JP2014195839A - 研磨パッド及び研磨パッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】長寿命で且つ研磨性能が安定した湿式研磨パッド、及びこのような湿式研磨パッドの製造方法を提供する。
【解決手段】湿式研磨パッド７は、研磨面９に複数の溝１７が形成された湿式研磨パッドであって、涙形気泡２５を有する研磨シート１９と、研磨シート１９の一方の面１９ａに形成された接着層２３と、涙形気泡２５を有し一方の面２１ａが接着層２３に貼り付けられた研磨シート２１と、を備え、複数の溝１７は、研磨シート１９の他方の面１９ｂから、研磨シート２３の他方の面２１ｂ近傍までの深さを有している。
【選択図】図３

Description

本発明は、研磨パッド及び研磨パッドの製造方法に関し、特に、湿式研磨パッド及び湿式研磨パッドの製造方法に関する。

従来から、半導体デバイスや液晶ディスプレイ用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、磁気ディスク用ガラス基板等の被研磨物の表面を研磨して平坦化する方法として、化学的機械的研磨法（ＣＭＰ法）が用いられている。ＣＭＰ法を用いて被研磨物を研磨する際は、研磨パッドを被研磨物に押し当て、両者の間に研磨スラリーを供給しながら研磨パッドと被研磨物とを回転させる。研磨スラリーは、研磨パッドの回転に伴う遠心力によって、中心側から外側に向かって流れ、最終的には研磨パッドの外部に排出される。また、近年では、研磨スラリーを被研磨物の表面に均等かつ十分に行き渡らせて被研磨物を一様で高精度に平坦化すること、高価な研磨スラリーの消費を抑えること、及びスクラッチの原因となる研磨屑を効率的に排出することを達成するために、研磨パッドの研磨面に様々な形状の溝を形成する技術が多用されている。

そして研磨面に溝が形成された研磨パッドとしては、特許文献１に記載されたものが知られている。

特開２０１０−１１５７１７号公報

一般的に、溝付き研磨パッドでは、溝の間の研磨面部分が磨耗して溝が無くなると研磨性能が著しく低下するため、溝付きの研磨パッドの製品寿命は実質的に溝の深さに比例する。そこで溝付き研磨パッドの製品寿命を延ばすためには、研磨パッドを厚くして溝を深くすることが考えられる。しかしながら、湿式凝固法により得られるポリウレタン製の研磨パッド（以下、湿式研磨パッドという）は、上層部から下層部向けて垂れるように延びる涙形気泡を内部に有しており、気泡の開口面積は、研磨面部分の磨耗が進むにしたがって大きくなる。そうすると、湿式研磨パッドでは、上層部から下層部に向けて樹脂の密度が低くなっており、その上層部を研磨面として使用するときの研磨パッドの樹脂の表面積と、その下層部を研磨面として使用するときの研磨パッドの樹脂の表面積が著しく異なる。

したがって、溝付きの湿式研磨パッドは製品寿命を延ばすために、単に研磨パッドを厚くして溝を深くしたとしても、研磨パッドの磨耗が進んで下層部が研磨面として露出したときの研磨特性が決して良好でないことに起因して研磨性能が不安定になるだけであり、研磨パッドの製品寿命を延ばすための現実的な解決策にはならない。

そこで本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、長寿命で且つ研磨性能が安定した湿式研磨パッド、及びこのような湿式研磨パッドの製造方法を提供することを目的とする。

上述した課題を解決するために、本発明は、研磨面に複数の溝が形成された湿式研磨パッドであって、涙形気泡を有する第一の湿式研磨シートと、この第一の湿式研磨シートの一方の面に形成された接着層と、涙形気泡を有し一方の面が接着層に貼り付けられた第二の湿式研磨シートと、を備え、複数の溝は、第一の湿式研磨シートの他方の面から、第二の湿式研磨シートの他方の面近傍までの深さを有している。

このように構成された本発明によれば、同じ厚さの研磨パッドを一枚のシートにより構成した場合と比較して、研磨パッドの厚さ方向において研磨パッドの樹脂の密度をより均一にすることができる。従って、本発明によれば、研磨パッドを厚くしたとしても、研磨パッドの厚さ方向において樹脂の密度をより均一にすることができるので、製品寿命が長く、かつ研磨性能が安定した湿式研磨パッドを提供することができる。

また、本発明において、好ましくは、溝はエンボス加工によって形成されている。

このように構成された本発明によれば、エンボス加工によって溝を形成することによって、切削加工によって溝を形成する場合と比較して、隣接する溝の間の研磨面部分が脱落するのを防止することができる。

また、本発明において、好ましくは、第一の湿式研磨シートの一方の面は、第一の湿式研磨シートの涙形気泡の丸底部が形成されている側の面であり、第二の湿式研磨シートの一方の面は、当該第二の湿式研磨シートの涙形気泡の丸底部が形成されている側の面である。

このように構成された本発明によれば、研磨パッドの研磨面を第一の湿式研磨シートの涙形気泡の丸底部が形成されていない側の他方の面によって構成し、研磨パッドの研磨面とは反対側の面を第二の湿式研磨シートの涙形気泡の丸底部が形成されていない側の他方の面によって構成することができる。このように構成された湿式研磨パッドの樹脂の密度は、溝が形成されていない状態では、第一の湿式研磨シート及び第二の湿式研磨シートの涙形気泡の丸底部が形成されていない側の他方の面、及び接着層が形成されている中央部において比較的高くなり、第一の湿式研磨シート及び第二の湿式研磨シートの涙形気泡の丸底部が形成されていない側の他方の面と接着層との間において比較的低くなる。そしてこのような湿式研磨パッドに、エンボス加工を用いて溝を形成すると、湿式研磨パッドの厚さ方向にわたって樹脂の密度を均一にすることができる。これにより、製品寿命が長く、かつ研磨性能が安定した研磨パッドを提供することができる。

また、本発明において、好ましくは、接着層は、ポリウレタン系樹脂である。

このように構成された本発明によれば、第一の湿式研磨シートと第二の湿式研磨シートとの間に形成された接着層によっても被研磨物を研磨することができる。

また、上述した課題を解決するために、本発明は、研磨面に複数の溝が形成された湿式研磨パッドの製造方法であって、涙形気泡を有する第一の湿式研磨シートの一方の面に接着層を形成し、涙形気泡を有する第二の湿式研磨シートの一方の面を接着層に貼り付け、第一の湿式研磨シートの他方の面から、第二の湿式研磨シートの他方の面近傍までの深さを有する、複数の溝を形成することを備える。

このように構成された本発明によれば、同じ厚さの研磨パッドを一枚のシートにより構成した場合と比較して、研磨パッドの厚さ方向において研磨パッドの樹脂の密度をより均一にすることができる。従って、本発明によれば、研磨パッドを厚くしたとしても、研磨パッドの厚さ方向において樹脂の密度をより均一にすることができるので、製品寿命が長く、かつ研磨性能が安定した湿式研磨パッドを製造することができる。

以上のように、本発明によれば、長寿命で且つ研磨性能が安定した湿式研磨パッド、及びこのような湿式研磨パッドの製造方法を提供することができる。

本発明の実施形態による湿式研磨パッドを備える研磨装置を示す断面図である。 本発明の実施形態による湿式研磨パッドの研磨面を示す上面図である。 図２のIII-III断面における断面図である。 本発明の実施形態による湿式研磨パッドを構成する研磨シートを示す断面図である。 本発明の実施形態による研磨シートを積層した状態を示す断面図である。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態による湿式研磨パッド及び湿式研磨パッドの製造方法について説明する。図１は、本発明による湿式研磨パッドを備える研磨装置を示す断面図である。

先ず、図１に示すように、研磨装置１は、ＣＭＰ法により被研磨物３の面を平坦化するものである。研磨装置１は、回転軸周りに回転する研磨定盤５と、研磨定盤５の上面に固定された湿式研磨パッド７と、湿式研磨パッド７の研磨面９を目立てするためのドレッサ１１と、被研磨物３を保持するための保持具１３と、研磨スラリーを研磨面９に供給するための研磨スラリー供給装置１５とを備えている。

このような研磨装置１は、研磨スラリー供給装置１５から湿式研磨パッド７の研磨面９に研磨スラリーを供給しながら、研磨定盤５を及び保持具１３を回転させることによって、保持具１３に保持された被研磨物３の表面を平坦化するようになっている。

