JP2015017008A - 多孔質積層体、吸着緩衝材、及び吸着方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 無機焼結体及び/又は金属焼結体を含む焼結体(a)を有し、
該焼結体(a)の少なくとも片面に、通気性を有し、表面粗さ(Ra)が0.1〜20μmであるシート(b)が積層されている、
多孔質積層体。
【選択図】なし
Description
〔1〕
無機焼結体及び/又は金属焼結体を含む焼結体(a)を有し、
該焼結体(a)の少なくとも片面に、通気性を有し、表面粗さ(Ra)が0.1〜20μmであるシート(b)が積層されている、
多孔質積層体。
〔2〕
前記焼結体(a)の平均気孔径が、5〜600μmである、前項〔1〕に記載の多孔質積層体。
〔3〕
前記シート(b)が、織布、不織布、細孔シート、又は多孔質膜のいずれかである、前項〔1〕又は〔2〕に記載の多孔質積層体。
〔4〕
前記シート(b)の表面粗さ(Ra)が、0.1〜10μmである、前項〔1〕〜〔3〕のいずれか1項に記載の多孔質積層体。
〔5〕
厚さが1〜20mmである、前項〔1〕〜〔4〕のいずれか1項に記載の多孔質積層体。
〔6〕
通気量が0.01〜60cm3/cm2/sである、前項〔1〕〜〔5〕のいずれか1項に記載の多孔質積層体。
〔7〕
前項〔1〕〜〔6〕のいずれか1項に記載の多孔質積層体を含む、吸着緩衝材。
〔8〕
前項〔7〕に記載の吸着緩衝材を用いて薄膜を吸着する、吸着方法。
〔9〕
前記吸着緩衝材を吸着ステージの吸着面に装着し、前記吸着緩衝材上に前記薄膜を吸着する、前項〔8〕に記載の吸着方法。
〔10〕
焼結体(a)を吸着ステージの吸着面に装着し、シート(b)を前記焼結体(a)にさらに積層させて前記吸着緩衝材とし、該吸着緩衝材上に前記薄膜を吸着する、前項〔8〕に記載の吸着方法。
〔11〕
前記薄膜がセラミックグリーンシートである、前項〔8〕〜〔10〕のいずれか1項に記載の吸着方法。
本実施形態に係る多孔質積層体は、
無機焼結体及び/又は金属焼結体を含む焼結体(a)を有し、
該焼結体(a)の少なくとも片面に、通気性を有し、表面粗さ(Ra)が0.1〜20μmであるシート(b)が積層されている。
本実施形態に係る多孔質積層体は、無機焼結体及び/又は金属焼結体を含む焼結体(a)を有する。焼結体は連続気孔を有する多孔質体のため、減圧吸引時の空気の流路が複雑となり、吸引圧力を分散させることができる。そのため、このような焼結体(a)を有することにより、被吸着部材に歪みが生じるのを防ぐことができる。また、パンチングシートよりも焼結体の方が気孔径を小さくすることが容易であり、焼結体の気孔径は使用する原料粒子の粒径を変更するだけで調整することができるという利点もある。
本実施形態に係る多孔質積層体は、上記焼結体(a)の少なくとも片面に、通気性を有し、表面粗さ(Ra)が0.1〜20μmであるシート(b)が積層されたものである。このようなシート(b)を用いることにより、優れた表面平滑性を有し、その表面構造に切削又は研削又は研磨面がないため被吸着部材に傷がつくことを抑制でき、焼結体(a)からの原料粒子の脱落をより抑制することができる。
焼結体(a)とシート(b)を積層させるには、接着剤等を用いて接着してもよいし、熱によって融着させてもよい。
本実施形態に係る吸着緩衝材は、上記多孔質積層体を含む。本実施形態に係る多孔質積層体は、優れた表面平滑性を有し、その表面構造に切削又は研削又は研磨面がなく、原料粒子の脱落がないことから、吸着緩衝材として好適に用いることができる。「吸着緩衝材」とは、液晶用ガラス板や積層セラミックコンデンサ用のシート等の、薄膜状、板状、又はフィルム状の物を固定又は搬送するために、減圧吸引での吸着ステージで吸着固定又は吸着搬送する方法において、その吸着ステージの吸着面に装着するものである。
本実施形態に係る吸着方法は、吸着緩衝材を用いて薄膜を吸着する工程を有する。より具体的には、吸着緩衝材を吸着ステージの吸着面に装着し、吸着緩衝材上に薄膜状、板状、又はフィルム状の物を固定し、搬送することができる。吸着緩衝材の装着は減圧吸引などにより行なうことができるが、特に限定されない。
平均通気量の測定は、ポロシメータ(株式会社島津製作所社製「オートポアIV9500」)を用いて行なった。
表面粗さ(Ra)の測定は、触針式表面粗さ計(株式会社東京精密社製「ハンディサーフE−35B」)を用い、先端径R:5μm、速度:0.6mm/s、測定長:12.5mm、カットオフ値λc:2.5mmの条件にて行なった。測定位置は、被測定物の面の中心付近1箇所とした。上記測定の算術平均粗さを、表面粗さ(Ra)として求めた。
