JP2015011985A - 有機発光ディスプレイ装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】インクジェット印刷工法による中間層の形成時、印刷制御が容易な有機発光ディスプレイ装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】それぞれが副画素に対応する複数個の第１電極；複数個の第１電極それぞれの中央部を含む少なくとも一部を露出させる複数個の開口部と、上面に引込み部とを有する画素定義膜；複数個の第１電極と引込み部との上に配される中間層；中間層上に配されて複数個の第１電極に対応すべく配される対向電極；を備え、画素定義膜は、同波長の光を放出する複数個の副画素の間にのみ引込み部を有する有機発光ディスプレイ装置である。
【選択図】図２

Description

本発明は、有機発光ディスプレイ装置及びその製造方法に係り、さらに詳細には、インクジェット印刷工法による中間層の形成時、印刷制御が容易な有機発光ディスプレイ装置及びその製造方法に関する。

ディスプレイ装置のうち、有機発光ディスプレイ装置は、視野角が広く、コントラストに優れ、かつ応答速度が速いという長所を有しており、次世代ディスプレイ装置として注目を浴びている。

一般に有機発光ディスプレイ装置は、画素電極の縁部を覆い、画素電極の中央部を露出させる画素定義膜を有する。画素定義膜を形成した後には、インクジェット印刷やノズルプリンティングなどの方式で画素電極上に発光層を含む中間層を形成する。

このような従来の有機発光ディスプレイ装置及びその製造方法の場合、それぞれの画素ごとに中間層形成用インクを所望量ほど吐出して中間層を形成するが、この際、各画素内で、インクが吐き出されるピッチと、画素と画素間のインクが吐き出されるピッチとが異なり、印刷制御が容易でないという問題点が存在した。

本発明は、上記問題点を含む多様な問題点を解決するためのものであって、インクジェット印刷工法による中間層の形成時、印刷制御が容易な有機発光ディスプレイ装置及びその製造方法を提供することを目的とする。

しかし、このような課題は、例示的なものであって、これにより本発明の範囲が限定されるものではない。

本発明の一観点によれば、それぞれが副画素に対応する複数個の第１電極と、前記複数個の第１電極それぞれの中央部を含む少なくとも一部を露出させる複数個の開口部、上面に引込み部を有する画素定義膜、前記複数個の第１電極及び前記引込み部上に配される中間層と、前記中間層上に配され、前記複数個の第１電極に対応すべく配される対向電極を備え、前記画素定義膜は、同波長の光を放出する複数個の副画素の間に前記引込み部を有する有機発光ディスプレイ装置が提供される。

前記画素定義膜は、互いに異なる波長の光を放出する副画素の間には引込み部を有しないこともある。

前記引込み部の中央から前記複数個の第１電極のうち、前記引込み部に最も隣接した１つの第１電極の中央までの距離と、前記引込み部の中央から前記複数個の第１電極のうち、上記１つの第１電極に対向する、前記引込み部に最も隣接した他の第１電極の中央までの距離が同一である。

前記引込み部の深さは、前記画素定義膜の厚さの１／４〜１／２である。

本発明の他の観点によれば、それぞれが副画素に対応する複数個の第１電極と、前記複数個の第１電極それぞれの中央部を含む少なくとも一部を露出させる複数個の開口部、及び貫通部を有する画素定義膜と、前記複数個の第１電極上及び前記貫通部に配される中間層と、前記中間層上に配され、前記複数個の第１電極に対応すべく配される対向電極と、を備え、前記画素定義膜は、同波長の光を放出する複数個の副画素の間に前記貫通部を有する有機発光ディスプレイ装置が提供される。

前記画素定義膜は、互いに異なる波長の光を放出する副画素の間には貫通部を有さないこともある。

前記貫通部の中央から前記複数個の第１電極のうち、前記貫通部に最も隣接した１つの第１電極の中央までの距離と、前記貫通部の中央から前記複数個の第１電極のうち、前記１つの第１電極に対向する、前記貫通部に最も隣接した他の第１電極の中央までの距離が同一である。

前記中間層は、インクジェット印刷工程で形成されても良い。

本発明の他の観点によれば、それぞれが副画素に対応する複数個の第１電極を形成する段階と、前記複数個の第１電極それぞれの中央部を含む少なくとも一部を露出させる複数個の開口部及び上面に引込み部を有する画素定義膜を形成する段階と、前記複数個の第１電極及び引込み部上に配される中間層を形成する段階と、前記中間層上に配され、前記複数個の第１電極に対応すべく配される対向電極を形成する段階と、を含み、前記画素定義膜を形成する段階は、同波長の光を放出する複数個の副画素の間にのみ引込み部が存在するように画素定義膜を形成する段階である、有機発光ディスプレイ装置の製造方法が提供される。

前記画素定義膜を形成する段階は、互いに異なる波長の光を放出する副画素の間には、引込み部が存在しないように画素定義膜を形成する段階である。

前記引込み部の中央から前記複数個の第１電極のうち、前記引込み部に最も隣接した１つの第１電極の中央までの距離と、前記引込み部の中央から前記複数個の第１電極のうち、前記１つの第１電極に対向する、前記１つの引込み部に最も隣接した他の第１電極の中央までの距離とが同一に設定されても良い。

