JP2014190701A - X線検査システム及びx線検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】X線検査システムに、X線検査装置2と、情報処理装置とを備え、情報処理装置は、基板3の裏面の外観検査結果又は基板3の裏面のX線検査結果に基づいて、基板3の裏面にはんだ付けされたはんだに関するはんだ情報を取得し、はんだ情報及び基板3の裏面にはんだ付けされるはんだの設計情報の少なくとも1つと、基板3の厚さに関する情報、及びX線検査装置2のX線管21とディテクタ22との位置関係に関する情報に基づいて、基板3の裏面にはんだ付けされたはんだが基板3の表面のX線検査結果に写り込む位置及び濃淡値を算出し、当該位置及び濃淡値に基づいて、基板3の表面のX線検査結果に写り込む基板3の裏面のはんだの影響を除去する。
【選択図】図2
Description
これにより、基板の表面側に実装された部品を透過するX線は、X線源と検出器の回転角度によらず常に検出部上の同じ位置に照射される。一方、基板の裏面側に実装された部品を透過するX線は、X線源と検出器の回転角度によって検出部上の異なる位置に照射される。そのため、各回転角度におけるX線検査結果の画像を重ね合わせると、基板の裏面側に実装された部品の像のみをぼかすことができる。これにより、基板の表面側に実装された部品の像をより正確に検査することができる。通常、ラミノグラフィ方式以外の方式でも、同様の原理に基づいて、基板の裏面側に実装された部品等の影響を抑えている。
実施の形態1.
図1に、本発明の実施の形態1にかかるX線検査システム100の構成を示す。図1に示すように、X線検査システム100は、情報処理装置1、X線検査装置2等を備える。
情報処理装置1は、CPU(Central Processing Unit)、メモリ等を備える。そして、情報処理装置1のCPUがメモリ等に記憶された各種プログラムを実行することにより、情報処理装置1の各種機能が実現する。
X線検査装置2は、基板の表面のX線画像であるX線検査結果を取得する。
そして、X線検査装置2は、X線管21とディテクタ22の各回転角度におけるX線検査結果の画像を重ね合わせたものを、X線検査結果とする。なお、本発明は、ラミノグラフィ方式以外のX線検査装置に対しても適用可能である。
図4に、裏面側と表面側との同じ位置に部品が実装されている基板の一例を示す。また、図5に、図4に示す基板の裏面のX線検査結果を示す。また、図6の左側に、図4に示す基板をラミノグラフィ方式のX線検査装置により撮像して得られる画像を示し、図6の右側に、図6の左側の実線で囲んだ部分を拡大したものを示す。図4に示すように、基板の裏面側に実装された部品が大きかったり、基板の裏面側のはんだ付け部のはんだ面積が大きかったりする場合、図6の実線で囲んだ部分に示すように、基板の裏面のはんだが基板の表面のX線検査結果へ写り込む。そのため、検査対象である基板の表面側に実装された部品やはんだの像をより正確に検査することができないという問題がある。なお、ここで、「基板の裏面のはんだが基板の表面のX線検査結果へ写り込む。」とは、基板の表面を撮像したX線画像に、意図しない、基板の裏面のはんだの像が形成されてしまうことを意味する。
ここで、はんだ情報とは、基板3の裏面のはんだ付け部の位置及び大きさ等に関する情報である。また、基板3の裏面の外観検査結果は、光学式外観検査装置が基板3の裏面を撮像することにより取得した画像データであり、情報処理装置1のメモリ(図示省略)に予め保存されている。また、基板3の裏面のX線検査結果は、例えば、X線検査装置2が基板3の裏面を撮像することにより取得した画像データであり、情報処理装置1のメモリ(図示省略)に予め保存されている。
図9〜図12を用いて、図8に示す検査対象をX線検査装置2により撮像した場合に、基板の裏面のはんだが基板の表面のX線検査結果へ写り込むことについて、簡略的に説明する。図9、図10において、基板3の表面には部品(図9、図10のA)が実装されており、基板3の裏面にははんだ(図9、図10のB)がはんだ付けされている。
