JP2014153703A - 光偏向器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光偏向器1は、フレーム部3と、フレーム部3に一端側が固定され、他端側が自由端であるアーム部5と、アーム部5の自由端側に一端側が接続された捩りばね部10と、捩りばね部10の他端側に接続されたミラー部9と、を備え、アーム部5は、フレーム部3に固定された一端側であってアーム部5を駆動する圧電素子15が形成された能動領域5aと、自由端側であって圧電素子15が形成されていない受動領域5bと、を有して構成されている。
【選択図】図1
Description
光偏向器として、ポリゴンミラーを用いたものやガルバノミラーを用いたものがあるが、近年、単結晶Si(シリコン)基板を微細加工する技術、即ちMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を用いた超小型の光偏向器が注目されている。
MEMS技術を用いた超小型の光偏向器の一例が特許文献1に開示されている。
しかしながら、特許文献1に開示されているような光偏向器では、ミラー部を駆動させる駆動手段として圧電素子が用いられており、圧電素子を構成する圧電材料は一般的に機械的応力に対して脆い材料である。
そのため、ミラー部を大きい偏向角度で駆動すると圧電素子にクラックが発生したり剥離する場合がある。圧電素子にクラックが発生したり剥離すると圧電素子の駆動力等の特性が悪化してしまうため、その改善が望まれている。
1)フレーム部(3)と、前記フレーム部に一端側が固定され、他端側が自由端であるアーム部(5)と、前記アーム部の自由端側に一端側が接続された捩りばね部(10)と、前記捩りばね部の他端側に接続されたミラー部(9)と、を備え、前記アーム部は、前記フレーム部に固定された前記一端側であって前記アーム部を駆動する圧電素子(15)が形成された能動領域(5a)と、前記自由端側であって前記圧電素子が形成されていない受動領域(5b)と、を有して構成されていることを特徴とする光偏向器(1)。
2)互いに離間して対向配置された第1フレーム部(3)及び第2フレーム部(4)と、互いに離間して対向配置され、それぞれ、前記第1フレーム部に一端側が固定され、前記第2フレーム部に向かって延在し、他端側が自由端である第1アーム部(5)及び第2アーム部(6)と、互いに離間して対向配置され、それぞれ、前記第2フレーム部に一端側が固定され、前記第1フレーム部に向かって延在し、他端側が自由端である第3アーム部(7)及び第4アーム部(8)と、前記第1アーム部、前記第2アーム部、前記第3アーム部、及び前記第4アーム部で囲われた空隙に配置されたミラー部(9)と、前記第1アーム部の自由端側と前記ミラー部とを連接する第1捩りばね部(10)と、前記第2アーム部の自由端側と前記ミラー部とを連接する第2捩りばね部(11)と、前記第3アーム部の自由端側と前記ミラー部とを連接する第3捩りばね部(12)と、前記第4アーム部の自由端側と前記ミラー部とを連接する第4捩りばね部(13)と、を備え、前記第1アーム部、前記第2アーム部、前記第3アーム部、及び前記第4アーム部は、それぞれ、前記一端側であって対応するアーム部を駆動する圧電素子(15,16)が形成された能動領域(5a,6a,7a,8a)と、前記自由端側であって前記圧電素子が形成されていない受動領域(5b,6b,7b,8b)と、を有して構成されていることを特徴とする光偏向器(1)。
フレーム部3は、ベース2のコ字形状の一側の端面(天面)に固定されている。
フレーム部4は、ベース2のコ字形状の他側の端面(天面)に固定されている。
アーム部7,8は、互いに離間して配置されており、それぞれ、一端側がフレーム部4に固定されてフレーム部3に向かって延在し、他端側が自由端とされている。
アーム部5とアーム部7とは互いに対向する位置関係にあり、アーム部6とアーム部8とは互いに対向する位置関係にある。
アーム部6は、自由端側であって圧電素子15が形成されていない受動領域6bと、フレーム部3に固定された固定端側であって圧電素子15が形成されている能動領域6aと、を有して構成されている。
アーム部8は、自由端側であって圧電素子16が形成されていない受動領域8bと、フレーム部4に固定された固定端側であって圧電素子16が形成されている能動領域8aと、を有して構成されている。
捩りばね部11は、アーム部6の自由端とミラー部9とを連接する。
捩りばね部12は、アーム部7の自由端とミラー部9とを連接する。
捩りばね部13は、アーム部8の自由端とミラー部9とを連接する。
圧電素子16は、アーム部7,8の能動領域7a,8a上に、下電極、圧電膜、上電極が順次形成された積層構造を有する。
圧電素子15,16の圧電膜材料として例えばPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)を用いることができる。
圧電素子15,16も同様に半導体プロセスを用いて形成することができる。
ミラー部9は、捩りばね部10を介してアーム部5の自由端と、捩りばね部11を介してアーム部6の自由端と、に接続されているので、CL9を回転軸して時計周りと反時計周りとに交互に往復回転振動する。
ミラー部9が往復回転振動している状態でミラー部9に外部から光を照射することにより、照射された光はミラー部9で反射されて左右方向に走査される。
アーム部7,8がアーム部5,6とは逆の上下方向に往復回転振動することによって、アーム部7,8の能動領域7a,8a上に形成された圧電素子16に応力が加わるため、圧電効果により圧電素子16には圧電素子15に印加される交流電圧とは逆位相の交流電圧が出力される。
圧電素子16から出力される交流電圧を検出することにより、ミラー部9の駆動周波数を検出することができる。
