JP2014236120A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施例の半導体装置10について説明する。図1に示すように、半導体装置10はSiCで形成される半導体基板11を備えている。半導体基板11には、素子領域と、素子領域を取り囲む非素子領域が形成されている。以下では、素子領域について説明し、非素子領域については従来公知の構成であるためその説明を省略する。
次に、図1〜図3を参照して半導体装置10の製造方法について説明する。以下では、本明細書に開示する技術に関連する部分については詳細に説明し、それ以外の部分については従来公知の方法であるため説明を省略する。本実施例では、半導体基板準備工程、第2半導体領域形成工程、上面側素子形成工程、及び電極形成工程を実施することによって、半導体装置10を製造する。
まず、図2に示すように符号30で示すn+型の原料ウエハを準備する。原料ウエハは、単結晶のSiCを材料とするウエハであり、半導体装置10の完成時にドレイン領域30となるものである。次に、原料ウエハをエピタキシャル成長させ、n−型のドリフト領域32を形成する。ドリフト領域32の形成時には、n型の不純物である窒素を所定の濃度で含有させる。続いて、ドリフト領域32をエピタキシャル成長させ、p+型のベース領域36を形成する。ベース領域36の形成時には、p型の不純物であるボロンを所定の濃度で含有させる。これにより、半導体基板11が形成される。即ち、半導体基板11の表面11aにはベース領域36が形成される。
次に、半導体基板11の表面11aにマスク15を形成し、表面11aからベース領域36に窒素をイオン注入する。イオン注入は、半導体基板11の深さ方向(図2の−z軸方向(以下、単に「深さ方向」とも称する))に向かって行う。本実施例では注入深さを変えながら4回に亘ってイオン注入を行う。イオン注入後、1600〜1800[℃]でアニール処理を実施し、注入した窒素を活性化させることにより、図3に示すようなn+型のソース領域40を形成する。ソース領域40の形成工程については、後で詳しく説明する。
次に、マスク15を除去した後に、半導体基板11にコンタクト領域38、ゲートトレンチ24、絶縁膜26、ゲート電極16、キャップ絶縁膜45からなる上面側素子を形成する。上面側素子は一般的なn型MOSFETのトレンチゲート構造であるため、その詳細な形成方法については説明を省略する。続いて、半導体基板11の表面11aに、ソース領域40及びコンタクト領域38とオーミック接触するソース電極46を形成する。同様に、半導体基板11の裏面11bに、ドレイン領域30とオーミック接触するドレイン電極28を形成する。ソース電極46及びドレイン電極28は、蒸着等により形成される。以上の工程により、図1に示す半導体装置10が製造される。
図7に示すように、半導体装置110はSiCで形成される半導体基板111を備えている。半導体基板111の素子領域には、ジャンクションバリアショットキダイオード(JBSダイオード)が形成されている。即ち、素子領域には、半導体基板111の上面に臨む範囲に、p+型のアノード領域140とn−型のドリフト領域136が形成されている。ドリフト領域136は、アノード領域140の側面及び下面に接しており、アノード領域140を取り囲むように形成されている。ドリフト領域136の下方にはn+型のカソード領域130が、ドリフト領域136と接するように形成されている。カソード領域130は、ドリフト領域136によってアノード領域140から分離されている。また、カソード領域130の不純物濃度はドリフト領域136の不純物濃度よりも高くされている。半導体基板111の表面111aにはアノード電極146が形成されており、裏面111bにはカソード電極128が形成されている。アノード領域140及びドリフト領域136は、アノード電極146とオーミック接触しており、カソード領域130はカソード電極128とオーミック接触している。なお、ドリフト領域136は「第1導電型の第1半導体領域」の一例に相当し、アノード領域140は「第2導電型の第2半導体領域」の一例に相当する。
次に、図8〜図9を参照して半導体装置110の製造方法について説明する。本実施例では、半導体基板準備工程、第2半導体領域形成工程、及び電極形成工程を実施することによって、半導体装置110を製造する。
まず、図8に示すように符号130で示すn+型の原料ウエハ(半導体装置110完成時のカソード領域)をエピタキシャル成長させ、n−型のドリフト領域136を形成する。原料ウエハは単結晶のSiCを材料としている。ドリフト領域136の形成時には、n型の不純物である窒素を所定の濃度で含有させる。これにより、半導体基板111が形成される。即ち、半導体基板111の表面111aにはドリフト領域136が形成されている。
次に、半導体基板111の表面111aにマスク115を形成し、表面111aからドリフト領域136に不純物であるボロンをイオン注入する。イオン注入は実施例1の半導体装置10の製造方法と同様の方法で行われるため、その詳細な説明は省略する。イオン注入後、アニール処理を実施しボロンを活性化させることにより、図9に示すようなp+型のアノード領域140を形成する。
次に、マスク115を除去した後に、半導体基板111の表面111aに、アノード領域140及びドリフト領域136とオーミック接触するアノード電極146を形成し、半導体基板111の裏面111bに、カソード領域130とオーミック接触するカソード電極128を形成する。以上の工程により、図7に示す半導体装置110が製造される。
11:半導体基板
36:ベース領域
40:ソース領域
Claims (4)
- 半導体装置の製造方法であって、
SiCを材料としており、一方の表面に第1導電型の第1半導体領域が形成されている半導体基板を準備する半導体基板準備工程と、
半導体基板の一方の表面から第1半導体領域に注入深さを変えながら多段階のイオン注入によって第2導電型の不純物を注入して第2半導体領域を形成する第2半導体領域形成工程と、
を備えており、
第2半導体領域形成工程では、多段階のイオン注入において注入深さが最深となるときの前記不純物のドーズ量が、注入深さが最深でないときの前記不純物のドーズ量よりも少ないことを特徴とする、半導体装置の製造方法。 - 第2半導体領域形成工程では、多段階のイオン注入において注入エネルギーが最大となるときの前記不純物のドーズ量が、注入エネルギーが最大でないときの前記不純物のドーズ量よりも少ないことを特徴とする、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- SiCを材料とする半導体基板を備えた半導体装置であって、
半導体基板は、
第1導電型の第1半導体領域と、
第1半導体領域の少なくとも上面に接している第2導電型の第2半導体領域と、を備えており、
第2半導体領域における第2導電型の不純物の不純物濃度は、
第2半導体領域の下面の近傍において、半導体基板の深さ方向に低下しており、
その不純物濃度が1.0×1016〜1.0×1017[cm−3]となる領域において、不純物濃度が10分の1まで低下するときの深さ方向の長さが60[nm]以下であることを特徴とする、半導体装置。 - 第2半導体領域は、半導体基板の上面に臨む範囲に配置されており、
半導体基板は、
第1半導体領域の下方に位置しており、第1半導体領域によって第2半導体領域から分離されている第2導電型のドリフト領域と、
第2半導体領域及び第1半導体領域を貫通してドリフト領域にまで延びるゲートトレンチ内に配置され、第2半導体領域とドリフト領域とを分離している範囲の第1半導体領域と絶縁膜を介して対向しているゲート電極と、をさらに備えていることを特徴とする、請求項3に記載の半導体装置。
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