JP2014187189A - 半導体記憶装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】実施形態は、電荷蓄積層の側面に設けられる制御電極に対するコンタクトを有する半導体記憶装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、複数の第1の電荷蓄積層が第1のゲート絶縁膜の上に設けられ第1の方向及び第2の方向に分離している。複数の第2の電荷蓄積層が絶縁膜の上に設けられ第1の方向及び第2の方向に分離している。中間絶縁膜が第1の電荷蓄積層の側面及び第2の電荷蓄積層の側面に設けられている。制御電極は、中間絶縁膜の側面に設けられ、第2の方向に延び、中間絶縁膜を介して第1の電荷蓄積層の側面及び第2の電荷蓄積層の側面に対向する側面部と、側面部の下部に一体に設けられ側面部の膜厚よりも大きな幅を有するパッド部とを有する。
【選択図】図18
【解決手段】実施形態によれば、複数の第1の電荷蓄積層が第1のゲート絶縁膜の上に設けられ第1の方向及び第2の方向に分離している。複数の第2の電荷蓄積層が絶縁膜の上に設けられ第1の方向及び第2の方向に分離している。中間絶縁膜が第1の電荷蓄積層の側面及び第2の電荷蓄積層の側面に設けられている。制御電極は、中間絶縁膜の側面に設けられ、第2の方向に延び、中間絶縁膜を介して第1の電荷蓄積層の側面及び第2の電荷蓄積層の側面に対向する側面部と、側面部の下部に一体に設けられ側面部の膜厚よりも大きな幅を有するパッド部とを有する。
【選択図】図18
Description
本発明の実施形態は、半導体記憶装置及びその製造方法に関する。
メモリデバイスのさらなる高集積化に向けて、2層の電荷蓄積層を絶縁膜を介して積層した構造が提案されている。この構造では、電荷蓄積層の積層体の側面に、ゲート間絶縁膜を介して制御ゲートが設けられる。このように側壁膜として設けられる制御ゲートに対してコンタクトを接続する必要がある。
本発明の実施形態は、電荷蓄積層の側面に設けられる制御電極に対するコンタクトを有する半導体記憶装置及びその製造方法を提供する。
実施形態によれば、半導体記憶装置は、第1の半導体層と、第1のゲート絶縁膜と、複数の第1の電荷蓄積層と、絶縁膜と、複数の第2の電荷蓄積層と、第2のゲート絶縁膜と、第2の半導体層と、中間絶縁膜と、制御電極と、を備えている。前記第1の半導体層は、第1の方向に延びている。前記第1のゲート絶縁膜は、前記第1の半導体層の上に設けられている。前記複数の第1の電荷蓄積層は、前記第1のゲート絶縁膜の上に設けられ、前記第1の方向及び前記第1の方向に対して交差する第2の方向に分離している。前記絶縁膜は、前記第1の電荷蓄積層の上に設けられている。前記複数の第2の電荷蓄積層は、前記絶縁膜の上に設けられ、前記第1の方向及び前記第2の方向に分離している。前記第2のゲート絶縁膜は、前記第2の電荷蓄積層の上に設けられている。前記第2の半導体層は、前記第2のゲート絶縁膜の上に設けられ、前記第1の方向に延びている。前記中間絶縁膜は、前記第1の電荷蓄積層の側面及び前記第2の電荷蓄積層の側面に設けられている。前記制御電極は、前記中間絶縁膜の側面に設けられ、前記第2の方向に延び、前記中間絶縁膜を介して前記第1の電荷蓄積層の側面及び前記第2の電荷蓄積層の側面に対向する側面部と、前記側面部の下部に一体に設けられ、前記側面部の膜厚よりも大きな幅を有するパッド部と、を有する。
以下、図面を参照し、実施形態について説明する。なお、各図面中、同じ要素には同じ符号を付している。
図1は、実施形態の半導体記憶装置のメモリセル領域の一例を示す模式斜視図である。
図4は、実施形態の半導体記憶装置の一例を示す模式断面図である。図4は、図1におけるAA方向(第1の方向)に沿った断面に対応する。
図5は、図4におけるA−A’断面図の一例である。図5は、図1におけるGC方向(第2の方向)に沿った断面に対応する。GC方向は、AA方向に対して交差、例えば直交している。
図4は、実施形態の半導体記憶装置の一例を示す模式断面図である。図4は、図1におけるAA方向(第1の方向)に沿った断面に対応する。
