JP2015007725A - 光学的結像装置 - Google Patents
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Abstract
Description
顕微鏡における分解能、露光装置における最小スポット径はいずれもλm=λ/nsinθと表わされる量λmの数倍程度である。λが小さいほど、nが大きいほど、θが大きいほど分解能を高めるのに有利である。
瞳面励振の第一のカテゴリーはガウス波による励振である。光ビームは通常ビームウェストと呼ばれる面で最も細くなり、それから離れるに従い徐々にビーム直径が拡がる。レーザーポインターなどが典型的で、ビームウェストの直径が1mm内外、数mから数百m伝播しても直径はmmオーダーまたはcmオーダーである。露光装置で用いられるのはこれと対照的で、波長オーダーのビームウェストをもち、ビーム全体は頂角の開きの大きな鼓型をなす。どちらの場合もビームウェストにおける界の分布がガウス関数型、すなわち
Wがそれより小さくなるにつれ、利用効率は高まるが焦点面のビーム半径は大きくなる。同時にリップル率は改善される。その様子を図4の破線で示した曲線に示す。このことは次の考察により了解される。
nsinθと表される量と等価である。焦点面のガウス関数に鋭いピークを持たせるためには瞳面のガウス関数の裾部分が瞳面の最大半径で遮られる事態が不可避となる。
微細加工を目的とするシステムでは主ビームの半径を小さくすることが重要である。そのため、瞳面の中心部分を暗く、周辺部分を明るくすることが有効であることが近年見いだされた(特許文献1)。自由度は領域の分け方、内側の透過率のふたつがある。図5−1に示すように瞳面を内側・外側に半径比α:(1−α)に、外側の透過率=1,内側の透過率をbとして、bを半固定パラメータ、aを可変パラメータとして焦点面のビーム半径、リップル率を解析すると図5-2の結果が得られる。瞳面の励振を2次元変数に対しくぼみ形にすると主ビームの半径は小さくでき、代償としてリップル率が劣化(増大)する。
なお、瞳フィルタは露光系用に開発されているが、リップル率が高いため顕微鏡用には用いられない。
・一つには使用波長を小さく(短波長化)、入射許容角の増大、液浸媒質の高屈折率化・第二にはその「数倍程度」の比例係数を小さくすることにかかっている。
この側面の瞳フィルタは,例えば、
光学顕微鏡の瞳面の複素透過率が半径rの関数であって,
その振幅部分が中央部分でrの単調減少関数であり,周辺部分に極大を持ち,その位相部分が一定とならしめる瞳フィルタである。
瞳面の複素透過率が,半径βの関数であって,
振幅部分は関数
位相部分は一定ならしめるである瞳フィルタであるか,又はその振幅部分を階段関数または滑らかな関数で近似した瞳フィルタであってもよい。
瞳面に入射する励起光が瞳フィルタを通過したのち
振幅部分が中央部分でrの単調減少関数であり,周辺部分に極大を持ち,
位相部分が一定ならしめる瞳フィルタである。
この側面の瞳フィルタは,例えば、
光学顕微鏡の瞳面の複素透過率が半径rの関数であって,
その振幅部分が中央部分でrの単調減少関数であり,周辺部分に極大を持ち,その位相部分が一定とならしめる瞳フィルタである。
瞳面の複素透過率が,半径βの関数であって,
振幅部分は関数
位相部分は一定ならしめるである瞳フィルタであるか,又はその振幅部分を階段関数または滑らかな関数で近似した瞳フィルタであってもよい。
瞳面に入射する励起光が瞳フィルタを通過したのち
振幅部分が中央部分でrの単調減少関数であり,周辺部分に極大を持ち,
位相部分が一定ならしめる瞳フィルタである。
振幅部分は関数
位相部分は一定ならしめる瞳フィルタ,あるいはその振幅部分を階段関数または滑らかな関数で近似した瞳フィルタであってもよい。
光学顕微鏡において、液浸形(水、屈折率1.33)、最大受光角70度、NA=1.25
の対物レンズを用いる。図11に示すごとく、対物射出瞳と共役な瞳面に瞳フィルタを挿入する。瞳フィルタの瞳面各半径における透過率は次のように定める
H(r)=(1+cosπr/W)/2 (r<W)
= 0 (r>W)
このように、鋭い瞳関数をより緩やかな瞳関数で置き換えても、焦点面関数の変化は十分小さいことがわかる。
瞳フィルタは対物レンズの瞳面に設置することができるが、接眼レンズの瞳面など、より容易かつ安価に設置できるところを選んで実装することが有利である。
顕微鏡とほぼ同等の設計方針を採用する。ただし、より細いビームを用いるため虚数シフトαを0.31λmに選んだ。瞳フィルタを設計しやすくするため例1と同様にHanning
窓関数を用いる(2nW=200,100,40,20,10)とした。焦点面関数の変化は図9の2次元マップに示すとおりであって、40以上に対しては変化は十分小さい。図13に示す露光装置において、対物瞳面と共役な位置に瞳フィルタを挿入する。作成の便を考慮し、2nW=100に対する曲線を図14の折れ線(区分的に一様な関数)で近似した瞳フィルタを用いる。像関数の性質は図9の三角点左から3番目と図上で一致する。
そのような瞳フィルタはよく知られている計算機ホログラムの方法によって作成する。
Claims (4)
- 瞳フィルタを有する光学顕微鏡であって、
前記瞳フィルタは,
前記光学顕微鏡の瞳面の複素透過率が半径rの関数であって,
その振幅部分が中央部分でrの単調減少関数であり,周辺部分に極大を持ち,その位相部分が一定とならしめる
光学顕微鏡。 - 瞳フィルタを有する露光装置であって、
前記瞳フィルタは、
瞳面に入射する励起光が瞳フィルタを通過したのち
振幅部分が中央部分でrの単調減少関数であり,周辺部分に極大を持ち,
位相部分が一定ならしめる瞳フィルタである、
露光装置。
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JP2013133309A JP2015007725A (ja) | 2013-06-26 | 2013-06-26 | 光学的結像装置 |
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JP2013133309A JP2015007725A (ja) | 2013-06-26 | 2013-06-26 | 光学的結像装置 |
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2013
- 2013-06-26 JP JP2013133309A patent/JP2015007725A/ja active Pending
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