JP2014190908A - Detection device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a detection device that even in a case of a molecule having low reactivity in a steady state, can obtain sufficient SERS sensitivity by chemically adsorbing the molecule to a substrate.SOLUTION: A detection device 10 for detecting a target molecule in a fluid sample includes: a first light source 31 that irradiates the fluid sample with first excitation light 31A having excitation energy corresponding to energy difference between the ground state of and the lowest excitation state of the target molecule; a sensor chip 20 that has a metal nanostructure to which the target molecule excited by the first excitation light is adsorbed; and a second light source 32 that irradiates the sensor chip with second excitation light 32A, and generates surface enhanced Raman scattering.

Description

本発明は、標的分子を検出する検出装置等に関する。   The present invention relates to a detection device for detecting a target molecule.

近年、低濃度の標的分子を検出する高感度分光技術の1つとして、表面プラズモン共鳴(SPR:Surface Plasmon Resonance)特に局在表面プラズモン共鳴(LSPR:Localized Surface Plasmon Resonance)を利用した表面増強ラマン散乱(SERS:Surface Enhanced Raman Scattering)分光が注目されている。SERSとはナノメートルスケールの凸凹構造を持つ金属表面でラマン散乱光が例えば10〜1014倍増強される現象である。レーザーなどの単一波長の励起光を標的分子に照射する。励起光の波長から標的分子の分子振動エネルギー分だけ僅かにずれた散乱波長(ラマン散乱光)を分光検出し指紋スペクトルを得る。その指紋スペクトルから標的分子を同定することが可能となる(定性分析)。 In recent years, surface-enhanced Raman scattering using surface plasmon resonance (SPR), particularly localized surface plasmon resonance (LSPR), is one of the highly sensitive spectroscopic techniques for detecting low concentrations of target molecules. (SERS: Surface Enhanced Raman Scattering) spectroscopy has attracted attention. SERS is a phenomenon in which Raman scattered light is enhanced by, for example, 10 2 to 10 14 times on a metal surface having an uneven structure on the nanometer scale. A target molecule is irradiated with excitation light of a single wavelength such as a laser. A fingerprint spectrum is obtained by spectroscopic detection of a scattered wavelength (Raman scattered light) slightly shifted from the wavelength of the excitation light by the molecular vibration energy of the target molecule. The target molecule can be identified from the fingerprint spectrum (qualitative analysis).

高感度SERSセンシングでは、増強電場の大きな金属ナノ構造の周囲に、標的分子を吸着させることが重要である。吸着には物理吸着と化学吸着があり、基板―標的分子間で結合を有さない物理吸着、例えば双極子-双極子相互作用やファンデルワールス力分子間相互作用などでは、吸着力が弱い。一方、基板-標的分子間で結合を有する化学吸着、例えば配位結合などでは吸着力が大きい。   In high-sensitivity SERS sensing, it is important to adsorb target molecules around metal nanostructures with a large enhanced electric field. Adsorption includes physical adsorption and chemical adsorption. Adsorption power is weak in physical adsorption that does not have a bond between the substrate and the target molecule, such as dipole-dipole interaction or van der Waals interaction between molecules. On the other hand, the chemical adsorption having a bond between the substrate and the target molecule, such as a coordinate bond, has a large adsorption power.

SERSでは基板との吸着力が強い分子でSERSシグナル強度が強い傾向があり、例えば金センサー表面に化学吸着されるピリジン分子では強いSERSシグナルが得られることが知られている。   In SERS, it is known that a molecule having a strong adsorption force with a substrate tends to have a strong SERS signal intensity. For example, a pyridine molecule chemically adsorbed on the gold sensor surface can obtain a strong SERS signal.

このような吸着力の強い分子では問題ないが、もともと基板との吸着力が弱い分子では、吸着力を上げるためにセンサーチップ表面を標的分子と吸着性が良くなるよう改質するなどの工夫がなされてきた(特許文献1)。   There is no problem with molecules with such strong adsorption power, but with molecules that have weak adsorption power with the substrate, the sensor chip surface can be modified to improve adsorption with target molecules in order to increase the adsorption power. (Patent Document 1).

特開2007−147420号公報JP 2007-147420 A

しかし、このようなセンサーチップ表面の改質は蛋白質などの高分子では効果が見られるが、低分子の吸着力向上には効果が低い。なぜなら、表面改質では主に物理吸着を利用しており、吸着面積が狭い低分子では十分な吸着力が得られないからである。   However, such modification of the sensor chip surface is effective for polymers such as proteins, but is not effective for improving the adsorption power of low molecules. This is because the surface modification mainly uses physical adsorption, and a small molecule with a small adsorption area cannot obtain a sufficient adsorption force.

基板との吸着力が弱い低分子の中で特に、アセトンなどのケトン類は反応性が低く分子が単体で安定である。そのために、ケトン類はセンサー基板表面との間で結合を持ちにくく、吸着形態は物理吸着が支配的である。しかし、ケトン類は低分子であるために、物理吸着力が弱く、十分なSERS感度が得られていなかった。   Among low molecules that have a weak adsorption power to the substrate, in particular, ketones such as acetone are low in reactivity and stable as a single molecule. For this reason, ketones are less likely to have a bond with the sensor substrate surface, and physical adsorption is dominant in the adsorption form. However, since ketones are low molecular weight, physical adsorption power is weak and sufficient SERS sensitivity was not obtained.

本発明の幾つかの態様は、定常状態にて反応性が低い分子であっても、その分子を基板に化学吸着させて十分なSERS感度を得ることができる検出装置を提供することを目的とする。   An object of some aspects of the present invention is to provide a detection device capable of obtaining sufficient SERS sensitivity by chemically adsorbing a molecule to a substrate even if the molecule has low reactivity in a steady state. To do.

(1)本発明の一態様は、流体試料中の標的分子を検出する検出装置であって、
前記標的分子の基底状態と最低励起状態とのエネルギー差に対応する励起エネルギーを有する第一励起光を、前記流体試料に照射する第一光源と、
前記第一励起光により励起された前記標的分子が吸着される金属ナノ構造を有するセンサーチップと、
前記センサーチップに第二励起光を照射して、表面増強ラマン散乱を出現させる第二光源と、
を有する検出装置に関する。
(1) One aspect of the present invention is a detection apparatus for detecting a target molecule in a fluid sample,
A first light source that irradiates the fluid sample with a first excitation light having an excitation energy corresponding to an energy difference between a ground state and a lowest excitation state of the target molecule;
A sensor chip having a metal nanostructure to which the target molecule excited by the first excitation light is adsorbed;
A second light source for irradiating the sensor chip with second excitation light to cause surface enhanced Raman scattering to appear;
It is related with the detection apparatus which has.

本発明の一態様では、流体試料中の標的分子は第一励起光により選択的に、基底状態から最低励起状態に励起される。基底状態から最低励起状態への励起とは、フロンティア軌道理論でのHOMO(Highest occupied molecular orbital)からLUMO(Lowest unoccupied molecular orbital:最低空軌道)に遷移することに相当する。それにより標的分子はエネルギー準位の高い状態となって反応性が高くなり、センサーチップの金属ナノ構造に化学吸着される。金属ナノ構造に吸着された標的分子を第二励起光により振動励起させて、表面増強ラマン散乱を出現させる。それにより、標的分子のラマン散乱光が増強され、そのラマン散乱光を検出することで標的分子を検出(同定)することができる。   In one embodiment of the present invention, the target molecule in the fluid sample is selectively excited from the ground state to the lowest excited state by the first excitation light. Excitation from the ground state to the lowest excited state corresponds to a transition from HOMO (Highest occupied molecular orbital) in the frontier orbital theory to LUMO (Lowest unoccupied molecular orbital). As a result, the target molecule is in a high energy level, becomes highly reactive, and is chemisorbed on the metal nanostructure of the sensor chip. The target molecule adsorbed on the metal nanostructure is vibrated and excited by the second excitation light, and surface enhanced Raman scattering appears. Thereby, the Raman scattered light of the target molecule is enhanced, and the target molecule can be detected (identified) by detecting the Raman scattered light.

(2)本発明の一態様では、前記第一励起光の波長は、150nm以上で350nm未満とすることができる。物理吸着力が小さい低分子を基底状態から最低励起状態に励起するための第一励起光は、150nm以上で350nm未満の波長となる。   (2) In 1 aspect of this invention, the wavelength of said 1st excitation light can be 150 nm or more and less than 350 nm. The first excitation light for exciting a small molecule having a small physical adsorption force from the ground state to the lowest excited state has a wavelength of 150 nm or more and less than 350 nm.