また、図10に示すように、X線管21が、紙面向かってななめ左上から基板3の表面に対してX線を照射した場合、ディテクタ22上の部品Aの像が形成される箇所(図10の実線で囲む部分)の紙面向かって左側に、一部重なるようにして、はんだBの像(図10の破線で囲む部分)が写り込む。この時のはんだBが写り込む範囲をb2とする。
これにより、複雑な画像処理等を行わずに、ラミノグラフィ方式のX線検査装置2が取得した三次元のX線検査結果から、基板3の裏面側のはんだが移り込むことによる影響を除去することができる。
また、当該濃淡値が一定値以上である場合にのみ、基板3の裏面にはんだ付けされたはんだが基板3の表面のX線検査結果に写り込む位置を、X線検査装置2の検査範囲から除外するため、不必要に検査範囲を狭めなくて済む。
図14は、本発明の実施の形態2にかかるX線検査方法を説明するフローチャートである。なお、本発明の実施の形態2にかかるX線検査システム100の構成は、実施の形態1にかかるX線検査システム100の構成と同様であるため、その説明を省略する。
具体的には、まず、情報処理装置1は、図15Aに示すように、基板3の表面の検査対象範囲(図15Aの破線で囲む部分)において、基板3のはんだが写り込む濃淡値が一定値以上である、基板3のはんだが写り込む範囲(図15Aの一点鎖線で囲む部分)を特定する。
また、当該濃淡値が一定値以上である場合にのみ、当該濃淡値に基づいて、基板3の表面のX線検査結果を補正する。そのため、補正処理を行う範囲を必要最低限に抑えることができ、検査の効率を向上することができる。
2 X線検査装置
21 X線管(X線源)
22 ディテクタ(検出部)
3 基板
100 X線検査システム
Claims (6)
- 基板の表面のX線画像であるX線検査結果を取得するX線検査装置と、
前記基板の裏面の外観検査結果又は前記基板の裏面のX線検査結果に基づいて、前記基板の裏面にはんだ付けされたはんだに関するはんだ情報を取得し、
前記はんだ情報及び前記基板の裏面にはんだ付けされるはんだの設計情報の少なくとも1つと、前記基板の厚さに関する情報、及び前記X線検査装置のX線源と検出部との位置関係に関する情報に基づいて、前記基板の裏面にはんだ付けされたはんだが前記基板の表面のX線検査結果に写り込む位置及び前記基板の裏面にはんだ付けされたはんだが前記基板の表面のX線検査結果に写り込む濃淡値を算出し、
前記位置及び前記濃淡値に基づいて、前記基板の表面のX線検査結果に写り込む前記基板の裏面のはんだの影響を除去する情報処理装置と、
を備えるX線検査システム。 - 前記情報処理装置は、
前記濃淡値が一定値以上である場合に、前記基板の裏面にはんだ付けされたはんだが前記基板の表面のX線検査結果に写り込む位置を、前記X線検査装置の検査範囲から除外する、請求項1に記載のX線検査システム。 - 前記情報処理装置は、
前記濃淡値が一定値以上である場合に、当該濃淡値に基づいて、前記基板の表面のX線検査結果を補正する、請求項1に記載のX線検査システム。 - 基板の表面のX線画像であるX線検査結果を取得し、
前記基板の裏面の外観検査結果又は前記基板の裏面のX線検査結果に基づいて、前記基板の裏面にはんだ付けされたはんだに関するはんだ情報を取得し、
前記はんだ情報及び前記基板の裏面にはんだ付けされるはんだの設計情報の少なくとも1つと、前記基板の厚さに関する情報、及びX線検査装置のX線源と検出部との位置関係に関する情報に基づいて、前記基板の裏面にはんだ付けされたはんだが前記基板の表面のX線検査結果に写り込む位置及び前記基板の裏面にはんだ付けされたはんだが前記基板の表面のX線検査結果に写り込む濃淡値を算出し、
前記位置及び前記濃淡値に基づいて、前記基板の表面のX線検査結果に写り込む前記基板の裏面のはんだの影響を除去する、X線検査方法。 - 前記濃淡値が一定値以上である場合に、前記基板の裏面にはんだ付けされたはんだが前記基板の表面のX線検査結果に写り込む位置を、前記X線検査装置の検査範囲から除外する、請求項4に記載のX線検査方法。
- 前記濃淡値が一定値以上である場合に、当該濃淡値に基づいて、前記基板の表面のX線検査結果を補正する、請求項4に記載のX線検査方法。
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