JP2015011632A - キーパターン検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】キーパターンPkをワークピース11b上で検出するキーパターン検出方法は、ワークピース上の特徴点を撮像して形成した第一の画素数を有するキーパターン画像を登録する登録ステップと、ワークピース上を撮像して該キーパターン画像より広い視野の第二の画素数のワークピース撮像画像40bを形成するワークピース撮像画像形成ステップと、該キーパターン画像の各画素の濃淡度と該ワークピース撮像画像の各画素の濃淡度とを合計した値を該第一の画素数と該第二の画素数との和で割った濃淡度平均値を算出し、2値化処理用閾値とする閾値設定ステップと、該閾値設定ステップで設定した該2値化処理用閾値で該キーパターン画像に2値化処理を施す2値化処理ステップと、を備える。
【選択図】図6
Description
本実施の形態では、キーパターン検出方法の第1の態様について説明する。第1の態様に係るキーパターン検出方法は、登録ステップ、ワークピース撮像画像形成ステップ、閾値設定ステップ、2値化処理ステップ、パターンマッチングステップを含む。
本実施の形態では、キーパターン検出方法の第2の態様について説明する。第2の態様に係るキーパターン検出方法は、登録ステップ、ワークピース撮像画像形成ステップ、第一の平均値算出ステップ、第二の平均値算出ステップ、閾値設定ステップ、2値化処理ステップ、パターンマッチングステップを含む。なお、登録ステップ、ワークピース撮像画像形成ステップ、2値化処理ステップ、パターンマッチングステップは、実施の形態1と同様である。
4 基台
6 筐体
8 加工ヘッド
10 カメラ
12 レーザー照射ユニット
14 チャックテーブル
16 カセットエレベータ
18 カセット
20 モニタ
22 制御装置
22a メモリ
22b 処理プログラム
30a,30b,30c 撮像画像
32 キーパターン画像
34 マッチング用枠
36 被マッチング画像
40a 撮像画像
40b ワークピース撮像画像
42 キーパターン画像
44 被マッチング画像(パターン)
46 マッチング用枠
11,11a,11b ワークピース
13 デバイス領域
15 外周余剰領域
17a,17b ストリート(加工予定ライン)
19,19a,19b デバイス
P パターン
Pk キーパターン
Claims (3)
- キーパターンをワークピース上で検出するキーパターン検出方法であって、
ワークピース上の特徴点を撮像して形成した第一の画素数を有するキーパターン画像を登録する登録ステップと、
ワークピース上を撮像して該キーパターン画像より広い視野の第二の画素数のワークピース撮像画像を形成するワークピース撮像画像形成ステップと、
該キーパターン画像の各画素の濃淡度と該ワークピース撮像画像の各画素の濃淡度とを合計した値を該第一の画素数と該第二の画素数との和で割った濃淡度平均値を算出し、2値化処理用閾値とする閾値設定ステップと、
該閾値設定ステップで設定した該2値化処理用閾値で該キーパターン画像に2値化処理を施す2値化処理ステップと、を備えたことを特徴とするキーパターン検出方法。 - キーパターンをワークピース上で検出するキーパターン検出方法であって、
ワークピース上の特徴点を撮像して形成した第一の画素数を有するキーパターン画像を登録する登録ステップと、
ワークピース上を撮像して該キーパターン画像より広い視野の第二の画素数のワークピース撮像画像を形成するワークピース撮像画像形成ステップと、
該キーパターン画像の各画素の濃淡度の合計を該第一の画素数で割りキーパターン画像濃淡度平均値を算出する第一の平均値算出ステップと、
該ワークピース撮像画像の各画素の濃淡度の合計を該第二の画素数で割りワークピース撮像画像濃淡度平均値を算出する第二の平均値算出ステップと、
該第一の平均値算出ステップで算出した該キーパターン画像濃淡度平均値と該第二の平均値算出ステップで算出した該ワークピース撮像画像濃淡度平均値との平均値を算出し、2値化処理用閾値とする閾値設定ステップと、
該キーパターン画像に該閾値設定ステップで設定した該2値化処理用閾値で2値化処理を施す2値化処理ステップと、を備えたことを特徴とするキーパターン検出方法。 - 前記2値化処理ステップを実施した後、該ワークピース撮像画像に該2値化処理用閾値で2値化処理を施し、該ワークピース撮像画像上で2値化処理が施された該キーパターン画像をパターンマッチングして相関性を算出するとともに、最も高い相関性が得られた領域をキーパターンとして検出するパターンマッチングステップを更に備えたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のキーパターン検出方法。
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2001099625A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | パターン検査装置およびパターン検査方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016146403A (ja) * | 2015-02-06 | 2016-08-12 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
KR20180103701A (ko) * | 2017-03-09 | 2018-09-19 | 파스포드 테크놀로지 주식회사 | 다이 본딩 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 |
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