に感光性レジスト膜を形成する感光性レジスト膜形成工程と、
前記基部及び前記二本の振動腕部となる部分の前記感光性レジスト膜を残し、前記溝部となる部分にエッチング抑制パターンとしての前記感光性レジスト膜を残し、かつ、不要な前記感光性レジスト膜を除去する露光現像工程と、
前記感光性レジスト膜で覆われていない前記耐食膜を除去することにより前記耐食膜からなるマスクを作成するパターニング工程と、
前記耐食膜からなるマスクを用いて前記水晶ウェハをウェットエッチングするウェットエッチング工程と、
を含み、
前記エッチング抑制パターンは、前記第一溝面となる部分から前記第二溝面となる部分へ向けて突き出る第一突起と、この第一突起の先端から前記振動腕部の長手方向に沿って突き出る第二突起とを有する、
ことを特徴とする。
・耐食膜32上に感光性レジスト膜33を形成する感光性レジスト膜形成工程(図3ステップS2、図4[2])。
・基部11及び振動腕部12a,12bとなる部分の感光性レジスト膜33を残し、溝部13a,13b,14a,14bとなる部分にエッチング抑制パターン40(図6)としての感光性レジスト膜33を残し、かつ、不要な感光性レジスト膜33を除去する露光現像工程(図3ステップS3、図4[3])。
・感光性レジスト膜33で覆われていない耐食膜32を除去することにより耐食膜32からなるマスクを作成するパターニング工程(図3ステップS4、図5[4])。
・耐食膜32からなるマスクを用いて水晶ウェハ31をウェットエッチングするウェットエッチング工程(図3ステップS5、図5[5])。
耐食膜形成工程では、水晶ウェハ31の表裏に耐食膜32を形成する。例えば、スパッタによりクロム又はクロム及び金の二層からなる耐食膜32を成膜する。
感光性レジスト膜形成工程では、耐食膜32上に感光性レジスト膜33を形成する。感光性レジスト膜33は、例えばポジ型を使用する。
露光現像工程では、耐食膜32上に感光性レジスト膜33を露光・現像する。つまり、露光機を用いて感光性レジスト膜33に所定のパターンを転写し、現像処理によって光の当たった部分の感光性レジスト膜33を除去する。
パターニング工程では、感光性レジスト膜33で覆われていない耐食膜32を除去することにより、耐食膜32からなるマスクを作成する。耐食膜32の除去には、耐食膜32のみをエッチングし、水晶ウェハ31をエッチングしない強酸を用いる。この耐食膜32からなるマスクも、図6に示す平面形状となる。
ウェットエッチング工程では、耐食膜32からなるマスクを用いて水晶ウェハ31をウェットエッチングする。このウェットエッチングには、フッ酸を用いる。図5[5]では、感光性レジスト膜33が除去されているが、感光性レジスト膜33を残しておき又は新たな感光性レジスト膜を形成し直して、次の工程でリフトオフを用いて電極等を形成してもよい。
11 基部
12a 振動腕部
121a 外側面
122a 内側面
13a 溝部
131a 第一溝面
132a 第二溝面
14a 溝部
141a 第一溝面
142a 第二溝面
12b 振動腕部
121b 内側面
122b 外側面
13b 溝部
131b 第一溝面
132b 第二溝面
14b 溝部
141b 第一溝面
142b 第二溝面
21a,21b 励振電極
22a,22b 電極パッド
23a,23b 配線パターン
24a,24b 周波数調整用金属膜
32 耐食膜
33 感光性レジスト膜
131 第一溝面となる部分
132 第二溝面となる部分
140 溝部となる部分
141 第一溝面となる部分
142 第二溝面となる部分
40 エッチング抑制パターン
41 第一突起
42 第二突起
50 エッチング抑制パターン
52 第二突起
521,522 突起
90 突起(エッチング抑制パターン)
91 突起の長さ
92 突起の幅
93 距離
Claims (3)
- 基部と、この基部から同一方向に延設された二本の振動腕部と、これらの振動腕部に当該振動腕部の長手方向に沿って設けられ、互いに対向する第一溝面及び第二溝面を有する溝部と、を備えた水晶振動素子を製造する方法であって、
水晶ウェハの表裏に耐食膜を形成する耐食膜形成工程と、
前記耐食膜上に感光性レジスト膜を形成する感光性レジスト膜形成工程と、
前記基部及び前記二本の振動腕部となる部分の前記感光性レジスト膜を残し、前記溝部となる部分にエッチング抑制パターンとしての前記感光性レジスト膜を残し、かつ、不要な前記感光性レジスト膜を除去する露光現像工程と、
前記感光性レジスト膜で覆われていない前記耐食膜を除去することにより前記耐食膜からなるマスクを作成するパターニング工程と、
前記耐食膜からなるマスクを用いて前記水晶ウェハをウェットエッチングするウェットエッチング工程と、
を含み、
前記エッチング抑制パターンは、前記第一溝面となる部分から前記第二溝面となる部分へ向けて突き出る第一突起と、この第一突起の先端から前記振動腕部の長手方向に沿って突き出る第二突起とを有する、
ことを特徴とする水晶振動素子の製造方法。 - 水晶の頂点を通る結晶軸をZ軸、このZ軸に垂直な平面内の稜線を結ぶ三つの結晶軸をX軸、前記X軸及び前記Z軸に直交する座標軸をY軸とし、これらのX軸、Y軸及びZ軸からなる座標系を前記X軸を中心として±5度の範囲で回転させたときの回転後の前記Y軸及び前記Z軸を、それぞれY’軸及びZ’軸とした場合、
前記二本の振動腕部の延設方向が前記Y’軸の方向であり、前記二本の振動腕部の並ぶ方向が前記X軸の方向であり、
前記溝部の中心から見て前記X軸側が前記第一溝面であり、前記溝部の中心から見て前記X軸の反対側である−X軸側が前記第二溝面であり、
前記第一突起は、前記Z’軸を中心として前記Y’軸から時計回りに60±5度又は120±5度の方向に突き出る、
請求項1記載の水晶振動素子の製造方法。 - 前記第二突起は、前記振動腕部の延設方向に突き出る突起と、前記振動腕部の延設方向の反対方向に突き出る突起とを有する、
請求項1又は2記載の水晶振動素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013209878A JP6105448B2 (ja) | 2013-10-07 | 2013-10-07 | 水晶振動素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013209878A JP6105448B2 (ja) | 2013-10-07 | 2013-10-07 | 水晶振動素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015076651A true JP2015076651A (ja) | 2015-04-20 |
JP6105448B2 JP6105448B2 (ja) | 2017-03-29 |
Family
ID=53001226