前記画素定義膜を形成する段階は、前記引込み部と前記開口部とを同時に形成する段階である。

本発明のさらに他の観点によれば、それぞれが副画素に対応する複数個の第１電極を形成する段階と、前記複数個の第１電極それぞれの中央部を含む少なくとも一部を露出させる複数個の開口部及び貫通部とを有する画素定義膜を形成する段階と、前記複数個の第１電極上及び貫通部に配される中間層を形成する段階と、前記中間層上に配され、複数個の第１電極に対応すべく配される対向電極を形成する段階と、を含み、前記画素定義膜を形成する段階は、同波長の光を放出する複数個の副画素の間にのみ貫通部が存在するように画素定義膜を形成する段階である、有機発光ディスプレイ装置の製造方法が提供される。

前記画素定義膜を形成する段階は、互いに異なる波長の光を放出する副画素の間には、貫通部が存在しないように画素定義膜を形成する段階である。

前記貫通部の中央から前記複数個の第１電極のうち、前記貫通部に最も隣接した１つの第１電極の中央までの距離と、前記貫通部の中央から前記複数個の第１電極のうち、前記１つの第１電極に対向する、前記貫通部に最も隣接した他の第１電極の中央までの距離が同一に設定されても良い。

前記画素定義膜を形成する段階は、前記貫通部と前記開口部とを同時に形成する段階である。

前記中間層を形成する段階は、インクジェット印刷工程で形成される段階である。

前記中間層を形成する段階は、中間層を形成するインクを一定のピッチで吐出して中間層を形成する段階である。

前記中間層を形成する段階は、前記第１電極上に吐き出されるインク間の間隔と、前記第１電極上に吐き出されるインクのうち、前記引込み部、または貫通部と最も隣接して吐き出されたインク及び前記引込み部または貫通部に吐き出されるインク間の間隔と、が同一に設定されても良い。

本発明によれば、インクジェット印刷工法による中間層の形成時、印刷制御が容易な有機発光ディスプレイ装置、及びその製造方法を実現することができる。しかしながら、本発明の範囲がこのような効果に限定されるものではない。

本発明の一実施例による有機発光ディスプレイ装置を概略的に示す断面図である。 本発明の一実施例による有機発光ディスプレイ装置を概略的に示す断面図である。 本発明の一実施例による有機発光ディスプレイ装置を概略的に示す平面図である。 本発明の他の一実施例による有機発光ディスプレイ装置を概略的に示す断面図である。 本発明の他の一実施例による有機発光ディスプレイ装置を概略的に示す断面図である。 本発明の更なる他の一実施例による有機発光ディスプレイ装置を概略的に示す平面図である。 本発明の更なる他の一実施例による有機発光ディスプレイ装置を概略的に示す断面図である。

以下、添付された図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明すれば、次の通りである。しかし、本発明は、後述する実施例に限定されるものではなく、互いに異なる多様な形態で実施される以下の実施例は、本発明の開示を完全にし、通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものである。また、説明の便宜上、図面では構成要素の大きさが誇張されたり、縮小されたりしている。例えば、図面に開示された各構成の大きさ及び厚さは、説明の便宜上、任意に示したので、本発明が必ずしも示されたところに限定されない。

以下の実施例で、例えば、ｘ軸、ｙ軸、及びｚ軸は、直交座標系上の三軸に限定されず、それを含む広い意味として解釈され得る。例えば、ｘ軸、ｙ軸、及びｚ軸は、互いに直交してもよく、互いに直交しない互いに異なる方向を指してもよい。

一方、層、膜、領域、板などの各種構成要素が異なる構成要素“上に”あるとする時、これは他の構成要素“直上に”ある場合のみならず、その間に他の構成要素が介在した場合も含む。

図１及び図２は、本発明の一実施例による有機発光ディスプレイ装置を概略的に示す断面図であり、図３は、本発明の一実施例による有機発光ディスプレイ装置を概略的に示す平面図である。

図１を参照すれば、基板（図示せず）上にそれぞれが副画素に対応する複数個の第１電極１０と、複数個の第１電極１０それぞれの中央部を含む少なくとも一部を露出させる複数個の開口部２０ａ、及び貫通部２０ｂを有する画素定義膜２０と、を含む。

基板は、ガラス基板のみならず、ＰＥＴ（Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎ ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）、ＰＥＮ（Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎ ｎａｐｈｔｈａｌａｔｅ）、ポリイミド（Ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）などを含むプラスチック基板など透明基板を用いることができる。

副画素に対応する複数個の第１電極１０は、それぞれが画素電極と理解され、前記複数個の第１電極１０は、基板上に配される。ここで、複数個の第１電極１０が基板上に配されるということは、基板上に複数個の第１電極１０が直接配される場合は言うまでもなく、基板上に各種層が形成され、そのような層上に複数個の第１電極１０が配される場合も含む。

