JP2014529972A5 - 物理量を検出する容量性変換器システム - Google Patents
物理量を検出する容量性変換器システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014529972A5 JP2014529972A5 JP2014528692A JP2014528692A JP2014529972A5 JP 2014529972 A5 JP2014529972 A5 JP 2014529972A5 JP 2014528692 A JP2014528692 A JP 2014528692A JP 2014528692 A JP2014528692 A JP 2014528692A JP 2014529972 A5 JP2014529972 A5 JP 2014529972A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitive
- core
- coupled
- transducer system
- amplifier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims 14
- 230000003472 neutralizing Effects 0.000 claims 5
- 230000003068 static Effects 0.000 claims 4
- 230000001808 coupling Effects 0.000 claims 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 2
- 230000003071 parasitic Effects 0.000 claims 2
- 230000005591 charge neutralization Effects 0.000 claims 1
- 230000001264 neutralization Effects 0.000 claims 1
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 claims 1
Claims (7)
- 物理量を検出する容量性変換器システムであって、
前記容量性変換器システムは、
前記物理量に基づいてコア出力を生成する容量性コアであって、第1の可変キャパシタ、第2の可変キャパシタ、前記第1の可変キャパシタに結合された第1のコア入力、前記第2の可変キャパシタに結合された第2のコア入力、及び、前記第1の可変キャパシタと前記第2の可変キャパシタとの間の共通ノードに結合されたコア出力、を備えた、容量性コアと、
増幅器入力と増幅器出力とを有する増幅器であって、前記増幅器入力は前記コア出力を受信するために前記共通ノードに切り替え可能に結合され、前記増幅器出力は変換器出力を提供する、増幅器と、
前記変換器出力を前記容量性コアの前記共通ノードに切り替え可能に結合するフィードバックパスと、
第1のフェーズと第2のフェーズとを有するメインクロックであって、前記容量性変換器システムの部品を結合するスイッチの開閉を制御する、メインクロックと、を備え、
前記メインクロックが前記第1のフェーズのときに、前記容量性コアの前記第1の入力は正の基準電圧に結合され、前記容量性コアの前記第2の入力は負の基準電圧に結合され、前記容量性コアの前記共通ノードは前記変換器出力に結合され、前記負の基準電圧は前記正の基準電圧と実質的に同じ振幅及び反対の極性を有し、
前記メインクロックが前記第2のフェーズのときに、前記容量性コアの前記第1及び第2の入力はグラウンドに結合され、前記容量性コアの前記共通ノードは前記増幅器入力に結合される、
容量性変換器システム。 - 請求項1の容量性変換器システムにおいて、
前記増幅器は、前記容量性変換器システムにおける単一の増幅器である、
容量性変換器システム。 - 請求項1の容量性変換器システムにおいて、
中和キャパシタをさらに備え、
前記中和キャパシタは、前記容量性変換器システムにおけるフィードスルー容量及び寄生容量を除去する、
容量性変換器システム。 - 請求項3の容量性変換器システムにおいて、
前記中和キャパシタは、前記容量性変換器システムにおけるフィードスルー容量及び寄生容量をオフセットするために調整される、
容量性変換器システム。 - 請求項3の容量性変換器システムにおいて、
前記中和キャパシタは、前記増幅器入力及び前記変換器出力に切り替え可能に結合され、前記メインクロックが前記第1のフェーズのときに、前記中和キャパシタは、前記変換器出力に結合され、前記メインクロックが前記第2のフェーズのときに、前記中和キャパシタは、前記増幅器入力に結合される前記容量性コアの前記共通ノードに結合される、
容量性変換器システム。 - 請求項5の容量性変換器システムにおいて、
前記増幅器は、前記容量性変換器システムにおける単一の増幅器である、
容量性変換器システム。 - 請求項6の容量性変換器システムにおいて、
前記容量性コアは、第1の静止容量性プレート、第2の静止容量性プレート、第1の可動容量性プレート、及び、第2の可動容量性プレート、を含み、
前記第1の可動容量性プレートは、前記第2の可動容量性プレートに結合されて前記共通ノードを形成し、
前記第1の可変キャパシタは、前記第1の静止容量性プレートと前記第1の可動容量性プレートとによって形成され、
前記第2の可変キャパシタは、前記第2の静止容量性プレートと前記第2の可動容量性プレートとによって形成される、
容量性変換器システム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/224,144 US8816703B2 (en) | 2011-09-01 | 2011-09-01 | Linear capacitance-to-voltage converter using a single amplifier for accelerometer front ends with cancellation of spurious forces contributed by sensor circuitry |
US13/224,144 | 2011-09-01 | ||
PCT/US2012/053646 WO2013033697A1 (en) | 2011-09-01 | 2012-09-04 | Linear capacitance-to-voltage converter using a single amplifier for transducer front ends with cancellation of spurious forces contributed by sensor circuitry |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014529972A JP2014529972A (ja) | 2014-11-13 |
JP2014529972A5 true JP2014529972A5 (ja) | 2015-10-29 |
JP6038152B2 JP6038152B2 (ja) | 2016-12-07 |
Family
ID=47049343
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014528692A Active JP6038152B2 (ja) | 2011-09-01 | 2012-09-04 | 物理量を検出する容量性変換器システム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8816703B2 (ja) |
EP (1) | EP2751579B1 (ja) |
JP (1) | JP6038152B2 (ja) |
CN (1) | CN103842829B (ja) |
WO (1) | WO2013033697A1 (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9032777B2 (en) * | 2011-09-16 | 2015-05-19 | Robert Bosch Gmbh | Linearity enhancement of capacitive transducers by auto-calibration using on-chip neutralization capacitors and linear actuation |
US9116164B2 (en) * | 2013-03-07 | 2015-08-25 | Robert Bosch Gmbh | Pseudo-differential accelerometer with high electromagnetic interference rejection |
US8841962B1 (en) * | 2013-04-26 | 2014-09-23 | Linear Technology Corporation | Leakage compensation for switched capacitor integrators |
US9778074B2 (en) * | 2013-03-14 | 2017-10-03 | Rosemount Inc. | Process measurement system with variable amplitude sensor excitation |
US9939290B1 (en) * | 2013-09-16 | 2018-04-10 | Panasonic Corporation | Method for calibration of a system with time-multiplexed sensors |
CN104519286A (zh) * | 2014-12-21 | 2015-04-15 | 天津大学 | 图像传感器寄生不敏感模拟累加器及时序控制方法 |
CN107251436B (zh) * | 2015-02-24 | 2021-08-06 | 欧姆尼设计技术有限公司 | 具有电压放大器的差分开关电容器电路和相关联的方法 |
JP6507918B2 (ja) * | 2015-08-04 | 2019-05-08 | アイシン精機株式会社 | 操作入力検知装置 |
WO2018042528A1 (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 株式会社日立製作所 | 容量式センサ |
CN107505479B (zh) * | 2017-09-26 | 2019-08-30 | 华中科技大学 | 一种静电加速度计 |
DE102018217809A1 (de) * | 2018-10-18 | 2020-04-23 | Robert Bosch Gmbh | Mikroelektromechanischer Inertialsensor mit einem Substrat und einer auf dem Substrat angeordneten elektromechanische Struktur |
US11567100B2 (en) | 2019-11-07 | 2023-01-31 | Honeywell International Inc. | Vibrating beam accelerometer with additional support flexures to avoid nonlinear mechanical coupling |
EP3862757B1 (en) | 2020-02-07 | 2024-03-27 | Atlantic Inertial Systems Limited | Methods for closed loop operation of capacitive accelerometers and such capacitive accelerometers |
US11374575B1 (en) | 2021-05-21 | 2022-06-28 | Kepler Computing Inc. | Majority logic gate with non-linear input capacitors and conditioning logic |
US11290112B1 (en) | 2021-05-21 | 2022-03-29 | Kepler Computing, Inc. | Majority logic gate based XOR logic gate with non-linear input capacitors |
CN114414848B (zh) * | 2021-12-01 | 2022-10-25 | 西安电子科技大学 | 基于对称驱动的mems电容型传感器的馈通电容提取方法 |
US11664370B1 (en) | 2021-12-14 | 2023-05-30 | Kepler Corpating inc. | Multi-function paraelectric threshold gate with input based adaptive threshold |
US11705905B1 (en) | 2021-12-14 | 2023-07-18 | Kepler Computing, Inc. | Multi-function ferroelectric threshold gate with input based adaptive threshold |
US11967954B1 (en) | 2022-04-20 | 2024-04-23 | Kepler Computing Inc. | Majority or minority logic gate with non-linear input capacitors without reset |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1992003740A1 (en) * | 1990-08-17 | 1992-03-05 | Analog Devices, Inc. | Monolithic accelerometer |