圧電素子16の下電極−上電極間に、圧電素子15に印加する交流電圧とは逆位相の交流電圧を印加することで、アーム部7,8は、固定端を支点として、作用点側の自由端がアーム部5,6とは逆の上下方向に大きく往復回転振動する。
圧電素子56は、アーム部7,8の固定端側から自由端の先端部に亘って形成されている。
圧電素子55,56は、圧電素子15,16と同様に、下電極、圧電膜、上電極が順次形成された積層構造をそれぞれ有する。
圧電素子55,56の圧電膜は、圧電素子15,16と同様、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)からなる。
圧電素子55,56も圧電素子15,16と同様に半導体プロセスを用いて形成することができる。
即ち、比較例(従来)の光偏向器51は、前述した光偏向器1で有していた受動領域5b,6b,7b,8bを有さず、能動領域のみが設けられた構成である。
ミラー部9は、捩りばね部10を介してアーム部5の自由端と、捩りばね部11を介してアーム部6の自由端と、に接続されているので、CL9を回転軸して時計周りと反時計周りとに交互に往復回転振動する。
ミラー部9が往復回転振動している状態でミラー部9に外部から光を照射することにより、照射された光はミラー部9で反射されて左右方向に走査される。
アーム部7,8がアーム部5,6とは逆の上下方向に往復回転振動することによって、アーム部7,8上に形成された圧電素子56に応力が加わるため、圧電効果により圧電素子56には圧電素子55に印加される交流電圧とは逆位相の交流電圧が出力される。
圧電素子56から出力される交流電圧を検出することにより、ミラー部9の駆動周波数を検出することができる。
圧電素子56の下電極−上電極間に、圧電素子55に印加する交流電圧とは逆位相の交流電圧を印加することで、アーム部7,8は、固定端を支点として、作用点側の自由端がアーム部5,6とは逆の上下方向に大きく往復回転振動する。
アーム部5,6の振幅を大きくすることで、ミラー部9の偏向角度をより大きくすることが可能になる。
クラックCRは、主に圧電膜の自由端側、特に自由端側の角部に発生する場合が多い。
2_ベース部
2A_上向き開放部
3,4_フレーム部
5,6,7,8_アーム部
5a,6a,7a,8a_能動領域
5b,6b,7b,8b_受動領域
9_ミラー部
10,11,12,13_捩りばね部
15,16_圧電素子
CL9_回転軸
Claims (2)
- フレーム部と、
前記フレーム部に一端側が固定され、他端側が自由端であるアーム部と、
前記アーム部の自由端側に一端側が接続された捩りばね部と、
前記捩りばね部の他端側に接続されたミラー部と、
を備え、
前記アーム部は、
前記フレーム部に固定された前記一端側であって前記アーム部を駆動する圧電素子が形成された能動領域と、
前記自由端側であって前記圧電素子が形成されていない受動領域と、
を有して構成されていることを特徴とする光偏向器。 - 互いに離間して対向配置された第1フレーム部及び第2フレーム部と、
互いに離間して対向配置され、それぞれ、前記第1フレーム部に一端側が固定され、前記第2フレーム部に向かって延在し、他端側が自由端である第1アーム部及び第2アーム部と、
互いに離間して対向配置され、それぞれ、前記第2フレーム部に一端側が固定され、前記第1フレーム部に向かって延在し、他端側が自由端である第3アーム部及び第4アーム部と、
前記第1アーム部、前記第2アーム部、前記第3アーム部、及び前記第4アーム部で囲われた空隙に配置されたミラー部と、
前記第1アーム部の自由端側と前記ミラー部とを連接する第1捩りばね部と、
前記第2アーム部の自由端側と前記ミラー部とを連接する第2捩りばね部と、
前記第3アーム部の自由端側と前記ミラー部とを連接する第3捩りばね部と、
前記第4アーム部の自由端側と前記ミラー部とを連接する第4捩りばね部と、
を備え、
前記第1アーム部、前記第2アーム部、前記第3アーム部、及び前記第4アーム部は、それぞれ、
前記一端側であって対応するアーム部を駆動する圧電素子が形成された能動領域と、
前記自由端側であって前記圧電素子が形成されていない受動領域と、
を有して構成されていることを特徴とする光偏向器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013026359A JP2014153703A (ja) | 2013-02-14 | 2013-02-14 | 光偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2013026359A JP2014153703A (ja) | 2013-02-14 | 2013-02-14 | 光偏向器 |
Publications (1)
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JP2014153703A true JP2014153703A (ja) | 2014-08-25 |
Family
ID=51575577
Family Applications (1)
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JP2013026359A Pending JP2014153703A (ja) | 2013-02-14 | 2013-02-14 | 光偏向器 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2014153703A (ja) |
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2013
- 2013-02-14 JP JP2013026359A patent/JP2014153703A/ja active Pending
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