(3)本発明の一態様では、前記第二励起光の波長は、350nm以上で1200nm以下とすることができる。ここで、金属ナノ構造として、銀や金が好適に使用できる。銀では波長350nm〜1000nm程度、金では波長500nm〜1200nm程度の第二励起光で、表面プラズモンを出現させることができる。こうして、第一励起光とは異なる波長の第二励起光を用いることができるので、第一励起光がノイズとなることを防止できる。より好ましくは、標的分子が最低励起状態から基底状態に戻る時に出す蛍光が、第二励起光のノイズとならないように、第二励起光の波長(例えば第一励起光よりも100nm以上離れた波長)を設定することができる。   (3) In 1 aspect of this invention, the wavelength of said 2nd excitation light can be 350 nm or more and 1200 nm or less. Here, silver or gold can be suitably used as the metal nanostructure. Surface plasmons can appear with second excitation light having a wavelength of about 350 nm to 1000 nm for silver and about 500 nm to 1200 nm for gold. Thus, since the second excitation light having a wavelength different from that of the first excitation light can be used, the first excitation light can be prevented from becoming noise. More preferably, the wavelength of the second excitation light (for example, a wavelength that is more than 100 nm away from the first excitation light) so that the fluorescence emitted when the target molecule returns from the lowest excitation state to the ground state does not become noise of the second excitation light. ) Can be set.

(4)本発明の一態様では、前記第二励起光の波長は、前記第一励起光により化学吸着状態にある前記標的分子と前記金属ナノ構造との複合体の吸光度が最大となる波長を含む半値幅の範囲に設定することができる。それにより、共鳴ラマン効果を利用して表面増強ラマン散乱分光の増強度をさらに増すことができる。   (4) In one aspect of the present invention, the wavelength of the second excitation light is a wavelength at which the absorbance of the complex of the target molecule and the metal nanostructure in a chemisorbed state by the first excitation light is maximized. It can be set within the range of the half-value width including it. Thereby, the enhancement of surface-enhanced Raman scattering spectroscopy can be further increased using the resonance Raman effect.

(5)本発明の一態様では、前記第一光源は、前記金属ナノ構造と接触する前の前記流体試料に前記第一励起光を照射することができる。こうすると、第一励起光はセンサーチップに照射されないので、第一励起光がラマン分光検出の際のノイズとならない。   (5) In 1 aspect of this invention, said 1st light source can irradiate said 1st excitation light to the said fluid sample before contacting with the said metal nanostructure. If it carries out like this, since 1st excitation light is not irradiated to a sensor chip, 1st excitation light does not become noise at the time of a Raman spectroscopic detection.

(6)本発明の一態様では、前記流体試料を前記センサーチップと接触させる流体通路と、前記流体通路に前記流体試料を吸引する吸引通路と、前記流体通路から前記流体試料を排出する排出通路と、前記流体通路と前記吸引通路との間に設けられた第1シャッターと、前記流体通路と前記排出通路との間に設けられた第2シャッターと、をさらに有することができる。こうすると、流体通路に流体試料を導入した後に第1,第2シャッターを閉鎖することができ、それにより流体通路を閉鎖して、流体通路内に滞留した流体試料をセンサーチップと接触させた状態を維持することができる。こうして、標的分子がセンサーチップに吸着される機会を増大させ、標的分子がセンサーチップから脱離される機会を減少させることができる。   (6) In one aspect of the present invention, a fluid passage for bringing the fluid sample into contact with the sensor chip, a suction passage for sucking the fluid sample into the fluid passage, and a discharge passage for discharging the fluid sample from the fluid passage And a first shutter provided between the fluid passage and the suction passage, and a second shutter provided between the fluid passage and the discharge passage. In this way, the first and second shutters can be closed after the fluid sample is introduced into the fluid passage, whereby the fluid passage is closed and the fluid sample staying in the fluid passage is in contact with the sensor chip. Can be maintained. Thus, the chance that the target molecule is adsorbed to the sensor chip can be increased, and the chance that the target molecule is desorbed from the sensor chip can be reduced.

(7)本発明の一態様では、前記標的分子は、アセトンとすることができる。アセトンは、低分子の中でも反応性が低く安定なケトン類の代表例であり、物理吸着力は弱い。アセトンを第一励起光により励起することで、アセトンを化学吸着させてSERSシグナルを検出することが可能となる。呼気ガス中に含まれるアセントを検出することで、例えば脂肪燃焼量の測定などを行うことができる。ただし、本発明の一態様は、アセトン以外のケトン類を標的分子とすることができる他、有機・無機を問わず低分子を標的分子とする検出装置に広く適用できる。   (7) In one aspect of the present invention, the target molecule can be acetone. Acetone is a representative example of a stable ketone having low reactivity among low molecules, and its physical adsorption force is weak. By exciting acetone with the first excitation light, it is possible to chemisorb acetone and detect the SERS signal. By detecting ascent contained in the exhaled gas, for example, a fat burning amount can be measured. However, one embodiment of the present invention can be widely applied to detection devices that can use ketones other than acetone as a target molecule and also use a low molecule as a target molecule regardless of organic or inorganic.

(8)本発明の一態様では、前記金属ナノ構造は、金属ナノ粒子の集合体または微細加工技術で形成されたエッジ部を含む金属構造体である。これらの金属ナノ構造体にレーザー光線等の励起光が照射されると形成される局所電場による大きな増強度を得ることができる。   (8) In one aspect of the present invention, the metal nanostructure is a metal structure including an aggregate of metal nanoparticles or an edge portion formed by a fine processing technique. When these metal nanostructures are irradiated with excitation light such as a laser beam, it is possible to obtain a large enhancement due to the local electric field formed.

本発明の一実施形態である検出装置の概略図である。It is the schematic of the detection apparatus which is one Embodiment of this invention. 標的分子の一例であるアセトン分子の構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of the acetone molecule which is an example of a target molecule. アセトン単体の吸収スペクトルと、アセトン−銀の複合体の吸収スペクトルを示す特性図である。It is a characteristic view which shows the absorption spectrum of acetone simple substance, and the absorption spectrum of a composite of acetone-silver. アセトンを励起させる第一励起光を説明する図である。It is a figure explaining the 1st excitation light which excites acetone. 図5(A)はセンサーチップの拡大断面図、図5(B)及び図5(C)はセンサーチップでの増強電場の形成を示す断面図及び平面図である。FIG. 5A is an enlarged cross-sectional view of the sensor chip, and FIGS. 5B and 5C are a cross-sectional view and a plan view showing formation of an enhanced electric field in the sensor chip. 脱離活性化エネルギーEdの説明図である。It is explanatory drawing of desorption activation energy Ed. 脱離活性化エネルギーEdと被覆率θとの相関を示す特性図である。FIG. 6 is a characteristic diagram showing a correlation between desorption activation energy Ed and coverage θ. QCMによるAg表面に対するアセトンの脱離特性を示す図である。It is a figure which shows the detachment | desorption characteristic of acetone with respect to the Ag surface by QCM. 指数関数曲線になり始めるときの周波数と脱離し終えて平衡状態になったときの周波数を示す図である。It is a figure which shows the frequency when it begins to become an exponential function curve, and the frequency when it complete | finishes detachment | desorption and will be in an equilibrium state. 式(5)で変換したアセトンの脱離特性を示す図である。It is a figure which shows the detachment | desorption characteristic of acetone converted by Formula (5). UV照射の有無の各アセトンについてQCMによって測定した脱離特性を示す図である。It is a figure which shows the desorption characteristic measured by QCM about each acetone with and without UV irradiation. 第一励起光照射の有り無しの各アセトンについて測定したSERSスペクトルを示す図である。It is a figure which shows the SERS spectrum measured about each acetone with and without 1st excitation light irradiation. 第二励起光の波長を変化させて測定したアセトンのピーク強度を示す図である。It is a figure which shows the peak intensity of acetone measured by changing the wavelength of 2nd excitation light. アセトン以外のケトン類であるメチルエチルケトン(MEK)分子の構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of the methyl ethyl ketone (MEK) molecule | numerator which is ketones other than acetone. MEK単体での吸収波長と、MEK−銀複合体の吸収波長とを示す図である。It is a figure which shows the absorption wavelength in MEK single-piece | unit, and the absorption wavelength of a MEK-silver composite. 第一励起光照射の有り無しの各MEKについて測定したSERSスペクトルを示す図である。It is a figure which shows the SERS spectrum measured about each MEK with and without 1st excitation light irradiation. アンモニア単体での吸収波長と、アンモニア−銀複合体の吸収波長とを示す図である。It is a figure which shows the absorption wavelength in ammonia simple substance, and the absorption wavelength of an ammonia-silver composite. 金属ナノ構造が銀である時の第二励起光の波長範囲を示す図である。It is a figure which shows the wavelength range of the 2nd excitation light when a metal nanostructure is silver. 金属ナノ構造が金である時の第二励起光の波長範囲を示す図である。It is a figure which shows the wavelength range of 2nd excitation light when a metal nanostructure is gold | metal | money. 検出装置の具体的構成を示す図である。It is a figure which shows the specific structure of a detection apparatus. 第1,第2シャッターがさらに付加された検出装置の具体的構成を示す図である。It is a figure which shows the specific structure of the detection apparatus to which the 1st, 2nd shutter was further added. 図21に示す検出装置での検出方法を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows the detection method in the detection apparatus shown in FIG.

