JP5890271B2 - 音叉型屈曲水晶振動素子及びその製造方法 - Google Patents
音叉型屈曲水晶振動素子及びその製造方法 Download PDFInfo
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Description
基部と、この基部から同じ一方向に延設された二本の振動腕部と、これらの二本の振動腕部の間の前記基部から前記一方向へ延設された突起部と、この突起部に設けられたスリットと、からなる水晶振動片を備え、
前記突起部は、前記基部から最も離れた先端と、前記基部に最も近い基端と、この基端と前記先端との間の移行領域と、に分けられ、
前記スリットは前記基部側から前記一方向に沿って前記先端まで設けられ、
前記移行領域において前記一方向と垂直かつ前記二本の振動腕部に交差する方向の長さを幅としたとき、この幅は前記先端から前記基端へ進むに従い広くなる、
ことを特徴とする。
水晶基板上に耐食膜を成膜しパターン化する第一工程と、
前記耐食膜上及び前記スリットとなる前記水晶基板の露出部分上にレジストパターンを形成する第二工程と、
前記耐食膜で覆われていない前記水晶基板の露出部分をウェットエッチングで除去することにより前記水晶振動片を形成する第三工程と、
前記レジストパターンで覆われていない前記耐食膜を除去する第四工程と、
前記スリット内を除く前記水晶振動片の露出部分上及び前記レジストパターン上に電極膜を形成する第五工程と、
前記レジストパターン上に形成された前記電極膜を前記レジストパターンとともに除去する第六工程と、
前記レジストパターンが除去されたことにより露出した前記耐食膜を除去する第七工程と、
を含むことを特徴とする。
10 水晶振動片
11 基部
12 振動腕部
12a 第一振動腕部
12b 第二振動腕部
13 突起部
131 先端
132 移行領域
133 基端
13w 幅
14 スリット
15a,15b 残渣
161,162,163,164 溝部
21a,21b 励振電極
22a,22b 接続電極
23a,23b 配線パターン
31 水晶基板
311 露出部分
32 耐食膜
33 レジストパターン
34 電極膜
431 先端
432 移行領域
433 基端
43w 幅
10’ 水晶振動片
13’ 突起部
13w’ 幅
15a’,15b’ 残渣
Claims (5)
- 基部と、この基部から同じ一方向に延設された二本の振動腕部と、これらの二本の振動腕部の間の前記基部から前記一方向へ延設された突起部と、この突起部に設けられたスリットと、からなる水晶振動片を備え、
前記突起部は、前記基部から最も離れた先端と、前記基部に最も近い基端と、この基端と前記先端との間の移行領域と、に分けられ、
前記スリットは前記基部側から前記一方向に沿って前記先端まで設けられ、
前記移行領域において前記一方向と垂直かつ前記二本の振動腕部に交差する方向の長さを幅としたとき、この幅は前記先端から前記基端へ進むに従い広くなる、
ことを特徴とする音叉型屈曲水晶振動素子。 - 前記基端は、前記二本の振動腕部の前記基部に対する根元まで達する、
請求項1記載の音叉型屈曲水晶振動素子。 - 前記移行領域の形状が三角形状である、
請求項1又は2記載の音叉型屈曲水晶振動素子。 - 前記移行領域の形状が外側に凸となる半円状である、
請求項1乃至3のいずれか一つに記載の音叉型屈曲水晶振動素子。 - 請求項1乃至4のいずれか一つに記載の音叉型屈曲水晶振動素子を製造する方法であって、
水晶基板上に耐食膜を成膜しパターン化する第一工程と、
前記耐食膜上及び前記スリットとなる前記水晶基板の露出部分上にレジストパターンを形成する第二工程と、
前記耐食膜で覆われていない前記水晶基板の露出部分をウェットエッチングで除去することにより前記水晶振動片を形成する第三工程と、
前記レジストパターンで覆われていない前記耐食膜を除去する第四工程と、
前記スリット内を除く前記水晶振動片の露出部分上及び前記レジストパターン上に電極膜を形成する第五工程と、
前記レジストパターン上に形成された前記電極膜を前記レジストパターンとともに除去する第六工程と、
前記レジストパターンが除去されたことにより露出した前記耐食膜を除去する第七工程と、
を含むことを特徴とする音叉型屈曲水晶振動素子の製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012163411A JP5890271B2 (ja) | 2012-07-24 | 2012-07-24 | 音叉型屈曲水晶振動素子及びその製造方法 |
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JP2012163411A JP5890271B2 (ja) | 2012-07-24 | 2012-07-24 | 音叉型屈曲水晶振動素子及びその製造方法 |
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JP2014023134A JP2014023134A (ja) | 2014-02-03 |
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JP2012163411A Active JP5890271B2 (ja) | 2012-07-24 | 2012-07-24 | 音叉型屈曲水晶振動素子及びその製造方法 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5890271B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6150433B2 (ja) * | 2013-12-11 | 2017-06-21 | 京セラ株式会社 | 水晶振動素子及びその製造方法 |
JP2016133428A (ja) * | 2015-01-20 | 2016-07-25 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | センサ素子及び角速度センサ |
JP2017060130A (ja) * | 2015-09-18 | 2017-03-23 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 音叉型水晶振動素子 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09238041A (ja) * | 1996-02-28 | 1997-09-09 | Kinseki Ltd | 圧電素子板の接続端子構造及びその製造方法 |
JP2009152988A (ja) * | 2007-12-21 | 2009-07-09 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片、圧電デバイス及びそれらの製造方法 |
JP4778548B2 (ja) * | 2008-12-17 | 2011-09-21 | 日本電波工業株式会社 | 圧電フレーム、圧電デバイス及び圧電フレームの製造方法 |
JP5534828B2 (ja) * | 2010-01-21 | 2014-07-02 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 音叉型屈曲水晶振動素子 |
JP5520618B2 (ja) * | 2010-01-21 | 2014-06-11 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 音叉型屈曲水晶振動素子 |
JP5774295B2 (ja) * | 2010-11-30 | 2015-09-09 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電デバイス |
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2012
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014023134A (ja) | 2014-02-03 |
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