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013209878A Expired - Fee Related JP6105448B2 (ja) | 2013-10-07 | 2013-10-07 | 水晶振動素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6105448B2 (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002141770A (ja) * | 2000-11-01 | 2002-05-17 | Citizen Watch Co Ltd | 小型振動子 |
JP2003087078A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-20 | Citizen Watch Co Ltd | 水晶振動子構造体 |
JP2004200915A (ja) * | 2002-12-17 | 2004-07-15 | Seiko Epson Corp | 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器 |
JP2004260593A (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-16 | Seiko Epson Corp | 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器 |
JP2011217039A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Kyocera Kinseki Corp | 音叉型水晶片の製造方法 |
JP2011217040A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Kyocera Kinseki Corp | 音叉型水晶片の製造方法 |
JP2011217041A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Kyocera Kinseki Corp | 音叉型水晶片の製造方法 |
-
2013
- 2013-10-07 JP JP2013209878A patent/JP6105448B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002141770A (ja) * | 2000-11-01 | 2002-05-17 | Citizen Watch Co Ltd | 小型振動子 |
JP2003087078A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-20 | Citizen Watch Co Ltd | 水晶振動子構造体 |
JP2004200915A (ja) * | 2002-12-17 | 2004-07-15 | Seiko Epson Corp | 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器 |
JP2004260593A (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-16 | Seiko Epson Corp | 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器 |
JP2011217039A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Kyocera Kinseki Corp | 音叉型水晶片の製造方法 |
JP2011217040A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Kyocera Kinseki Corp | 音叉型水晶片の製造方法 |
JP2011217041A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Kyocera Kinseki Corp | 音叉型水晶片の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6105448B2 (ja) | 2017-03-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5941802B2 (ja) | 水晶振動素子及びその製造方法 | |
JP5534828B2 (ja) | 音叉型屈曲水晶振動素子 | |
JP5520618B2 (ja) | 音叉型屈曲水晶振動素子 | |
JP5465573B2 (ja) | 音叉型水晶片の製造方法 | |
JP2013009221A (ja) | 屈曲振動片、その製造方法及び電子機器 | |
JP5468444B2 (ja) | 音叉型水晶片の製造方法 | |
JP5465572B2 (ja) | 音叉型水晶片の製造方法 | |
JP5890271B2 (ja) | 音叉型屈曲水晶振動素子及びその製造方法 | |
JP6105448B2 (ja) | 水晶振動素子の製造方法 | |
JP6163379B2 (ja) | 水晶振動素子の製造方法 | |
JP6055294B2 (ja) | 圧電素子の製造方法 | |
JP6055273B2 (ja) | 圧電素子の製造方法 | |
JP6163404B2 (ja) | 圧電素子の製造方法 | |
JP6043588B2 (ja) | 水晶振動素子及びその製造方法 | |
JP6279386B2 (ja) | 水晶振動素子及びその製造方法 | |
JP6005001B2 (ja) | 水晶振動素子及びその製造方法 | |
JP2011182113A (ja) | 音叉型屈曲水晶振動素子 | |
JP6150433B2 (ja) | 水晶振動素子及びその製造方法 | |
JP6457199B2 (ja) | 水晶振動素子及びその製造方法 | |
JP6590482B2 (ja) | 水晶振動素子 | |
JP2021040175A (ja) | 音叉型水晶素子、水晶デバイス及び電子機器 | |
JP2015091052A (ja) | 圧電素子の製造方法 | |
JP2007295555A (ja) | 水晶振動子及びその製造方法並びに水晶振動子パッケージ | |
JP2015091051A (ja) | 圧電素子の製造方法 | |
JP2015019139A (ja) | 圧電素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160513 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170131 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170207 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170302 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6105448 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |