JP2014175494A - 基板処理装置、基板処理方法、半導体装置の製造方法および基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】メンテナンス等による炉内部材の交換により金属汚染レベルが高くなるのを抑制する。
【解決手段】複数枚の基板60を縦方向に間隔を置いて保持する基板保持具を収容して基板60を処理する処理室と、処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、処理ガス供給部に接続され、処理室内に処理ガスを供給する処理ガス供給ノズル40と、を有し、処理ガス供給ノズル40には基板60の中心601と処理ガス供給ノズル40の中心401とを結ぶ線100の両側に少なくとも一つずつガス供給孔52が設けられている。
【選択図】図3
【解決手段】複数枚の基板60を縦方向に間隔を置いて保持する基板保持具を収容して基板60を処理する処理室と、処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、処理ガス供給部に接続され、処理室内に処理ガスを供給する処理ガス供給ノズル40と、を有し、処理ガス供給ノズル40には基板60の中心601と処理ガス供給ノズル40の中心401とを結ぶ線100の両側に少なくとも一つずつガス供給孔52が設けられている。
【選択図】図3
Description
本発明は、基板処理装置、基板処理方法、半導体装置の製造方法および基板の製造方法に係り、特に熱処理炉内に設けられた処理ガス供給ノズルからのガス流の向きを変更することにより炭化珪素ウエハの金属汚染レベルを低減させる技術に関するものである。
炭化珪素(SiC)は、珪素(Si)に比べてエネルギーバンドキャップが大きいことや、絶縁耐圧が高いことから、特にパワーデバイス用素子材料として注目されている。
基板処理装置である例えばSiCエピタキシャル成膜装置やSiCアニール装置は、SiCのエピタキシャル成膜温度が900〜1200℃であるのに対し、SiCエピタキシャル成膜温度やSiCアニール処理温度が1500〜2000℃程度と高いことから、成膜装置の耐熱構造や原料の分解抑制に技術的な工夫が必要である。また、SiとCの2元素の反応で成膜が進むため、膜厚や組成均一性の確保、ドーピングレベルの制御技術にもシリコン系の基板処理装置にはない工夫が必要となる。
従来の基板処理装置においては、炉内部材から発生する金属分子を含むパーティクルが処理ガスの流れに伴って基板上を流通するため、これにより基板の金属汚染レベルが高くなるという課題があった。また、基板処理装置により処理されるデバイスを金属汚染させてしまうおそれがあり、金属汚染されたデバイスが次工程の基板処理装置に搬入されることにより、次工程の基板処理装置も金属汚染させてしまうおそれがあった。
本発明の目的は、メンテナンス等による炉内部材の交換により金属汚染レベルが高くなるのを抑制することができる基板処理装置、基板処理方法、半導体装置の製造方法および基板の製造方法を提供することにある。
本発明の一態様によれば、複数枚の基板を縦方向に間隔を置いて保持する基板保持具を収容して前記基板を処理する処理室と、前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、前記処理ガス供給部に接続され、前記処理室内に前記処理ガスを供給する処理ガス供給ノズルと、を有し、前記処理ガス供給ノズルには前記基板の中心と前記処理ガス供給ノズルの中心とを結ぶ線の両側に少なくとも一つずつガス供給孔が設けられている基板処理装置が提供される。
本発明の他の一態様によれば、基板保持具に基板を保持して処理室に搬入する工程と、前記基板保持具に基板を保持した際の前記基板の中心と前記処理室内に処理ガスを供給する処理ガス供給ノズルの中心とを結ぶ線の両側に少なくとも一つずつ設けられたガス供給孔から前記処理室内に前記処理ガスを供給して前記基板を処理する工程と、を有する、半導体装置の製造方法が提供される。
本発明の他の一態様によれば、基板保持具に基板を保持して処理室に搬入する工程と、前記基板保持具に基板を保持した際の前記基板の中心と前記処理室内に処理ガスを供給する処理ガス供給ノズルの中心とを結ぶ線の両側に少なくとも一つずつ設けられたガス供給孔から前記処理室内に前記処理ガスを供給して前記基板を処理する工程と、を有する基板処理方法が提供される。
本発明の更に他の一態様によれば、基板保持具に基板を保持して処理室に搬入する工程と、前記基板保持具に基板を保持した際の前記基板の中心と前記処理室内に処理ガスを供給する処理ガス供給ノズルの中心とを結ぶ線の両側に少なくとも一つずつ設けられたガス供給孔から前記処理室内に前記処理ガスを供給して前記基板を処理する工程と、を有する、基板の製造方法が提供される。
