JP2014225653A - 樹脂モールド - Google Patents
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Abstract
Description
本出願の特許請求の範囲は、米国特許法35 U.S.C. §119(e)に基づいて2013年4月11日に出願された米国仮出願第61/810,991号の利益を主張するものであり、その内容がここに参考文献として援用される。
実験手順:
シリーズAの実験
表1は、樹脂モールドの組成物及び当該樹脂モールドの高さの変化を示している。表1に示されている組成物は、成分A1(Constituent A1、平均分子量:約1850; p:8.7(平均値); q:5.1(平均値))及び開始剤I(Initiator I)を含む。成分A1及び開始剤Iに加えて、成分A2(Constituent A2、平均分子量:約1000; n:1.5(平均値))及び/又は成分Bが添加される。成分A2は、フッ素原子を含み、重合性基の数の分子量に対する比が、成分A1より高いため、成分A2は、撥液性に寄与すると同時に、成分A1より架橋密度に対してより大きな寄与をするものと考えられる。成分B(Constituent B)の重合性基の数の分子量に対する比は、成分A1、A2及びBの中で最も大であるので、成分Bは、最も架橋密度に寄与しているものと考えられる。エントリー2-6の組成物により形成された樹脂モールドの、400回の転写後の寸法誤差(Δt/t0)% が12%より小であるので、エントリー2-6はナノインプリントのための樹脂モールドを形成するのに望ましい組成物である。
表2は、樹脂の組成物及び樹脂モールドの高さの変化を示す。表2に示す組成物は、成分A1(Constituent A1、平均分子量:約1850; p:8.7(平均値); q: 5.1(平均値))、成分B(Constituent B)及び開始剤I(Initiator I)を含む。成分Bの重合性基の数の分子量に対する比が、成分A1より大であるので、成分Bは、架橋密度に最も大きな寄与をしていると考えられる。エントリー2-4の組成物により形成された樹脂モールドの、50回の転写後の寸法誤差(Δt/t0)%が10%以内であるので、エントリー2-4はナノインプリントのための樹脂モールドを形成するのに望ましい組成物である。
開始剤Iの代わりに、例えば、アセトフェノン型開始剤、ベンゾイン型開始剤、ベンジルケタール型開始剤、アントラキノン型開始剤、アシロキシム型開始剤及びアシルホスフィンオキシド型開始剤が前駆体の硬化に用いることができる(成分A1、A2及びB)。
Claims (16)
- 樹脂モールドであって、
複数の第1の部分と複数の第2の部分とが形成された第1の表面と、
第2の表面と、を含み、
前記樹脂モールドにおいて、
前記樹脂モールドを用いた転写を400回行う前の第1の時間における、前記複数の第1の部分と前記第2の表面との間の距離である第1の距離は、前記第1の時間における前記複数の第2の部分と前記第2の表面との間の距離である第2の距離より大であり、
前記転写を400回行った後の第2の時間における、前記複数の第1の部分と前記第2の表面との間の距離である第3の距離は、前記第2の時間における前記複数の第2の部分と前記第2の表面との距離である第4の距離より大であり、
前記第1の距離と前記第2の距離との差である第1の差は、前記第3の距離と前記第4の距離との差である第2の差とは異なり、
前記第1の差と前記第2の差との差である第3の差の、前記第1の差に対する比は、12%又はそれより小であること、
を特徴とする樹脂モールド。 - 請求項1に記載の樹脂モールドにおいて、
前記樹脂モールドは、複数の炭素−フッ素結合を含む第1の樹脂を含むこと、
を特徴とする樹脂モールド。 - 請求項2に記載の樹脂モールドにおいて、
前記第1の樹脂は、第1のユニットと第2のユニットとを含み、
前記第1のユニットは、第1の主鎖を有し、
前記第2のユニットは、第2の主鎖を有し、
前記第1の主鎖に含まれる1原子あたりのフッ素原子の含有量である第1の平均含有量は、第2の主鎖に含まれる1原子あたりのフッ素原子の含有量である第2の平均含有量とは異なること、