図２は、湿式研磨パッドの研磨面を示す上面図である。

湿式研磨パッド７は、湿式凝固法によって得られる発泡ポリウレタンで形成されており、その研磨面９には、研磨スラリーを流すための複数の溝１７が形成されている。溝１７は、研磨面９の中心から径方向に直線状に、湿式研磨パッド７の外周まで延びている。図２に示す例では、湿式研磨パッド７の研磨面９に１６本の溝が研磨面９の中心から直線放射状に延びている。

研磨スラリー供給装置１５の供給部は、研磨面９の中心の真上に配置されており、研磨スラリー供給装置１５から供給された研磨スラリーは、研磨面９の中心に供給される。そして供給された研磨スラリーの一部は、研磨面９の中心から溝１７内に入り、研磨面９の中心付近から湿式研磨パッド７の外周に向けて流れる。即ち、溝１７は、研磨スラリーを研磨面９の中心付近から湿式研磨パッド７の外周まで流すための流路を形成しており、この流路は、研磨面９の中心付近が上流となり、湿式研磨パッド７の外周付近が下流となっている。

図３は、図２のIII-III断面における断面図である。また、図４は、湿式研磨パッドを構成する研磨シートを示す断面図である。

図３に示すように、湿式研磨パッド７は、湿式凝固法によって得られる２枚の発泡ポリウレタン製の研磨シート１９，２１を、接着層２３を介して貼り合わせて構成されている。接着層２３は、研磨シート１９の一方の面１９ａ、及び研磨シート２１の一方の面２１ａに貼り合わされている。これら２枚の研磨シート１９，２１と接着層２３は、湿式研磨パッド７の研磨層を構成し、使用時には、所定の基材（図示せず）上に固定される。研磨シート１９，２１同士を貼り合わせるための接着層２３は、ポリウレタン系樹脂によって構成されていることが好ましい。接着層２３を構成する材料を、研磨シート１９，２１を構成する材料と同一樹脂もしくは同系統の樹脂で同一樹脂硬度以下の樹脂DMF溶液とすることにより、接着層２３によっても研磨を行えるからである。

また、湿式研磨パッド７の溝１７は、エンボス加工によって形成されている。この溝は、研磨シート１９の接着層２３と隣接していない他方の面１９ｂから、研磨シート２１の接着層２３と隣接していない他方の面２１ｂ近傍までの深さを有している。より具体的には、溝１７は、その底が少なくとも研磨シート２１の最大高さよりも低い位置に形成され、研磨シート２１の厚さ方向でみたときに、溝１７の底が、研磨シート１９の他方の面１９ｂよりも、研磨シート２１の他方の面２１ｂの近くにくるような深さを有している。なお、溝１７の深さは、より深いほうが好ましく、これにより、湿式研磨パッド７の製品寿命を延ばすことができる。

エンボス加工によって溝１７を形成する場合には、湿式研磨パッド７の研磨層全体の厚みよりも厚い厚さを有する突起を備える金型を準備し、この金型によって研磨シート１９の他方の面１９ｂを押し込む。これにより押し込まれた部分における研磨シート１９の他方の面１９ｂ、及び一方の面１９ａ、接着層２３、並びに下方に配置された研磨シート２１の一方の面２１ａが、一斉に研磨シート２１の他方の面２１ｂ付近まで押し込まれて押し込まれた部分の厚みが、他の部分の厚みよりも薄くなり、これにより、研磨シート１９の他方の面１９ｂから研磨シート２１の他方の面２１ｂ近傍までの深さの溝１７が形成される。

研磨シート１９，２１は、湿式凝固法により製造されたものである。湿式凝固法では、先ず、ポリウレタン樹脂をＤＭＦ溶液に溶解し、これを所定の基材上に塗布する。そして基材を水槽に沈めることによって樹脂を水中で凝固再生させる。基材を水槽に沈めると、樹脂が水と接触している面から徐々に凝固が始まり、水と接触している面付近の樹脂が所謂スキン層を構成する。また、樹脂の凝固中、水槽内の水が樹脂との接触面から樹脂内に入り込むため、樹脂内には空間が形成される。水槽内の水によって形成される樹脂内の空間は、スキン層から厚さ方向に向けて垂れるような涙形となる。このような製造工程により、図４に示すように、内部に多数の涙形気泡２５を有する研磨シート１９，２１が形成される。