本発明によれば、炉内部材により金属汚染レベルが高くなるのを抑制できる基板処理装置、基板処理方法、半導体装置の製造方法および基板の製造方法を提供することが可能となる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。本実施形態に係る基板処理装置として、半導体装置〔IC(Integrated Circuit)〕の製造に使用される半導体製造装置である縦型処理装置を使用した場合について述べる。
図1に示すように、シリコン等からなる不図示のウエハ(基板)60を収納したウエハキャリアとしてフープ(基板収容器、以下ポッドという。)Pが使用されている本実施形態の縦型処理装置1は、その外殻を形成する筐体2を備えている。筐体2の正面壁2aの正面前方部にはメンテナンスを可能とするために設けられた開口部として正面メンテナンス口3が開設され、この正面メンテナンス口3にはこれを開閉する正面メンテナンス扉4が設けられている。
筐体2の正面壁2aにはポッド搬入搬出口5が筐体2の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口5はフロントシャッタ(基板収容器搬入搬出口開閉機構)6によって開閉されるようになっている。ポッド搬入搬出口5の正面前方側にはロードポート(基板収容器受渡し台)7が設置されており、ロードポート7はポッドPを載置されて位置合わせするように構成されている。ポッドPはロードポート7上に工程内搬送装置(図示せず)によって搬入され、また、ロードポート7上から搬出されるようになっている。
筐体2内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚(基板収容器載置棚)8が設置されており、回転式ポッド棚8は複数個のポッドPを保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚8は垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱8aと、支柱8aに上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板(基板収容器載置台)8bとを備えており、複数枚の棚板8bはポッドPを複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
筐体2内におけるロードポート7と回転式ポッド棚8との間には、ポッド搬送装置(基板収容器搬送装置)9が設置されており、ポッド搬送装置9は、ポッドPを保持したまま昇降可能なポッドエレベータ(基板収容器昇降機構)9a、と搬送機構としてのポッド搬送機構(基板収容器搬送機構)9bとで構成されており、ポッド搬送装置9はポッドエレベータ9aとポッド搬送機構9bとの連続動作により、ロードポート7、回転式ポッド棚8、ポッドオープナ(基板収容器蓋体開閉機構)10との間で、ポッドPを搬送するように構成されている。
筐体2内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体11が後端にわたって構築されている。サブ筐体11の正面壁11aには、ウエハ60をサブ筐体11内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口(基板搬入搬出口)12が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口12には一対のポッドオープナ10が設置されている。
ポッドオープナ10はポッドPを載置する載置台13と、ポッドPのキャップ(蓋体)を着脱するキャップ着脱機構(蓋体着脱機構)14とを備えている。ポッドオープナ10は載置台13に載置されたポッドPのキャップをキャップ着脱機構14によって着脱することにより、ポッドPのウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
サブ筐体11は、ポッド搬送装置9や回転式ポッド棚8の設置空間から流体的に隔絶された移載室15を構成している。移載室15の前側領域にはウエハ移載装置16が設置されており、ウエハ移載装置16は、ウエハ60を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載機構16aと、ウエハ移載機構16aを昇降させるためのウエハ移載機構エレベータ16bとで構成されている。図1に模式的に示されているようにウエハ移載機構エレベータ16bは、筐体2とサブ筐体11の移載室15との間に設置されている。これら、ウエハ移載機構エレベータ16bおよびウエハ移載機構16aの連続動作により、ウエハ移載機構16aのツイーザ(基板保持体)16cをウエハ60の載置部として、ボート(基板保持具)18に対してウエハ60を装填(チャージング)および脱装(ディスチャージング)するように構成されている。