表面構造として、触針式表面粗さ計(株式会社東京精密社製「ハンディサーフE−35B」)を用い、先端径R:5μm、速度:0.6mm/s、測定長:1.3mm、カットオフ値λc:0.25mm、測定位置:被測定物の面の中心付近の条件にて測定したときの断面曲線を観察した。その結果を図1〜4に示す。
粉落ち性の測定は、原料粒子の色と反対色の紙の上で、200mm×200mmサイズの1枚の多孔質積層体をバイブレータ(神鋼電機株式会社製「バイブレートリパッカVP−15D」)を用いて2分間振動を加えた後、反対色の紙の上に原料粒子があるか否かを目視で確認し、以下の判定基準に基づき、評価した。
◎:原料粒子の脱落が殆どなかった。
○:原料粒子の脱落が極少量であった。
×:原料粒子の脱落が多数あった。
通気量の測定は、通気度測定機(TEXTEST社製「FX3360PORTAIR」)を用い、測定範囲20cm2、測定差圧125Paの条件にて行なった。
多孔質積層体の厚さは、1/1000mm読みのマイクロメータ(株式会社ミツトヨ社製「MDC−SB」)を用いて測定した。なお、測定数値は、小数点以下第3位まで測定し、小数点以下第3位の値を四捨五入した。
焼結体(a)として、セラミック焼結体(材質:アルミナ)FA220(富士ケミカル株式会社社製)を用いた。160℃に設定したホットメルトアプリケーターを用い、焼結体(a)にポリオレフィン系ホットメルト接着剤(Tex Year Industries Inc.社製、製品名966P)を20g/m2で繊維状にスプレー塗布した。シート(b)として、織布(経糸/緯糸:ポリエチレンテレフタレートモノフィラメント)L−screen165−027/420PW(株式会社NBCメッシュテック社製)を焼結体(a)上に積層させることで実施例1の多孔質積層体を得た。多孔質積層体の特性を表1と図1に示す。
シート(b)として、L−screen165−027/420PW(株式会社NBCメッシュテック社製)の代わりに、織布(経糸/緯糸:ステンレス材)BS−300/30(アサダメッシュ株式会社製)を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で実施例2の多孔質積層体を得た。実施例1と同様の評価を行った。その測定結果を表1と図2に示す。
シート(b)として、L−screen165−027/420PW(株式会社NBCメッシュテック社製)の代わりに、織布(経糸/緯糸:ステンレス材)BS−200/40(アサダメッシュ株式会社製)を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で実施例3の多孔質積層体を得た。実施例1と同様の評価を行った。その測定結果を表1と図3に示す。
焼結体(a)として、セラミック焼結体(材質:アルミナ)FA220(富士ケミカル株式会社社製)を用いた。該焼結体にシート(b)を積層させずにそのまま用いて、実施例1と同様の評価を行った。結果を表1と図4に示す。
Claims (11)
- 無機焼結体及び/又は金属焼結体を含む焼結体(a)を有し、
該焼結体(a)の少なくとも片面に、通気性を有し、表面粗さ(Ra)が0.1〜20μmであるシート(b)が積層されている、
多孔質積層体。 - 前記焼結体(a)の平均気孔径が、5〜600μmである、請求項1に記載の多孔質積層体。
- 前記シート(b)が、織布、不織布、細孔シート、又は多孔質膜のいずれかである、請求項1又は2に記載の多孔質積層体。
- 前記シート(b)の表面粗さ(Ra)が、0.1〜10μmである、請求項1〜3のいずれか1項に記載の多孔質積層体。
- 厚さが1〜20mmである、請求項1〜4のいずれか1項に記載の多孔質積層体。
- 通気量が0.01〜60cm3/cm2/sである、請求項1〜5のいずれか1項に記載の多孔質積層体。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の多孔質積層体を含む、吸着緩衝材。
- 請求項7に記載の吸着緩衝材を用いて薄膜を吸着する、吸着方法。
- 前記吸着緩衝材を吸着ステージの吸着面に装着し、前記吸着緩衝材上に前記薄膜を吸着する、請求項8に記載の吸着方法。
- 焼結体(a)を吸着ステージの吸着面に装着し、シート(b)を前記焼結体(a)にさらに積層させて前記吸着緩衝材とし、該吸着緩衝材上に前記薄膜を吸着する、請求項8に記載の吸着方法。
- 前記薄膜がセラミックグリーンシートである、請求項8〜10のいずれか1項に記載の吸着方法。
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