図４に示すように、涙形気泡２５は、研磨シート１９，２１におけるスキン層２７が形成されている側の他方の面１９ｂ，２１ｂから、一方の面１９ａ，２１ａに向けて垂れて延びるような形状を有しており、涙形の先鋭部２５ａがスキン層２７又は他方の面１９ｂ，２１ｂ付近に位置し、丸底部２５ｂが一方の面１９ａ，２１ａ側に位置している。

ここで、多数の涙形気泡２５を有する研磨シート１９，２１の厚さ方向の任意の位置において水平方向の断面をとると、その断面には、涙形気泡２５によって多数の開口が形成されている。そして研磨シート１９，２１の任意の断面における樹脂の表面積は、断面における開口の占有率が低いほど大きくなり、反対に開口の占有率が高いほど小さくなる。そして任意の断面での涙形気泡２５の開口の占有率は、スキン層２７又は他方の面１９ｂ，２１ｂ付近において低くなり、スキン層又は他方の面１９ｂ，２１ｂから離れるに従って高くなる。従って、研磨シート１９，２１の積層体の樹脂の表面積は、スキン層又は他方の面１９ｂ，２１ｂ付近において大きくなり、スキン層又は他方の面１９ｂ，２１ｂから離れるに従って小さくなる、という特性を有している。そして湿式研磨パッド７は、このような研磨シート１９，２１を少なくとも２枚積層して形成されている。

図５は、研磨シートを積層した状態を示す断面図である。図５（ａ）に示すように、研磨シート１９，２１を積層する場合には、研磨シート１９，２１の涙形気泡２５の丸底部２５ｂが形成されている側の一方の面１９ａ，２１ａが接着層２３と貼り合わされるように、研磨シート１９，２１を積層することが好ましい。この場合、上に積層された研磨シート１９の他方の面１９ｂを初期の研磨面として使用する。研磨シート１９，２１をこのように積層すると、研磨パッド７内の樹脂の密度を厚さ方向でみたときに、研磨シート１９の他方の面１９ｂ付近では高くなり、研磨シート１９の他方の面１９ｂから離れるに従って低くなり、ポリウレタン系樹脂からなる接着層２３において再び樹脂の密度が高くなる。そして研磨パッド７の樹脂の密度は、下側に積層された研磨シート２１の涙形気泡２５の丸底部２５ｂ付近で低くなり、そこから先鋭部２５ａに向けて高くなる。従って、図５（ａ）に示すように、研磨シート１９と研磨シート２１の一方の面１９ａ，２１ａ同士を、接着層２３を介して貼り合わせることにより、湿式研磨パッド７の厚さ方向において樹脂の密度が高い部分と低い部分、即ち樹脂の表面積が大きい部分と樹脂の表面積が小さい部分とを交互に形成することができる。そして樹脂の密度が高い部分と低い部分が交互に存在している研磨シート１９と研磨シート２１の積層体にエンボス加工を施して溝１７を形成すると、樹脂の密度は積層体の厚さ方向にわたって均され、樹脂の表面積も厚さ方向にわたって均される。

また、図５（ｂ）に示すように、上方に積層された研磨シート１９の涙形気泡２５の丸底部２５ｂが、下方に配置された研磨シート２１の涙形気泡２５の先鋭部２５ａと隣接するように、研磨シート１９の一方の面１９ａと、研磨シート２１の他方の面２１ｂとを接着層２３に貼り合わせても良い。このように研磨シート１９，２１を積層することにより、研磨時に、研磨シート１９の研磨面から磨耗が開始して一旦、樹脂の密度が低下するが、研磨シート１９が完全に磨耗しきって接着層２３が露出したときに再び樹脂の密度が高くなるため、湿式研磨パッド７内の樹脂の密度をその厚さ方向にわたって均し、樹脂の表面積を均すことができる。

次に、本発明の実施形態による湿式研磨パッド７の作用について詳述する。

上述したように、２枚の湿式凝固法で製造された研磨シート１９，２１を積層して研磨シートの積層体を形成し、そこに溝１７を形成することにより、湿式研磨パッド７の厚さ方向にわたって涙形気泡２５の分布をより均一にして樹脂の密度をより均一にすることができる。これにより、湿式研磨パッド７を厚くしたとしても、湿式研磨パッド７の厚さ方向にわたって樹脂の表面積を均一にすることができ、湿式研磨パッド７の研磨性能を安定させることができる。従って、湿式研磨パッド７を厚くして比較的深い溝１７を形成することが可能となり、その結果、湿式研磨パッド７の長寿命化を図ることができる。

