JP2015064416A - ペリクル - Google Patents
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Abstract
本発明の目的は、軽度の剥離力で剥離が可能な離型性ライナーを有するペリクルを提供することにある。
【解決手段】
本発明のペリクルは、ペリクル膜と、このペリクル膜が一方の端面に貼り付けられたペリクルフレームと、このペリクルフレームの他方の端面に設けられたペリクルをガラス基盤に貼り付けるための粘着剤と、この粘着剤を保護するための離型性ライナーを有するペリクルであって、この離型性ライナーの離型側の表面粗さが5μm〜30μmであることを特徴とする。したがって、ペリクルの粘着剤層に対して安定した良好な剥離性を有するので、オートマウンターに対する適正が極めて高く、マニュアル操作でのライナー剥離においてもペリクルに過大な力を与えることがない。
【選択図】図1
Description
<実施例1>
はじめに、外寸149×113mm、内寸145×109mm、高さ4.5mmの大きさで、上端面及び下端面の各々の外内両辺縁部がR加工された長方形のアルミニウム合金製ペリクルフレーム12を機械加工により製作し、その表面に黒色アルマイト処理を施した。その後、このペリクルフレーム12をクリーンルームに搬入し、中性洗剤と純水により、十分に洗浄し乾燥させた。
離型性ライナー14として基材となるPETフィルムにシリカ粉末を添加し、表面粗さが5μmであるライナーを使用した他は実施例1と同様にペリクル1を作製し、離型性ライナー14を貼り付けた。
離型性ライナー14として基材となるPETフィルムにシリカ粉末を添加し、表面粗さが30μmであるライナーを使用した他は実施例1と同様にペリクル1を作製し、離型性ライナー14を貼り付けた。
粘着剤13としてアクリル粘着剤SK−1495(綜研化学株式会社製)を使用した他は実施例1と同様にペリクル1を作製し、離型性ライナー14を貼り付けた。
離型性ライナー14として基材となるPETフィルムに何も処理せず、表面粗さが1.5μmである離型性ライナー14を使用した他は実施例1と同様にペリクル1を作製し、離型性ライナー14を貼り付けた。
離型性ライナー14として基材となるPETフィルムにブラスト処理を施し、表面粗さが55μmである離型性ライナー14を使用した他は実施例1と同様にペリクル1を作製し、離型性ライナー14を貼り付けた。
前記実施例1〜4及び比較例1、2について、その離型性ライナー14の離型側の表面粗さをLEXT_OLS4000(オリンパス株式会社製)により測定した。測定条件は、JIS_B_0601に準じて行い、測定長は2570μmにて測定を行った。
また、前記実施例1〜4及び比較例1、2について、その離型性ライナー14をペリクル1の粘着剤13から剥離するときの剥離力を測定した。測定は、ペリクル1を固定し、オートグラフAGS−500G(島津製作所株式会社製)にて、離型性ライナー14がペリクル1から完全に剥離するまで離型性ライナー14を引っ張り、その間の最大剥離力を測定した。引っ張り方向はフレームと90°方向であり、引っ張り速度は500mm/minである。
さらに、前記実施例1〜4及び比較例1、2について、その離型性ライナー14をペリクル1から剥離した後、ペリクル1の粘着剤13の表面を目視にて観察した。
11 ペリクル膜
12 ペリクルフレーム
13 粘着剤
14 離型性ライナー(離型シート)
Claims (2)
- ペリクル膜と、該ペリクル膜が一方の端面に貼り付けられたペリクルフレームと、該ペリクルフレームの他方の端面に設けられたペリクルをガラス基盤に貼り付けるための粘着剤と、該粘着剤を保護するための離型性ライナーを有するペリクルであって、前記離型性ライナーの離型側の表面粗さが5μm〜30μmであることを特徴とするペリクル。
- 前記離型性ライナーは、その基材が可撓性の樹脂フィルムであることを特徴とする請求項1に記載のペリクル。
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