を特徴とする樹脂モールド。 - 請求項3に記載の樹脂モールドにおいて、
前記第1の樹脂は、さらに第3のユニットを有し、
前記第3のユニットは、第3の主鎖を有し、
前記第3の主鎖に含まれる1原子あたりのフッ素原子の含有量である第3の平均含有量は、前記第1の平均含有量及び前記第2の含有量とは異なること、
を特徴とする樹脂モールド。 - 樹脂モールドであって、
複数の第1の部分及び複数の第2の部分が形成された第1の表面と、
第2の表面と、を含み、
前記樹脂モールドにおいて、
複数の第1の部分と前記第2の表面との間の距離である第1の距離は、前記複数の第2の部分と前記第2の表面との間の距離である第2の距離より大であり、
前記樹脂モールドは、第1の樹脂を含み、
前記第1の樹脂は第1のユニットと第2のユニットとを含み、
前記第1のユニットは、第1の主鎖を含み、
前記第2のユニットは、第2の主鎖を含み、
前記第1の主鎖に含まれる1原子あたりのフッ素原子の含有量である第1の平均含有量は、前記第2の主鎖に含まれる1原子あたりのフッ素原子の含有量である第2の平均含有量とは異なること、
を特徴とする樹脂モールド。 - 請求項5に記載の樹脂モールドにおいて、
前記第1の樹脂は、さらに第3のユニットを含み、
前記第3のユニットは、第3の主鎖を含み、
前記第3の主鎖に含まれる1原子あたりのフッ素原子の含有量である第3の平均含有量は、前記第1の含有量及び前記第2の含有量とは異なること、
を特徴とする樹脂モールド。 - 請求項1に記載の樹脂モールドにおいて、
前記樹脂モールドは、第1の樹脂を含み、
前記第1の樹脂に含まれるフッ素原子の濃度は、20重量%又はそれより大であること、
を特徴とする樹脂モールド。 - 樹脂モールドであって、
複数の第1の部分及び複数の第2の部分が形成された第1の表面と、
第2の表面と、を含み、
前記樹脂モールドにおいて、前記複数の第1の部分と前記第2の表面との間の距離である第1の距離は、前記複数の第2の部分と前記第2の表面との間の距離である第2の距離より大であり、
前記樹脂モールドは、第1の樹脂を備え、
前記第1の樹脂に含まれるフッ素原子の濃度は、20重量%又はそれより大であること、
を特徴とする樹脂モールド。 - 請求項8に記載の樹脂モールドにおいて、
前記フッ素原子の濃度は、76重量%又はそれより小であること、
を特徴とする樹脂モールド。 - 請求項9に記載の樹脂モールドにおいて、
前記フッ素原子の濃度は、24.8重量%又はそれより大であること、
を特徴とする樹脂モールド。 - 請求項8に記載の樹脂モールドにおいて、
前記フッ素原子の濃度は、32.1重量%又はそれより小であること、
を特徴とする樹脂モールド。 - 請求項1に記載の樹脂モールドにおいて、
前記樹脂モールドは、第1の樹脂を含み、
前記第1の樹脂は、二つのフッ素原子に結合した炭素原子と炭素原子及びフッ素原子以外の第1の構成原子との間の結合である第1の結合を含むこと、
を特徴とする樹脂モールド。 - 請求項12に記載の樹脂モールドにおいて、
前記第1の樹脂は、二つのフッ素原子に結合した炭素原子と炭素原子との間の結合である第2の結合を含むこと、
を特徴とする樹脂モールド。 - 請求項12に記載の樹脂モールドにおいて、
前記第1の樹脂は、第1のフッ素原子、第2のフッ素原子、第1の炭素原子及び第2の炭素原子に結合した炭素原子を含むこと、
を特徴とする樹脂モールド。 - 請求項14に記載の樹脂モールドにおいて、
前記第1の炭素原子は、炭素原子及びフッ素原子以外の第2の構成原子に結合していること、
を特徴とする樹脂モールド。 - 複数の部品を製造する製造方法であって、
請求項1に記載の樹脂モールドを用意し、
前記複数の部品を製造するために転写を繰り返すこと、
を特徴とする複数の部品の製造方法。
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A977 | Report on retrieval |
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A02 | Decision of refusal |
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