JP2015062030A - 角度測定方法及び角度測定システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被測定物1の回転軸(回転駆動軸)に取り付けられる回転体である回転軸3と、回転軸3を支持する支持基準体であるエンコーダ本体2aとを有し、エンコーダ本体2aに対する回転軸3の相対的な回転角度を検出する相対的角度検出手段としてのロータリエンコーダ2と、回転軸3及びエンコーダ本体2aから切り離された位置から、エンコーダ本体2aの位置を光学的に検出する光学式位置確認手段としての非接触角度検出手段20とを備える。これにより、ロータリエンコーダ2が検出した回転角度を、非接触角度検出手段20で検出した位置に基づいて補正することができ、回転角度を高精度且つ短時間で測定することが可能となる。
【選択図】 図1
Description
θr=θp=tan−1{(A/2×sinθ)/(A/2×cosθ+B)}
数1にて、Aはエンコーダ読取ヘッド13によるエンコーダ14の読取位置を示す円の直径、Bは非接触測位手段20により測定された偏心量、θは被測定物1の回転軸1aの回転角度である。
B=L/sinθ
偏心量Bは、図6に示したように、回転角度の測定開始から測定終了までにおける変位Lを、エンコーダ本体2aの変位として非接触測位手段20により測定し、その変位Lに基づいて数2により算出することが可能である。例えばθ=θpとして求める。
Δθr=θr−θ
したがって、回転角度の測定値θrを偏心量Bを用いて補正することで、Δθrをゼロに設定する。前述の数1をθについて解けばよい。
図9は、第2実施形態における角度測定システム200の一例の全体構成図である。図9にて、図1〜3に示した第1実施形態と同じ構成要素には、同じ符号を付した。以下では、第1実施形態で説明した内容については説明を省略し、主として第1実施形態と異なる点を説明する。
図11に示すように、第3実施形態に係る角度測定システム300は、非接触測位手段20及び非接触角度検出手段40を含んで構成されている。図11にて、回転角度補正手段50は、ロータリエンコーダ2を用いて測定した回転角度θrを、非接触測位手段20により検出した偏心量B、及び、非接触角度検出手段40で検出された傾斜角度(以下「θ2」とする)に基づいて、補正する。ロータリエンコーダ2、回転角度検出部9、及び非接触測位手段20は、第1実施形態にて説明したものと同じであり、説明を省略する。回転角度補正手段50は、図1に示したデータ処理装置12によって構成されている。
第4実施形態における角度測定システムの概要は、図11に示した第3実施形態における角度測定システム300と同様である。
Claims (5)
- 回転駆動軸に取り付けられる回転体と、前記回転体を支持する支持基準体とを有し、前記支持基準体に対する前記回転体の相対的な回転角度を検出する相対角度検出手段と、
前記回転体及び前記支持基準体から切り離された位置から、前記支持基準体の位置を光学的に検出する光学式位置確認手段と、
を備える角度測定システム。 - 前記相対角度検出手段は、ロータリエンコーダである請求項1に記載の角度測定システム。
- 前記光学式位置確認手段は、レーザ干渉計を用いたものである請求項1または2に記載の角度測定システム。
- 前記光学式位置確認手段は、前記回転体の回転軸に対して垂直方向から照射した2本のレーザービームの光路差を確認するものである請求項3に記載の角度測定システム。
- 回転駆動軸に取り付けられる回転体と、前記回転体を支持する支持基準体との相対的な回転角度を検出する相対角度検出ステップと、
前記回転体及び前記支持基準体から切り離された位置から、前記支持基準体の位置を光学的に検出する光学式位置確認ステップと、
を含む角度測定方法。
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