JP2014511996A - 磁場測定装置および磁場測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
磁場を求めるないしは測定するための種々異なる装置が存在する。これは、殊にホールセンサ、AMR(AMR: Anisotrope Magneto Registance)センサ、フィールドプレート、フィールドコイル、フラックスゲートセンサ、GMR(GMR: giant magnetoresistancenoまたは巨大磁気抵抗)センサ、TMR(TMR: tunnel magnetoresistanceまたはトンネル磁気抵抗)センサおよびSQIDS(Superconducting Quantum Interference Deviceまたは超伝導量子干渉素子)である。
この課題は、請求項1に記載された本発明の装置によって解決される。本発明による装置のコア材料は、1つの層としてまたは互いに間隔をおいて配置された複数の層として構成される。このコアは、(a)2.5mm≧G≧0.2mmの最大全体サイズGと、(b)2μm≧D≧0.2μmの厚さDと、(c)値20以上の、幅に対する長さの比とを有する。この寸法設定により、少なくとも1つの層が磁気的な非等方性層として構成されたコアが得られる。この磁気的な非等方性層は、磁化について有利には2回対称性(180°対称性)を有している。この装置を以下ではフリップコアセンサと称する。
Claims (10)
- 磁化反転可能なコア材料を有するコア(10)と、前記コア材料を磁化反転する励磁コイルとを備えた磁場測定装置であって、
前記磁化反転可能なコア材料は、1つの層としてまたは互いに間隔をおいて配置された複数の層(12,14,16,18,20)として構成されており、
前記コア(10)は、
− 2.5mm≧G≧0.2mmの最大全体サイズGを有しており、
− 値20以上の、幅に対する長さの比を有しており、
− 2μm≧D≧0.2μmの厚さDを有している、磁場測定装置において、
複数の層(12,14,16,18,20)を有するコア(10)の磁化反転可能なコア材料からなる当該複数の層(12,14,16,18,20)の各層の厚さは、60nm≧DS≧20nmの層厚DSを有する、
ことを特徴とする磁場測定装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記磁化反転可能なコア材料は、2000以上の、殊に10000以上の相対透磁率を有する、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1または2に記載の装置において、
前記コア(10)の前記磁化反転可能なコア材料は、軟磁性材料である、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1から3までのいずれか1項に記載の装置において、
前記コア(10)の前記磁化反転可能なコア材料は、ニッケル−鉄合金である、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1から4までのいずれか1項に記載の装置において、
磁化反転可能なコア材料からなる前記層の間に1つずつの非磁性中間層(22,24,26,28)が配置されている、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1から5までのいずれか1項に記載の装置において、
前記磁化反転プロセスを検出するためのデバイスを有する、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1から6までのいずれか1項に記載の装置を含むマイクロメカニカルシステム。
- 請求項1から6までのいずれか1項の記載の装置を用いて磁場を測定する方法であって、
周期的に交番する磁場を形成して前記コア材料を周期的に磁化反転させるために前記励磁コイルに交流電流を通流させ、
前記測定すべき磁場と、前記励磁コイルの前記磁場とを重畳させ、前記交流電流のゼロ通過を基準にした前記コア材料の磁化反転の時間的なシフトから前記測定すべき磁場を推定する、
ことを特徴とする方法。 - 請求項8に記載の方法において、
前記装置は、前記磁化反転プロセスを検出するためのデバイスを有する、
ことを特徴とする方法。 - 請求項8または9に記載の方法において、
前記デバイスは、前記磁化反転可能なコア材料によって生じる磁場変化を測定するための測定コイルを有しており、
前記測定コイルに誘導される電圧変化によって、殊に電圧パルスによって前記磁化反転の時点を求める、
ことを特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102011005764A DE102011005764A1 (de) | 2011-03-18 | 2011-03-18 | Vorrichtung und Verfahren zum Messen von Magnetfeldern |
DE102011005764.1 | 2011-03-18 | ||
PCT/EP2012/053037 WO2012126693A1 (de) | 2011-03-18 | 2012-02-23 | Vorrichtung und verfahren zum messen von magnetfeldern |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014511996A true JP2014511996A (ja) | 2014-05-19 |
JP5882444B2 JP5882444B2 (ja) | 2016-03-09 |
Family
ID=45808790
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014500305A Expired - Fee Related JP5882444B2 (ja) | 2011-03-18 | 2012-02-23 | 磁場測定装置および磁場測定方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9316703B2 (ja) |
EP (1) | EP2686695B1 (ja) |
JP (1) | JP5882444B2 (ja) |
KR (1) | KR101843218B1 (ja) |
CN (1) | CN103460066B (ja) |
DE (1) | DE102011005764A1 (ja) |
TW (1) | TWI586985B (ja) |