FR2706038B1 (fr) | 1993-06-02 | 1995-07-21 | Suisse Electronique Microtech | Dispositif de mesure d'une force. |
US5661240A (en) | 1995-09-25 | 1997-08-26 | Ford Motor Company | Sampled-data interface circuit for capacitive sensors |
JP3262013B2 (ja) * | 1997-02-24 | 2002-03-04 | 三菱電機株式会社 | 容量型センサインターフェース回路 |
US6035694A (en) | 1999-03-12 | 2000-03-14 | I/O Of Austin, Inc. | Method and apparatus for calibration of stray capacitance mismatch in a closed loop electro-mechanical accelerometer |
ITTO20010699A1 (it) * | 2001-07-17 | 2003-01-17 | St Microelectronics Srl | Metodo e circuito di rilevamento di spostamenti tramite sensori micro-elettro-meccanici con compensazione di capacita' parassite e di movime |
US7078916B2 (en) * | 2004-04-06 | 2006-07-18 | Analog Devices, Inc. | Linearity enhancement for capacitive sensors |
FR2937741B1 (fr) | 2008-10-24 | 2010-11-12 | E2V Semiconductors | Accelerometre en boucle ouverte |
-
2011
- 2011-09-01 US US13/224,144 patent/US8816703B2/en active Active
-
2012
- 2012-07-18 US US13/551,652 patent/US8823398B2/en active Active
- 2012-09-04 JP JP2014528692A patent/JP6038152B2/ja active Active
- 2012-09-04 CN CN201280048384.3A patent/CN103842829B/zh active Active
- 2012-09-04 EP EP12775557.7A patent/EP2751579B1/en active Active
- 2012-09-04 WO PCT/US2012/053646 patent/WO2013033697A1/en active Application Filing
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2014529972A5 (ja) | 物理量を検出する容量性変換器システム | |
JP2012120168A5 (ja) | オフセット除去回路 | |
WO2019035978A3 (en) | HYBRID TOUCH SENSOR PANEL ARCHITECTURE WITH CLEAN CAPACITY AND MUTUAL CAPACITY | |
EA201791255A1 (ru) | Распылитель | |
JP2015530780A5 (ja) | ||
JP2011205883A5 (ja) | 昇圧回路 | |
WO2011100014A3 (en) | Electro-acoustic filter | |
WO2014149416A3 (en) | Magnetic field sensor having an externally accessible coil | |
WO2014053911A3 (en) | Analog to digital converter including a pre-charge circuit | |
BR112015019571A2 (pt) | formas de {4,6-diamino-2-[1-(2-fluorobenzil)-1h-pirazolo[3,4-b]piridino-3-il]pirimidino-5-il}metilcarbamato de metila | |
WO2014043206A3 (en) | Histotripsy therapy system | |
WO2009014013A1 (ja) | 磁気センサ回路 | |
EP2806553A3 (en) | Circuit for generating a voltage waveform | |
JP2014502119A5 (ja) | ||
WO2013169694A3 (en) | Configurable speaker | |
JP2015047061A5 (ja) | ||
WO2015123250A3 (en) | Stacked metal oxide semiconductor (mos) and metal oxide metal (mom) capacitor architecture | |
WO2012167239A3 (en) | Apparatus and systems digital phase interpolator with improved linearity | |
JP2015043686A5 (ja) | ||
CA2900094C (en) | Acoustic transmitter for transmitting a signal through a downhole medium | |
EP3672552A4 (en) | ARRANGEMENT OF DISPOSABLE GENDER ABSORBENT ARTICLES | |
JP2016535487A5 (ja) | ||
WO2017050043A1 (zh) | 电容式传感器的传感单元 | |
EP3600197A4 (en) | SET OF DISPOSABLE PANTY-TYPE SEX-SPECIFIC ABSORBENT ARTICLES | |
TWD171561S (zh) | 可變形且可互相連接的玩具組(二) |