例えば、基板上に薄膜トランジスタが配され、平坦化膜がその薄膜トランジスタを覆うようにし、複数個の第１電極１０は、そのような平坦化膜上に位置させても良い。図面では、便宜上基板を省略し、直接複数個の第１電極１０が位置するように図示し、以下の説明でも便宜上、そのように説明する。

このような第１電極１０は、透明電極または反射型電極である。透明電極である場合には、ＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯ、またはＩｎ_２Ｏ_３で形成された層を含む。反射型電極である場合には、Ａｇ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｎｄ、Ｉｒ、Ｃｒ、及びそれらの化合物などで形成された反射膜と、ＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯ、またはＩｎ_２Ｏ_３からなる層を含む。

図１及び図３に示されたように、画素定義膜２０は、複数個の第１電極１０の中央部を露出させるような開口部２０ａを有し、画素定義膜２０を貫通する貫通部２０ｂを有する。この際、画素定義膜２０は、同波長の光を放出する複数個の副画素の間にのみ貫通部２０ｂを有し、互いに異なる波長の光を放出する副画素の間には、貫通部２０ｂを有しない。

上述したように、画素定義膜２０は、第１電極１０の中央部を露出させる開口部２０ａと、同波長の光を放出する複数個の副画素の間に貫通部２０ｂとを備えることができる。また、図３に示されたように、貫通部２０ｂの中央から複数個の第１電極１０のうち、貫通部２０ｂに最も隣接した１つの第１電極１０−１の中央までの距離ｄ１と、貫通部２０ｂの中央から複数個の第１電極１０のうち、第１電極１０−１に対向する、貫通部２０ｂに最も隣接した他の第１電極１０−２の中央までの距離ｄ２とが同一である。すなわち、貫通部２０ｂは、貫通部２０ｂに最も隣接した副画素の真ん中に位置する。

これは、インクジェット印刷を用いて中間層３０を形成する時、同ピッチでインクが吐き出されなければならないので、貫通部２０ｂを中心に最も隣接した１つの第１電極１０−１までの距離と、第１電極１０−１に対向する最も隣接した他の第１電極１０−２までの距離とが同一である必要があるためである。

このような画素定義膜２０は、例えば、有機絶縁膜からなっても良い。そのような有機絶縁膜には、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）のようなアクリル系高分子、ポリスチレン（ＰＳ）、フェノール基を有する高分子誘導体、イミド系高分子、アリルエーテル系高分子、アミド系高分子、フッ素系高分子、ｐ−キシレン系高分子、ビニルアルコール系高分子、及びそれらの混合物などを含むことができる。

図２を参照すれば、複数個の第１電極１０上及び貫通部２０ｂに配される中間層３０、並びに複数個の第１電極１０に対応すべく中間層３０上に配される対向電極４０を備えることができる。

一般的に中間層３０は、第１電極１０上に配されるが、本発明の一実施例によれば、画素定義膜の貫通部２０ｂにも中間層３０が配される。上述したように、中間層を形成するインクが続けて一定のピッチで吐出されると、同波長の光を放出する複数個の副画素を形成する過程で、前記副画素の間に配された貫通部２０ｂにも中間層を形成するインクが吐出されるためである。

また、その場合、互いに異なる波長の光を放出する副画素の間には、貫通部２０ｂが存在しない。なぜならば、インクジェット印刷工程で同波長の光を放出する複数個の副画素を形成する場合、同じヘッドから一方向にインクを吐出して形成するので、互いに異なる波長の光を放出する副画素の間には貫通部が存在する必要がないためである。

このような中間層３０は、低分子有機物または高分子有機物である。

中間層３０が低分子有機物である場合、発光層（ＥＭＬ）を中心に正孔輸送層（ｈｏｌｅ ｔｒａｎｓｐｏｒｔ ｌａｙｅｒ：ＨＴＬ）、正孔注入層（ｈｏｌｅ ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ ｌａｙｅｒ：ＨＩＬ）、電子輸送層（ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｔｒａｎｓｐｏｒｔ ｌａｙｅｒ：ＥＴＬ）、及び電子注入層（ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ ｌａｙｅｒ：ＥＩＬ）などが積層される。その他にも必要に応じて、多様な層が積層される。この際、使用可能な有機材料として銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ：ｃｏｐｐｅｒ ｐｈｔｈａｌｏｃｙａｎｉｎｅ）、Ｎ’−ジ（ナフタレン−１−イル）−Ｎ（Ｎ’−Ｄｉ（ｎａｐｈｔｈａｌｅｎｅ−１−ｙｌ）−Ｎ）、Ｎ’−ジフェニル−ベンジジン（Ｎ’−ｄｉｐｈｅｎｙｌ−ｂｅｎｚｉｄｉｎｅ：ＮＰＢ）、トリス−８−ヒドロキシキノリンアルミニウム（ｔｒｉｓ−８−ｈｙｄｒｏｘｙｑｕｉｎｏｌｉｎｅ ａｌｕｍｉｎｕｍ）（Ａｌｑ３）などを始めとして、多様に適用可能である。

中間層３０が高分子有機物である場合、中間層３０以外に、正孔輸送層（ＨＴＬ）が含まれる。正孔輸送層は、ポリエチレンジヒドロキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ：ｐｏｌｙ−（２，４）−ｅｔｈｙｌｅｎｅ−ｄｉｈｙｄｒｏｘｙｔｈｉｏｐｈｅｎｅ）や、ポリアニリン（ＰＡＮＩ：ｐｏｌｙａｎｉｌｉｎｅ）などを使用することができる。この際、使用可能な有機材料としてＰＰＶ（Ｐｏｌｙ−Ｐｈｅｎｙｌｅｎｅｖｉｎｙｌｅｎｅ）系、及びポリフルオレン（Ｐｏｌｙｆｌｕｏｒｅｎｅ）系などの高分子有機物を使用することができる。また、中間層３０と、第１電極１０及び対向電極４０との間には、無機材がさらに含まれていても良い。

この際、正孔輸送層（ＨＴＬ）、正孔注入層（ＨＩＬ）、電子輸送層（ＥＴＬ）、及び電子注入層（ＥＩＬ）は、基板全面に一体に形成され、発光層のみインクジェット印刷工程で画素別に形成される。この場合にも、正孔輸送層（ＨＴＬ）、正孔注入層（ＨＩＬ）、電子輸送層（ＥＴＬ）、及び電子注入層（ＥＩＬ）などが貫通部内にも位置する。

一方、中間層３０上に配され、複数個の第１電極１０に対応すべく対向電極４０が配される。図２に示されたように、対向電極４０は、基板全面に対応すべく配される。

対向電極４０も、透明電極または反射型電極を含みうるが、透明電極として使用される時には、仕事関数が小さい金属、すなわち、Ｌｉ、Ｃａ、ＬｉＦ／Ｃａ、ＬｉＦ／Ａｌ、Ａｌ、Ａｇ、Ｍｇ、及びそれらの化合物を中間層３０の上に蒸着した後、その上にＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯ、またはＩｎ_２Ｏ_３などの透明電極形成用物質で補助電極層やバス電極ラインを形成することができる。そして、反射型電極として使われる時には、前述のＬｉ、Ｃａ、ＬｉＦ／Ｃａ、ＬｉＦ／Ａｌ、Ａｌ、Ａｇ、Ｍｇ、及びそれらの化合物を全面に蒸着して形成する。

図３は、本発明の一実施例による有機発光ディスプレイ装置を概略的に示す平面図である。

一方、図３を参照すれば、複数個の第１電極１０の中央部を露出させる複数個の開口部２０ａと、複数個の開口部２０ａの間に貫通部２０ｂとを有するように形成された画素定義膜２０が配される。それぞれの副画素は、ｘ軸方向に、同波長の光を放出するように配され、このような副画素の間にのみ貫通部２０ｂが存在することができる。図３に示されたように、ｘ軸方向の複数個の副画素の間にのみ貫通部２０ｂが存在し、ｙ軸方向の副画素の間には貫通部が存在しない。

このような構造によって一般的な有機発光ディスプレイ装置でアイランド状に画素を配して中間層を形成する場合、同波長の光を放出する複数個の副画素の間に貫通部２０ｂを配置することによって、中間層形成用インクが吐き出されるピッチを常に一定に保持して中間層形成時に印刷制御を容易にし、ムラなどの不良を最小化することができる。

また、この場合、互いに異なる波長の光を放出する副画素の間には、貫通部２０ｂが存在しない。なぜならば、インクジェット印刷工程時に同じヘッドから一方向にインクを吐出して、同波長の光を放出する複数個の副画素を形成するので、互いに異なる波長の光を放出する副画素の間には、貫通部が存在する必要がないためである。

図４及び図５は、本発明の他の一実施例による有機発光ディスプレイ装置を概略的に示す断面図である。

図４を参照すれば、基板（図示せず）上に、それぞれが副画素に対応する複数個の第１電極１０と、複数個の第１電極１０それぞれの中央部を含む少なくとも一部を露出させる複数個の開口部２０ａ、及び上面に引込み部２０ｂ’とを有する画素定義膜２０と、を含む。

副画素に対応する複数個の第１電極１０は、それぞれが画素電極と理解され、前記複数個の第１電極１０は基板上に配される。

図４を参照すれば、画素定義膜２０は、複数個の第１電極１０の中央部を露出させるように開口部２０ａを有し、画素定義膜２０の上面に引込み部２０ｂ’を有する。この際、画素定義膜２０は、同波長の光を放出する複数個の副画素の間にのみ引込み部２０ｂ’を有し、互いに異なる波長の光を放出する副画素の間には引込み部を有しなくとも良い。

上述したように、画素定義膜２０は、第１電極１０の中央部を露出させる開口部２０ａと同波長の光を放出する複数個の副画素の間に引込み部２０ｂ’を備えることができる。図３に示されたものと同様に、引込み部２０ｂ’の中央から複数個の第１電極１０のうち、引込み部２０ｂ’に最も隣接した１つの第１電極１０−１の中央までの距離ｄ１と引込み部２０ｂ’の中央から複数個の第１電極のうち、引込み部２０ｂ’に最も隣接した、第１電極１０−１に対向する、他の第１電極１０−２の中央までの距離ｄ２が同一である。

