JP2015013321A - 研削ホイール - Google Patents
研削ホイール Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015013321A JP2015013321A JP2013139637A JP2013139637A JP2015013321A JP 2015013321 A JP2015013321 A JP 2015013321A JP 2013139637 A JP2013139637 A JP 2013139637A JP 2013139637 A JP2013139637 A JP 2013139637A JP 2015013321 A JP2015013321 A JP 2015013321A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- wheel
- grinding wheel
- plate
- workpiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims abstract description 16
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 11
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 5
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
Description
図5に示すように、チャックテーブル5を例えば矢印A方向に回転させながら研削手段10の下方に移動させた後、研削手段10は、例えば1000rpmの回転速度でスピンドル11を回転させて研削ホイール30を例えば矢印B方向に回転させつつ、図1に示した研削送り手段14が研削手段10を所定の研削送り速度で板状ワークWの上面Waに向けて下降させていく。
第1の研削工程の後、板状ワークWの研削効率を高めるために、図6に示す第1の速度S1より速い第2の速度S2(例えば、3.0μm/sec)で研削手段10を研削送りし、研削手段10の位置をさらに下げていく。この間、図4に示した超音波電源部51は、所定の周波数(例えば、20kHz)で、かつ上記第1の出力よりも大きい第2の出力(例えば、20w)の超音波信号を発振して超音波振動子50を振動させる。これにより、超音波振動子50の超音波振動が研削砥石40に伝播されて研削砥石40を水平方向に大きく振動させつつ、この研削砥石40によって板状ワークWの上面Waを押圧しながら研削する。図6に示すように、第2の研削工程における超音波信号A2は、その振幅が、第1の研削工程における超音波信号A1よりも、が大きくなっている。
第2の研削工程の後、板状ワークWの仕上げ品質を良くするために、図6に示す第1の速度S1よりも遅い第3の速度S3(例えば、1.0μm/sec)で研削手段10を研削送りし、研削手段10の位置をゆっくり下げていく。この間、超音波電源部51は、所定の周波数(例えば、20kHz)で、かつ第1の出力よりも小さい第3の出力(例えば、10w)の超音波信号を発振して超音波振動子50を振動させる。これにより、超音波振動子50の超音波振動が研削砥石40に伝播されて研削砥石40を水平方向に小さく振動させつつ、この研削砥石40によって板状ワークWの上面Waを所望の厚みに至るまで仕上げ研削する。図6に示すように、仕上げ研削工程における超音波信号A3の振幅は、超音波信号A1よりも小さくなっている。そして、板状ワークWが所望の厚みに研削された時点で、図1に示した研削送り手段14によって研削手段10を上昇させ、仕上げ研削工程が完了する。このようにして一連の研削が終了する。この一連の研削では、研削送り速度を変化させることで、研削品質を低下させずに板状ワークWを効率よく研削することができ、研削時間を短縮することが可能となる。
5:チャックテーブル 6:保持面 7:蛇腹 8:ボルト
10:研削手段 11:スピンドル 12:スピンドルハウジング 13:モータ
14:研削送り手段 15:ボールネジ 16:モータ 17:ガイドレール
18:昇降板 19:開口部
20:ホイールマウント 21:ねじ穴 22:下面
30,30a,30b,30c:研削ホイール 31:ホイール基台
32:装着プレート 33:装着面 34:ねじ穴 35:第1の開口部 36:側壁
37:砥石プレート 38:砥石装着面 39:第2の開口部 40:研削砥石
50:超音波振動子 51:超音波電源部 52:導電線 53:コネクタ
60:研削ホイール 61:円盤基台 62:砥石装着面 63:研削砥石
70:研削ホイール 71:円盤基台 72:砥石装着面 73:研削砥石
Claims (2)
- チャックテーブルに保持された板状ワークを研削する研削手段を構成するスピンドルの先端に接続されるホイールマウントに装着する研削ホイールであって、
該研削ホイールは、
該ホイールマウントに装着する装着面を有する環状のホイール基台と、
該装着面の反対面となる砥石装着面に環状に配設される研削砥石と、
該ホイール基台の内部に配設される環状の超音波振動子と、
を少なくとも備え、
該環状に配設される該研削砥石は、該ホイール基台の中心を重心とした非真円状に配設される研削ホイール。 - 環状に配設される前記研削砥石は、前記ホイール基台の中心を重心とした多角形状に配設される請求項1記載の研削ホイール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013139637A JP2015013321A (ja) | 2013-07-03 | 2013-07-03 | 研削ホイール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013139637A JP2015013321A (ja) | 2013-07-03 | 2013-07-03 | 研削ホイール |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015013321A true JP2015013321A (ja) | 2015-01-22 |
Family
ID=52435517
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013139637A Pending JP2015013321A (ja) | 2013-07-03 | 2013-07-03 | 研削ホイール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015013321A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018043312A (ja) * | 2016-09-14 | 2018-03-22 | 株式会社ミズホ | 研削盤用カップ型ビトリファイド砥石 |
