JP2014210277A - レーザ切断方法、レーザ出射ユニット及びレーザ切断装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[装置全体の構成]
[実施例]
[他の実施形態または変形例]
12 レーザ電源
16 レーザ出射ユニット
18 主制御部
20 スキャナ制御部
22 アシストガス供給部
24 加工テーブル機構
40 ノズル
40a スリット状先端口
44 ガルバノスキャナ
46 集光レンズ
54 テーブルローラ
86 ノズル本体
88 吊り棒
90 ガラス板
Claims (21)
- 加工対象の板材に対して、アシストガスを噴き付けながら、レーザ発振器より発振出力されたレーザビームを集光レンズにより集光して照射し、前記レーザビームのビームスポットを相対的に移動させることにより、前記板材を前記ビームスポットの移動する経路に沿って溶融または蒸発させて分断するレーザ切断方法であって、
前記レーザビームの光路上で、前記集光レンズの前段にガルバノスキャナを配置するとともに、前記集光レンズの後段に無端のループ形状をなすスリット状先端口を有するノズルを配置し、
前記アシストガスを前記ノズルの前記スリット状先端口を介して前記板材に噴き付けながら、前記レーザ発振器からの前記レーザビームを前記ガルバノスキャナ、前記集光レンズおよび前記ノズルの前記スリット状先端口を介して前記板材に照射し、
前記板材上で前記レーザビームのビームスポットが予め設定された切断経路をトレースするように、前記ガルバノスキャナにより前記レーザビームをスキャニングして、前記レーザビームを前記ノズルの前記スリット状先端口の中で周回方向に移動させる、
ことを特徴とするレーザ切断方法。 - 前記スリット状先端口のループ形状は多角形である、請求項1記載のレーザ切断方法。
- 前記スリット状先端口のループ形状は三角形である、請求項2記載のレーザ切断方法。
- 前記板材に、前記切断経路の1単位として、起点から第1の方向に任意の第1の距離だけ延びる第1の切断区間と、前記第1の切断区間の終端から前記第1の方向と直交する第2の方向に任意の第2の距離だけ延びる第2の切断区間と、前記第2の切断区間の終点から前記第1の方向と逆の方向に前記第1の距離と等しい第3の距離だけ延びる第3の切断区間と、前記第3の切断区間の終点から前記第2の方向に任意の第4の距離だけ延びる第4の切断区間とが設定され、
前記スリット状先端口は、前記第4の距離よりも短くて前記第4の切断区間と重なり得る底辺としての第1の辺と、前記第1または第3の距離と等しい高さと、切断途中の前記第1の切断区間と斜めに交差し得る第2の辺と、切断途中の前記第3の切断区間と斜めに交差し得る第3の辺とを有し、
前記板材上で前記切断経路の1単位の分断を行うときは、前記板材が前記ノズルに対して相対的に前記第2の方向と逆の方向に移動しながら、前記レーザビームが、前記スリット状先端口において、前記第1の切断区間を切断するために前記第1の辺と対向する第2の頂点へ向かって前記第2の辺の中を移動し、前記第2の切断区間を切断するために前記第2の頂点で静止し、前記第3の切断区間を切断するために第2の頂点から前記第1の辺と前記第3の辺が交わる第3の頂点へ向かって前記第3の辺の中を移動し、前記第4の切断区間を切断するために前記第3の頂点から前記第1の頂点へ向かって前記第1の辺の中を移動する、
請求項3に記載のレーザ切断方法。 - 前記板材上で前記切断経路の1単位の分断を前記第2の方向において複数回または無数回連続的に繰り返して行うときは、前記ノズルに対する前記板材の相対的な移動を持続しながら、前記スリット状先端口における前記レーザビームの一周移動を一定の周期で複数回または無数回連続的に繰り返す、請求項4に記載のレーザ切断方法。
- 前記板材は金属テープであり、
前記金属テープ上にテープ長さ方向の切断経路とテープ幅方向の切断経路とを交互に繰り返すパターンの切断経路が設定され、
前記金属テープを前記切断経路に沿って分断するために、前記金属テープが前記ノズルに対して相対的にテープ長さ方向に一定の速度で移動しながら、前記レーザビームが前記ノズルの前記スリット状先端口の中で周回方向に一周する動作が一定の周期で繰り返される、
請求項3に記載のレーザ切断方法。 - レーザ切断加工のために加工対象の板材に向けてアシストガスを噴き付けながらレーザビームを出射するレーザ出射ユニットであって、
レーザ発振器より伝送されて来る前記レーザビームを前記板材上に集光させるための集光レンズと、
前記レーザビームの光路上で前記集光レンズの前段に設けられ、前記レーザビームのビームスポットが前記板材上に設定された切断経路をトレースするように、前記レーザビームを二次元方向でスキャニングするためのガルバノスキャナと、
前記レーザビームの光路上で前記集光レンズの後段に設けられ、アシストガス供給部より送られて来る前記アシストガスを導入するとともに、前記集光レンズを透過して来る前記レーザビームを導入する筒状のノズル本体と、無端のループ形状をなすスリット状先端口とを有し、前記スリット状先端口より前記アシストガスを噴射するとともに前記レーザビームを出射するノズルと
を備えるレーザ出射ユニット。 - 前記集光レンズは、テレセントリック性のfθレンズである、請求項7に記載のレーザ出射ユニット。
- 前記ノズル本体の上端の開口を塞いで、前記集光レンズからの前記レーザビームを透過させる透明板を有する、請求項7または請求項8に記載のレーザ出射ユニット。
- 前記ノズル本体の中に、上端が前記透明板に結合され、下端が前記スリット状先端口によって周囲を包囲されている吊り部材が設けられている、請求項7〜9のいずれか一項に記載のレーザ出射ユニット。
- 前記吊り部材の下端面は多角形である、請求項10に記載のレーザ出射ユニット。
- 前記吊り部材の下端面は三角形である、請求項11に記載のレーザ出射ユニット。
- 前記吊り部材は、上から下に向かって逆テーパ状に太くなる吊り棒を有する、請求項10〜12のいずれか一項に記載のレーザ出射ユニット。
- 前記吊り棒の側面と前記ノズル本体の側壁との間のスペースは、上から下に向かってテーパ状に狭くなる、請求項13に記載のレーザ出射ユニット。
- 前記レーザビームは、前記ノズル本体および前記スリット状先端口の中を無反射で通過する、請求項10〜14のいずれか一項に記載のレーザ出射ユニット。
- 請求項7〜15のいずれか一項に記載のレーザ出射ユニットと、
レーザビームを発振出力するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から前記レーザ出射ユニットへ前記レーザビームを伝送するレーザ伝送部と、
前記レーザ出射ユニットの前記ノズルにアシストガスを供給するアシストガス供給部と
を有するレーザ切断装置。 - 前記レーザ出射ユニットと加工対象の板材との間で所定方向に相対的な移動を行わせる移動機構を有する、請求項16に記載のレーザ切断装置。
- 前記移動機構は、静止状態の前記スリット状先端口の近傍を前記板材が前記所定方向で通過するように、前記板材を搬送する加工テーブル機構を有する、請求項17に記載のレーザ切断装置。
- 前記板材は金属テープであり、
前記加工テーブル機構は、前記金属テープをその回転する外周面に一定の回転角度だけ載せて前記スリット状先端口の近傍を通過させるローラを有する、
請求項18に記載のレーザ切断装置。 - 前記ローラは、バキューム機構に接続されている多孔質の金属またはセラミックを含む円筒状の胴部を有し、前記バキューム機構より前記胴部の内部に与えられるバキュームの吸引力によって、その外周面に載っている前記金属テープを保持する、請求項19に記載のレーザ切断装置。
- 前記ローラの外周面には、前記金属テープ上の前記切断経路と対向する位置に溝部が形成されている、請求項20に記載のレーザ切断装置。
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