JP2015015709A - 組み込み自己テスト用のアナログ−デジタルコンバータ - Google Patents

組み込み自己テスト用のアナログ−デジタルコンバータ Download PDF

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Abstract

【課題】組み込み自己テスト(Built−In−Self−Test:BIST)用のアナログ−デジタルコンバータを提供する。【解決手段】入力において受信したアナログ入力電圧信号Vinを第1のアナログ−デジタルコンバータ(ADC)を特徴づけるデジタル出力電圧信号Voに変換するように構成された第1のADC110と、第1のADCの入力に接続され、その入力において受信したアナログ入力電圧信号をデジタルフィードバック電圧信号Vfbに変換するように構成された第2のADC120とを備える組み込み自己テスト(BIST)回路280を有する半導体チップにおいて、アナログ入力電圧信号をデジタルフィードバック信号に基づいて発生させる。【選択図】図2

Description

アナログ−デジタルコンバータ(Analog−to−Digital Convertor;ADC)は、多くの半導体装置において一般的な素子である。ADCは、アナログ入力電圧信号を受信し、この電圧信号をデジタル電圧信号の表現に変換することにより、動作するものである。多種のADCが入手可能である。
マイクロコントローラは、同一の半導体チップに埋め込まれた複数のADCを有する。これらの埋め込まれたADCは、製造中、特性曲線を計測することによりテストが行なわれてきたが、その方法は特性変換曲線のサンプルを数回とり、高精度のADCには確定に長時間かかるために、非常に長い計測を含むものである。また、高精度のADCには、高価かつ高精度の自動試験装置(Automatic Test Equipment;ATE)のハードウェアが必要であり、ATEハードウェアと半導体チップとの間で非常に多くの信号が送信される。これらの要素はそれぞれ、製造コストに負の影響をもたらす。
代わりの方法として、ADCは、製造中、ADC特性変換曲線を計測するためのサーボループを用いてテストされる。計測時間はほぼ変わらず、電圧発生装置の代わりに電圧計測装置が用いられるため、複雑性が低減する。しかし、半導体チップからの信号を電圧計測装置に送信する必要がなおあるため、このサーボループ技術にはやはり限界がある。
例示的な実施形態による組み込み自己テスト(Built−In−Self−Test;BIST)回路の回路図を示す。 別の例示的な実施形態によるBIST回路の回路図を示す。 例示的な実施形態によるBISTの実行方法のフローチャートを示す。
本開示は、組み込み自己テスト(BIST)回路を有する半導体チップに関し、より具体的には、同一の半導体チップに設けられた第2のADCを用いるアナログ−デジタルコンバータ(ADC)用のBIST回路を有する半導体チップに関する。
このBIST回路を用い得る電子デバイスの1つには、マイクロコントローラがある。ここで説明するBIST回路は、マイクロコントローラにおける使用に限定することを意図したものでは決してなく、むしろ、ADCを採用するいかなる電子デバイスにも使用可能なものである。
図1は、例示的な実施形態によるBIST回路の回路図100を示す。さらに具体的には、BIST回路180は、フィードバックループ内の他の素子とともに、アナログ入力電圧Vinを発生させるシグマ−デルタ(ΣΔ)ADC120を備えており、このアナログ入力電圧Vinはその後、逐次比較レジスタ(Successive Approximation Register;SAR)ADC110へのアナログ入力電圧Vinとして用いられる。アナログ入力電圧Vinがチップで発生すれば、SAR ADC110のBISTが可能である。
このSAR ADC110のBISTは、特に、別のADC、この場合、同一の半導体チップ100内にすでに設けられているΣΔ ADC120があれば、実現可能である。なお、SAR ADC110およびΣΔ ADC120は、通常の動作の間、独立して使用可能である。一方、半導体チップ100内に他に利用可能なADCがない場合、ΣΔ ADC120をBISTの用途専用に設けてもよい。経済的理由から、この専用のΣΔ ADCのために加える面積は最小限に抑えるのがよい。
付加的な素子を加えるのは最低限のみにすることを目標とする。図1に示す実装形態では、BISTを支持するために、二つの電流源156、158および二つのスイッチ152、154を含むプッシュ−プル(Push−Pull)電流源150が設けられる。
動作中、ΣΔ ADC120は、アナログ入力電圧Vinを発生させるために、プッシュ−プル電流源150を駆動するデジタルコンパレータ140とともに、フィードバックループ内にある。以下に、さらに詳しく説明する。