US20180079046A1 (en) * | 2016-09-20 | 2018-03-22 | Disco Corporation | Grinding wheel and grinding apparatus |
JP2021074851A (ja) * | 2019-11-13 | 2021-05-20 | 株式会社ディスコ | 研削砥石、研削砥石の製造方法及び被加工物の加工方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001096467A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-04-10 | Nippei Toyama Corp | カップ型研削砥石 |
JP2009107065A (ja) * | 2007-10-30 | 2009-05-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削ホイール |
JP2011056588A (ja) * | 2009-09-07 | 2011-03-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削ホイール |
-
2013
- 2013-07-03 JP JP2013139637A patent/JP2015013321A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001096467A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-04-10 | Nippei Toyama Corp | カップ型研削砥石 |
JP2009107065A (ja) * | 2007-10-30 | 2009-05-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削ホイール |
JP2011056588A (ja) * | 2009-09-07 | 2011-03-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削ホイール |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018043312A (ja) * | 2016-09-14 | 2018-03-22 | 株式会社ミズホ | 研削盤用カップ型ビトリファイド砥石 |
US20180079046A1 (en) * | 2016-09-20 | 2018-03-22 | Disco Corporation | Grinding wheel and grinding apparatus |
CN107838767A (zh) * | 2016-09-20 | 2018-03-27 | 株式会社迪思科 | 磨削磨轮和磨削装置 |
KR20180031574A (ko) | 2016-09-20 | 2018-03-28 | 가부시기가이샤 디스코 | 연삭 휠 및 연삭 장치 |
JP2018047508A (ja) * | 2016-09-20 | 2018-03-29 | 株式会社ディスコ | 研削ホイール及び研削装置 |
US10639761B2 (en) | 2016-09-20 | 2020-05-05 | Disco Corporation | Grinding wheel and grinding apparatus |
TWI731145B (zh) * | 2016-09-20 | 2021-06-21 | 日商迪思科股份有限公司 | 磨削輪及磨削裝置 |
JP2021074851A (ja) * | 2019-11-13 | 2021-05-20 | 株式会社ディスコ | 研削砥石、研削砥石の製造方法及び被加工物の加工方法 |
JP7370667B2 (ja) | 2019-11-13 | 2023-10-30 | 株式会社ディスコ | 被加工物の加工方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4977416B2 (ja) | 研削装置および研削ホイール | |
JP6814579B2 (ja) | 研削ホイール及び研削装置 | |
WO2010052827A1 (ja) | インゴット切断装置及び切断方法 | |
WO2009125835A1 (ja) | 研磨装置、研磨補助装置、および研磨方法 | |
JP6489973B2 (ja) | 研削装置 | |
JP2015013321A (ja) | 研削ホイール | |
JP6425505B2 (ja) | 被加工物の研削方法 | |
JP5902945B2 (ja) | 研削ホイール | |
JP6145548B1 (ja) | 面取り研削方法及び面取り研削装置 | |
JP2015174180A (ja) | 超音波面取り機 | |
JP2008155287A (ja) | ワーク研削加工装置及びワーク研削加工方法 | |
JP2009285798A (ja) | サファイア基板の研削方法 | |
JP2005329501A (ja) | 超音波研磨工具及びそれを備えた研磨装置 | |
JP5329264B2 (ja) | 研削ホイール | |
JP5706146B2 (ja) | 研削装置 | |
JP5362492B2 (ja) | 研削ホイール | |
JP5848640B2 (ja) | 研磨定盤およびラッピング装置 | |
JP5301321B2 (ja) | 研削ホイール | |
JP5208630B2 (ja) | 研削ホイール | |
JP2010214496A (ja) | 研磨装置 | |
JP2011152605A (ja) | 研削装置 | |
JP6682252B2 (ja) | 研磨具と研磨装置 | |
JP2007050471A (ja) | ドレッシング方法及びロータリドレッシング装置 | |
JP2012125850A (ja) | 研削ホイール | |
JP2016100557A (ja) | 研削方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20150428 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160519 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170323 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170323 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20171003 |