JP2015075399A - 電子デバイス、電子機器、及びセンサシステム - Google Patents
電子デバイス、電子機器、及びセンサシステム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015075399A JP2015075399A JP2013211905A JP2013211905A JP2015075399A JP 2015075399 A JP2015075399 A JP 2015075399A JP 2013211905 A JP2013211905 A JP 2013211905A JP 2013211905 A JP2013211905 A JP 2013211905A JP 2015075399 A JP2015075399 A JP 2015075399A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- electronic device
- electrode
- information
- sound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
Description
図1は、第1実施形態に係る電子デバイスの分解斜視図である。
第1実施形態では、図1に示したように、ガス検知電極4とヒータ7の各々をスペーサ3に設けた。ガス検知電極4とヒータ7を設ける部位はこれに限定されない。
第1実施形態と第2実施形態では、ガス検知電極4を加熱するためにヒータ7を設けた。本実施形態では、そのヒータ7に代えて以下のような光源を用いる。
第1〜第3実施形態では、ガス検知電極4からガス分子を脱離させるためにヒータ7(図1参照)や光源44(図18参照)を用いた。ガス検知電極4によって十分な感度でガスを検出できる場合には、本実施形態のようにヒータ7や光源44を省いてもよい。
本実施形態では第1実施形態で説明した電子デバイス10の適用例について説明する。なお、以下では電子デバイス10を例にして説明するが、電子デバイス10に代えて第2〜第4実施形態で説明した各電子デバイス40、43、45を用いてもよい。
図20は、本実施形態の第1例に係る電子機器の模式図である。
図22は、本実施形態の第2例に係る電子機器の模式図である。
図23は、本実施形態の第3例に係る電子機器について説明するための模式図である。
本実施形態では、第1実施形態で説明した電子デバイス10と発電素子とを混載してなる電子ユニットについて、その製造方法を追いながら説明する。
本実施形態では、第6実施形態で説明した電子ユニット90を利用したセンサシステムについて説明する。
前記振動電極に対向し、外気が流通する孔を備えた前記マイクロフォンの固定電極と、
前記振動電極と前記固定電極との間に設けられたガス検知電極と、
を有することを特徴とする電子デバイス。
前記振動電極によって前記第1のキャビティが塞がれたことを特徴とする付記1に記載の電子デバイス。
前記第2のキャビティに前記ガス検知電極が表出し、
前記スペーサに、前記ヒータの熱を遮断する断熱構造が設けられたことを特徴とする付記3に記載の電子デバイス。
音とガスを検知して、音に係る第2の音情報とガスに関する第2のガス情報とを出力する第2の電子デバイスと、
前記第1の音情報と前記第2の音情報との差を求めることにより、前記1の音情報と前記第2の音情報の各々に共通に含まれるノイズ成分をキャンセルする第1のノイズキャンセル回路と、
前記第1のガス情報と前記第2のガス情報との差を求めることにより、前記1のガス情報と前記第2のガス情報の各々に共通に含まれるノイズ成分をキャンセルする第2のノイズキャンセル回路と、
を有することを特徴とする電子機器。
マイクロフォンの振動電極と、
前記振動電極に対向し、外気が流通する孔を備えた前記マイクロフォンの固定電極と、
前記振動電極と前記固定電極との間に設けられたガス検知電極とを有することを特徴とする付記8に記載の電子機器。
前記電子デバイスが、
マイクロフォンの振動電極と、
前記振動電極に対向し、外気が流通する孔を備えた前記マイクロフォンの固定電極と、
前記振動電極と前記固定電極との間に設けられたガス検知電極と、
を有することを特徴とするセンサシステム。
Claims (7)
- マイクロフォンの振動電極と、
前記振動電極に対向し、外気が流通する孔を備えた前記マイクロフォンの固定電極と、
前記振動電極と前記固定電極との間に設けられたガス検知電極と、
を有することを特徴とする電子デバイス。 - 第1のキャビティを備えた本体を更に有し、
前記振動電極によって前記第1のキャビティが塞がれたことを特徴とする請求項1に記載の電子デバイス。 - 前記ガス検知電極を加熱するヒータを更に有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の電子デバイス。
- 前記振動電極と前記固定電極との間に設けられ、前記振動電極及び前記固定電極と協働して第2のキャビティを形成するスペーサを更に有し、
前記第2のキャビティに前記ガス検知電極が表出し、
前記スペーサに、前記ヒータの熱を遮断する断熱構造が設けられたことを特徴とする請求項2に記載の電子デバイス。 - 前記ガス検知電極の表面に紫外線を照射する光源を更に有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の電子デバイス。
- 音とガスを検知して、音に係る第1の音情報とガスに係る第1のガス情報とを出力する第1の電子デバイスと、
音とガスを検知して、音に係る第2の音情報とガスに関する第2のガス情報とを出力する第2の電子デバイスと、
前記第1の音情報と前記第2の音情報との差を求めることにより、前記1の音情報と前記第2の音情報の各々に共通に含まれるノイズ成分をキャンセルする第1のノイズキャンセル回路と、
前記第1のガス情報と前記第2のガス情報との差を求めることにより、前記1のガス情報と前記第2のガス情報の各々に共通に含まれるノイズ成分をキャンセルする第2のノイズキャンセル回路と、
を有することを特徴とする電子機器。 - 発電素子と、前記発電素子で発電された電力で駆動して環境に係る情報を取得する電子デバイスと、前記情報を送信する送信回路とを備えた電子ユニットを複数有し、
前記電子デバイスが、