移載室15の後側領域には、ボート18を収容して待機させる待機部19が構成されている。待機部19の上方には、熱処理炉20が設けられている。熱処理炉20の下端部は、炉口シャッタ(炉口開閉機構)21により開閉されるように構成されている。
図1に模式的に示されているように、筐体2とサブ筐体11の待機部19との間にはボート18を昇降させるためのボートエレベータ(基板保持具昇降機構)(図示省略)が設置されている。ボートエレベータの昇降台に連結された連結具としてのアーム22には蓋体としてのシールキャップ23が水平に据え付けられている。シールキャップ23は、ボート18を垂直に支持し、反応管25の下端開口部を閉塞可能なように構成されている。
ボート18は、複数本の保持部材18aを備えており、複数枚(例えば、50枚〜125枚程度)のウエハ60をその中心を揃えて鉛直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。なお、図1のサブ筐体11におけるボート18の背面側には清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエアを供給するファンおよび防塵フィルタで構成されたクリーンユニット(図示省略)が設置されている。ウエハ移載機構16とクリーンユニットとの間には、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置(図示省略)が設置されていても良い。
クリーンユニットから吹き出されたクリーンエアは、ウエハ移載装置16、待機部19にあるボート18に流通された後、図示しないダクトにより吸い込まれ、筐体2の外部に排気がなされるか、クリーンユニット内に吸い込まれて再びクリーンユニットから移載室15内に吹き出されるように構成されている。
また、縦型処理装置には、縦型処理装置自体の動作を制御するコントローラ24が設けられている。コントローラ24は信号線Aを通じてフロントシャッタ6およびポッドオープナ10を、信号線Bを通じてポッド搬送装置9を、信号線Cを通じて支柱8aを、信号線Dを通じてウエハ移載機構16を、信号線E通じて圧力コントローラを、信号線Fを通じて駆動コントローラを、信号線Gを通じて温度コントローラを、信号線Hを通じてクリーンユニットを、信号線Iを通じて熱移動部を、制御するように構成されている。
図2に示すように熱処理炉20には、SiC基板であるウエハ60を処理する例えば石英製の反応管25が設けられ、反応管25の下端には、上端と下端にそれぞれ上部フランジ26aと下部フランジ26bを有する円筒形状のインレットフランジ26が気密に設けられている。インレットフランジ26の下端開口は、炉口部27を形成しており、炉口部27はシールキャップ23、炉口シャッタ21の何れかによって択一的に閉塞されるようになっている。
反応管25内には、ボート18の装入時に該ボート18を覆うように、有天筒状の円筒発熱体28がインレットフランジ26に立設され、反応管25の外側には、反応管25を取り巻くように磁場発生用のコイル29がアルミナ等のセラミック材からなるコイル支持柱30を介して配置されている。円筒発熱体28と反応管25との間には、円筒発熱体28を覆うように有天筒状の断熱部31がインレットフランジ26に立設されている。断熱部31は、内層側に設けられたカーボンフェルト等からなる断熱材32と、外層側に設けられた断熱材ケーシング33とが一体化された2重構造となっている。
コイル29は、図7に示す温度制御部54と電気的に接続され、該温度制御部54によりコイル29による加熱が制御される。また、コイル29およびコイル支持柱30は、反応管25を冷却する水冷壁34や電磁波および熱の外部への漏洩を防止する筐体カバー等の外壁35によって覆われており、コイル支持柱30および外壁35はヒータベース36によって支持されている。
また、少なくとも円筒発熱体28、インレットフランジ26およびシールキャップ23により反応室37が区画形成される。ボート18が反応室37に装入された状態では、コイル29と対向する位置にウエハ60が装填され、該ウエハ60よりも下方には断熱板38が装填されている。これにより、反応管25とインレットフランジ26、該インレットフランジ26とシールキャップ23の接続部等に設けられたシール部材(図示省略)の温度上昇が抑制されるようになっている。また、シールキャップ23は、図示しない昇降機構に支持されている。シールキャップ23には、ボート18を回転するボート回転機構39が設けられている。