また、溝１７をエンボス加工によって形成することにより、切削加工によって溝１７を形成した場合と比較して溝１７の間の研磨面部分の強度を強くすることができる。これにより、研磨時に研磨面部分が脱落するのを防止することができる。また、切削加工によって溝１７を形成した場合、溝１７内に接着層２３の側部が露出してしまうが、エンボス加工によって溝１７を形成することにより、接着層２３の側部が露出するのを防止することができる。これにより、接着層２３がスラリーによって侵食され研磨面部分の強度が低下するのを防止することができる。さらに、エンボス加工によって溝１７を形成することによって研磨シート１９が研磨シート２１方向に押し込まれるので、湿式研磨パッド７の厚さ方向にわたって樹脂の密度を均すことができる。これによっても、湿式研磨パッド７の長寿命化を図ることができる。

さらに、本実施形態による湿式研磨パッド７の製造方法によれば、溝１７をエンボス加工によって形成した場合、加熱されたエンボス加工機の金型の突起部の熱によって湿式研磨パッド７の基材が変形するのを防止することができる。即ち、溝１７を形成するときには、金型の突起部は研磨シート２１の他方の面２１ｂ付近にまで達するが、このとき金型の突起部と、基材との間には、研磨シート１９，２１及び接着層２３が介在しているため、突起部の熱が基材に伝達されにくくなるからである。

尚、上述の例では、溝１７の形状を放射状としたが、溝１７の形状は格子状や螺旋状、同心円状としてもよい。また、上述の例では、２枚の研磨シート１９，２１を積層することとしたが、研磨シート１９，２１の数は２枚に限られるものではない。

また、必要に応じて、研磨パッドを製造した後、研磨面にバフ処理、スライス処理、溶剤による面溶解等の孔開け処理を行って研磨面に涙形気泡を開口させてもよい。製造直後の研磨シートは涙形気泡に開口を有しておらず、孔開け処理を施すことで、内在する涙形気泡が開口される。孔開け処理により、研磨パッドの厚みの均一性や研磨スラリーのなじみを向上させることができ、研磨特性を向上させることができる。なお、開口とは、実質的に内在する涙形気泡が研磨面に露出している状態を意味する。

また、必要に応じて研磨シートの研磨面と反対側の面に、ポリエチレンテレフタレート（PET）等の剛性のある基材を貼り合わせてもよい。

以下、本発明の実施例について詳述する。

〔実施例〕
実施例では、１００％モジュラス８．０ＭＰaのポリエステル系ポリウレタン樹脂（３０部）及びＤＭＦ（７０部）を含む溶液１００部に、別途ＤＭＦ５６部、及びカーボンブラック７部を添加し、これらを混合することにより樹脂含有溶液を得た。得られた樹脂含有溶液を、クリアランス０．５mｍに設定したリバースコータを用いてポリエステルフィルム状に０．５ｍｍ厚にてキャストした。その後、樹脂含有溶液をキャストしたポリエステルフィルムを凝固浴（水）に浸漬し、該樹脂溶液を凝固させた後、洗浄・乾燥させて研磨シートを得た。続いて得られた研磨シートから第一の湿式研磨シート及び第二の湿式研磨シートを切り出した。

第一の湿式研磨シートと第二の湿式研磨シートとを貼り合わせるための接着剤として、１００％モジュラス８ＭＰaのポリエステル系ポリウレタン樹脂を３０％含むＤＭＦ溶液を用意した。この接着剤を一方の湿式研磨シートの一方の面に塗布し、塗布面に他方の湿式研磨シートの一方の面を貼り合わせた。得られた積層体を乾燥機に通過させ、ＤＭＦを揮発させた。その後、貼りあわされた湿式研磨シートの片面側のスキン層にＰＥＴ製の基材と有する両面テープとを貼り合わせ、研磨パッドを得た。さらに、得られた研磨パッドに湿式研磨シートの厚みに対し、８０％の深さほど、格子状の金型（１ｍｍ幅の４ｍｍピッチの格子金型）を押し付け、１３０℃でエンボス加工を施した。得られた湿式研磨パッドの研磨層の厚みは０．７５ｍｍであった。