図5は、図4におけるA−A’断面図の一例である。図5は、図1におけるGC方向(第2の方向)に沿った断面に対応する。GC方向は、AA方向に対して交差、例えば直交している。
絶縁体のベース30の上に、チャネル領域またはアクティブ領域を形成する第1の半導体層11が設けられている。AA方向に延びる複数の第1の半導体層11が、GC方向に並んで設けられている。
第1の半導体層11上には、第1のゲート絶縁膜(または第1のトンネル絶縁膜)12が設けられている。
第1のゲート絶縁膜12上には、第1の電荷蓄積層13が設けられている。第1の電荷蓄積層13は、例えば多結晶シリコンを含む浮遊ゲート電極である。あるいは、第1の電荷蓄積層13は、例えばシリコン窒化膜などのチャージトラップ膜である。あるいは、第1の電荷蓄積層13は、浮遊ゲート電極とチャージトラップ膜との積層膜であってもよい。
第1の電荷蓄積層13上には、絶縁膜31が設けられている。
絶縁膜31上には、第2の電荷蓄積層23が設けられている。第2の電荷蓄積層23は、例えば多結晶シリコンを含む浮遊ゲート電極である。あるいは、第2の電荷蓄積層23は、例えばシリコン窒化膜などのチャージトラップ膜である。あるいは、第2の電荷蓄積層23は、浮遊ゲート電極とチャージトラップ膜との積層膜であってもよい。
第2の電荷蓄積層23上には、第2のゲート絶縁膜(または第2のトンネル絶縁膜)22が設けられている。
第2のゲート絶縁膜22上には、チャネル領域またはアクティブ領域を形成する第2の半導体層21が設けられている。AA方向に延びる複数の第2の半導体層21が、GC方向に並んで設けられている。
ベース30、第1の半導体層11、第1のゲート絶縁膜12、および第1の電荷蓄積層13は、図3に示すように、AA方向(図5において紙面を貫く方向)に延びる層間絶縁膜15によって、GC方向に複数に分離されている。
第2の電荷蓄積層23、第2のゲート絶縁膜22、および第2の半導体層21は、図5に示すように、AA方向(図5において紙面を貫く方向)に延びる層間絶縁膜25によって、GC方向に複数に分離されている。層間絶縁膜25は、絶縁膜31上に設けられている。
第1の電荷蓄積層13及び第2の電荷蓄積層23を含む電荷蓄積層積層体は、図1及び図4に示すように、AA方向に複数に分離している。すなわち、柱状の複数の電荷蓄積層積層体が、マトリクス状に配置されている。
電荷蓄積層積層体のAA方向の両側面には、中間絶縁膜32を介して、制御電極33が設けられている。制御電極33は、GC方向に延びている。
制御電極33は、AA方向で隣り合う電荷蓄積層積層体の間で、中間絶縁膜32の内側に埋め込まれている。制御電極33は、絶縁膜31を介して積層された第1の電荷蓄積層13及び第2の電荷蓄積層23に共通に設けられている。
制御電極33は、中間絶縁膜32を介して、第1の電荷蓄積層13の側面及び第2の電荷蓄積層23の側面に対向し、第1の電荷蓄積層13及び第2の電荷蓄積層23に対して容量結合することができる。
制御電極33と第2のゲート絶縁膜22との間には、マスク材(絶縁膜)33mが設けられている。制御電極33と第1のゲート絶縁膜12との間には、中間絶縁膜32が設けられている。
実施形態の半導体記憶装置は、第1のメモリセルMC1と、第1のメモリセルMC1の上に積層された第2のメモリセルMC2との積層構造を含む。
第1のメモリセルMC1は、第1の半導体層11、第1のゲート絶縁膜12、第1の電荷蓄積層13、第1の電荷蓄積層13の側面に設けられた中間絶縁膜32および制御電極33を含む。
第2のメモリセルMC2は、第2の半導体層21、第2のゲート絶縁膜22、第2の電荷蓄積層23、第2の電荷蓄積層23の側面に設けられた中間絶縁膜32および制御電極33を含む。
複数の電荷蓄積層積層体がAA方向に配列された列の両端の制御電極33の隣には、選択ゲートトランジスタS11、S12、S21、S22を形成する第1の選択ゲート16及び第2の選択ゲート26が設けられている。