以下、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお以下に説明する本実施形態は特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail. The present embodiment described below does not unduly limit the contents of the present invention described in the claims, and all the configurations described in the present embodiment are indispensable as means for solving the present invention. Not necessarily.

1.検出装置の概要
図1は、本実施形態の検出装置10の構成例を示す。図1において、検出装置10は、センサーチップ20と、第一光源31と、第二光源32と、光学系40と、検出部50とを有することができる。
1. Overview of Detection Device FIG. 1 shows a configuration example of a detection device 10 of this embodiment. In FIG. 1, the detection device 10 can include a sensor chip 20, a first light source 31, a second light source 32, an optical system 40, and a detection unit 50.

第一光源31は例えば単波長光源であるUVランプであり、センサーチップ20に供給される流体試料に第一励起光31Aを照射する。この第一励起光31Aは、流体試料中の標的分子に応じた波長に設定され、標的分子に照射されることで標的分子を反応し易くする。   The first light source 31 is, for example, a UV lamp that is a single wavelength light source, and irradiates the fluid sample supplied to the sensor chip 20 with the first excitation light 31A. The first excitation light 31A is set to a wavelength corresponding to the target molecule in the fluid sample, and makes the target molecule easily react by being irradiated to the target molecule.

図2に、標的分子の一例であるアセトン分子の構造を示す。アセトンのようなケトン類は、通常ケト体とエノール体の構造をとり得るが、通常では安定なケト体で存在し、反応性の高いエノール体は0.1%以下である。   FIG. 2 shows the structure of an acetone molecule that is an example of the target molecule. Ketones such as acetone can usually have a keto and enol structure, but usually exist as a stable keto body, and the highly reactive enol body is 0.1% or less.

図3に、アセトン気体単体での可視―紫外領域の吸収スペクトルを示す。図3に示すように、アセトン気体分子の吸収波長は278nm付近に存在する。この波長は、図4に示すように、アセトンの基底状態と最低励起状態のエネルギー差に対応している。278nm付近の第一励起光31Aの照射により、酸素原子のn軌道からC−Oのπ*軌道へと電子の遷移が起こり、さらに分子内水素原子の引き抜き反応により、図2に示すケト体からエノール体に変化する。このように流体試料中の標的分子であるアセトンは、278nm付近の第一励起光31Aにより選択的に、基底状態から最低励起状態に励起され、エノール体に変化する。それにより、アセトンを反応し易くさせることができる。   FIG. 3 shows an absorption spectrum in the visible-ultraviolet region with acetone alone. As shown in FIG. 3, the absorption wavelength of acetone gas molecules is around 278 nm. As shown in FIG. 4, this wavelength corresponds to the energy difference between the ground state and the lowest excited state of acetone. By irradiation with the first excitation light 31A near 278 nm, an electron transition occurs from the n orbital of the oxygen atom to the π * orbital of C—O, and further from the keto body shown in FIG. It changes to an enol body. As described above, acetone, which is a target molecule in the fluid sample, is selectively excited from the ground state to the lowest excited state by the first excitation light 31A near 278 nm and changes to an enol body. Thereby, acetone can be made to react easily.

センサーチップ20は、第二光源32からの第二励起光32Aが照射される領域に金属ナノ構造(図1では省略)を有する。流体試料は、例えばファンまたはポンプ140等により吸引されてセンサーチップ20に導入される。第一励起光31Aの照射により反応し易くなったアセトンは、センサーチップ20の金属ナノ構造に化学吸着される。センサーチップ20は、第二光源32からの第二励起光32Aが照射されることで、金属ナノ構造に吸着されたアセトンを振動励起させて、表面増強ラマン散乱を出現させる。   The sensor chip 20 has a metal nanostructure (not shown in FIG. 1) in a region irradiated with the second excitation light 32A from the second light source 32. The fluid sample is sucked by, for example, a fan or a pump 140 and introduced into the sensor chip 20. Acetone that is easily reacted by irradiation with the first excitation light 31 </ b> A is chemically adsorbed on the metal nanostructure of the sensor chip 20. When the sensor chip 20 is irradiated with the second excitation light 32A from the second light source 32, acetone adsorbed on the metal nanostructure is vibrated and excited, and surface enhanced Raman scattering appears.

第二光源32は例えば単波長光源であるレーザー光源を用いることができる。第二光源32は、例えば光学系40を構成する例えばハーフミラー420と対物レンズ430を介して、センサーチップ20に第二励起光32Aを照射する。検出部50は、センサーチップ20からのラマン散乱光を、ハーフミラー420及び対物レンズ430を介して検出する。   As the second light source 32, for example, a laser light source which is a single wavelength light source can be used. For example, the second light source 32 irradiates the sensor chip 20 with the second excitation light 32 </ b> A via, for example, the half mirror 420 and the objective lens 430 constituting the optical system 40. The detection unit 50 detects the Raman scattered light from the sensor chip 20 via the half mirror 420 and the objective lens 430.

センサーチップ20の金属ナノ構造を例えば銀とする。図3に示すように、化学吸着状態にあるアセトン−銀の複合体の吸収スペクトルは、405nm付近に存在している。この吸収波長付近の光でSERSを励起すると、共鳴ラマン効果を奏することができる。共鳴ラマンとは、入射光のエネルギーが電子吸収バンドのエネルギーに近い時、ラマン散乱の断面積が急激に増大する現象をいう。   The metal nanostructure of the sensor chip 20 is, for example, silver. As shown in FIG. 3, the absorption spectrum of the acetone-silver complex in the chemisorbed state exists in the vicinity of 405 nm. When SERS is excited with light in the vicinity of this absorption wavelength, a resonance Raman effect can be produced. Resonance Raman is a phenomenon in which the cross section of Raman scattering rapidly increases when the energy of incident light is close to the energy of the electron absorption band.

2.ラマン散乱光の検出原理とセンサーチップの一例
図5(A)〜図5(C)を用いて、ラマン散乱光の検出原理を説明する。図5(A)に示すように、センサーチップ20に化学吸着された呼気(流体試料)中の標的分子1に第二光源32からの第二励起光(振動数ν)32Aが照射される。入射光32Aの多くは、レイリー散乱光として散乱され、レイリー散乱光の振動数ν又は波長は入射光32Aに対して変化しない。入射光32Aの一部は、ラマン散乱光として散乱され、ラマン散乱光の振動数(ν−ν’及びν+ν’)又は波長は、標的分子1の振動数ν’(分子振動)が反映される。つまり、ラマン散乱光は、検査対象の標的分子1を反映した光である。入射光の一部は、標的分子1を振動させてエネルギーを失うが、標的分子1の振動エネルギーがラマン散乱光の振動エネルギー又は光エネルギーに付加されることもある。このような振動数のシフト(ν’)をラマンシフトと呼ぶ。
2. Example of detection principle of Raman scattered light and example of sensor chip The detection principle of Raman scattered light will be described with reference to FIGS. 5 (A) to 5 (C). As shown in FIG. 5A, the second excitation light (frequency ν) 32A from the second light source 32 is irradiated to the target molecule 1 in the exhaled breath (fluid sample) chemisorbed on the sensor chip 20. Most of the incident light 32A is scattered as Rayleigh scattered light, and the frequency ν or wavelength of the Rayleigh scattered light does not change with respect to the incident light 32A. Part of the incident light 32A is scattered as Raman scattered light, and the frequency (ν−ν ′ and ν + ν ′) or wavelength of the Raman scattered light reflects the frequency ν ′ (molecular vibration) of the target molecule 1. . That is, the Raman scattered light is light reflecting the target molecule 1 to be examined. Some of the incident light causes the target molecule 1 to vibrate and loses energy, but the vibration energy of the target molecule 1 may be added to the vibration energy or light energy of the Raman scattered light. Such a frequency shift (ν ′) is called a Raman shift.

図5(B)は、図1のセンサーチップ20の拡大図である。図5(A)に示すように入射光32Aが基板200の平坦面から入射される場合、基板200は入射光に対して透明な材料が用いられる。センサーチップ20は、基板200上の第1構造として、誘電体から成る複数の凸部210を有する。本実施形態では、入射光に対して透明な誘電体としての石英、水晶、硼珪酸ガラスなどのガラスまたはシリコン等で形成された基板200上に、レジストを形成し、そのレジストを例えば遠紫外線(DUV)フォトリソグラフィー法を用いてパターン化している。パターン化されたレジストにより基板200をエッチングすることで、例えば図5(C)に示すように複数の凸部210が二次元的に配置される。なお、基板200と凸部210とを異なる材料で形成しても良い。   FIG. 5B is an enlarged view of the sensor chip 20 of FIG. As shown in FIG. 5A, when the incident light 32A is incident from the flat surface of the substrate 200, a material transparent to the incident light is used for the substrate 200. The sensor chip 20 has a plurality of convex portions 210 made of a dielectric as a first structure on the substrate 200. In this embodiment, a resist is formed on a substrate 200 made of glass such as quartz, quartz, borosilicate glass or silicon as a dielectric transparent to incident light, and the resist is, for example, far ultraviolet ( DUV) patterning using photolithography. By etching the substrate 200 with the patterned resist, for example, a plurality of convex portions 210 are two-dimensionally arranged as shown in FIG. In addition, you may form the board | substrate 200 and the convex part 210 with a different material.

複数の凸部210上の第2構造として、複数の凸部210には、例えばAuまたはAg等の金属ナノ構造(金属微粒子構造)220が例えば蒸着、スパッタ等により形成される。結果として、センサーチップ20は、平面視で1〜1000nmのサイズを有する金属ナノ構造を有することができる。1〜1000nmのサイズを有する金属ナノ構造とは、基板200の上面を当該サイズの凸部構造(基板材で)を持つように加工する他に、基板上に当該サイズの金属微粒子を蒸着・スパッタ等で固着させる、または、基板200上にアイランド構造を有する金属膜を形成する等の方法でも形成できる。   As the second structure on the plurality of protrusions 210, a metal nanostructure (metal fine particle structure) 220 such as Au or Ag is formed on the plurality of protrusions 210 by, for example, vapor deposition, sputtering, or the like. As a result, the sensor chip 20 can have a metal nanostructure having a size of 1 to 1000 nm in plan view. The metal nanostructure having a size of 1 to 1000 nm means that the upper surface of the substrate 200 is processed so as to have a convex structure (with a substrate material) of the size, and metal fine particles of the size are deposited and sputtered on the substrate It can also be formed by a method such as fixing by a method such as forming a metal film having an island structure on the substrate 200.

図5(B)及び図5(C)に示すように、二次元パターン状の金属ナノ構造220に入射光32Aが入射された領域240では、隣り合う金属ナノ構造220間のギャップGに、増強電場230が形成される。特に、入射光の波長よりも小さな金属ナノ構造220に対して入射光を照射する場合、入射光の電場は、金属ナノ構造220の表面に存在する自由電子に作用し、共鳴を引き起こす。これにより、自由電子による電気双極子が金属ナノ構造220内に励起され、入射光の電場よりも強い増強電場230が形成される。これは、局在表面プラズモン共鳴(LSPR:Localized Surface Plasmon Resonance)とも呼ばれる。この現象は、入射光の波長よりも小さな1〜1000nmのサイズを有する金属ナノ構造220等の電気伝導体に特有の現象である。   As shown in FIG. 5B and FIG. 5C, in the region 240 where the incident light 32A is incident on the two-dimensional patterned metal nanostructure 220, the gap G between the adjacent metal nanostructures 220 is enhanced. An electric field 230 is formed. In particular, when the incident light is irradiated onto the metal nanostructure 220 having a wavelength smaller than that of the incident light, the electric field of the incident light acts on free electrons existing on the surface of the metal nanostructure 220 to cause resonance. As a result, electric dipoles due to free electrons are excited in the metal nanostructure 220, and an enhanced electric field 230 stronger than the electric field of incident light is formed. This is also called Localized Surface Plasmon Resonance (LSPR). This phenomenon is a phenomenon peculiar to an electric conductor such as the metal nanostructure 220 having a size of 1 to 1000 nm smaller than the wavelength of incident light.

図5(A)〜図5(C)では、センサーチップ20に入射光を照射した時に表面増強ラマン散乱(SERS:Surface Enhanced Raman Scattering)が生ずる。つまり、増強電場230に標的分子1が入り込むと、その標的分子1によるラマン散乱光は増強電場230で増強されて、ラマン散乱光の信号強度は高くなる。このような表面増強ラマン散乱では、標的分子1が微量であっても、検出感度を高めることができる。   5A to 5C, surface enhanced Raman scattering (SERS) occurs when the sensor chip 20 is irradiated with incident light. That is, when the target molecule 1 enters the enhanced electric field 230, the Raman scattered light from the target molecule 1 is enhanced by the enhanced electric field 230, and the signal intensity of the Raman scattered light increases. In such surface-enhanced Raman scattering, the detection sensitivity can be increased even if the amount of the target molecule 1 is very small.

ここで、標的分子1等の「吸着」という現象は、本実施形態では第一励起光31Aの照射により反応し易くなった標的分子1の化学吸着を意味し、エネルギー的安定な状態で吸着が維持される。「脱離」は外力により吸着を解除することを意味する。   Here, the phenomenon of “adsorption” of the target molecule 1 or the like means chemical adsorption of the target molecule 1 that has become easy to react by irradiation with the first excitation light 31A in this embodiment, and the adsorption is performed in an energy stable state. Maintained. “Desorption” means releasing adsorption by an external force.

3.第一励起光の照射による吸着効果
金属に分子が吸着すると、エネルギー的安定な状態で吸着が維持される。その安定状態から脱離しやすいかし難いかで、吸着能力が低いか高いかが決まる。図6に示すように、吸着状態から脱離に至るまでの脱離活性化エネルギーEdが大きいと吸着能力が高く、脱離活性化エネルギーEdが低いと吸着能力は低い。脱離現象の速度論的考察によると、脱離速度は次のWigner−Polanyi型の速度式(1)で記述される。
3. Adsorption effect by irradiation with first excitation light When a molecule is adsorbed on a metal, the adsorption is maintained in an energetically stable state. Whether the adsorption capacity is low or high is determined depending on whether it is easy or difficult to desorb from the stable state. As shown in FIG. 6, when the desorption activation energy Ed from the adsorption state to desorption is large, the adsorption capability is high, and when the desorption activation energy Ed is low, the adsorption capability is low. According to the kinetic consideration of the desorption phenomenon, the desorption rate is described by the following Wigner-Polanii type velocity equation (1).

Figure 2014190908
Figure 2014190908

ここで、θは被覆率、νnは反応次数nのときの前指数因子、Edは脱離活性化エネルギー、Tは絶対温度、Rは気体定数、tは時間である。反応次数について、空きサイト1つを利用して吸着するものが1次、酸化現象のように酸素分子が2つの酸素原子に解離して吸着するような、空きサイト2つを利用して吸着するものが2次となる。有機分子は金属に対して1次吸着するものが多く、ここでは1次のみを考える。式(1)をn=1で解き、脱離残量σ(t)を用いて表すと、式(2)になる。下記式中のCは気体吸着量、θは初期被覆率、である。 Here, θ is the coverage, νn is a pre-exponential factor when the reaction order is n, Ed is the desorption activation energy, T is the absolute temperature, R is the gas constant, and t is the time. As for the reaction order, one adsorbing using one empty site is primary, and adsorbing using two empty sites where oxygen molecules dissociate and adsorb into two oxygen atoms as in the oxidation phenomenon. Things become secondary. Many organic molecules adsorb primarily on metals, and only the primary is considered here. When equation (1) is solved with n = 1 and expressed using desorption residual amount σ (t), equation (2) is obtained. In the following formula, C is the gas adsorption amount, and θ 0 is the initial coverage.

Figure 2014190908
Figure 2014190908

気体定数Rは、アボガドロ数をNとし、ボルツマン定数をkとし、絶対温度Tの単位をK(ケルビン)とすると、R=N×k=8.314(J/mol・K)と一定値である。前指数因子ν1は吸着分子と吸着材によって変わるが、一般的には1013〜1014である。そこで、前指数因子ν1=1013、絶対温度T=300Kとして、上記式から被覆率θ(t)(=脱離残量/初期吸着量)と脱離活性化エネルギー(kJ/mol)との関係を求めると、図7に示すようになる。脱離活性化エネルギーEdが大きいほど、被覆率θ(t)は大きくなることが分かる。つまり、脱離活性化エネルギーEdが大きいほど、標準分子が金属に吸着し続け、標準分子により金属表面が被覆される被覆率が高まることが分かる。 Gas constant R is the Avogadro's number and N A, the Boltzmann constant and k b, when the unit of the absolute temperature T and K (Kelvin), R = N A × k b = 8.314 (J / mol · K) And a constant value. The pre-exponential factor ν1 varies depending on adsorbed molecules and adsorbents, but is generally 10 13 to 10 14 . Therefore, assuming that the pre-exponential factor ν1 = 10 13 and the absolute temperature T = 300K, the coverage θ (t) (= remaining desorption / initial adsorption amount) and desorption activation energy (kJ / mol) The relationship is as shown in FIG. It can be seen that the coverage θ (t) increases as the desorption activation energy Ed increases. That is, it can be seen that the larger the desorption activation energy Ed, the more the standard molecules continue to be adsorbed to the metal and the higher the coverage of the metal surface covered with the standard molecules.

Edを実測で求める方法としては、最も代表的なものでは水晶マイクロ天秤(QCM;Quartz Crystal Microbalance)によるものがある。QCMは圧電ウエハと計測部から構成される。圧電ウエハは、2つの表面に配置された金属電極を有する水晶振動子を基板として用いた。水晶振動子の発振は、逆圧電効果による交流電界によって機械的な共鳴に励起される。共鳴周波数は、表面電極へ吸着された分子の質量に応じて変化する。Sauerbreyの式によると、質量変化量Δm、Fを基本周波数、Aを電極面積、μqを水晶のせん断応力、ρqを水晶の密度とすると、周波数変化量ΔFは、次の式(3)で表される。 As a method for obtaining Ed by actual measurement, the most typical method is a quartz microbalance (QCM). The QCM is composed of a piezoelectric wafer and a measurement unit. As the piezoelectric wafer, a crystal unit having metal electrodes arranged on two surfaces was used as a substrate. The oscillation of the crystal resonator is excited by mechanical resonance by an alternating electric field due to the inverse piezoelectric effect. The resonance frequency changes according to the mass of the molecule adsorbed on the surface electrode. According to Sauerbrey's equation, if the mass variation Δm, F 0 is the fundamental frequency, A is the electrode area, μ q is the shear stress of the crystal, and ρ q is the density of the crystal, the frequency variation ΔF is expressed by the following equation (3 ).

Figure 2014190908
Figure 2014190908

共鳴周波数は、質量増加時は小さくなり、質量減少時は大きくなる。水晶AT板27MHzの基準振動数で1Hzの振動変動を検知した場合、17.7ng/cmの質量変動を検知できることになる。Ag電極を有したQCMチップに例えばアセトン蒸気を5分以上の十分な時間で曝露させ、アセトン蒸気曝露をすばやく停止させる。すると図8のような曲線が得られる。図8の曲線には、Ag電極に吸着した第1層のアセトンとその上に多層吸着したアセトンが含まれている。知りたいのはAgに直接吸着している第1層のアセトンのEdであるので、図8から多層吸着分の寄与を除く必要がある。多層吸着の脱離特性は式(1)の反応次数n=0に相当する。式(1)にn=0を代入して解くと、式(4)となる。 The resonance frequency decreases when the mass increases and increases when the mass decreases. When a vibration fluctuation of 1 Hz is detected at the reference frequency of the quartz AT plate 27 MHz, a mass fluctuation of 17.7 ng / cm 2 can be detected. For example, acetone vapor is exposed to a QCM chip having an Ag electrode for a sufficient time of, for example, 5 minutes or more, and acetone vapor exposure is quickly stopped. Then, a curve as shown in FIG. 8 is obtained. The curve in FIG. 8 includes the first layer of acetone adsorbed on the Ag electrode and the multilayer adsorbed acetone thereon. What we want to know is Ed of acetone in the first layer adsorbed directly on Ag, so it is necessary to remove the contribution of multilayer adsorption from FIG. The desorption characteristics of multilayer adsorption correspond to the reaction order n = 0 in the equation (1). When solving by substituting n = 0 into equation (1), equation (4) is obtained.

Figure 2014190908
Figure 2014190908

つまり多層吸着分子の脱離特性は1次関数で与えられ、第1層吸着の式(2)の指数関数とは区別できることがわかる。よって図8の脱離特性から1次関数挙動部分を除き、指数関数部分のみを抽出することで第1層吸着の脱離特性を知ることができる。式(3)を用いて周波数変化ΔFから被覆率θに下記の式(5)を用いて変換する。   That is, it can be seen that the desorption characteristics of the multilayer adsorbed molecules are given by a linear function and can be distinguished from the exponential function of the first layer adsorption equation (2). Therefore, the desorption characteristic of the first layer adsorption can be known by removing only the exponential function part from the desorption characteristic of FIG. 8 and extracting only the exponential function part. Using the equation (3), the frequency change ΔF is converted into the coverage θ using the following equation (5).

Figure 2014190908
Figure 2014190908

図9に示しているように、Fminは破線で示す一次関数から指数関数曲線になり始めるときの周波数を、FMaxは脱離し終えて平衡状態になったときの周波数を表す。式(5)で変換したアセトンのAg表面からの脱離特性は、図9の実線曲線ようになる。図9の縦軸は脱離率で1−被覆率θ(t)を表す。この曲線に式(2)を、Edを変数としてフィッティングさせることでEdを求めることができる。ν1=1013、温度T=293KとしてフィッティングさせるとEd=68.2kJ/molとなる。フィッティングさせた曲線を図10の点線で示した。 As shown in FIG. 9, F min represents the frequency at which the linear function indicated by the broken line starts to become an exponential function curve, and F Max represents the frequency at which the desorption has finished and the equilibrium state has been reached. The desorption characteristics of the acetone converted from the formula (5) from the Ag surface are as shown by the solid curve in FIG. The vertical axis | shaft of FIG. 9 represents 1-coverage (theta) (t) by a desorption rate. By fitting the equation (2) to this curve and using Ed as a variable, Ed can be obtained. When fitting with ν1 = 10 13 and temperature T = 293 K, Ed = 68.2 kJ / mol. The fitted curve is shown by a dotted line in FIG.

Agを表面に蒸着したQCMチップを用いて、Ag表面に対するアセトン気体(UVなし)のEd値と、278nm付近のUVを照射した際のアセトン気体のEd値を上記のようにして求める。まず、QCMによって測定したアセトン(UVなし)とアセトン(UV照射)のAgに対する脱離特性を図11に示す。UV光源(第一光源)は重水素ランプを用い、干渉フィルターを用いて278nm付近の光のみを取り出したものである。図11に示す特性から、ν1=1013としたときのアセトン(UVなし)のEd値は68.2kJ/molであったのが、UVを照射したアセトンのEd値が80.8 kJ/molと大幅に大きくなる。このことから、UV照射によりアセトンの吸着力が向上していることが確認できる。 Using a QCM chip with Ag deposited on the surface, the Ed value of acetone gas (without UV) on the Ag surface and the Ed value of acetone gas when irradiated with UV near 278 nm are determined as described above. First, the desorption characteristics of acetone (without UV) and acetone (UV irradiation) with respect to Ag measured by QCM are shown in FIG. The UV light source (first light source) uses a deuterium lamp, and only the light near 278 nm is extracted using an interference filter. From the characteristics shown in FIG. 11, the Ed value of acetone (without UV) when ν1 = 10 13 was 68.2 kJ / mol, whereas the Ed value of acetone irradiated with UV was 80.8 kJ / mol. And greatly increased. From this, it can be confirmed that the adsorption power of acetone is improved by UV irradiation.

4.第一、第二励起光の照射によるSERSシグナル強度の向上
SERSセンサーチップ20として、ガラス基板上に銀を10nm蒸着して、ガラス基板上に銀が直径約70nm程度、高さ約20nm程度、構造体間距離約5nmのアイランド構造の金属ナノ構造220が形成されているものを用いた。アセトンの気体分子をSERSセンサーチップ20に曝露して、SERSスペクトルを観測した。測定は、0.5mW、632.8nmのレーザーを用いて、露光時間を30秒とした。また同様にして、アセトン気体に278nm付近のUV(第一励起光31A)を照射した際のSERS測定も行った。UV光源(第一光源31)は重水素ランプを用い、干渉フィルターを用いて278nm付近の光のみを取り出したものを用いた。UV光はセンサーチップ20表面に接触する前のアセトン気体にのみ照射し、センサーチップ20表面に照射されないようにして測定した。
4). Improvement of SERS signal intensity by irradiation of first and second excitation light As the SERS sensor chip 20, silver is deposited on a glass substrate by 10 nm, and the silver has a diameter of about 70 nm and a height of about 20 nm on the glass substrate. A metal nanostructure 220 having an island structure with an interbody distance of about 5 nm was used. A gas molecule of acetone was exposed to the SERS sensor chip 20, and the SERS spectrum was observed. In the measurement, a 0.5 mW, 632.8 nm laser was used, and the exposure time was 30 seconds. Similarly, SERS measurement was also performed when the acetone gas was irradiated with UV (first excitation light 31A) near 278 nm. As the UV light source (first light source 31), a deuterium lamp was used, and only a light around 278 nm was extracted using an interference filter. The UV light was measured by irradiating only the acetone gas before contacting the surface of the sensor chip 20 and not irradiating the surface of the sensor chip 20.

観測されたSERSスペクトルの結果を図12に示す。図12中にて矢印で示した位置に、UV無しでは観測できなかったアセトン分子の化学吸着由来のピーク(933cm−1)がUV照射した時のみ観測された。UV照射により、アセトンの吸着力が大きくなり、SERSシグナル強度が向上したと言える。 The results of the observed SERS spectrum are shown in FIG. A peak (933 cm −1 ) derived from chemisorption of acetone molecules, which could not be observed without UV, was observed only at the position indicated by the arrow in FIG. 12 when UV irradiation was performed. It can be said that by UV irradiation, the adsorptive power of acetone increased and the SERS signal intensity was improved.

図3で示したようにアセトン−銀複合体の吸収スペクトルは405nm付近に存在する。この405nm付近の第二励起光(SERS励起光)32Aを用いると共鳴ラマン効果によりSERSシグナルを増強させることができる。図13に第二励起光32Aを変化させた時の、アセトンの933cm−1ピークの強度の測定結果を示す。第二励起光32Aが405nm時に最もSERSカウント数が大きくなっている。つまり、405nm付近の第二励起光32Aを用いた共鳴ラマン効果により、SERS強度が向上していることがわかる。 As shown in FIG. 3, the absorption spectrum of the acetone-silver complex exists in the vicinity of 405 nm. When the second excitation light (SERS excitation light) 32A near 405 nm is used, the SERS signal can be enhanced by the resonance Raman effect. FIG. 13 shows the measurement result of the intensity of the 933 cm −1 peak of acetone when the second excitation light 32A is changed. The SERS count number is the largest when the second excitation light 32A is 405 nm. That is, it can be seen that the SERS intensity is improved by the resonance Raman effect using the second excitation light 32A in the vicinity of 405 nm.

5.他の標的分子への適用例
5.1.アセトン以外のケトン類
アセトン以外のケトン類として、例えば図14に示すメチルエチルケトンを挙げることができる。メチルエチルケトン(MEK)はアセトンと同種のケトン類に属し、通常は安定なケト体が大部分で存在し、反応性の高いエノール体はごくわずかである。図15に示すように、MEK単体での吸収波長は280nm付近、MEKが銀表面に化学吸着した状態(MEK−銀複合体)での吸収波長は400nm付近に存在する。MEKに280nm付近の第一励起光31Aを照射することで、アセトンと同様にエノール体の割合が増えて、銀表面への吸着力が大きくなることが予想される。
5. Application example to other target molecules 5.1. Ketones other than acetone Examples of ketones other than acetone include methyl ethyl ketone shown in FIG. Methyl ethyl ketone (MEK) belongs to the same kind of ketones as acetone, and usually there are mostly stable keto forms and very few highly reactive enol forms. As shown in FIG. 15, the absorption wavelength of MEK alone is around 280 nm, and the absorption wavelength of MEK chemisorbed on the silver surface (MEK-silver complex) is around 400 nm. By irradiating MEK with the first excitation light 31A near 280 nm, it is expected that the enol body ratio increases as in the case of acetone, and the adsorptive power to the silver surface increases.

SERSセンサーチップ20にMEK気体分子のみを曝露した際のスペクトルと、MEK気体に280nm付近のUV光(第一励起光)を照射しながら曝露したSERSスペクトルとを測定した結果を、図16に示す。図16での測定条件として、第二光源32のレーザー強度0.5mW、そのレーザー波長632.8nm、露光時間を30秒とした。UV照射した時のみ、矢印で示した930cm−1付近のピークが観測された。UV(第一励起光)照射により、MEKの銀への吸着力が大きくなり、SERSシグナル強度が向上したと言える。 FIG. 16 shows the results of measurement of the spectrum when only the MEK gas molecules are exposed to the SERS sensor chip 20 and the SERS spectrum exposed to the MEK gas while irradiating UV light (first excitation light) near 280 nm. . As measurement conditions in FIG. 16, the laser intensity of the second light source 32 was 0.5 mW, its laser wavelength was 632.8 nm, and the exposure time was 30 seconds. Only at the time of UV irradiation, a peak near 930 cm −1 indicated by an arrow was observed. By UV (first excitation light) irradiation, it can be said that the adsorption power of MEK to silver is increased and the SERS signal intensity is improved.

5.2.ケトン類以外の低分子
ケトン類以外のその他の分子についても、分子単体での吸収波長に対応する第一励起光を照射することで、化学吸着させることができる。例えば無機低分子であるアンモニア気体の吸収スペクトルは図17に示すように、190nm付近に存在する。そのため、190nm付近の第一励起光を照射することで、アンモニア気体分子を励起させることができる。励起状態では、HOMO(Highest occupied molecular orbital)の電子がLUMO(Lowest unoccupied molecular orbital)に遷移する。励起状態においては、エネルギー準位の高いLUMOに電子が存在するため反応性が高くなり、吸着性が向上すると言える。
5.2. Low molecules other than ketones Other molecules other than ketones can also be chemically adsorbed by irradiating the first excitation light corresponding to the absorption wavelength of the single molecule. For example, the absorption spectrum of ammonia gas which is an inorganic low molecule exists in the vicinity of 190 nm as shown in FIG. Therefore, the ammonia gas molecules can be excited by irradiating the first excitation light near 190 nm. In the excited state, HOMO (Highest occupied molecular orbital) electrons transition to LUMO (Lowest unoccupied molecular orbital). In an excited state, it can be said that the reactivity increases because the electrons exist in the LUMO having a high energy level, and the adsorptivity is improved.

次に、アンモニアが銅に吸着した際のアンモニア−銅の複合体の吸収は図17に示すように390nm〜500nm付近に広く存在する。アンモニアを第一励起光(190nm近傍)で励起してセンサーチップ20表面(最表面を銅にする)に吸着させ、390nm〜500nm付近の第二励起光で励起すれば、共鳴ラマン効果により高感度なSERS検出が可能になる。   Next, the absorption of the ammonia-copper complex when ammonia is adsorbed on copper is widely present in the vicinity of 390 nm to 500 nm as shown in FIG. When ammonia is excited by the first excitation light (near 190 nm) and adsorbed on the surface of the sensor chip 20 (the outermost surface is copper) and excited by the second excitation light near 390 nm to 500 nm, high sensitivity is obtained by the resonance Raman effect. SERS detection is possible.

6.第一、第二励起光の波長
標的分子がアセトン、メチルエチルケトンまたはアンモニアである時の第一励起光31Aの波長は、278nm付近、280nm付近または190nm付近であった。このように、標的分子が低分子であると、第一励起光31Aの波長は150nm以上350nm未満とすることができる。
6). Wavelengths of first and second excitation light When the target molecule is acetone, methyl ethyl ketone, or ammonia, the wavelength of the first excitation light 31A was near 278 nm, 280 nm, or 190 nm. Thus, when the target molecule is a low molecule, the wavelength of the first excitation light 31A can be set to 150 nm or more and less than 350 nm.

一方、第二励起波長32Aの波長は、金属ナノ構造220の材料にも依存する。表面プラズモン共鳴(SPR)を励起する材料としては、主に銀や金が使われる。図18及び図19に銀および金の表面プラズモン共鳴波長をFDTD(Finite-difference time-domain:時間領域差分)法により計算した結果を示す。   On the other hand, the wavelength of the second excitation wavelength 32 </ b> A also depends on the material of the metal nanostructure 220. As a material that excites surface plasmon resonance (SPR), silver or gold is mainly used. 18 and 19 show the results of calculating the surface plasmon resonance wavelengths of silver and gold by the FDTD (Finite-difference time-domain) method.

共鳴波長は、金属ナノ構造の粒子数や粒子間隔、粒子径を変えると変化する。例えば粒径5nmの銀ナノ粒子では、粒子数と粒子間隔を変えることで、図18に示すように波長のピーク値が360nm付近から540nm付近まで変化する。図18に示すように、金属ナノ粒子の粒子数や粒子間隔、粒子径を変えることで、ほぼ350nm〜1000nmの波長範囲で表面プラズモンを励起できることがわかる。   The resonance wavelength changes when the number of metal nanostructure particles, the particle spacing, and the particle diameter are changed. For example, in the case of silver nanoparticles having a particle size of 5 nm, the peak value of the wavelength changes from around 360 nm to around 540 nm as shown in FIG. 18 by changing the number of particles and the particle spacing. As shown in FIG. 18, it can be seen that surface plasmons can be excited in a wavelength range of approximately 350 nm to 1000 nm by changing the number of particles, the interval between particles, and the particle diameter of the metal nanoparticles.