マイクロフォンの振動電極と、
前記振動電極に対向し、外気が流通する孔を備えた前記マイクロフォンの固定電極と、
前記振動電極と前記固定電極との間に設けられたガス検知電極と、
を有することを特徴とするセンサシステム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013211905A JP6179330B2 (ja) | 2013-10-09 | 2013-10-09 | 電子デバイス、及びセンサシステム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013211905A JP6179330B2 (ja) | 2013-10-09 | 2013-10-09 | 電子デバイス、及びセンサシステム |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017105870A Division JP6330952B2 (ja) | 2017-05-29 | 2017-05-29 | 電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015075399A true JP2015075399A (ja) | 2015-04-20 |
JP6179330B2 JP6179330B2 (ja) | 2017-08-16 |
Family
ID=53000363
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013211905A Active JP6179330B2 (ja) | 2013-10-09 | 2013-10-09 | 電子デバイス、及びセンサシステム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6179330B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210036545A (ko) * | 2019-09-26 | 2021-04-05 | 한국광기술원 | 복합센서를 이용한 ess 화재 및 운영환경 모니터링 장치 및 시스템 |
DE102016208360B4 (de) | 2015-06-24 | 2023-08-24 | Infineon Technologies Ag | Kombination eines MEMS-Gassensors und eines MEMS-Schallwandlers und zugehöriges Herstellungsverfahren |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1172476A (ja) * | 1997-07-02 | 1999-03-16 | Riken Corp | 窒素酸化物ガスセンサ |
JP2001021514A (ja) * | 1999-07-09 | 2001-01-26 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガス検知装置及びガス検知方法 |
JP2003344336A (ja) * | 2002-05-31 | 2003-12-03 | Arusu:Kk | 飲酒確認機能付き装置 |
US20070005524A1 (en) * | 2005-02-13 | 2007-01-04 | Iwachin Walter N | Connected online reactive advertising lite board |
JP2008113894A (ja) * | 2006-11-06 | 2008-05-22 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及び、電子装置 |
JP2008185495A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ガスセンサー |
JP2009258027A (ja) * | 2008-04-19 | 2009-11-05 | Daiichikosho Co Ltd | 飲酒運転確認機能付き出庫精算システム |
JP2011514505A (ja) * | 2007-12-05 | 2011-05-06 | ヴァルション テクニッリネン トゥトキムスケスクス | 圧力,音圧の変動,磁界,加速度,振動または気体の組成を測定する装置 |
WO2013124170A2 (de) * | 2012-02-24 | 2013-08-29 | Epcos Ag | Verfahren zur herstellung eines sensors |
-
2013
- 2013-10-09 JP JP2013211905A patent/JP6179330B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1172476A (ja) * | 1997-07-02 | 1999-03-16 | Riken Corp | 窒素酸化物ガスセンサ |
JP2001021514A (ja) * | 1999-07-09 | 2001-01-26 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガス検知装置及びガス検知方法 |
JP2003344336A (ja) * | 2002-05-31 | 2003-12-03 | Arusu:Kk | 飲酒確認機能付き装置 |
US20070005524A1 (en) * | 2005-02-13 | 2007-01-04 | Iwachin Walter N | Connected online reactive advertising lite board |
JP2008113894A (ja) * | 2006-11-06 | 2008-05-22 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及び、電子装置 |
JP2008185495A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ガスセンサー |