これは、インクジェット印刷を用いて中間層を形成する時、第１電極１０と画素定義膜２０の引込み部２０ｂ上に同じピッチでインクを吐出するためには、引込み部２０ｂ’は、同波長の光を放出する複数の副画素の中間に配されなければならない為である。

また、画素定義膜の引込み部２０ｂ’の深さｈ１は、画素定義膜の厚さｈ２の１／４〜１／２の深さに設定されることが望ましい。なぜならば、前述した画素定義膜の引込み部２０ｂ’の場合、最近ディスプレイ装置が高解像度化されることによって、第１電極間の距離が近くなり、第１電極の間に引込み部２０ｂ’を形成するのが容易ではないからである。

画素定義膜の引込み部２０ｂ’の深さｈ１は、画素定義膜の厚さｈ２の１／２以下に設定されることが望ましい。引込み部２０ｂ’の深さｈ１を画素定義膜の厚さｈ２の１／２以上に深く設定することが、第１電極間の間隔などを考慮すれば、容易ではないからである。また、画素定義膜の引込み部２０ｂ’の深さｈ１は、画素定義膜の厚さｈ２の１／４以上に設定されることが望ましい。引込み部２０ｂ’の深さｈ１を、画素定義膜の厚さｈ２の１／４以下に浅く設定すれば、引込み部２０ｂ’上に中間層を形成するインクを吐出する場合、インク量が引込み部２０ｂ’の容積よりも多く中間層を形成するインクが溢れるからである。

図５を参照すれば、複数個の第１電極１０と引込み部２０ｂ’との上に配される中間層３０、及び中間層３０上に配されて複数個の第１電極１０に対応すべく配される対向電極４０を備えることができる。

一般的に中間層３０は、第１電極１０上に配されるが、本発明の一実施例によれば、画素定義膜の引込み部２０ｂ’上にも中間層３０が配される。上述したように、中間層を形成するインクが続けて一定のピッチで吐出されるためには、同波長の光を放出する複数個の副画素を形成する過程で、前記複数個の副画素の間に配された引込み部２０ｂ’上にも中間層を形成するインクが吐出されなければならないからである。

一方、中間層３０上に配され、複数個の第１電極１０に対応すべく対向電極４０が配される。図５に示されたように、対向電極４０は、基板全面に対応すべく配される。

一方、図４を参照すれば、複数個の第１電極１０の中央部を露出させる複数個の開口部２０ａと、複数個の開口部２０ａの間に引込み部２０ｂ’とを有するように形成された画素定義膜２０が配される。

それぞれの副画素は、ｘ軸方向に同波長の光を放出するように配され、このような副画素の間にのみ引込み部２０ｂ’が存在することができる。図４に示されたように、引き込み部２０ｂ’は、ｘ軸方向の複数個の副画素の間にのみ存在し、ｙ軸方向の副画素の間には引込み部が存在しない。

このような構造によって、一般的な有機発光ディスプレイ装置で、アイランド状に画素を配して中間層を形成する場合、同波長の光を放出する複数個の副画素の間に引込み部２０ｂ’を配置することによって、中間層形成用インクが吐き出されるピッチを常に一定に保持して、印刷制御を容易にして、中間層形成時にムラなどの不良を最小化することができる。

また、この場合、互いに異なる波長の光を放出する副画素の間には、引込み部２０ｂ’が存在しない。これは、インクジェット印刷工程時、同じヘッドから一方向にインクを吐出して同波長の光を放出する複数個の副画素を形成するので、互いに異なる波長の光を放出する副画素の間には引込み部が存在する必要がないからである。

以上、有機発光ディスプレイ装置についてのみ主に説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。例えば、このような有機発光ディスプレイ装置の製造方法も本発明の範囲に属する言える。

以下、図１から図６を参照して本発明のさらに他の一実施例による有機発光ディスプレイ装置の製造方法について説明する。

まず、図１及び図２を参照すれば、基板（図示せず）上にそれぞれが副画素に対応する複数個の第１電極１０を形成する段階を経た後、複数個の第１電極１０それぞれの中央部を含む少なくとも一部を露出させる複数個の開口部２０ａと、貫通部２０ｂと、を有する画素定義膜２０を形成する段階を経ることができる。

画素定義膜２０は、上述したように複数個の第１電極１０の中央部を露出させるように形成される複数個の開口部２０ａと、複数個の貫通部２０ｂを有するように形成される。複数個の開口部２０ａは、複数個の第１電極１０に対応してそれぞれが副画素と理解される。

図３を参照すれば、画素定義膜２０の表面に形成される貫通部２０ｂはｘ軸方向に沿って形成された同波長の光を放出する複数個の副画素の間にのみ形成され、ｙ軸方向に沿って形成される互いに異なる波長の光を放出する副画素の間には形成されない。