同様に金属ナノ構造が金である場合には、図19より、ほぼ350nm〜1200nmの波長範囲で表面プラズモンを励起できることがわかる。よって、第二光源32からの第二励起光32Aの波長範囲は、350nm〜1200nmが適している。この範囲には、図17に示すように、金属ナノ構造が銅である場合の第二励起光32Aの波長も含まれる。しかも、第一励起光31Aとは異なる波長の第二励起光32Aを用いることができるので、第一励起光31Aがノイズとなることを防止できる。好ましくは、第一励起光31Aにより化学吸着状態にある標的分子1と金属ナノ構造220との複合体の吸光度が最大となる波長を含む半値幅の範囲に、第二励起光32Aの波長を設定することができる。それにより、共鳴ラマン効果を利用して表面増強ラマン散乱分光の増強度をさらに増すことができる。より好ましくは、標的分子1が最低励起状態から基底状態に戻る時に出す蛍光が、第二励起光32Aのノイズとならないように、第二励起光32Aの波長(例えば第一励起光31Aよりも100nm以上離れた波長)を設定することができる。   Similarly, when the metal nanostructure is gold, it can be seen from FIG. 19 that surface plasmons can be excited in a wavelength range of approximately 350 nm to 1200 nm. Therefore, the wavelength range of the second excitation light 32A from the second light source 32 is suitably 350 nm to 1200 nm. This range includes the wavelength of the second excitation light 32A when the metal nanostructure is copper, as shown in FIG. Moreover, since the second excitation light 32A having a wavelength different from that of the first excitation light 31A can be used, the first excitation light 31A can be prevented from becoming noise. Preferably, the wavelength of the second excitation light 32A is set within a half-value range including the wavelength at which the absorbance of the complex of the target molecule 1 and the metal nanostructure 220 in the chemisorbed state by the first excitation light 31A is maximized. can do. Thereby, the enhancement of surface-enhanced Raman scattering spectroscopy can be further increased using the resonance Raman effect. More preferably, the wavelength of the second excitation light 32A (for example, 100 nm from the first excitation light 31A) so that the fluorescence emitted when the target molecule 1 returns from the lowest excitation state to the ground state does not become noise of the second excitation light 32A. (Wavelengths far apart) can be set.

7.検出装置の具体的構成
図20は、本実施形態の検出装置の具体的な構成例を示す。図20に示される検出装置10Aでは、図1に示すセンサーチップ20、光源30、光学系40及び検出部50に加え、それらを保持する筐体100が示されている。
7). Specific Configuration of Detection Device FIG. 20 shows a specific configuration example of the detection device of the present embodiment. In the detection apparatus 10A shown in FIG. 20, in addition to the sensor chip 20, the light source 30, the optical system 40, and the detection unit 50 shown in FIG. 1, a housing 100 that holds them is shown.

図20において、第一光源31はセンサーチップ20よりも上流の流体通路に設けられている。第二光源32からの光は、光学系40を構成するコリメーターレンズ410により平行光にされる。コリメーターレンズ410の下流に偏光制御素子を設け、直線偏光に変換しても良い。ただし、第二光源32として例えば面発光レーザーを採用し、直線偏光を有する光を発光可能であれば、偏光制御素子を省略することができる。   In FIG. 20, the first light source 31 is provided in the fluid passage upstream of the sensor chip 20. Light from the second light source 32 is collimated by a collimator lens 410 constituting the optical system 40. A polarization control element may be provided downstream of the collimator lens 410 and converted to linearly polarized light. However, for example, if a surface emitting laser is used as the second light source 32 and light having linearly polarized light can be emitted, the polarization control element can be omitted.

コリメーターレンズ410により平行光された光は、ハーフミラー(ダイクロイックミラー)420によりセンサーチップ20の方向に導かれ、対物レンズ430で集光され、センサーチップ20に入射される。センサーチップ20には、図5(A)〜図5(C)に示す金属ナノ構造220が形成される。センサーチップ20から例えば表面増強ラマン散乱によるレイリー散乱光及びラマン散乱光が放射される。センサーチップ20からのレイリー散乱光及びラマン散乱光は、対物レンズ430を通過し、ハーフミラー420によって検出部50の方向に導かれる。   The light collimated by the collimator lens 410 is guided toward the sensor chip 20 by a half mirror (dichroic mirror) 420, condensed by the objective lens 430, and incident on the sensor chip 20. A metal nanostructure 220 shown in FIGS. 5A to 5C is formed on the sensor chip 20. Rayleigh scattered light and Raman scattered light by, for example, surface-enhanced Raman scattering are emitted from the sensor chip 20. Rayleigh scattered light and Raman scattered light from the sensor chip 20 pass through the objective lens 430 and are guided toward the detection unit 50 by the half mirror 420.

センサーチップ20からのレイリー散乱光及びラマン散乱光は、集光レンズ440で集光されて、検出部50に入力される。検出部50では先ず、光フィルター510に到達する。光フィルター510(例えばノッチフィルター)によりラマン散乱光が取り出される。このラマン散乱光は、さらに分光器520を介して受光素子530にて受光される。分光器520は、例えばファブリペロー共振を利用したエタロン等で形成されて通過波長帯域を可変とすることができる。分光器520を通過する光の波長は、検出される標的分子、汚染分子または標準分子のラマン散乱光の波長に制御(選択)することができる。受光素子530によって、標的分子1に特有のラマンスペクトルが得られ、得られたラマンスペクトルと予め保持するデータと照合することで、標的分子1の信号強度を検出することができる。   Rayleigh scattered light and Raman scattered light from the sensor chip 20 are collected by the condenser lens 440 and input to the detection unit 50. First, the detection unit 50 reaches the optical filter 510. Raman scattered light is extracted by an optical filter 510 (for example, a notch filter). This Raman scattered light is further received by the light receiving element 530 via the spectroscope 520. The spectroscope 520 is formed of, for example, an etalon using Fabry-Perot resonance, and the pass wavelength band can be made variable. The wavelength of light passing through the spectroscope 520 can be controlled (selected) to the wavelength of the Raman scattered light of the target molecule, contaminant molecule or standard molecule to be detected. The light receiving element 530 obtains a Raman spectrum peculiar to the target molecule 1, and the signal intensity of the target molecule 1 can be detected by collating the obtained Raman spectrum with previously stored data.

光源30、光学系40及び検出部50が収容される筐体100に対して、支点112の廻りに矢印A方向に開閉可能のセンサーカバー110が設けられている。センサーカバー110は、吸引口122と排出口124の間に、吸引通路126A、流体通路126B及び排出通路126Cを有する。標的分子1を含む流体試料は、吸引口122(搬入口)から導入され、排出口124から外部に排出される。吸引口122側に除塵フィルター130を設けることができる。   A sensor cover 110 that can be opened and closed in the direction of arrow A is provided around a fulcrum 112 with respect to the housing 100 in which the light source 30, the optical system 40, and the detection unit 50 are accommodated. The sensor cover 110 includes a suction passage 126A, a fluid passage 126B, and a discharge passage 126C between the suction port 122 and the discharge port 124. The fluid sample containing the target molecule 1 is introduced from the suction port 122 (carry-in port) and discharged to the outside from the discharge port 124. A dust removal filter 130 can be provided on the suction port 122 side.

図20では、検出装置10Aは、ファンまたはポンプ140を排出口124付近に有し、ファンまたはポンプ140を作動させると、吸引通路126A、流体通路126B及び排出通路126C内の圧力(気圧)が低下する。これにより、流体試料が吸引される。流体試料を吸引及び排出する経路126A〜126Cは、外部からの光がセンサーチップ20に入らないように、且つ、流体試料に対する流体抵抗が小さくなる構造となっている。   In FIG. 20, the detection apparatus 10A has a fan or pump 140 in the vicinity of the outlet 124, and when the fan or pump 140 is operated, the pressure (atmospheric pressure) in the suction passage 126A, the fluid passage 126B, and the discharge passage 126C decreases. To do. Thereby, the fluid sample is aspirated. The paths 126A to 126C for sucking and discharging the fluid sample have a structure in which light from the outside does not enter the sensor chip 20 and fluid resistance to the fluid sample is reduced.

図21に示す検出装置10Bは、吸引通路126Aと流体通路126Bとの間に設けられた第1シャッター151と、流体通路126Bと排出通路126Cとの間に設けられた第2シャッター152とをさらに有することができる。   21 further includes a first shutter 151 provided between the suction passage 126A and the fluid passage 126B, and a second shutter 152 provided between the fluid passage 126B and the discharge passage 126C. Can have.

8.検出方法
図21に示す検出装置10Bでの検出方法を図22に示す。本実施形態の検出方法では、図22の横軸に示す時間軸に沿って、第1モード(試料吸引モード)と、第2モード(SERS測定モード)と、第3モード(試料排出モード)とがその順番で繰り返される。図22の左縦軸、右縦軸は第一、第二励起光31A,32Aの光強度(mW)を示す。第一励起光31Aの強度L1は例えば零であり、強度L1’はL1’>L1を満たす。同様に、第二励起光32Aの強度L2は例えば零であり、強度L2’はL2’>L2を満たす。第1モードで強度[L1’:L2]に、第2モードでは強度[L1’:L2’]に、第3モードでは強度[L1:L2]に設定される。
8). Detection Method FIG. 22 shows a detection method in the detection apparatus 10B shown in FIG. In the detection method of the present embodiment, the first mode (sample suction mode), the second mode (SERS measurement mode), the third mode (sample discharge mode), and the time axis shown on the horizontal axis of FIG. Are repeated in that order. The left vertical axis and the right vertical axis in FIG. 22 indicate the light intensities (mW) of the first and second excitation lights 31A and 32A. The intensity L1 of the first excitation light 31A is, for example, zero, and the intensity L1 ′ satisfies L1 ′> L1. Similarly, the intensity L2 of the second excitation light 32A is, for example, zero, and the intensity L2 ′ satisfies L2 ′> L2. In the first mode, the intensity is set to [L1 ′: L2], in the second mode, the intensity is set to [L1 ′: L2 ′], and in the third mode, the intensity is set to [L1: L2].