JP2011514505A (ja) * | 2007-12-05 | 2011-05-06 | ヴァルション テクニッリネン トゥトキムスケスクス | 圧力,音圧の変動,磁界,加速度,振動または気体の組成を測定する装置 |
JP2009258027A (ja) * | 2008-04-19 | 2009-11-05 | Daiichikosho Co Ltd | 飲酒運転確認機能付き出庫精算システム |
WO2013124170A2 (de) * | 2012-02-24 | 2013-08-29 | Epcos Ag | Verfahren zur herstellung eines sensors |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102016208360B4 (de) | 2015-06-24 | 2023-08-24 | Infineon Technologies Ag | Kombination eines MEMS-Gassensors und eines MEMS-Schallwandlers und zugehöriges Herstellungsverfahren |
KR20210036545A (ko) * | 2019-09-26 | 2021-04-05 | 한국광기술원 | 복합센서를 이용한 ess 화재 및 운영환경 모니터링 장치 및 시스템 |
KR102280816B1 (ko) * | 2019-09-26 | 2021-07-22 | 한국광기술원 | 복합센서를 이용한 ess 화재 및 운영환경 모니터링 장치 및 시스템 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6179330B2 (ja) | 2017-08-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20200196065A1 (en) | Microphone assemblies including integrated vibration transducer and wearable devices including the same | |
TWI710758B (zh) | 氣體偵測裝置 | |
US8253242B2 (en) | Sensor assembly | |
US10276147B2 (en) | Microphone system and method for manufacturing the same | |
KR20180080705A (ko) | 풍속계를 위한 시스템 및 방법 | |
WO2011148740A1 (ja) | 音響センサ、音響トランスデューサ、該音響トランスデューサを利用したマイクロフォン、および音響トランスデューサの製造方法 | |
US20160275771A1 (en) | A device for converting a movement of a user into a voltage | |
US10349188B2 (en) | MEMS microphone system and method | |
CN105704629B (zh) | 麦克风及制造该麦克风的方法 | |
KR101870023B1 (ko) | 패키징된 mems 디바이스를 위한 시스템 및 방법 | |
US20130129118A1 (en) | Micro-electro-mechanical microphone and method for manufacturing the same | |
JP6179330B2 (ja) | 電子デバイス、及びセンサシステム | |
JP2008271425A (ja) | 音響センサおよびその製造方法 | |
US9595992B2 (en) | Electronic apparatus | |
US20190194013A1 (en) | Microphone with integrated gas sensor | |
JP2007013509A (ja) | 音響センサおよびダイアフラム | |
US20160142827A1 (en) | Electronic apparatus | |
JP2007124306A (ja) | 情報表示装置 | |
CN104155035B (zh) | 压力传感器的形成方法 | |
JP6330952B2 (ja) | 電子機器 | |
TW200831394A (en) | Ultra-low pressure sensor and method of fabrication of same | |
JP2009213126A (ja) | 静電センサを用いたリモートコントロール装置および電子機器、ならびにスイッチの制御方法 | |
WO2015064682A1 (ja) | 金属体付きサファイア構造体、金属体付きサファイア構造体の製造方法、電子機器、および外装体 | |
JP2007064919A (ja) | 静電容量型力学量センサ | |
KR101684537B1 (ko) | 마이크로폰, 이의 제조 방법 및 제어 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160606 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170328 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170331 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170529 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170620 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170703 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6179330 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |