JP2014165462A - 半導体チップの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(a)ダイボンディング用接着フィルムを、表面に回路が形成された半導体ウエハの回路面に貼付する工程、(b)接着フィルムと表面保護シートとを積層する工程、(e)ウエハ裏面側からレーザー光を入射し、回路毎に区画する改質領域層をウエハに形成する工程、(c)半導体ウエハの裏面を研削し、改質領域層を起点としてウエハを回路毎に個片化して、分割された一群のチップを得る工程、(d)表面保護シートをエキスパンドすることで接着フィルムをチップ毎に個片化し、回路面に接着フィルムを有するチップを得る工程、を含む。
【選択図】図1
Description
しかしながら、特許文献1の方法を採用した場合においては、通常回転ブレードにより溝を形成するが、露出した接着フィルムとウエハとが切り込まれるため、切削水により接着フィルムが汚染されるという問題がある。接着フィルムが露出しないようにカバーとなるシートを設けることも考えられるが、かかるシートも溝の形成の際に同時に切断することになるため、切り込む際の支障となったり、チップと同形状に切断されたシートを除去しなければならなくなくなったりするため効率的でない。また、切削水が溝に侵入し、チップが汚染されることがある。
〔1〕(a)ダイボンディング用接着フィルムを、表面に回路が形成された半導体ウエハの回路面に貼付する工程、
(b)ダイボンディング用接着フィルムと表面保護シートとを積層する工程、
(c)半導体ウエハの裏面を研削し、ウエハを回路毎に個片化して、分割された一群のチップを得る工程、
(d)表面保護シートをエキスパンドすることで、ダイボンディング用接着フィルムを、チップ毎に個片化し、回路面にダイボンディング用接着フィルムを有するチップを得る工程、および
(e)ウエハ裏面側からレーザー光を入射し、回路毎に区画する改質領域層をウエハに形成する工程を含み、
前記(a)工程から(d)工程をこの順で行い、または、(b)工程、(a)工程、(c)工程、および(d)工程の順で行い、
前記(e)工程を(c)工程よりも前に行い、(c)工程において改質領域層を起点としてウエハを回路毎に個片化する、
半導体チップの製造方法。
(b)ダイボンディング用接着フィルムと表面保護シートとを積層する工程、
(c)半導体ウエハの裏面を研削し、ウエハを回路毎に個片化して、分割された一群のチップを得る工程、
(f)分割された一群のチップの裏面に粘着シートを貼付する工程、
(g)表面保護シートを剥離し、ダイボンディング用接着フィルムを有する一群のチップを得る工程、
(d)粘着シートをエキスパンドすることで、ダイボンディング用接着フィルムを、チップ毎に個片化し、回路面にダイボンディング用接着フィルムを有するチップを得る工程、および
(e)ウエハ裏面側からレーザー光を入射し、回路毎に区画する改質領域層をウエハに形成する工程を含み、
(a)工程、(b)工程、(c)工程、(f)工程、(g)工程および(d)工程をこの順で行い、または、(b)工程、(a)工程、(c)工程、(f)工程、(g)工程および(d)工程をこの順で行い、
前記(e)工程を(c)工程よりも前に行い、(c)工程において改質領域層を起点としてウエハを回路毎に個片化する、
半導体チップの製造方法。
(b’)ダイボンディング用接着フィルムと表面保護シートとを積層する工程、
(c’)半導体ウエハの裏面を研削する工程、
(d’)表面保護シートをエキスパンドすることで、ダイボンディング用接着フィルムを、チップ毎に個片化し、回路面にダイボンディング用接着フィルムを有するチップを得る工程、および
(e’)ウエハ裏面側からレーザー光を入射し、回路毎に区画する改質領域層をウエハに形成する工程を含み、
前記(a’)工程から(d’)工程をこの順で行い、または、(b’)工程、(a’)工程、(c’)工程、および(d’)工程の順で行い、
前記(e’)工程を(c’)工程の後、かつ(d’)工程の前に行い、(d’)工程において改質領域層を起点としてウエハを回路毎に個片化する、
半導体チップの製造方法。
(b’)ダイボンディング用接着フィルムと表面保護シートとを積層する工程、
(c’)半導体ウエハの裏面を研削する工程、
(f’)半導体ウエハの裏面に粘着シートを貼付する工程、
(g’)表面保護シートを剥離し、ダイボンディング用接着フィルムを有する半導体ウエハを得る工程、
(d’)粘着シートをエキスパンドすることで、ダイボンディング用接着フィルムを、チップ毎に個片化し、回路面にダイボンディング用接着フィルムを有するチップを得る工程、および
(e’)ウエハ裏面側からレーザー光を入射し、回路毎に区画する改質領域層をウエハに形成する工程を含み、
(a’)工程、(b’)工程、(c’)工程、(f’)工程、(g’)工程および(d’)工程をこの順で行い、または、(b’)工程、(a’)工程、(c’)工程、(f’)工程、(g’)工程および(d’)工程をこの順で行い、
前記(e’)工程を(c’)工程の後、かつ(d’)工程の前に行い、(d’)工程において改質領域層を起点としてウエハを回路毎に個片化する、
半導体チップの製造方法。
また、本発明に係る第2の半導体チップの製造方法によれば、チップおよび接着フィルムの汚染を防止し、接着フィルム付半導体チップを効率的に得ることができる。つまり、レーザー光によりウエハ内部に改質領域を形成してウエハを個片化(チップ化)するのに先立ち、回路面に接着フィルムを積層しておき、所定条件のエキスパンド工程により接着フィルムを個片化して接着フィルム付半導体チップを製造することで、接着フィルムが露出した状態で切削水に曝されることがなくなるため、切削水に起因したチップや接着フィルムの汚染を防止でき、また、接着フィルム付半導体チップの製造効率が向上する。
また、本発明の半導体チップの製造方法によれば、回路面側をチップ搭載用基板や他のチップにマウントする実装技術において、レーザー光によりウエハ内部に改質領域層を形成してウエハを個片化(チップ化)する方法を取り込んだ連続プロセスが可能になる。また、高バンプチップの場合にも、接着フィルムの組成を適宜に選択することで、チップ搭載用基板や他のチップとの間での十分な密着性が得られるので、製品品質の向上が達成される。すなわち、本発明の半導体チップの製造方法によれば、レーザー光によりウエハ内部に改質領域層を形成してウエハを個片化(チップ化)するダイシング法と、フリップチップボンディングを採用した実装プロセスとを連続して行うことが可能であり、製造プロセスの簡易化と製品品質の向上に寄与しうる半導体チップの製造方法が提供される。
本発明に係る第1の半導体チップの製造方法は、以下の(a)〜(e)工程を含む。
(a)ダイボンディング用接着フィルムを、表面に回路が形成された半導体ウエハの回路面に貼付する工程(図1参照)、
(b)ダイボンディング用接着フィルムと表面保護シートとを積層する工程(図2参照)、
(c)半導体ウエハの裏面を研削し、ウエハを回路毎に個片化して、分割された一群のチップを得る工程(図3参照)、
(d)表面保護シートをエキスパンドすることで、ダイボンディング用接着フィルムを、チップ毎に個片化し、回路面にダイボンディング用接着フィルムを有するチップを得る工程(図6参照)、および
(e)ウエハ裏面側からレーザー光を入射し、回路毎に区画する改質領域層をウエハに形成する工程を含み、
前記(a)工程から(d)工程をこの順で行い、または、(b)工程、(a)工程、(c)工程、および(d)工程の順で行い、
前記(e)工程を(c)工程よりも前に行い、(c)工程において改質領域層を起点としてウエハを回路毎に個片化する、半導体チップの製造方法。
(f)分割された一群のチップの裏面に粘着シートを貼付する工程(図4参照)。
(g)表面保護シートを剥離し、ダイボンディング用接着フィルムを有する一群のチップを得る工程(図5参照)。
(a)工程では、ダイボンディング用接着フィルム3を、表面に回路が形成された半導体ウエハ1の回路面に貼付する(図1参照)。
(b)工程では、ダイボンディング用接着フィルム3と表面保護シート7とを積層する(図2参照)。
表面保護シート7は、後述する裏面研削工程((c)工程)において、ウエハ1を保持し、回路面を保護するために貼着される。
上記のような形状の表面保護シート7は、予めウエハ1と略同形状あるいはウエハ1よりも一回り大きい形状に切断してダイボンディング用接着フィルム3と積層してもよいし、ウエハ1にダイボンディング用接着フィルム3を介して表面保護シート7を貼付後、余分なシートをウエハ1の外周あるいはウエハ1よりも一回り大きい形状に沿って切断、除去してもよい。
(c)工程では、半導体ウエハ1の裏面を研削し、ウエハ1を回路毎に個片化して、分割された一群のチップ100を得る(図3参照)。なお、(c)工程の前には、後述する(e)工程が行われ、ウエハには、その表面近傍に、回路毎に区画する改質領域層が形成される。
(f)工程では、分割された一群のチップ100の裏面に粘着シート13を貼付する(図4参照)。粘着シート13は、基材12上に粘着剤層11を形成して得られる。
リングフレームに貼付される部分(粘着シートの外周部)の粘着シートの粘着力(貼付した後、130℃で2時間加熱を経た後におけるSUS板への粘着力)は、好ましくは15N/25mm以下、より好ましくは10N/25mm以下、特に好ましくは5N/25mm以下である。粘着シートの外周部における粘着力を上記範囲とすることで、リングフレームへの貼付性に優れ、リングフレームへの糊残りを防止できる。
(g)工程では、表面保護シート7を剥離し、ダイボンディング用接着フィルム3を有する一群のチップ100を得る(図5参照)。表面保護シート7を剥離する方法は特に限定されない。
(d)工程では、表面保護シート7または粘着シート13をエキスパンドすることで、ダイボンディング用接着フィルム3を、チップ毎に個片化し、回路面にダイボンディング用接着フィルム3を有するチップ10を得る。図6は、粘着シート13をエキスパンドした図を示す。(c)工程に続いて、上記の(f)工程および(g)工程を行う場合には、その後の(d)工程において粘着シートをエキスパンドする。また、(c)工程に続いて(d)工程を行う場合には、(d)工程において表面保護シートをエキスパンドする。
エキスパンドの際にダイボンディング用接着フィルム3を好ましくは15℃以下、より好ましくは−10〜10℃に維持することで、エキスパンドにより発生する応力(エキスパンド力)がチップ間の接着フィルムに伝播しやすくなり、接着フィルムが変形し、接着フィルムをチップ毎に個片化することが容易となる。チップ10に密着している接着フィルムは、その変形がチップに拘束されるため延伸されないが、チップ間に位置する接着フィルムは変形が拘束されないため、延伸によりチップと略同形状に切断される。エキスパンドは、1〜300mm/秒の速度で行うことが好ましい。
(e)工程は(c)工程よりも前に行われ、(e)工程では、ウエハ裏面側からレーザー光を入射し、回路毎に区画する改質領域層をウエハの表面近傍に形成する。レーザー光はレーザー光源より照射される。レーザー光源は、波長および位相が揃った光を発生させる装置であり、レーザー光の種類としては、パルスレーザー光を発生するNd−YAGレーザー、Nd−YVOレーザー、Nd−YLFレーザー、チタンサファイアレーザーなど多光子吸収を起こすものを挙げることができる。レーザー光の波長は、800〜1100nmが好ましく、1064nmがさらに好ましい。
(a’)ダイボンディング用接着フィルムを、表面に回路が形成された半導体ウエハの回路面に貼付する工程(図1参照)、
(b’)ダイボンディング用接着フィルムと表面保護シートとを積層する工程(図2参照)、
(c’)半導体ウエハの裏面を研削する工程(図7参照)、
(d’)表面保護シートをエキスパンドすることで、ダイボンディング用接着フィルムを、チップ毎に個片化し、回路面にダイボンディング用接着フィルムを有するチップを得る工程(図6参照)、および
(e’)ウエハ裏面側からレーザー光を入射し、回路毎に区画する改質領域層をウエハに形成する工程を含み、
前記(a’)工程から(d’)工程をこの順で行い、または、(b’)工程、(a’)工程、(c’)工程、および(d’)工程の順で行い、
前記(e’)工程を(c’)工程の後、かつ(d’)工程の前に行い、(d’)工程において改質領域層を起点としてウエハを回路毎に個片化する、半導体チップの製造方法。
(f’)半導体ウエハの裏面に粘着シートを貼付する工程(図8参照)。
(g’)表面保護シートを剥離し、ダイボンディング用接着フィルムを有する半導体ウエハを得る工程(図9参照)。
(c’)工程では、半導体ウエハの裏面を研削する(図7参照)。ウエハ1の裏面研削は、グラインダー等を用いた方法により行われる。裏面研削により、ウエハ1の厚みが薄くなり、ウエハ1の厚みは15〜400μm程度となる。
(f’)工程では、半導体ウエハ1の裏面に粘着シート13を貼付する(図8参照)。粘着シート13は、上述した(f)工程における粘着シート13と同様である。また、粘着シート13を貼付する方法は特に限定されず、(a)工程と同様にテープマウンターなどを用いた汎用の手法により行われる。
(g’)工程では、表面保護シート7を剥離し、ダイボンディング用接着フィルム3を有する半導体ウエハ1を得る(図9参照)。表面保護シート7を剥離する方法は特に限定されない。
(d’)工程では、表面保護シート7または粘着シート13をエキスパンドすることで、ダイボンディング用接着フィルム3を、チップ毎に個片化し、回路面にダイボンディング用接着フィルム3を有するチップ10を得る(図6参照)。(c’)工程に続いて、上記の(f’)工程および(g’)工程を行う場合には、その後の(d’)工程において粘着シートをエキスパンドする。また、(c’)工程に続いて(d’)工程を行う場合には、(d’)工程において表面保護シートをエキスパンドする。なお、(c’)工程の後、かつ(d’)工程の前には、後述する(e’)工程が行われ、ウエハには、回路毎に区画する改質領域層が形成される。
また、(d’)工程に先立ち、半導体ウエハ1に衝撃を与え、改質領域をきっかけとして劈開させるなどの手段により半導体ウエハ1をチップに個片化しておいてもよい。この場合、表面保護シート7または粘着シート13のエキスパンドにより、ダイボンディング用接着フィルム3が回路毎に個片化される。
エキスパンド工程の際、ダイボンディング用接着フィルム3を好ましくは15℃以下、より好ましくは−10〜10℃に維持することで、エキスパンド力がチップ間の接着フィルムにも伝播しやすくなり、接着フィルムが変形し、接着フィルムをチップ毎に個片化することが容易となる。エキスパンドは、1〜300mm/秒の速度で行うことが好ましい。
(e’)工程は(c’)工程の後、かつ(d’)工程の前に行われ、(e’)工程では、ウエハ裏面側からレーザー光を入射し、回路毎に区画する改質領域層をウエハに形成する。(c’)工程において、ウエハは裏面研削され、ウエハの厚みは十分に薄くなっているため、(e’)工程においては、レーザー光の集光点をウエハの表面近傍に設定しなくともよい。レーザー光の集光点以外の条件は、(e)工程と同様であるため説明を省略する。
2 :バンプ
3 :接着フィルム
4 :支持フィルム
5 :リングフレーム
7 :表面保護シート
10:半導体チップ
13:粘着シート
Claims (4)
- (a)ダイボンディング用接着フィルムを、表面に回路が形成された半導体ウエハの回路面に貼付する工程、
(b)ダイボンディング用接着フィルムと表面保護シートとを積層する工程、
(c)半導体ウエハの裏面を研削し、ウエハを回路毎に個片化して、分割された一群のチップを得る工程、