次いで、図２に示されたように複数個の第１電極１０と貫通部２０ｂとの上に配される中間層３０を形成する段階を経て、中間層３０上に配され、複数個の第１電極１０に対応すべく配される対向電極４０を形成する段階を経ることができる。

この際、中間層３０は、インクジェット印刷工程で形成される。

一般的に中間層３０は、第１電極１０上に形成されるが、本発明では、インクジェット印刷で中間層３０を形成する時、中間層形成用インクが吐き出されるピッチを一定にするために、画素定義膜に形成された貫通部２０ｂにも、中間層形成用インクを吐き出すことができる。

上述したように、中間層形成用インクは、第１電極１０と貫通部２０ｂとの上に吐き出される。図３を参照すれば、この際、中間層形成用インクは、同じピッチで一定に吐き出される。すなわち、貫通部２０ｂの中央から複数個の第１電極１０のうち、最も隣接した１の第１電極１０−１の中央までの距離ｄ１と、貫通部２０ｂの中央から複数個の第１電極１０のうち、第１電極１０−１に対向する、１つの貫通部に最も隣接した他の第１電極１０−２の中央までの距離ｄ２が同一に設定される。

このような有機発光ディスプレイ装置の製造方法を通じて、一般的な有機発光ディスプレイ装置で、アイランド状に画素を配して中間層を形成する場合、同波長の光を放出する複数個の副画素の間に貫通部２０ｂを配置することによって、中間層形成用インクが吐き出されるピッチを常に一定に保持して印刷制御を容易にして中間層形成時に、ムラなどの不良を最小化することができる。

また、この場合、互いに異なる波長の光を放出する副画素の間には、貫通部２０ｂが存在しない。これは、インクジェット印刷工程時に、同じヘッドから一方向にインクを吐出して、同波長の光を放出する複数個の副画素を形成するので、互いに異なる波長の光を放出する副画素の間には、貫通部が存在する必要がないからである。

一方、図４及び図５に示されたように、本発明の他の一実施例によれば、それぞれが副画素に対応する複数個の第１電極１０を形成する段階を経て、複数個の第１電極１０それぞれの中央部を含む少なくとも一部を露出させる複数個の開口部２０ａと、上面に引込み部２０ｂ’とを有する画素定義膜２０を形成する段階を経ることができる。

この際、画素定義膜２０を形成する段階は、同波長の光を放出する複数個の副画素の間にのみ引込み部２０ｂ’が存在するように画素定義膜２０を形成することができる。すなわち、画素定義膜２０が有する引込み部は、互いに異なる波長の光を放出する副画素の間には、引込み部が存在しないように形成することができる。

図６に示されたように、引込み部２０ｂ’の中央から複数個の第１電極１０のうち、１つの第１電極１０−１の中央までの距離ｄ１と、引込み部の中央から複数個の第１電極１０のうち、第１電極１０−１に対向する、引込み部２０ｂ’に最も隣接した他の第１電極１０−２までの距離ｄ２が同一に設定される。

ここで画素定義膜２０を形成する段階で引込み部２０ｂ’と開口部２０ａとを同時に形成することができる。

この際、引込み部２０ｂ’の深さは、画素定義膜２０の厚さの１／４〜１／２に設定されることが望ましい。

画素定義膜２０を形成する過程で同波長の光を放出する複数個の副画素の間に形成される引込み部２０ｂ’は、ハーフトーンマスクやスリットマスクを利用して複数個の第１電極１０の中央部を露出させるように形成される開口部２０ａと同時に形成される。これを通じて、画素定義膜２０の上面に引込み部２０ｂ’を形成する過程を別途に経ずとも、画素定義膜の開口部２０ａを形成する過程で、引込み部２０ｂ’を同時に形成することができる。

次いで、図５に示されたように、複数個の第１電極１０と引込み部２０ｂ’との上に配される中間層３０を形成する段階を経ることができる。このような中間層３０は、インクジェット印刷工程で形成することができる。中間層３０を形成した後、基板全面にわたって、複数個の第１電極１０に対応すべく配される対向電極４０を中間層３０上に形成する段階を経ることができる。

中間層３０を形成する過程を、図６を参照して詳細に説明する。図６に示されたように、中間層３０は、中間層形成用インクを一定のピッチで吐出して形成される。中間層形成用インク３０’は、第１電極１０−１、１０−２…のみならず、引込み部２０ｂ’上にも吐き出される。図６において、引込み部２０ｂ’として図示された部分は、貫通部２０ｂと置き換えることもできる。すなわち、第１電極１０−１上に吐き出されるインク間の間隔ｐ１と、第１電極１０−１上に吐き出されるインクのうち、貫通部２０ｂまたは引込み部２０ｂ’と最も隣接して吐き出されたインクと、引込み部２０ｂ’上に吐き出されるインクとの間隔ｐ２が同一に設定されると理解される。