図1に1ビットΣΔ ADCとして示すがこれに限定されないΣΔ ADC120は、その入力において受信したアナログ入力電圧信号Vinを1ビットデジタルフィードバック電圧信号Vfbに変換する。そして、データ速度を減少させるため、2クロック周期の合計であるデシメータ160は、デジタルフィードバック電圧信号Vfbをnビットデシメートされたデジタルフィードバック電圧信号Vdfbにダウンサンプルする。
デジタルコンパレータ140は、高い増幅率を有しており、その入力“a”において受信したデシメートされたデジタルフィードバック電圧信号Vdfbを、その入力“b”においてレジスタ130から受信したnビットデジタルレジスタ電圧信号Vrと比較するために設けられている。デジタルレジスタ130は、カウンタ、CPU、メモリ、または、当業者に認められると思われる、アナログ入力電圧信号Vinとしてアナログ形式で反映されることになる所望のデジタルレジスタ電圧信号Vrを送信するのに適した他のいかなる素子でもよい。例えば、デジタルレジスタ130は、アナログ入力電圧信号Vinとしてアナログ形式で反映されることになるデジタルランプ電圧を発生させるように構成されたカウンタでもよい。
デジタルレジスタ電圧信号Vrの値が、デシメートされたフィードバック電圧信号Vdfbの値よりも大きい時、コンパレータ出力“a”は論理“1”とみなして上位スイッチ152を閉位置にし,コンパレータ出力“b”は論理“0”とみなして下位スイッチ154を開位置にする。この回路構成においては、充電電流源Ich156がSAR ADC110の入力およびΣΔ ADC120の入力と接続されるため、アナログ入力電圧信号Vinの値は増大する。一方、デシメートされたフィードバック電圧信号Vdfbの値がデジタルレジスタ電圧信号Vrの値よりも大きい時、コンパレータ出力“a”は論理“0”とみなして上位スイッチ152を開位置にし、コンパレータ出力“b”は論理“1”とみなして下位スイッチ154を閉位置にする。この構成においては、放電電流源Idis158がSAR ADC110の入力およびΣΔ ADC120の入力と接続されるため、アナログ入力電圧信号Vinの値は減少する。明らかと思われるが、デシメートされたフィードバック電圧信号Vdfbの値とデジタルレジスタ電圧信号Vrの値とが等しい時、上位スイッチ152および下位スイッチ154は開放され、アナログ入力電圧Vinは不変のままである。
プッシュ−プル電流源150は、電圧Vmaxと電圧Vminとの間に接続されている。Vmaxの値は電源の値よりも高く、Vminの値は接地の値よりも低いため、発生したアナログ入力電圧Vinは全電源範囲を超える。また、スイッチ152およびスイッチ154の接続点と接地との間に入力コンデンサが接続され、アナログ入力電圧Vinのリップルを減少させる機能を果たす。電圧Vmax、電圧Vmin、減結合コンデンサは、回路の外側からマイクロコントローラまで設けられている。
発生したアナログ入力電圧Vinは、テストが行なわれるADCであるSAR ADC110への入力電圧信号として用いられる。SAR ADC110は、アナログ入力電圧Vinをデジタル出力電圧Voに変換する。図1においてHistyおよびHistxと示される、SAR ADC110の出力およびΣΔ ADC120の出力はそれぞれ、SAR ADC110の特性を決定するため、マイクロコントローラ内のファームウェアによって処理可能であり、またはATEハードウェアによって評価可能である。レジスタ電圧信号Vrがランプである場合、例として、SAR ADC110を適切に機能させるための結果として得られるヒストグラムは、平坦な線である。または、レジスタ電圧信号Vrが正弦波である場合、SAR ADC110を適切に機能させるための結果として得られるヒストグラムは、バスタブと同様の形状を有する。デジタル出力電圧Voはこのように、SAR ADC110を特徴づける。
ADC110は、図1ではSAR ADCとして示し,ADC120はΣΔ ADCとして示した。このようなSAR ADCおよびΣΔ ADCは当業者には周知のものであり、本開示の態様を不必要に不明瞭にさせないため、ここでこれ以上詳細に論ずることはない。しかし、ADC110がSAR ADCであるとして説明し、ADC120がΣΔ ADCであるとして説明する一方、本開示がこれらの事項に限定されないことを述べることは重要である。ADC110およびADC120はそれぞれ、これらの意図する目的に適したいかなる種類のADCでもよい。