インレットフランジ26の周面には、処理ガス供給ノズル40に接続された処理ガス供給部である処理ガス供給管41と、第1,第2のパージガス供給ノズル42、43に接続されたパージガス供給管44とが貫通した状態で設けられていると共に、反応管25内を排気する排気管45が設けられている。処理ガス供給管41はバルブ46および流量調節器47を介して処理ガス供給源に接続されている。パージガス供給管44はバルブ48および流量調節器49を介して例えばアルゴン等のパージガスを供給するパージガス供給源に接続されている。排気管45は、圧力調整弁50を介して真空ポンプ51に接続されている。
処理ガス供給ノズル40は、図3ないし図4に示すようにウエハ60の中心601と処理ガス供給ノズル40の中心401とを結ぶ線100の左右に少なくとも一つずつガス供給孔52,52が設けられており、これにより処理ガスの噴出方向がウエハ60に直接当たらない方向になるように構成されている。
SiCエピタキシャル膜を成膜する縦型処理装置1を構成する各部の制御構成について説明すると、図7に示すように温度制御部54、処理ガスや不活性ガス等のガス流量制御部55、圧力制御部56、駆動制御部57は、操作部および入出力部を構成し、縦型処理装置1全体を制御する主制御部58に電気的に接続されている。また、温度制御部54、ガス流量制御部55、圧力制御部56、駆動制御部57は、制御装置59として構成されている。
次に、基板処理方法について説明する。先ず、反応管25にウエハ60を載せてないボート18を搬入し(基板保持具搬入工程S1)、この工程S1後に反応管25内を所定圧力例えば13300Pa以下の減圧状態で基板処理温度以上例えば1500〜2200℃に昇温し、所定時間例えば1時間以上熱処理する(空焼き工程S2)。ボート18を含む反応管25内の空焼きにより、メンテナンス等により交換された炉内部材に付着している金属汚染物質を除去し、炉内の金属汚染レベルを低下させることができる。熱処理する時間は例えば1時間以上としたが、炉内部材に付着した金属汚染物質が十分に除去されれば1時間以下であっても良い。
この空焼き工程S2後に、反応管25をウエハ60が搬入できる温度に降温させ(降温工程S3)、ボート18を反応管25から搬出し(搬出工程S4)、ボート18にウエハ60を搭載してボート18を反応管25に搬入し(搬入工程S5)、ボート18にウエハ60を保持した際のウエハの中心601と反応管25内に処理ガスを供給する処理ガス供給ノズル40の中心401とを結ぶ線100の左右両側に少なくとも一つずつ、計2つのガス供給孔52,52が設けられるように構成された処理ガス供給ノズル40より反応管25内に処理ガスを供給して所定の処理を行う(処理工程S6)。
これにより、処理ガス供給ノズル40の中心401とウエハ60の中心601とを結ぶ線100の左右両側に少なくとも一つずつ、計2つのガス供給孔52,52から処理ガスがウエハ60の外周の接線方向に噴射されるため、従来の縦型処理装置1と異なり、図6に示すように処理ガスがウエハ60上を通過することがなくなる。このため、処理ガスに伴って吹き上げられるパーティクルや金属汚染物質がウエハ60の表面に付着することが抑制され、メンテナンス等による炉内部材の交換後であってもウエハ60の金属汚染レベルが高くなるのを抑制することができる。
また、処理ガスがウエハ60に向って直接吹き付けられることがなくなるため、ボート18上におけるウエハ60のズレを防止することができる。処理終了後は、反応管25内の雰囲気を不活性ガスで置換し、ウエハ60を搬出できる温度に降温し(降温工程)、ボート18を反応管25より搬出すればよい。
本発明を適用した基板処理装置における金属汚染レベルを測定すると、一般的な金属汚染レベルの規格を超えて出ているものはなく、本発明を適用する前の金属汚染レベルと比べて約80%以上低減されることが分かった。
一方、ボート18の下方においては、処理終了後、図5の(a)、(b)に示すようにパージガス供給管42の不活性ガス供給孔53から断熱板38の中心方向に向って不活性ガスが直接供給されるため、ボートの下方および断熱板38を効率よく冷却することができる。また、断熱材ケーシング33内の断熱材32は、パージガス供給管から噴射される不活性ガスにより冷却されるため、反応管25が過熱するのを抑制することができる。
以上の構成からなる基板処理装置である縦型処理装置ないし基板処理方法によれば、ボート18にウエハ60を保持した際のウエハの中心601と反応管25内に処理ガスを供給する処理ガス供給ノズル40の中心401とを結ぶ線100の左右に少なくとも一つずつ、計2つのガス供給孔52が設けられるように構成された処理ガス供給ノズル40より反応管25内に処理ガスを供給して所定の処理を行うため、メンテナンス等による炉内部材の交換により金属汚染レベルが高くなるのを抑制できる縦型処理装置および基板処理方法を提供することが可能となる。
本実施形態の基板処理装置である縦型処理装置によれば、メンテナンス等による炉内部材の交換により金属汚染レベルが高くなるのを抑制することができ、本縦型処理装置によって処理するデバイスに重大な欠陥および悪影響を及ぼすことがなくなり、次期工程の基板処理装置を金属汚染させてしまう可能性もなくなる。
以上は、本発明の好ましい一実施形態を述べたに過ぎず、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、処理ガス供給ノズルは、基板の中心と処理ガス供給ノズルの中心とを結ぶ中心線の左右に少なくとも一つずつ設けられるガス供給孔は、ノズルの長手方向に沿って左右同じ高さに2個ずつ配置されていてもよく、或いは左右高さを違えて千鳥に配置されていてもよい。
また、左右のガス供給孔のそれぞれの中心とノズルの中心とを結ぶ中心線が交わる中心角としては、90〜180度が好ましい。また、上記実施形態においては処理ガス供給ノズルが1本の場合について説明したが、ノズルは複数本あっても良い。ノズルが複数本設けられる場合は、隣り合うノズルのガス供給孔は互いに対向しない位置に設けることが望ましい。例えば、基板の中心と処理ガス供給ノズルの中心とを結ぶ中心線の左右に少なくとも一つずつ設けられているガス供給孔のうち、各ノズルと隣り合う側に設けられているガス供給孔は、各ノズルの中心と中心とを結ぶ線よりウエハが設けられている側に配置されることが望ましい。さらに、本発明は、半導体ウエハだけでなく、液晶表示素子を形成するためのガラス基板用処理装置にも適用することができる。
以上、本発明を実施形態に沿って説明してきたが、ここで本発明の主たる態様を付記する。
[付記1]
本発明の一態様によれば、
基板を複数枚積載し保持する基板保持具と、
前記基板保持具を収容し前記基板を処理する処理室と、
前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、
前記処理室から前記処理ガスを排気する排気管と、
前記処理ガス供給部に接続され、前記処理室内に前記処理ガスを噴射する処理ガス供給ノズルと、を有し、
前記処理ガス供給ノズルは前記基板の中心と前記処理ガス供給ノズルの中心とを結ぶ線の左右に少なくとも一つずつガス供給孔が設けられている基板処理装置が提供される。
本発明の一態様によれば、
基板を複数枚積載し保持する基板保持具と、
前記基板保持具を収容し前記基板を処理する処理室と、
前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、
前記処理室から前記処理ガスを排気する排気管と、
前記処理ガス供給部に接続され、前記処理室内に前記処理ガスを噴射する処理ガス供給ノズルと、を有し、
前記処理ガス供給ノズルは前記基板の中心と前記処理ガス供給ノズルの中心とを結ぶ線の左右に少なくとも一つずつガス供給孔が設けられている基板処理装置が提供される。
[付記2]
付記1に記載の基板処理装置であって、
前記処理室を囲むように設置され、前記処理室を加熱する円筒発熱体と、
前記円筒発熱体の温度を制御する温度制御部と、
前記処理室内の圧力を制御する圧力制御部と、
をさらに有し、
前記基板を処理する前に、前記圧力制御部は前記処理室内を減圧状態に制御し、前記温度制御部は前記処理室内を前記円筒発熱体によって前記基板の処理温度以上の温度に制御し、前記処理ガス供給ノズルより前記処理ガスを反応室内に噴射する。
付記1に記載の基板処理装置であって、
前記処理室を囲むように設置され、前記処理室を加熱する円筒発熱体と、
前記円筒発熱体の温度を制御する温度制御部と、
前記処理室内の圧力を制御する圧力制御部と、
をさらに有し、
前記基板を処理する前に、前記圧力制御部は前記処理室内を減圧状態に制御し、前記温度制御部は前記処理室内を前記円筒発熱体によって前記基板の処理温度以上の温度に制御し、前記処理ガス供給ノズルより前記処理ガスを反応室内に噴射する。
[付記3]
付記1の基板処理装置であって、好ましくは、
前記ガス供給孔は前記処理ガス供給ノズルの長手方向に沿って複数設けられている。
付記1の基板処理装置であって、好ましくは、
前記ガス供給孔は前記処理ガス供給ノズルの長手方向に沿って複数設けられている。
[付記4]
付記1の基板処理装置であって、好ましくは、
前記ガス供給孔は前記処理ガス供給ノズルの長手方向に沿って等間隔に複数設けられている。
付記1の基板処理装置であって、好ましくは、
前記ガス供給孔は前記処理ガス供給ノズルの長手方向に沿って等間隔に複数設けられている。
[付記5]
付記1の基板処理装置であって、好ましくは、
前記ガス供給孔は前記処理ガス供給ノズルの長手方向に沿ってガス流の上流側よりも下流側に前記ガス供給孔の数が多く設けられている。
付記1の基板処理装置であって、好ましくは、
前記ガス供給孔は前記処理ガス供給ノズルの長手方向に沿ってガス流の上流側よりも下流側に前記ガス供給孔の数が多く設けられている。
[付記6]
付記1の基板処理装置であって、好ましくは、
前記基板保持具は下部に断熱板を保持するための断熱板保持領域をさらに有し、前記処理ガス供給ノズルは前記断熱板保持領域では前記断熱板に直接処理ガスを噴射する方向に前記ガス供給孔が設けられている。
付記1の基板処理装置であって、好ましくは、
前記基板保持具は下部に断熱板を保持するための断熱板保持領域をさらに有し、前記処理ガス供給ノズルは前記断熱板保持領域では前記断熱板に直接処理ガスを噴射する方向に前記ガス供給孔が設けられている。
[付記7]
付記6の基板処理装置であって、好ましくは、
第1のパージガスノズルは第2のパージガスノズルよりも長手方向に短く構成されている。
付記6の基板処理装置であって、好ましくは、
第1のパージガスノズルは第2のパージガスノズルよりも長手方向に短く構成されている。
[付記8]
付記1に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記基板保持具は、基板を保持する基板保持領域と、前記基板保持領域の下部に設けられ、縦方向に間隔を置いて断熱板を有する断熱領域と、を有し、前記処理室には前記断熱板に向って不活性ガスを供給する不活性ガス供給ノズルが設けられている。
付記1に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記基板保持具は、基板を保持する基板保持領域と、前記基板保持領域の下部に設けられ、縦方向に間隔を置いて断熱板を有する断熱領域と、を有し、前記処理室には前記断熱板に向って不活性ガスを供給する不活性ガス供給ノズルが設けられている。
[付記9]
本発明の他の態様によれば、
基板を複数枚積載し保持する基板保持具と、
前記基板保持具を収容し前記基板を処理する処理室と、
前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、
前記処理室から前記処理ガスを排気する排気管と、
前記処理ガス供給部に接続され、前記処理室内に前記処理ガスを噴射する処理ガス供給ノズルと、を有し、
前記処理ガス供給ノズルは前記基板の中心と前記処理ガス供給ノズルの中心とを結ぶ線の左右に少なくとも一つずつガス供給孔が設けられており、前記基板処理後に前記処理室内を降温する時に前記処理ガス供給ノズルより大流量のガスを前記処理室内に供給する基板処理装置を提供することができる。
本発明の他の態様によれば、
基板を複数枚積載し保持する基板保持具と、
前記基板保持具を収容し前記基板を処理する処理室と、
前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、
前記処理室から前記処理ガスを排気する排気管と、
前記処理ガス供給部に接続され、前記処理室内に前記処理ガスを噴射する処理ガス供給ノズルと、を有し、
前記処理ガス供給ノズルは前記基板の中心と前記処理ガス供給ノズルの中心とを結ぶ線の左右に少なくとも一つずつガス供給孔が設けられており、前記基板処理後に前記処理室内を降温する時に前記処理ガス供給ノズルより大流量のガスを前記処理室内に供給する基板処理装置を提供することができる。
[付記10]
本発明のさらに他の態様によれば、
基板保持具に基板を保持して処理室に搬入する工程と、
前記基板保持具に基板を保持した際の前記基板の中心と前記処理室内に処理ガスを供給する処理ガス供給ノズルの中心とを結ぶ線の両側に少なくとも一つずつ設けられたガス供給孔から前記処理室内に前記処理ガスを供給して前記基板を処理する工程と、を有する、基板処理方法を提供することができる。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板保持具に基板を保持して処理室に搬入する工程と、
前記基板保持具に基板を保持した際の前記基板の中心と前記処理室内に処理ガスを供給する処理ガス供給ノズルの中心とを結ぶ線の両側に少なくとも一つずつ設けられたガス供給孔から前記処理室内に前記処理ガスを供給して前記基板を処理する工程と、を有する、基板処理方法を提供することができる。
[付記11]
付記10の基板処理方法であって、好ましくは、