第2の選択ゲート16は、層間絶縁膜31を介して、第1の選択ゲート16上に設けられている。第1の選択ゲート16は、第1のゲート絶縁膜12を介して第1の半導体層11に対向している。第2の選択ゲート26は、第2のゲート絶縁膜22を介して第2の半導体層21に対向している。
第1の選択ゲート16には、GC方向(図4において紙面を貫く方向)に延びる第1の選択ゲート線17が埋め込まれている。第2の選択ゲート26には、GC方向に延びる第2の選択ゲート線27が埋め込まれている。第2の選択ゲート線27と第2のゲート絶縁膜22との間には、マスク材(絶縁膜)27mが設けられている。
第1の選択ゲート線17と第2の選択ゲート線27との間には、層間絶縁膜34が設けられ、第1の選択ゲート線17と第2の選択ゲート線27とは絶縁分離されている。
下側のメモリセルユニットは、下側のメモリセルMC1と選択ゲートトランジスタS11、S21を含む。第1のメモリセルアレイ層10は、GC方向に配列された複数の下側のメモリセルユニットを含む。
上側のメモリセルユニットは、上側のメモリセルMC2と選択ゲートトランジスタS12、S22を含む。第2のメモリセルアレイ層20は、GC方向に配列された複数の上側のメモリセルユニットを含む。
メモリセルユニットの一端の半導体層11、21には、半導体層11、21に共通の上下に延びたビット線コンタクト35が設けられ、ビット線コンタクト35は図示しないビット線に接続されている。
メモリセルユニットの他端の半導体層11、21には、半導体層11、21に共通の上下に延びたソース線コンタクト36が設けられ、ソース線コンタクト36は図示しないソース線に接続されている。
上下の電荷蓄積層13、23は、その側面に中間絶縁膜32を介して設けられた共通の制御電極33によって、同時に、その制御電極33とカップリングされる。
これに対して、下側の選択ゲート16と上側の選択ゲート26とは独立して駆動可能である。したがって、選択トランジスタによって、下側の第1の半導体層11と上側の第2の半導体層21とを独立してアクティブにすることができる。
図2はメモリセル領域から制御電極33が引き出されてコンタクト71が配置されるコンタクト形成領域の一例を示す平面図である。
コンタクト形成領域はメモリセル領域のGC方向に隣接して配置されている。コンタクト形成領域において、第1の電荷蓄積層13と第2の電荷蓄積層23を含む積層体を電荷蓄積層積層体60と表す。第1の選択ゲート16と第2の選択ゲート26を含む積層体を選択ゲート積層体SGと表す。
電荷蓄積層積層体60は、メモリセル領域からGC方向に延びる複数のライン部61を有する。ライン部61は、図18(a)に示すライン間スペース81を隔ててAA方向に分離されている。ライン部61は、GC方向に一定長さ延びた後、AA方向に折れ曲がっている。ここで、それぞれの電荷蓄積層積層体60は、GC方向において、異なる位置で折れ曲がっている。その結果、それぞれの電荷蓄積層積層体60間の間隔がライン部61間の間隔よりも広くなる領域RAが存在する。
また、電荷蓄積層積層体60は、ライン部61のAA方向に折れ曲がった先に形成され、AA方向の幅よりも広い幅を有する幅広部62を有する。幅広部62のAA方向の幅及びGC方向の幅は、ライン部61のAA方向の幅よりも大きい。複数の幅広部62が、互いに離間してGC方向に並んでいる。
また、それぞれ異なるセル列に接続される2つの選択ゲート積層体SGがAA方向に隣り合って並んでいる。ここで、AA方向に折れ曲がったライン部61と選択ゲート積層体SGの間の間隔がライン部61間の間隔よりも広くなる領域RBが存在する。
また、2つの選択ゲート積層体SGを挟んで線対称の位置関係にある一対のライン部61が、GC方向の端部で向き合っている。言い換えれば、幅広部62は2つの選択ゲート積層体SG間においてAA方向においてミラー反転している。
電荷蓄積層積層体60の側面に沿うように制御電極33が形成されている。なお、図2では図示していないが、制御電極33は中間絶縁膜を介して電荷蓄積層積層体60の側面に設けられている。
制御電極33は電荷蓄積層積層体60の側面に設けられた側面部33aを有する。AA方向において、側面部33aの幅は、制御電極33の幅W2とほぼ等しい。また、側面部33aは、領域RAの部分でそれぞれの電荷蓄積層積層体60の側面に沿うように2本の側面部33cに分岐される。側面部33cの幅w1は、電荷蓄層積層体60間の間隔w2の1/2よりも大きい。また、側面部33cの幅w1は、選択ゲート積層体SGと電荷蓄積層積層体60の間の距離の1/2よりも小さい。さらには、側面部33cの幅w1は、側面部33aの幅w2よりも小さいことが好ましい。
制御電極33は、側面部33aまたは側面部33cの先端部にパッド部33bを有している。パッド部33bにはコンタクト71が配置されている。なお、コンタクト71は1つのパッド部33bに複数個配置されても良い。ここで、2本に分岐された側面部33cはパッド部33bで共通に接続されている。
側面部33cの幅w1は領域RBのGC方向の幅よりも小さい。その結果、電荷蓄積層積層体60の側面に設けられた側面部33cは、選択ゲート積層体SGの側面に設けられた側面部33cと接続されない。
次に、図3(a)は、図2におけるB−B’断面図の一例を示す。
電荷蓄積層積層体60の幅広部62が第1の半導体層11上に第1のゲート絶縁膜12を介して設けられている。電荷蓄積層積層体60の幅広部62の上部にはマスク材43が設けられている。ここで、制御電極33のパッド部33bは、幅広部62の上面から側面及び第1のゲート絶縁膜12上に連続して設けられている。また、パッド部33bは、幅広部62のGC方向の両側面に形成されており、幅広部62の上部で分断されている。
ここで、パッド部33bは、図3(a)に示すように、パッド上部33e、パッド側面部33d、パッド底部33fの部分を有していると言える。パッド側面部33dの幅は側面部33cの幅w1とほぼ等しい。これは、側面部33cとパッド側面部33dが電荷蓄積層積層体60の側面に連続して形成されているからである。GC方向において、第1のゲート絶縁膜12上の部分のパッド底部33fの幅w3は、パッド側面部33dの幅w1よりも広い。その結果、コンタクト71を確実にパッド部33bに接続することができる。
ここで、パッド部33bは、図3(a)に示すように、パッド上部33e、パッド側面部33d、パッド底部33fの部分を有していると言える。パッド側面部33dの幅は側面部33cの幅w1とほぼ等しい。これは、側面部33cとパッド側面部33dが電荷蓄積層積層体60の側面に連続して形成されているからである。GC方向において、第1のゲート絶縁膜12上の部分のパッド底部33fの幅w3は、パッド側面部33dの幅w1よりも広い。その結果、コンタクト71を確実にパッド部33bに接続することができる。
また、図3(b)に示すようにコンタクト71をパッド底部33fだけでなくパッド側面部33dにも接触させることもできる。その結果、コンタクト71と制御電極33との接触抵抗を小さくすることができる。
また、パッド部33bは、パッド上部33eとパッド側面部33dで電荷蓄積層積層体60の上面の角部を覆っている。その結果、例えば、コンタクト71を形成するためのコンタクトホールが合わせずれにより電荷蓄積層積層体60の上面の角部までずれたとしても、この角部にパッド部33bが形成されているため、マスク材43がエッチングにて削られることがない。その結果、コンタクト71の下端が幅広部62の第2の電荷蓄積層23に接触することがなく、確実に制御電極33のみに到達するコンタクト71を形成することができる。
次に、実施形態の半導体記憶装置のメモリセルアレイ構造の形成方法について、図6(a)〜図17を参照して説明する。
図6(a)〜図7(b)は、GC方向に沿った断面を表す。
図8〜図16は、AA方向に沿った断面を表す。
図17は、図16におけるA−A’断面を表す。
図8〜図16は、AA方向に沿った断面を表す。
図17は、図16におけるA−A’断面を表す。
図6(a)に示すように、基板1上に絶縁層30を形成する。基板1は、例えばシリコン基板である。なお、基板1は、図6(b)以降の図では図示を省略する。絶縁層30は、例えばシリコン酸化層である。
絶縁層30上には、第1の半導体層11、第1のゲート絶縁膜12および第1の電荷蓄積層13が順次積層される。第1の半導体層11及び第1の電荷蓄積層13は、例えば多結晶シリコン層である。第1のゲート絶縁膜12は、例えばシリコン酸化膜である。
実施形態では、SOI(Silicon On Insulator)構造の第1の半導体層11を形成しているが、第1の半導体層11は基板1の表面であってもよい。
次に、第1の電荷蓄積層13の上に、AA方向(図6(a)において紙面を貫く方向)に沿って延びるマスク材41、42を形成する。例えば、マスク材41はシリコン窒化膜であり、マスク材42はシリコン酸化膜である。
そのマスク材41、42を用いた例えばRIE(Reactive Ion Etching)法によって、基板1上の積層体をエッチングする。これにより、図6(b)に示すように、絶縁層30、第1の半導体層11、第1のゲート絶縁膜12及び第1の電荷蓄積層13を含む積層体は、GC方向に複数に分離される。その積層体は、AA方向(図6(b)において紙面を貫く方向)に延びている。
上記積層体のエッチングにより形成された積層体間の溝には、図7(a)に示すように、層間絶縁膜(例えばシリコン酸化膜)15が埋め込まれる。さらに、第1の電荷蓄積層13をストッパーとしてCMP(Chemical Mechanical Polishing)法による平坦化を行う。さらに、エッチバックによって層間絶縁膜15の上面を後退させる。
次に、図7(b)に示すように、層間絶縁膜15及び第1の電荷蓄積層13の上に層間絶縁膜31を形成し、その層間絶縁膜31の上に第2の電荷蓄積層23を形成する。層間絶縁膜31は、例えばシリコン酸化膜であり、第2の電荷蓄積層23は、例えば多結晶シリコン層である。
次に、図8に示すように、第2の電荷蓄積層23の上に、GC方向(図8において紙面を貫く方向)に沿って延びるマスク材43、44を形成する。例えば、マスク材43はシリコン窒化膜であり、マスク材44はシリコン酸化膜である。
そして、そのマスク材43、44を用いたRIE法によって、図9に示すように、第1のゲート絶縁膜12上の積層体をエッチングする。第1の電荷蓄積層13の材料層(例えば多結晶シリコン層)の一部は、AA方向の幅が第1の電荷蓄積層13よりも大きな第1の選択ゲート16となる。また、第2の電荷蓄積層23の材料層(例えば多結晶シリコン層)の一部は、AA方向の幅が第2の電荷蓄積層23よりも大きな第2の選択ゲート26となる。
図6(b)に示すエッチング及び図9に示すエッチングにより、第1の電荷蓄積層13は、GC方向及びAA方向に分断された柱状に加工される。また、第1の選択ゲート16も、GC方向及びAA方向に分断された柱状に加工される。
この段階では、第2の電荷蓄積層23及び第2の選択ゲート26はGC方向(図9において紙面を貫く方向)に分断されず、GC方向に延びている。
次に、第1のゲート絶縁膜12上、第1のゲート絶縁膜12上で分離された複数の積層体の側面及び上面に沿ってコンフォーマルに図10に示す中間絶縁膜32を形成する。中間絶縁膜32は、例えば、シリコンの酸化物、シリコンの窒化物、ハフニウムの酸化物などを含む。
中間絶縁膜32は、第1の電荷蓄積層13の側面及び第2の電荷蓄積層23の側面に形成される。また、中間絶縁膜32は、第1の選択ゲート16の側面及び第2の選択ゲート26の側面に形成される。
中間絶縁膜32を形成した後、積層体間に制御電極33を埋め込む。制御電極33は、例えば、多結晶シリコン膜、またはタングステン膜などの金属膜である。
制御電極33は、積層体間において中間絶縁膜32の内側に埋め込まれ、中間絶縁膜32を介して、第1の電荷蓄積層13の側面及び第2の電荷蓄積層23の側面に対向する。
次に、制御電極33に対して例えばRIE法によりエッチバックを行い、図11に示すように、積層体上に堆積した制御電極33を除去する。
次に、積層体間の領域の制御電極33上に、図12に示すように、マスク材33mと絶縁層39を埋め込む。マスク材33mと絶縁層39は、例えばシリコン酸化膜である。
マスク材33mと絶縁層39を堆積させた後、例えばシリコン窒化膜であるマスク材43をストッパーとしたCMP法により、基板上構造物全体の上面を平坦化する。
次に、図13に示すように、例えばRIE法により、マスク材43、第2の選択ゲート26、層間絶縁膜31及び第1の選択ゲート16を含む積層体に溝17Aを形成する。
次に、溝17A内に、図14に示すように、第1の選択ゲート線17、層間絶縁膜34及び第2の選択ゲート線27を順次形成する。
選択ゲート線17、27は、制御電極33と同様、例えば、多結晶シリコン膜、またはタングステン膜などの金属膜である。
また、第2の選択ゲート線27の上には、キャップ絶縁膜39Aが埋め込まれ、その上面はマスク材43をストッパーとするCMPにより平坦化される。
次に、第2の電荷蓄積層23または制御電極33をストッパーとして、CMP法による平坦化を行い、平坦化された面上に、図15に示すように、第2のゲート絶縁膜22及び第2の半導体層21を順次形成する。
第2のゲート絶縁膜22は、例えばシリコン酸化膜である。第2の半導体層21は、例えば多結晶シリコン層である。
続いて、図16および図16におけるA−A’断面図である図17に示すように、第2の半導体層21の上に、AA方向に延びるマスク材45を形成し、例えばRIE法により、第2の半導体層21、第2のゲート絶縁膜22および第2の電荷蓄積層23を加工する。マスク材45は、例えばシリコン窒化膜である。
第2の電荷蓄積層23は、AA方向及びGC方向に分断された柱状に加工される。
次に、GC方向に分断された積層体間の溝に、図5に示すように、層間絶縁膜25を埋め込む。
次に、制御電極33をゲート配線(制御電極33に電位を与える配線)と接続するためのコンタクト構造の形成方法について、図18(a)〜図20(b)、及び図2を参照して説明する。
図18(a)〜図20(b)、及び図2は、制御電極33のコンタクト形成領域の一部の模式平面図の一例である。
図18(a)は、図9に示す加工後のコンタクト形成領域の模式平面図に対応する。下地膜としての第1のゲート絶縁膜12上で、積層体が複数に分離される。
第1の電荷蓄積層13と第2の電荷蓄積層23を含む積層体を、電荷蓄積層積層体60と表す。第1の選択ゲート16と第2の選択ゲート26を含む積層体を選択ゲート積層体SGと表す。
電荷蓄積層積層体60は、ライン間スペース81を隔ててAA方向に分離され、GC方向に延びる複数のライン部61を有する。ここで、ライン間スペース81は、図9のライン部61の間の間隔とほぼ等しい。ライン部61は、GC方向に延びた後、AA方向に折れ曲がる。
それぞれ異なるセル列に接続される2つの選択ゲート積層体SGがAA方向に隣り合って並んでいる。
また、電荷蓄積層積層体60は、一対のライン部61をつなげている幅広部62を有する。ここで、幅広部62はライン部61がAA方向に曲がった先に配置されている。
2つの選択ゲート積層体SGを挟んで線対称の位置関係にある一対のライン部61が、GC方向の端部でループを形成するように、幅広部62を介してつながっている。選択ゲート積層体SGから数えて同じn(nは1以上の自然数)本目のライン部61どうしが、幅広部62を介してつながっている。
幅広部62のAA方向の幅及びGC方向の幅は、ライン部61のAA方向の幅よりも大きくすることができる。複数の幅広部62が、互いに離間してGC方向に並んでいる。
ライン部61と選択ゲート積層体SGとの間のスペース82は、ライン部61のライン間スペース81よりも広くすることができる。また、幅広部62の間のスペース83は、ライン間スペース81よりも広い。選択ゲート積層体SG間スペースは、ライン間スペース81よりも広い。
電荷蓄積層積層体60および選択ゲート積層体SGを形成した後、図10に示すように、中間絶縁膜32と制御電極33が形成される。図18(a)〜図20(b)、及び図2の模式平面図においては、中間絶縁膜32の図示は省略している。
制御電極33の材料膜として多結晶シリコン膜または金属膜が、図18(b)に示すように、電荷蓄積層積層体60および選択ゲート積層体SGを覆う。
また、制御電極33の材料膜の膜厚は、ライン間スペース81の幅の1/2以上に設定する。また、制御電極33の材料膜の膜厚は、スペース82の幅よりも小さくなるように設定する。さらには、製造工程の時間短縮のため、制御電極33の材料膜の膜厚はライン間スペース81よりも小さくすることが好ましい。したがって、隣り合うライン部61のそれぞれの側面に形成された制御電極33によって、ライン間スペース81が埋まる。
ライン間スペース81よりも広いスペースの領域RA、RBなどにおいては、下地膜として底面に制御電極33が形成されると共に、この下地膜の上面、積層体の側面及び上面にコンフォーマルに制御電極33が形成される。
次に、制御電極33上にレジスト膜を形成した後パターニングし、図19(a)に示すように、GC方向に延び、GC方向において幅広部62上で分断するようにレジスト膜91を選択的に残す。また、レジスト膜91はAA方向の幅広部62の端部を露出するように形成する。
その結果、レジスト膜91は、幅広部62におけるGC方向の端部近傍、およびGC方向で隣り合う幅広部62の間の領域を覆う。この状態で、制御電極33をエッチバックする。この制御電極33のエッチバック工程は、図11に示す工程に対応する。
図19(b)は、制御電極33のエッチバック後の、レジスト膜91を除去した後の模式平面図である。残った制御電極33を模式的に斜線で表している。
選択ゲート積層体SG及び電荷蓄積層積層体60の側面に形成された制御電極33、及びレジスト膜91で覆われた制御電極33以外は除去される。すなわち、ライン間スペース81よりも広いスペースにおける下地膜上の制御電極33の材料膜は除去される。
その結果、制御電極33の材料膜は、電荷蓄積層積層体60のライン部61の側面、幅広部62の側面、選択ゲート積層体SGの側面、およびライン間スペース81に、制御電極33の側面部33aとして残される。
また、制御電極33の材料膜は、レジスト膜91で覆われていた部分に、制御電極33のパッド部33bとして残される。すなわち、パッド部33bは、幅広部62のGC方向の端部付近、およびGC方向で隣り合う幅広部62の間の領域に形成されている。GC方向で隣り合う幅広部62間に連続してパッド部33bが設けられている。
次に、図19(b)に示す構造体の全面に、図20(a)に示すレジスト膜92を形成した後、そのレジスト膜92の一部に開口92aを形成する。
開口92aは、幅広部62及び制御電極33のパッド部33bの上で、幅広部62及びパッド部33bをAA方向に分断する位置でGC方向に延びて形成される。幅広部62のAA方向における両端部、及びパッド部33bのAA方向における両端部が開口92aに露出し、他の部分はレジスト膜92で覆われている。
そして、レジスト膜92を用いた例えばRIE法により、開口92aの下の制御電極33及び積層体をエッチングする。
図20(b)は、そのエッチング後の、レジスト膜92を除去した後の状態を表す。
電荷蓄積層積層体60の幅広部62は、AA方向に分離される。したがって、幅広部62を介してつながっていた一対のライン部61が分離される。
また、制御電極33のパッド部33bも、AA方向に分離される。1つの側面部33aから分岐した側面部33cが共通に接続され、かつ、GC方向に隣り合う幅広部62間で、制御電極33のパッド部33bはつながって形成されている。
ライン間スペース81に埋め込まれ、隣り合うライン部61間で共通の制御電極33の側面部33aは、GC方向の端部で2つに分岐している。分岐した一方の側面部33cは、隣り合うライン部61の一方の側面に沿ってパッド部33bに続き、他方の側面部33cは他方のライン部61の側面に沿ってパッド部33bに続いている。そして、分岐した2つの側面部33cは、パッド部33bで再び合流している。
すなわち、第1の電荷蓄積層13の側面及び第2の電荷蓄積層23の側面に対して、中間絶縁膜32を介して容量結合する制御電極33の側面部33aは、パッド部33bとつながっている。隣り合うライン部61間に設けられた制御電極33の側面部33aは、途中、2つに分岐しつつ、1つのパッド部33bにつながっている。
次に、図2および図2におけるB−B’断面図である図3(a)または図3(b)に示すように、制御電極33のパッド部33bに、ワード線コンタクト71を形成する。
パッド部33bのAA方向の幅及びGC方向の幅は、側面部33aの幅(AA方向の幅)よりも大きい。したがって、コンタクト71の下端が制御電極33と他の要素にまたがって到達してしまうことがなく、確実に制御電極33のみに到達するコンタクト71を形成することができる。
コンタクト71を通じた制御電極33と第2の電荷蓄積層23とのショートを防ぐことができ、信頼性の高い半導体記憶装置を提供することができる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
11…第1の半導体層、12…第1のゲート絶縁膜、13…第1の電荷蓄積層、21…第2の半導体層、22…第2のゲート絶縁膜、23…第2の電荷蓄積層、33…制御電極、33a…側面部、33b…パッド部、60…電荷蓄積層積層体、61…ライン部、62…幅広部
Claims (5)
- 第1の方向に延びる第1の半導体層と、
前記第1の半導体層の上に設けられた第1のゲート絶縁膜と、
前記第1のゲート絶縁膜の上に設けられ、前記第1の方向及び前記第1の方向に対して交差する第2の方向に分離している複数の第1の電荷蓄積層と、
前記第1の電荷蓄積層の上に設けられた絶縁膜と、
前記絶縁膜の上に設けられ、前記第1の方向及び前記第2の方向に分離している複数の第2の電荷蓄積層と、
前記第2の電荷蓄積層の上に設けられた第2のゲート絶縁膜と、
前記第2のゲート絶縁膜の上に設けられ、前記第1の方向に延びる第2の半導体層と、
前記第1の電荷蓄積層の側面及び前記第2の電荷蓄積層の側面に設けられた中間絶縁膜と、
前記中間絶縁膜の側面に設けられ、前記第2の方向に延び、前記中間絶縁膜を介して前記第1の電荷蓄積層の側面及び前記第2の電荷蓄積層の側面に対向する側面部と、前記側面部の下部に一体に設けられ、前記側面部の膜厚よりも大きな幅を有するパッド部と、を有する制御電極と、
を備えた半導体記憶装置。 - 前記制御電極の前記パッド部の幅は、前記第1の方向で隣り合う前記第1の電荷蓄積層間の距離及び前記第2の電荷蓄積層間の距離よりも大きい請求項1記載の半導体記憶装置。
- 前記第1の方向で隣り合う前記第1の電荷蓄積層間及び前記第2の電荷蓄積層間に設けられた前記制御電極の前記側面部は前記第2の方向の端部で2つに分岐し、前記分岐した側面部は前記パッド部で合流している請求項1または2に記載の半導体記憶装置。
- 第1の電荷蓄積層と、前記第1の電荷蓄積層上に設けられた絶縁膜と、前記絶縁膜上に設けられた第2の電荷蓄積層とをそれぞれが含む複数の積層体であって、ライン間スペースを隔てて第1の方向に分離され、前記第1の方向に対して交差する第2の方向に延びる複数のライン部と、前記第2の方向の端部で一対の前記ライン部をつなげ、前記ライン部の幅よりも大きな幅を有する幅広部と、を有する複数の積層体を、下地膜上に形成する工程と、
前記ライン間スペースを埋めるとともに、前記下地膜及び前記積層体を覆う制御電極材料膜を形成する工程と、
隣り合う前記幅広部の間の領域をレジスト膜で覆った状態で、前記制御電極材料膜をエッチバックし、前記ライン部の側面、前記幅広部の側面、及び前記レジスト膜の下に前記制御電極材料膜を残しつつ、前記ライン間スペースよりも広いスペースにおける前記下地膜上の前記制御電極材料膜を除去する工程と、
前記幅広部の一部、及び前記レジスト膜で覆われ前記エッチバックにより除去されなかった前記制御電極材料膜の一部を除去し、前記幅広部を介してつながっていた前記一対のライン部を分離する工程と、
隣り合う前記幅広部の間の領域に残された前記制御電極材料膜にコンタクトを形成する工程と、
を備えた半導体記憶装置の製造方法。 - 複数の前記幅広部が、前記第2の方向に並んで形成される請求項4記載の半導体記憶装置の製造方法。
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