図2は、別の例示的な実施形態によるBIST回路280の回路図200を示す。本実施形態は、図1に示す実施形態とほぼ同一の目的を有する。すなわち、代替例であるこのBIST回路280は、その後SAR ADC110へのアナログ入力電圧Vinとして用いられることになるアナログ入力電圧Vinを、フィードバックループの他の素子とともに発生させるΣΔ ADC120を備えている。
代替例の本実施形態の主な相違は、プッシュ−プル構成において、プッシュ−プル電流源150の代わりにデジタル出力270を設けたことである。デジタル出力270は、コンパレータ240からの比較電圧Vcompによって駆動する。コンデンサとレジスタとで構成されるRCローパスフィルタが、電圧間のリップルを低減する機能を果たす。この代替例の構成は図1の電流源を必要としないものであるが、0dBの電源除去比を有しており、これはBIST構成の間は許容し得ると思われる。図1について説明したものと同一の他の素子は同一の参照番号で示してあり、簡潔にするため、これらの説明は繰り返さない。
図3は、例示的な実施形態によるBISTの実行方法300のフローチャートを示す。
初めに、ステップ310において、ΣΔ ADC120は、その入力において受信したアナログ入力電圧信号Vinをデジタルフィードバック電圧信号Vfbに変換する。デシメータ160はその後、ステップ320において、ΣΔ ADC120から受信したデジタルフィードバック電圧信号Vfbをデシメートしたデジタルフィードバック電圧信号Vdfbを発生させる。
ステップ330において、コンパレータ140/240は、デシメートされたデジタルフィードバック電圧信号Vdfbをレジスタ130からのデジタル入力電圧信号Vrと比較し、比較信号を出力する。この比較信号はその後、ステップ340において、アナログ入力電圧信号Vinを発生させるのに用いられる。上に述べたように、アナログ入力電圧信号Vinは、図1に示すように、プッシュ−プル電流源150を用いて比較信号に基づいて発生させてもよく、または代わりの方法として、図2に示したようにデジタル出力パッド270を用いてもよい。
最後に、テストを受けるデバイスであるSAR ADC110は、その入力において受信したアナログ入力電圧信号Vinを、SAR ADC110を特徴づけるデジタル出力電圧信号Voに変換する(ステップ350)。
ここに開示したBISTの実装形態は、他の多くの点で有利である。第一に、アナログ入力電圧Vinは、ADCのテストを行うのに十分な精度があり、ADCとは関係のない他のテストの用途にも使用可能である。アナログ入力電圧Vinの精度にもかかわらず、テスト時間は従来のテストの実装形態と比較してもなお短縮される。
さらに、アナログ入力電圧Vinは、マイクロコントローラまたは他の適用において内部で発生する。アナログ入力電圧Vinを発生させるADCが作動可能であると認められた後、マイクロコントローラ内の他のいかなるADCも、ATEハードウェアを必要とすることなく、内部でテストが可能である。ATEハードウェアは、その代わり、他の用途に使用可能であるため、並列テストへの可能性が増大する。さらに、テストボード設計に必要な接続は少なくなり、これは、並列化要素の高いテストには特に重要なことである。
最後に、BISTに必要とされる信号はすべてデジタル領域にある。この要素は、テストが内部で実行されることとあいまって、製造中のみならず、発送前や現場においてなど、パッケージングの後にもテストが実行可能であることを意味する。このため、システムのヘルスモニタリングの用途に、または安全度基準を増大させるために、顧客が計測データを入手することもできる。
以上は、例示的な実施形態に結び付けて説明したが、用語“例示的な”は、最良のまたは最適のというよりもむしろ、単に、一例としてという意味であることが理解されるものである。したがって、本開示は、本開示の範囲に含み得る代替例、変形例、均等物に及ぶことを意図するものである。
また、詳細な説明において、例示的な実施形態を十分に理解してもらうために、具体的な詳細を非常に多く示した。しかし、これらの具体的な詳細なしに本実施形態を実行し得ることは、当業者にとって明らかであると思われる。他の例において、周知の方法、手順、素子、回路については、本開示の態様を不必要に不明瞭にさせないため、詳細には説明していない。
100 半導体チップ
110 SAR ADC
120 ΣΔ ADC
130 レジスタ
140、240 デジタルコンパレータ
150 プッシュ−プル電流源
152 上位スイッチ
154 下位スイッチ
156、158 電流源
160 デシメータ
180、280 BIST回路
270 デジタル出力パッド
Ich156 充電電流源
Idis158 放電電流源
Vdfb デシメートされたデジタルフィードバック電圧信号
Vfb デジタルフィードバック電圧信号
Vin アナログ入力電圧信号
Vmax、Vmin 電圧
Vo デジタル出力電圧信号
Vr デジタルレジスタ電圧信号