WO (1) | WO2012126693A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012210049A1 (de) * | 2012-06-14 | 2013-12-19 | Robert Bosch Gmbh | Hybrid integriertes Bauteil und Verfahren zu dessen Herstellung |
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TWI551876B (zh) * | 2014-12-01 | 2016-10-01 | Magnetic field sensing device and method | |
US10978448B2 (en) * | 2016-01-22 | 2021-04-13 | Texas Instruments Incorporated | Integrated fluxgate device |
JP2021036199A (ja) * | 2017-10-06 | 2021-03-04 | 株式会社村田製作所 | 磁気センサ及び電流センサ |
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US10901011B2 (en) * | 2018-11-06 | 2021-01-26 | Efficient Power Conversion Corporation | Magnetic field pulse current sensing for timing-sensitive circuits |
JP6791237B2 (ja) * | 2018-12-28 | 2020-11-25 | Tdk株式会社 | 磁気センサ装置 |
CN113030796B (zh) | 2021-03-10 | 2022-10-25 | 洛玛瑞芯片技术常州有限公司 | 一种磁传感器 |
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KR100476848B1 (ko) | 1999-03-17 | 2005-03-17 | 사우스웨스트 리서치 인스티튜트 | 강자성체로 된 판상 구조의 원거리 범위 검사 방법 및 장치 |
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DE102009001617A1 (de) | 2009-03-17 | 2010-09-23 | Robert Bosch Gmbh | Sensormodul für ein Fahrzeugsicherheitssystem und Verfahren zum Betreiben eines solchen Sensormoduls |
CN102147451B (zh) | 2011-01-14 | 2013-10-16 | 广东工业大学 | 一种基于铁基非晶合金磁芯的磁通门探头及其制造方法 |
TWM414027U (en) * | 2011-06-01 | 2011-10-11 | Hiwin Mikrosystem Corp | Linear motor Coil Package configuration |
-
2011
- 2011-03-18 DE DE102011005764A patent/DE102011005764A1/de not_active Withdrawn
-
2012
- 2012-02-23 JP JP2014500305A patent/JP5882444B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2012-02-23 EP EP12707258.5A patent/EP2686695B1/de active Active
- 2012-02-23 US US14/005,983 patent/US9316703B2/en active Active
- 2012-02-23 CN CN201280014110.2A patent/CN103460066B/zh active Active
- 2012-02-23 WO PCT/EP2012/053037 patent/WO2012126693A1/de active Application Filing
- 2012-02-23 KR KR1020137024720A patent/KR101843218B1/ko active IP Right Grant
- 2012-03-16 TW TW101109006A patent/TWI586985B/zh not_active IP Right Cessation
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI586985B (zh) | 2017-06-11 |
KR101843218B1 (ko) | 2018-03-28 |
CN103460066B (zh) | 2016-07-06 |
US20140077796A1 (en) | 2014-03-20 |
DE102011005764A1 (de) | 2012-09-20 |
CN103460066A (zh) | 2013-12-18 |
JP5882444B2 (ja) | 2016-03-09 |
US9316703B2 (en) | 2016-04-19 |
KR20140012995A (ko) | 2014-02-04 |
EP2686695B1 (de) | 2015-04-29 |
WO2012126693A1 (de) | 2012-09-27 |
TW201243370A (en) | 2012-11-01 |
EP2686695A1 (de) | 2014-01-22 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140822 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A601 | Written request for extension of time |
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A602 | Written permission of extension of time |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150302 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151117 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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