前記基板を処理する工程の前に、前記処理室に前記基板保持具を搬入して前記処理室を減圧状態で基板処理温度以上に昇温して熱処理する工程と、
前記熱処理工程後に、前記処理室を前記基板が搬入できる温度に降温して前記基板保持具を前記処理室より搬出する工程と、を有する。
付記10の基板処理方法であって、好ましくは、
前記基板を処理する工程の前に、前記処理室に前記基板保持具を搬入して前記処理室を減圧状態で基板処理温度以上に昇温して熱処理する工程と、
前記熱処理工程後に、前記処理室を前記基板が搬入できる温度に降温して前記基板保持具を前記処理室より搬出する工程と、を有する。
1 縦型処理装置(基板処理装置)
18 ボート(基板保持具)
25 反応管(処理室)
40 処理ガス供給ノズル
41 処理ガス供給管(処理ガス供給部)
52 ガス供給孔
60 ウエハ(基板)
401 処理ガス供給ノズルの中心
601 基板の中心
18 ボート(基板保持具)
25 反応管(処理室)
40 処理ガス供給ノズル
41 処理ガス供給管(処理ガス供給部)
52 ガス供給孔
60 ウエハ(基板)
401 処理ガス供給ノズルの中心
601 基板の中心
Claims (5)
- 複数枚の基板を縦方向に間隔を置いて保持する基板保持具を収容して前記基板を処理する処理室と、
前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、
前記処理ガス供給部に接続され、前記処理室内に前記処理ガスを供給する処理ガス供給ノズルと、を有し、
前記処理ガス供給ノズルには前記基板の中心と前記処理ガス供給ノズルの中心とを結ぶ線の両側に少なくとも一つずつガス供給孔が設けられている、基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記処理室を囲むように設置され、前記処理室を加熱する円筒発熱体と、
前記処理室内を減圧状態に制御する圧力制御部と、
前記処理室内を前記円筒発熱体により所定の温度に制御する温度制御部と、を有する、基板処理装置。 - 基板保持具に基板を保持して処理室に搬入する工程と、
前記基板保持具に基板を保持した際の前記基板の中心と前記処理室内に処理ガスを供給する処理ガス供給ノズルの中心とを結ぶ線の両側に少なくとも一つずつ設けられたガス供給孔から前記処理室内に前記処理ガスを供給して前記基板を処理する工程と、を有する、半導体装置の製造方法。 - 基板保持具に基板を保持して処理室に搬入する工程と、
前記基板保持具に基板を保持した際の前記基板の中心と前記処理室内に処理ガスを供給する処理ガス供給ノズルの中心とを結ぶ線の両側に少なくとも一つずつ設けられたガス供給孔から前記処理室内に前記処理ガスを供給して前記基板を処理する工程と、を有する、基板処理方法。 - 基板保持具に基板を保持して処理室に搬入する工程と、
前記基板保持具に基板を保持した際の前記基板の中心と前記処理室内に処理ガスを供給する処理ガス供給ノズルの中心とを結ぶ線の両側に少なくとも一つずつ設けられたガス供給孔から前記処理室内に前記処理ガスを供給して前記基板を処理する工程と、を有する、基板の製造方法。
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JP2013047226A JP2014175494A (ja) | 2013-03-08 | 2013-03-08 | 基板処理装置、基板処理方法、半導体装置の製造方法および基板の製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CN110010526A (zh) * | 2015-08-04 | 2019-07-12 | 株式会社国际电气 | 衬底处理装置以及半导体器件的制造方法 |
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EP4060077A2 (en) | 2021-03-16 | 2022-09-21 | Kokusai Electric Corp. | Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device and program |
JP7365973B2 (ja) | 2020-06-19 | 2023-10-20 | 東京エレクトロン株式会社 | ガスノズル、基板処理装置及び基板処理方法 |
-
2013
- 2013-03-08 JP JP2013047226A patent/JP2014175494A/ja active Pending
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