Claims (20)

  1. 組み込み自己テスト回路を有する半導体チップであって、
    その入力において受信したアナログ入力電圧信号を、第1のアナログ−デジタルコンバータ(ADC)を特徴づけるデジタル出力電圧信号に変換するように構成された前記第1のADCと、
    前記第1のADCの前記入力に接続され、その入力において受信した前記アナログ入力電圧信号をデジタルフィードバック電圧信号に変換するように構成された第2のADCと
    を備え、
    前記アナログ入力電圧信号を前記デジタルフィードバック信号に基づいて発生させる半導体チップ。
  2. 前記第2のADCに接続され、その第1の入力において受信した前記第2のADCからの前記デジタルフィードバック電圧信号をその第2の入力で受信したデジタル入力電圧信号と比較し、比較信号を出力するように構成されたコンパレータをさらに備え、
    前記アナログ入力電圧信号を前記比較信号に基づいて発生させる請求項1に記載の半導体チップ。
  3. 前記第2のADCが1ビットデルタシグマADCである請求項2に記載の半導体チップ。
  4. 前記第2のADCと前記コンパレータの前記第1の入力との間に接続され、デシメートされたデジタルフィードバック電圧信号を発生させるように構成されたデシメータをさらに備える請求項3に記載の半導体チップ。
  5. 前記コンパレータの出力と前記第1のADCおよび前記第2のADCのそれぞれの入力との間に接続され、前記比較信号に基づいて前記アナログ入力電圧信号を発生させるように構成されたプッシュ−プル電流源をさらに備える請求項2に記載の半導体チップ。
  6. 前記デジタル入力電圧信号としてランプ電圧を発生させるように構成されたカウンタをさらに備える請求項2に記載の半導体チップ。
  7. 前記デジタル入力電圧信号として正弦波信号を送信するように構成されたレジスタをさらに備える請求項2に記載の半導体チップ。
  8. 前記コンパレータの出力と前記第1のADCおよび前記第2のADCのそれぞれの入力との間に接続され、前記比較信号に基づいて前記アナログ入力電圧信号を発生させるように構成されたプッシュ−プル構成のデジタル出力パッドをさらに備える請求項2に記載の半導体チップ。
  9. 前記第1のADCが逐次比較レジスタ(SAR)ADCである請求項1に記載の半導体チップ。
  10. 前記第2のADCがシグマデルタADCである請求項1に記載の半導体チップ。
  11. 前記第1のADCおよび前記第2のADCがマイクロコントローラ内に設けられる請求項1に記載の半導体チップ。
  12. 半導体チップにおける組み込み自己テスト(BIST)実行方法であって、前記方法は、
    前記半導体チップに設けられた第1のアナログ−デジタルコンバータ(ADC)の入力において受信したアナログ入力電圧信号を前記第1のADCを特徴づけるデジタル出力電圧信号に変換する工程と、
    前記第1のADCの前記入力に接続され、前記半導体チップに設けられた第2のADCの入力において受信した前記アナログ入力電圧信号をデジタルフィードバック電圧信号に変換する工程と
    を含み、
    前記アナログ入力電圧信号を前記デジタルフィードバック信号に基づいて発生させる方法。
  13. コンパレータの第1の入力において受信した前記第2のADCからの前記デジタルフィードバック電圧信号を前記コンパレータの第2の入力において受信したデジタル入力電圧信号と比較し、比較信号を出力する工程をさらに含み、
    前記アナログ入力電圧信号を前記比較信号に基づいて発生させる請求項12に記載の方法。
  14. 前記第2のADCから受信した前記デジタルフィードバック電圧信号をデシメータによってデシメートしたデジタルフィードバック電圧信号を発生させ、前記コンパレータの前記第1の入力に入力する工程をさらに含む請求項13に記載の方法。
  15. 前記コンパレータの出力と前記第1のADCおよび前記第2のADCのそれぞれの入力との間に接続されたプッシュ−プル電流源によって、前記比較信号に基づいて前記アナログ入力電圧信号を発生させる工程をさらに含む請求項13に記載の方法。
  16. 前記デジタル入力電圧信号としてランプ電圧を発生させる工程をさらに含む請求項13に記載の方法。
  17. 前記半導体チップの製造中に実行される請求項12に記載の方法。
  18. 前記半導体チップがパッケージングされた後に実行される請求項12に記載の方法。
  19. マイクロコントローラ内で実行される請求項12に記載の方法。
  20. 組み込み自己テスト回路を有する半導体チップであって、
    アナログ入力電圧信号を第1のアナログ−デジタル変換手段を特徴づけるデジタル出力電圧信号に変換する前記第1のアナログ−デジタル変換手段と、
    前記アナログ入力電圧信号をデジタルフィードバック電圧信号に変換する第2のアナログ−デジタル変換手段と
    を含み、
    前記アナログ入力電圧信号を前記デジタルフィードバック信号に基づいて発生させる半導体チップ。
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