このような有機発光ディスプレイ装置の製造方法を通じて、一般的な有機発光ディスプレイ装置でアイランド状に画素を配して中間層を形成する場合、同波長の光を放出する複数個の副画素の間に引込み部２０ｂ’を配することによって、中間層形成用インクが吐き出されるピッチを常に一定に保持して、印刷制御を容易にして、中間層の形成時、ムラなどの不良を最小化することができる。

また、この場合、互いに異なる波長の光を放出する複数個の副画素の間には引込み部２０ｂ’が存在しない。これは、インクジェット印刷工程時に、同じヘッドから一方向にインクを吐出して同波長の光を放出する複数個の副画素を形成するので、互いに異なる波長の光を放出する副画素の間には、引込み部が存在する必要がないからである。

図７は、本発明のさらに他の一実施例による有機発光ディスプレイ装置を概略的に示す断面図である。

図７を参照すれば、有機発光ディスプレイ装置の各種構成要素は、基板１００上に形成する。基板１００は、透明な材料、例えば、ガラス材、プラスチック材、または、金属材からなりうる。

基板１００上には、バッファ層１０２、ゲート絶縁膜１０４、層間絶縁膜１０８、保護膜１１０のような共通層が基板１００の全面に形成され、チャネル領域、ソースコンタクト領域及びドレインコンタクト領域を含むパターニングされた半導体層１０３が形成され、このようなパターニングされた半導体層と共に、薄膜トランジスタの構成要素になるゲート電極１０５、ソース電極１０６、及びドレイン電極１０７が形成される。

バッファ層１０２は、シリコン窒化物及び／またはシリコン酸化物などで単層または複数層で形成される。

ゲート電極１０５は、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）、マグネシウム（Ｍｇ）、金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、ネオジム（Ｎｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、クロム（Ｃｒ）、リチウム（Ｌｉ）、カルシウム（Ｃａ）、モリブデン（Ｍｏ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、銅（Ｃｕ）のうち、選択された１つ以上の金属で単層または多層で形成される。

ソース電極１０６及びドレイン電極１０７は、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）、マグネシウム（Ｍｇ）、金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、ネオジウム（Ｎｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、クロム（Ｃｒ）、リチウム（Ｌｉ）、カルシウム（Ｃａ）、モリブデン（Ｍｏ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、銅（Ｃｕ）のうち、選択された１つ以上の金属で単層または多層で形成される。

ゲート絶縁膜１０４、層間絶縁膜１０８、保護膜１１０のような共通層は、無機絶縁膜で構成される。ゲート絶縁膜１０４、層間絶縁膜１０８、保護膜１１０のような共通層を形成する無機絶縁膜としては、ＳｉＯ_２、ＳｉＮ_ｘ、ＳｉＯＮ、Ａｌ_２Ｏ_３、ＴｉＯ_２、Ｔａ_２Ｏ_５、ＨｆＯ_２、ＺｒＯ_２、ＢＳＴ、ＰＺＴなどが含まれる。

また、このような薄膜トランジスタを覆い、その上面が略平坦な平坦化膜１１２が基板１００の全面に形成される。平坦化膜１１２も前記共通層と同様に無機絶縁膜で構成されうる。

前述の平坦化膜１１２上には、パターニングされた画素電極１０、基板１００の全面に略対応する対向電極４０、及び画素電極１０と対向電極４０との間に配され、発光層を含んだ多層構造の中間層３０を含む、有機発光素子（ＯＬＥＤ）が位置するように形成される。もちろん、中間層３０は図示とは異なって、一部の層は、基板１００の全面に略対応する共通層でもあり、他の一部の層は、画素電極１０に対応すべくパターニングされたパターン層でもある。画素電極１０は、ビアホールを通じて薄膜トランジスタに電気的に連結される。もちろん、画素電極１０の縁部を覆い、各画素領域を定義する開口を有する画素定義膜２０が基板１００の全面に略対応すべく平坦化膜１１２上に形成される。

本発明は、図示された実施例を参考にして説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当該技術分野で通常の知識を有する者であれば、これより多様な変形及び均等な他の実施例が可能であるという点が理解できるであろう。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によって決められねばならない。

１０ 第１電極
２０ 画素定義膜
２０ａ 開口部
２０ｂ 貫通部
２０ｂ’ 引込み部
３０ 中間層
４０ 対向電極
１００ 基板
１０２ バッファ層
１０３ 半導体層
１０４ ゲート絶縁膜
１０５ ゲート電極
１０６ ソース電極
１０７ ドレイン電極
１０８ 層間絶縁膜
１１０ 保護膜
１１２ 平坦化膜

Claims (19)