(d)表面保護シートをエキスパンドすることで、ダイボンディング用接着フィルムを、チップ毎に個片化し、回路面にダイボンディング用接着フィルムを有するチップを得る工程、および
(e)ウエハ裏面側からレーザー光を入射し、回路毎に区画する改質領域層をウエハに形成する工程を含み、
前記(a)工程から(d)工程をこの順で行い、または、(b)工程、(a)工程、(c)工程、および(d)工程の順で行い、
前記(e)工程を(c)工程よりも前に行い、(c)工程において改質領域層を起点としてウエハを回路毎に個片化する、
半導体チップの製造方法。 - (a)ダイボンディング用接着フィルムを、表面に回路が形成された半導体ウエハの回路面に貼付する工程、
(b)ダイボンディング用接着フィルムと表面保護シートとを積層する工程、
(c)半導体ウエハの裏面を研削し、ウエハを回路毎に個片化して、分割された一群のチップを得る工程、
(f)分割された一群のチップの裏面に粘着シートを貼付する工程、
(g)表面保護シートを剥離し、ダイボンディング用接着フィルムを有する一群のチップを得る工程、
(d)粘着シートをエキスパンドすることで、ダイボンディング用接着フィルムを、チップ毎に個片化し、回路面にダイボンディング用接着フィルムを有するチップを得る工程、および
(e)ウエハ裏面側からレーザー光を入射し、回路毎に区画する改質領域層をウエハに形成する工程を含み、
(a)工程、(b)工程、(c)工程、(f)工程、(g)工程および(d)工程をこの順で行い、または、(b)工程、(a)工程、(c)工程、(f)工程、(g)工程および(d)工程をこの順で行い、
前記(e)工程を(c)工程よりも前に行い、(c)工程において改質領域層を起点としてウエハを回路毎に個片化する、
半導体チップの製造方法。 - (a’)ダイボンディング用接着フィルムを、表面に回路が形成された半導体ウエハの回路面に貼付する工程、
(b’)ダイボンディング用接着フィルムと表面保護シートとを積層する工程、
(c’)半導体ウエハの裏面を研削する工程、
(d’)表面保護シートをエキスパンドすることで、ダイボンディング用接着フィルムを、チップ毎に個片化し、回路面にダイボンディング用接着フィルムを有するチップを得る工程、および
(e’)ウエハ裏面側からレーザー光を入射し、回路毎に区画する改質領域層をウエハに形成する工程を含み、
前記(a’)工程から(d’)工程をこの順で行い、または、(b’)工程、(a’)工程、(c’)工程、および(d’)工程の順で行い、
前記(e’)工程を(c’)工程の後、かつ(d’)工程の前に行い、(d’)工程において改質領域層を起点としてウエハを回路毎に個片化する、
半導体チップの製造方法。 - (a’)ダイボンディング用接着フィルムを、表面に回路が形成された半導体ウエハの回路面に貼付する工程、
(b’)ダイボンディング用接着フィルムと表面保護シートとを積層する工程、
(c’)半導体ウエハの裏面を研削する工程、
(f’)半導体ウエハの裏面に粘着シートを貼付する工程、
(g’)表面保護シートを剥離し、ダイボンディング用接着フィルムを有する半導体ウエハを得る工程、
(d’)粘着シートをエキスパンドすることで、ダイボンディング用接着フィルムを、チップ毎に個片化し、回路面にダイボンディング用接着フィルムを有するチップを得る工程、および
(e’)ウエハ裏面側からレーザー光を入射し、回路毎に区画する改質領域層をウエハに形成する工程を含み、
(a’)工程、(b’)工程、(c’)工程、(f’)工程、(g’)工程および(d’)工程をこの順で行い、または、(b’)工程、(a’)工程、(c’)工程、(f’)工程、(g’)工程および(d’)工程をこの順で行い、
前記(e’)工程を(c’)工程の後、かつ(d’)工程の前に行い、(d’)工程において改質領域層を起点としてウエハを回路毎に個片化する、
半導体チップの製造方法。
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