JP2014185937A5 - 検出装置、センサー、ジャイロセンサー、電子機器及び移動体 - Google Patents

Description

本発明は、検出装置、センサー、ジャイロセンサー、電子機器及び移動体等に関する。

Claims (13)

1. 物理量トランスデューサーを駆動する駆動回路と、
   前記物理量トランスデューサーから互いに差動信号の関係にある第１の検出信号及び第２の検出信号を受けて、物理量に応じた所望信号を検出する検出処理を行う検出回路と、
   を含み、
   前記検出回路は、
   前記第１の検出信号が入力される第１の電荷−電圧変換回路と、
   前記第２の検出信号が入力される第２の電荷−電圧変換回路と、
   前記第１の電荷−電圧変換回路の出力信号をゲイン調整して増幅する第１のゲイン調整アンプと、
   前記第２の電荷−電圧変換回路の出力信号をゲイン調整して増幅する第２のゲイン調整アンプと、
   前記第１のゲイン調整アンプの出力信号が第１の入力ノードに入力され、前記第２のゲイン調整アンプの出力信号が第２の入力ノードに入力され、前記駆動回路からの同期信号により前記第１のゲイン調整アンプの前記出力信号及び前記第２のゲイン調整アンプの前記出力信号に対する同期検波を行って、第１の出力信号及び第２の出力信号のうちの前記第１の出力信号を第１の出力ノードに出力し、前記第２の出力信号を第２の出力ノードに出力するスイッチングミキサーと、
   前記スイッチングミキサーの前記第１の出力ノードからの前記第１の出力信号が入力される第１のフィルターと、
   前記スイッチングミキサーの前記第２の出力ノードからの前記第２の出力信号が入力される第２のフィルターと、
   互いに差動信号の関係にある前記第１のフィルターからの出力信号及び前記第２のフィルターからの出力信号を受けて、Ａ／Ｄ変換を行うＡ／Ｄ変換回路と、
   を含むことを特徴とする検出装置。
2. 請求項１に記載の検出装置において、
   前記第１のゲイン調整アンプ及び前記第２のゲイン調整アンプは、ハイパスフィルターの周波数特性を有することを特徴とする検出装置。
3. 請求項２に記載の検出装置において、
   前記第１のゲイン調整アンプは、前記第１の電荷−電圧変換回路の１／ｆノイズを低減するハイパスフィルターの周波数特性を有し、前記第２のゲイン調整アンプは、前記第２の電荷−電圧変換回路の１／ｆノイズを低減するハイパスフィルターの周波数特性を有することを特徴とする検出装置。
4. 請求項１乃至３のいずれか一項に記載の検出装置において、
   前記第１のゲイン調整アンプ及び前記第２のゲイン調整アンプの各々は、
   第１の入力端子の電位が固定されている演算増幅器と、
   入力ノードと前記演算増幅器の第２の入力端子のノードとの間に設けられる第１のキャパシターと、
   出力ノードと前記演算増幅器の前記第２の入力端子のノードとの間に設けられる第２のキャパシターと、
   前記出力ノードと前記演算増幅器の前記第２の入力端子のノードとの間に設けられる抵抗素子と、
   を含むことを特徴とする検出装置。
5. 請求項１乃至４のいずれか一項に記載の検出装置において、
   前記第１のフィルター及び前記第２のフィルターは、パッシブ素子で構成されるパッシブフィルターであることを特徴とする検出装置。
6. 請求項５に記載の検出装置において、
   前記第１のフィルターからの出力信号及び前記第２のフィルターからの出力信号は、直接又はパッシブ素子のみを介して前記Ａ／Ｄ変換回路に入力されることを特徴とする検出装置。
7. 請求項１乃至６のいずれか一項に記載の検出装置において、
   前記第１のフィルターは、
   前記スイッチングミキサーの前記第１の出力ノードと第１の接続ノードとの間に設けられる抵抗素子と、
   前記第１の接続ノードと電位が固定されているノードとの間に設けられるキャパシターとを含み、
   前記第２のフィルターは、
   前記スイッチングミキサーの前記第２の出力ノードと第２の接続ノードとの間に設けられる抵抗素子と、
   前記第２の接続ノードと電位が固定されているノードとの間に設けられるキャパシターとを含むことを特徴とする検出装置。
8. 請求項１乃至７のいずれか一項に記載の検出装置において、
   前記スイッチングミキサーは、
   前記第１の入力ノードと前記第１の出力ノードとの間に設けられる第１のスイッチ素子と、
   前記第１の入力ノードと前記第２の出力ノードとの間に設けられる第２のスイッチ素子と、
   前記第２の入力ノードと前記第１の出力ノードとの間に設けられる第３のスイッチ素子と、
   前記第２の入力ノードと前記第２の出力ノードとの間に設けられる第４のスイッチ素子と、
   を含むことを特徴とする検出装置。
9. 請求項１乃至８のいずれか一項に記載の検出装置において、
   前記第１の電荷−電圧変換回路及び前記第２の電荷−電圧変換回路の各々は、
   第１の入力端子の電位が固定されている演算増幅器と、
   出力ノードと前記演算増幅器の第２の入力端子のノードとの間に設けられるキャパシターと、
   前記出力ノードと前記演算増幅器の前記第２の入力端子のノードとの間に設けられる抵抗素子と、
   を含むことを特徴とする検出装置。
10. 請求項１乃至９のいずれか一項に記載の検出装置と、
    前記物理量トランスデューサーと、
    を含むことを特徴とするセンサー。
11. 請求項１乃至９のいずれか一項に記載の検出装置と、
    検出軸を中心に回転したときの角速度に応じて互いに差動信号の関係にある前記第１の検出信号及び前記第２の検出信号を出力する前記物理量トランスデューサーと、
    を含むことを特徴とするジャイロセンサー。
12. 請求項１乃至９のいずれか一項に記載の検出装置を含むことを特徴とする電子機器。
13. 請求項１乃至９のいずれか一項に記載の検出装置を含むことを特徴とする移動体。