1. それぞれが副画素に対応する複数個の第１電極と、
   前記複数個の第１電極それぞれの中央部を含む少なくとも一部を露出させる複数個の開口部、及び上面に引込み部を有する画素定義膜と、
   前記複数個の第１電極及び前記引込み部上に配される中間層と、
   前記中間層上に配され、前記複数個の第１電極に対応すべく配される対向電極と、を備え、
   前記画素定義膜は、同波長の光を放出する複数個の副画素の間にのみ前記引込み部を有する、有機発光ディスプレイ装置。
2. 前記画素定義膜は、互いに異なる波長の光を放出する副画素の間には引込み部を有しない、請求項１に記載の有機発光ディスプレイ装置。
3. 前記引込み部の中央から前記複数個の第１電極のうち、前記引込み部に最も隣接した１つの第１電極の中央までの距離と、前記引込み部の中央から前記複数個の第１電極のうち、前記１つの第１電極に対向する、前記引込み部に最も隣接した他の第１電極の中央までの距離が同一である、請求項１に記載の有機発光ディスプレイ装置。
4. 前記引込み部の深さは、前記画素定義膜の厚さの１／４〜１／２である請求項１に記載の有機発光ディスプレイ装置。
5. それぞれが副画素に対応する複数個の第１電極と、
   前記複数個の第１電極それぞれの中央部を含む少なくとも一部を露出させる複数個の開口部、及び貫通部を有する画素定義膜と、
   前記複数個の第１電極上及び前記貫通部に配される中間層と、
   前記中間層上に配され、前記複数個の第１電極に対応すべく配される対向電極と、を備え、
   前記画素定義膜は、同波長の光を放出する複数個の副画素の間にのみ前記貫通部を有する、有機発光ディスプレイ装置。
6. 前記画素定義膜は、互いに異なる波長の光を放出する複数個の副画素の間には貫通部を有しない、請求項５に記載の有機発光ディスプレイ装置。
7. 前記貫通部の中央から前記複数個の第１電極のうち、前記貫通部に最も隣接した１つの第１電極の中央までの距離と、前記貫通部の中央から前記複数個の第１電極のうち、前記１つの第１電極に対向する、前記貫通部に最も隣接した他の第１電極の中央までの距離が同一である、請求項５に記載の有機発光ディスプレイ装置。
8. 前記中間層は、インクジェット印刷工程で形成された、請求項１から７の何れか１項に記載の有機発光ディスプレイ装置。
9. それぞれが副画素に対応する複数個の第１電極を形成する段階と、
   前記複数個の第１電極それぞれの中央部を含む少なくとも一部を露出させる複数個の開口部、及び上面に引込み部を有する画素定義膜を形成する段階と、
   前記複数個の第１電極及び前記引込み部上に配される中間層を形成する段階と、
   前記中間層上に配され、前記複数個の第１電極に対応すべく配される対向電極を形成する段階と、を含み、
   前記画素定義膜を形成する段階は、同波長の光を放出する複数個の副画素の間にのみ前記引込み部が存在するように画素定義膜を形成する段階である、有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
10. 前記画素定義膜を形成する段階は、互いに異なる波長の光を放出する副画素の間には、引込み部が存在しないように画素定義膜を形成する段階である請求項９に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
11. 前記引込み部の中央から前記複数個の第１電極のうち、前記引込み部に最も隣接した１つの第１電極の中央までの距離と、前記引込み部の中央から前記複数個の第１電極のうち、前記１つの第１電極に対向する、前記引込み部に最も隣接した他の第１電極の中央までの距離が同一に設定される、請求項９に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
12. 前記画素定義膜を形成する段階は、前記引込み部と前記開口部とを同時に形成する段階である、請求項９に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
13. それぞれが副画素に対応する複数個の第１電極を形成する段階と、
    前記複数個の第１電極それぞれの中央部を含む少なくとも一部を露出させる複数個の開口部、及び貫通部を有する画素定義膜を形成する段階と、
    前記複数個の第１電極上及び前記貫通部に配される中間層を形成する段階と、
    前記中間層上に配され、前記複数個の第１電極に対応すべく配される対向電極を形成する段階と、を含み、
    前記画素定義膜を形成する段階は、同波長の光を放出する複数個の副画素の間にのみ前記貫通部が存在するように画素定義膜を形成する段階である、有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
14. 前記画素定義膜を形成する段階は、互いに異なる波長の光を放出する複数個の副画素の間には貫通部が存在しないように画素定義膜を形成する段階である、請求項１３に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
15. 前記貫通部の中央から前記複数個の第１電極のうち、前記貫通部に最も隣接した１つの第１電極の中央までの距離と、前記貫通部の中央から前記複数個の第１電極のうち、前記１つの第１電極に対向する、前記貫通部に最も隣接した他の第１電極の中央までの距離が同一に設定される、請求項１３に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
16. 前記画素定義膜を形成する段階は、前記貫通部と前記開口部とを同時に形成する段階である、請求項１３に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
17. 前記中間層を形成する段階は、インクジェット印刷工程で形成される段階である請求項９から１６の何れか１項に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
18. 前記中間層を形成する段階は、中間層を形成するインクを一定のピッチで吐出して中間層を形成する段階である、請求項１７に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
19. 前記中間層を形成する段階は、前記第１電極上に吐き出されるインク間の間隔と、前記第１電極上に吐き出されるインクのうち、前記引込み部または前記貫通部と最も隣接して吐き出されたインク及び前記引込み部または前記貫通部上に吐き出されるインクとの間隔とが同一に設定される、請求項１７に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。