〔比較例１〕
実施例１と同様の方法にて湿式研磨シートを得たのち、ＰＥＴ製の基材を有する両面テープを貼り合わせ、湿式研磨パッドを得た。その後、実施例１と同様にエンボス加工を施した。得られた研磨パッドの研磨層の厚みは０．４ｍｍであった。

〔比較例２〕
クリアランスを１．０ｍｍに設定する以外は、実施例１と同様の方法にて湿式研磨シートを得たのち、ＰＥＴ製の基材を有する両面テープを貼り合わせ、研磨パッドを得た。その後、実施例１と同様にエンボス加工を施した。得られた研磨パッドの研磨層の厚みは０．７５ｍｍであった。

〔評価〕
実施例及び比較例１，２の湿式研磨パッドについて、以下の条件で摩耗試験を行い、製品寿命を測定した。ドレッサとしてはダイヤモンドレッサー（砥粒サイズ：２５０μｍ、３Ｍ社製、商品名「Ａ１８８」）を用いた。

〔摩耗試験条件〕
研磨機として、（株）荏原製作所製、商品名「Ｆ−ＲＥＸ３００」を使用した。このとき、定盤回転数を８０ｒｐｍ、ドレス圧力を１２Ｎ、スラリー吐出量を２００ｍＬ／分に設定した。スラリーとしては純水を用いた。また、磨耗試験を開始する前に、研磨パッドを立ち上げる目的で、ドレス圧力２０Ｎで１０分間ドレッシングを行った。

製品寿命の測定は、研磨定盤を回転させるモーターの負荷電流値を測定することによって行った。これは、研磨パッドによって正常に研磨が行われている場合には、モーターの負荷電流値が安定しているのに対して、研磨パッドが摩耗して研磨摩擦の抵抗値が増加したときには、モーターの負荷電流値が高くなる性質を利用したものである。そしてモーターの負荷電流値を３０分間隔で測定し、モーターの負荷電流値が１Ａを超えた時点を研磨パッドの製品寿命とした。

上述の磨耗試験の結果を以下の表１に示す。

表１に示すように、本発明の実施例にかかる研磨パッドの製品寿命は、比較例１及び２の研磨パッドの製品寿命よりも長いことが分かる。

７ 湿式研磨パッド
１７ 溝
１９ 研磨シート
２１ 研磨シート
２３ 接着層
２５ 涙形気泡

Claims (6)

1. 研磨面に複数の溝が形成された湿式研磨パッドであって、
   涙形気泡を有する第一の湿式研磨シートと、
   この第一の湿式研磨シートの一方の面に形成された接着層と、
   涙形気泡を有し一方の面が前記接着層に貼り付けられた第二の湿式研磨シートと、を備え、
   前記複数の溝は、前記第一の湿式研磨シートの他方の面から、前記第二の湿式研磨シートの他方の面近傍までの深さを有している、湿式研磨パッド。
2. 前記溝はエンボス加工によって形成されている、請求項１に記載の湿式研磨パッド。
3. 前記第一の湿式研磨シートの前記一方の面は、前記第一の湿式研磨シートの前記涙形気泡の丸底部が形成されている側の面であり、前記第二の湿式研磨シートの前記一方の面は、当該第二の湿式研磨シートの前記涙形気泡の丸底部が形成されている側の面である、請求項１又は２に記載の湿式研磨パッド。
4. 前記接着層は、ポリウレタン系樹脂である、請求項１乃至３の何れか１項に記載の湿式研磨パッド。
5. 前記第一の湿式研磨シートの涙形気泡は、研磨面に開口している請求項１乃至４の何れか１項に記載の湿式研磨パッド。
6. 研磨面に複数の溝が形成された湿式研磨パッドの製造方法であって、
   涙形気泡を有する第一の湿式研磨シートの一方の面に接着層を形成し、
   涙形気泡を有する第二の湿式研磨シートの一方の面を前記接着層に貼り付け、
   前記第一の湿式研磨シートの他方の面から、前記第二の湿式研磨シートの他方の面近傍までの深さを有する、前記複数の溝を形成することを備える、湿式研磨パッドの製造方法。

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