図22の時刻T1から開始される第1モードでは、第1,第2シャッター151,152を解放させた状態でファン140を駆動することで、センサーチップ20に流体試料が吸引される。また、第一光源31からの第一励起光31Aが強度L1’で流体試料に照射される。それにより、流体試料中の標的分子1が反応し易くなり、標的分子1は金属ナノ構造220に化学吸着される。   In the first mode started from time T1 in FIG. 22, the fluid sample is sucked into the sensor chip 20 by driving the fan 140 in a state where the first and second shutters 151 and 152 are released. In addition, the first excitation light 31A from the first light source 31 is irradiated to the fluid sample with the intensity L1 '. Thereby, the target molecule 1 in the fluid sample is easily reacted, and the target molecule 1 is chemisorbed on the metal nanostructure 220.

図22の時刻T2から開始される第2モードでは、時刻T2にて第1,第2シャッター151,152が閉鎖される。時刻T2の前後いずれかで、ファン140の駆動を停止することができる。流体試料は第1,第2シャッター151,152間の流体通路126Bに滞留される。それにより、金属ナノ構造220に化学吸着された標的分子1に脱離エネルギーが付与され難くなり、金属ナノ構造220への標的分子1の化学吸着が促進される。   In the second mode started from time T2 in FIG. 22, the first and second shutters 151 and 152 are closed at time T2. The driving of the fan 140 can be stopped either before or after the time T2. The fluid sample is retained in the fluid passage 126B between the first and second shutters 151 and 152. This makes it difficult for desorption energy to be imparted to the target molecule 1 chemically adsorbed on the metal nanostructure 220, and promotes chemical adsorption of the target molecule 1 on the metal nanostructure 220.

また、時刻T2に第二光源32から第二励起光32Aが強度L2’にて照射される。それにより、金属ナノ構造220に吸着されていた標的分子1に由来の波長のラマン散乱光が増強される。検出部50では、標的分子1のラマン散乱光の信号強度が検出される。このとき、分光器520にて標的分子(アセトン分子)1のラマン散乱光の波長が選択されると、標的分子のラマン散乱光の信号強度をモニタリングすることができる。   At time T2, the second excitation light 32A is emitted from the second light source 32 at the intensity L2 '. Thereby, Raman scattered light having a wavelength derived from the target molecule 1 adsorbed on the metal nanostructure 220 is enhanced. In the detection unit 50, the signal intensity of the Raman scattered light of the target molecule 1 is detected. At this time, when the wavelength of the Raman scattered light of the target molecule (acetone molecule) 1 is selected by the spectroscope 520, the signal intensity of the Raman scattered light of the target molecule can be monitored.

図22の時刻T3から開始される第3モードでは、時刻T3にて第1,第2シャッター151,152が開放される。その際にファン140が作動していると、流体試料は流体通路126Bから排出通路126Cを経て排出される。また、時刻T3では第一光源31がオフされる(強度L1)。それにより、新たに導入される流体試料中の標的分子1は化学吸着されない。その流体試料の移動により、金属ナノ構造220に化学吸着された標的分子1に脱離エネルギーが付与され、金属ナノ構造220から標的分子1が脱離される。   In the third mode starting from time T3 in FIG. 22, the first and second shutters 151 and 152 are opened at time T3. If the fan 140 is operating at that time, the fluid sample is discharged from the fluid passage 126B via the discharge passage 126C. At time T3, the first light source 31 is turned off (intensity L1). Thereby, the target molecule 1 in the newly introduced fluid sample is not chemisorbed. Due to the movement of the fluid sample, desorption energy is imparted to the target molecule 1 chemisorbed on the metal nanostructure 220, and the target molecule 1 is desorbed from the metal nanostructure 220.

本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。例えば、明細書又は図面において、少なくとも一度、より広義又は同義な異なる用語と共に記載された用語は、明細書又は図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えることができる。またセンサーチップ20、第一光源31、第2光源32、検出装置10,10A,10B等の構成及び動作も本実施形態で説明したものに限定に限定されず、種々の変形実施が可能である。   Those skilled in the art will readily appreciate that many variations are possible without substantially departing from the novel features and advantages of the present invention. Accordingly, all such modifications are intended to be included in the scope of the present invention. For example, a term described with a different term having a broader meaning or the same meaning at least once in the specification or the drawings can be replaced with the different term in any part of the specification or the drawings. Further, the configurations and operations of the sensor chip 20, the first light source 31, the second light source 32, the detection devices 10, 10A, and 10B are not limited to those described in the present embodiment, and various modifications can be made. .

1 標的分子、10,10A,10B 検出装置、20 センサーチップ、31 第一光源、31A 第一励起光、32 第二光源、32A 第二励起光、40 光学系、50 検出部、151 第1シャッター、152 第2シャッター、126A 吸引通路、126B 流体通路、126C 排出通路、220 金属ナノ構造   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Target molecule | numerator 10,10A, 10B detection apparatus, 20 sensor chip, 31 1st light source, 31A 1st excitation light, 32 2nd light source, 32A 2nd excitation light, 40 optical system, 50 detection part, 151 1st shutter 152 Second shutter, 126A Suction passage, 126B Fluid passage, 126C Discharge passage, 220 Metal nanostructure

Claims (8)

流体試料中の標的分子を検出する検出装置であって、
前記標的分子の基底状態と最低励起状態とのエネルギー差に対応する励起エネルギーを有する第一励起光を、前記流体試料に照射する第一光源と、
前記第一励起光により励起された前記標的分子が吸着される金属ナノ構造を有するセンサーチップと、
前記センサーチップに第二励起光を照射して、表面増強ラマン散乱を出現させる第二光源と、
を有することを特徴とする検出装置。
A detection device for detecting a target molecule in a fluid sample,
A first light source that irradiates the fluid sample with a first excitation light having an excitation energy corresponding to an energy difference between a ground state and a lowest excitation state of the target molecule;
A sensor chip having a metal nanostructure to which the target molecule excited by the first excitation light is adsorbed;
A second light source for irradiating the sensor chip with second excitation light to cause surface enhanced Raman scattering to appear;
A detection apparatus comprising:
請求項1において、
前記第一励起光の波長が、150nm以上で350nm未満であることを特徴とする検出装置。
In claim 1,
The wavelength of said 1st excitation light is 150 nm or more and less than 350 nm, The detection apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項2において、
前記第二励起光の波長が、350nm以上で1200nm以下であることを特徴とする検出装置。
In claim 2,
The wavelength of said 2nd excitation light is 350 nm or more and 1200 nm or less, The detection apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記第二励起光の波長は、化学吸着状態にある前記標的分子と前記金属ナノ構造との複合体の吸光度が最大となる波長を含む半値幅の範囲に設定されることを特徴とする検出装置。
In any one of Claims 1 thru | or 3,
The wavelength of the second excitation light is set within a half-value range including a wavelength at which the absorbance of the complex of the target molecule and the metal nanostructure in a chemisorbed state is maximized. .
請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記第一光源は、前記金属ナノ構造と接触する前の前記流体試料に前記第一励起光を照射することを特徴とする検出装置。
In any one of Claims 1 thru | or 4,
The first light source irradiates the fluid sample before contact with the metal nanostructure with the first excitation light.
請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記流体試料を前記センサーチップと接触させる流体通路と、
前記流体通路に前記流体試料を吸引する吸引通路と、
前記流体通路から前記流体試料を排出する排出通路と、
前記流体通路と前記吸引通路との間に設けられた第1シャッターと、
前記流体通路と前記排出通路との間に設けられた第2シャッターと、
をさらに有することを特徴とする検出装置。
In any one of Claims 1 thru | or 5,
A fluid passage for contacting the fluid sample with the sensor chip;
A suction passage for sucking the fluid sample into the fluid passage;
A discharge passage for discharging the fluid sample from the fluid passage;
A first shutter provided between the fluid passage and the suction passage;
A second shutter provided between the fluid passage and the discharge passage;
The detection apparatus further comprising:
請求項1乃至6のいずれかにおいて、
前記標的分子は、アセトンであることを特徴とする検出装置。
In any one of Claims 1 thru | or 6.
The detection apparatus, wherein the target molecule is acetone.
請求項1乃至7のいずれかにおいて、
前記金属ナノ構造は、金属ナノ粒子の集合体または微細加工技術で形成されたエッジ部を含む金属構造体であることを特徴とする検出装置。
In any one of Claims 1 thru | or 7,
The metal nanostructure is an assembly of metal nanoparticles or a metal structure including an edge portion formed by a fine processing technique.
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