JP2014149164A - 内面形状測定装置 - Google Patents

内面形状測定装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2014149164A
JP2014149164A JP2013016611A JP2013016611A JP2014149164A JP 2014149164 A JP2014149164 A JP 2014149164A JP 2013016611 A JP2013016611 A JP 2013016611A JP 2013016611 A JP2013016611 A JP 2013016611A JP 2014149164 A JP2014149164 A JP 2014149164A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
surface shape
outer peripheral
shape measuring
shielding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2013016611A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6270318B2 (ja
Inventor
Masayoshi Yokota
政義 横田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Corp filed Critical Olympus Corp
Priority to JP2013016611A priority Critical patent/JP6270318B2/ja
Priority to CN201410013637.4A priority patent/CN103968777B/zh
Priority to US14/166,671 priority patent/US9115985B2/en
Publication of JP2014149164A publication Critical patent/JP2014149164A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6270318B2 publication Critical patent/JP6270318B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G01B11/2518Projection by scanning of the object
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B23/00Telescopes, e.g. binoculars; Periscopes; Instruments for viewing the inside of hollow bodies; Viewfinders; Optical aiming or sighting devices
    • G02B23/24Instruments or systems for viewing the inside of hollow bodies, e.g. fibrescopes
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B23/00Telescopes, e.g. binoculars; Periscopes; Instruments for viewing the inside of hollow bodies; Viewfinders; Optical aiming or sighting devices
    • G02B23/24Instruments or systems for viewing the inside of hollow bodies, e.g. fibrescopes
    • G02B23/2407Optical details
    • G02B23/2461Illumination
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/954Inspecting the inner surface of hollow bodies, e.g. bores
    • G01N2021/9542Inspecting the inner surface of hollow bodies, e.g. bores using a probe
    • G01N2021/9544Inspecting the inner surface of hollow bodies, e.g. bores using a probe with emitter and receiver on the probe

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Astronomy & Astrophysics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Instruments For Viewing The Inside Of Hollow Bodies (AREA)
  • Endoscopes (AREA)

Abstract

【課題】平板状光束を投影することが可能でありながら、安価に製造でき、小型化が容易な構造を有する内面形状測定装置を提供する。
【解決手段】光切断法を用いて被検物の内面形状を測定する内面形状測定装置1は、周方向に延びて光が透過可能な一つ以上のスリットを有する筒状の外周部23と、一つ以上の発光素子を有して外周部内に配置された光源ユニット22とを有し、被検物に対してスリットから所定の厚みの光束Bを投影する投影部20と、光束が投影された被検物の内面を撮像する撮像部30とを備えることを特徴とする。
【選択図】図2

Description

本発明は、内面形状測定装置、より詳しくは、光切断法を用いて測定を行う内面形状測定装置に関する。
従来、被検物の内面形状を測定する目的で、光切断法を用いて測定を行う内面形状測定装置が用いられている。例えば、管状の内部空間を有する被検物の周壁面全周に向けて放射状に広がる平板状光束を投影し、周壁面上に周方向にわたるリング状の光切断線を生じさせ、この光切断線を撮像した画像上における光切断線の位置を検出することで、所定の座標系における被検物の内面形状を求めることができる装置が知られている。
特許文献1には、このような内面形状測定を行うための光切断計測用平板状光束投光装置(以下、単に「投光装置」と称する。)が記載されている。この投光装置は、光源と、光源からの光束を前方へ向かわせる光学手段と、当該光束を方向変換して放射状に広がる平板状光束として投影する円錐状反射鏡とを備えている。
特許第2862715号公報
特許文献1に記載の投光装置では、平板状光束を投影するために、円錐状反射鏡の軸と光源からの光束の光軸とを略一致させる必要がある。被検物が例えばトンネルのように大きく、投光装置も比較的大きい場合は、軸の一致度合いにそれほど精度は求められないが、投光装置を小さくしようとすればするほど、高精度に軸を一致させる必要が生じるため、組み付け作業等が煩雑となる。
また、光切断線の幅を狭めようとするときは、円錐状反射鏡の頂点付近のみに光束を照射する必要がある。ここで、頂点が丸まっているなど、円錐状反射鏡の加工精度が低いと、光束が狙った方向に反射せず、平板状光束が好適に投影できない。したがって、円錐状反射鏡には高い加工精度が要求され、投光装置を小さくしようとすればするほど、その要求を満たすことが困難となる。
これらの事情から、特許文献1に記載の投光装置を小型かつ安価に製造することは容易ではない。
本発明は、平板状光束を投影することが可能でありながら、安価に製造でき、小型化が容易な構造を有する内面形状測定装置を提供することを目的とする。
本発明は、光切断法を用いて被検物の内面形状を測定する内面形状測定装置であって、周方向に延びて光が透過可能な一つ以上のスリットを有する筒状の外周部と、一つ以上の発光素子を有して前記外周部内に配置された光源ユニットとを有し、前記被検物に対して前記スリットから所定の厚みの光束を投影する投影部と、前記光束が投影された前記被検物の内面を撮像する撮像部とを備えることを特徴とする。
前記外周部は、透明性を有する筒状の本体と、前記本体に対して摺動可能に取り付けられ、少なくとも一部が遮光性を有する遮蔽部と、を有してもよい。
このとき、前記遮蔽部は、遮光性を有する複数の遮蔽管からなるものでもよい。
前記外周部は、少なくとも一部が遮光性を有し、前記光源ユニットが前記外周部に対して摺動可能に取り付けられてもよい。
本発明の他の内面形状測定装置は、光切断法を用いて被検物の内面形状を測定する内面形状測定装置であって、周方向に延びて光を遮る遮光領域を有する筒状の外周部と、一つ以上の発光素子を有して前記外周部内に配置された光源ユニットとを有し、前記被検物に対して所定の厚みの影を投影する投影部と、前記影が投影された前記被検物の内面を撮像する撮像部とを備えることを特徴とする。
前記外周部は、透明性を有する筒状の本体と、前記本体に対して摺動可能に取り付けられた前記遮光領域とを有するものでもよい。
このとき、前記遮光領域は、遮光性を有する複数の遮蔽管からなるものでもよい。
前記光源ユニットは、前記外周部に対して摺動可能に取り付けられてもよい。
本発明の内面形状測定装置において、前記発光素子は、前記外周部の周方向に並べて複数配置されてもよいし、自身の発光面が前記外周部の先端側に向くように、前記投影部の中心軸上に配置されてもよい。
本発明の内面形状測定装置によれば、平板状光束を投影することが可能でありながら、構造上安価に製造でき、容易に小型化することができる。
本発明の第一実施形態に係る内面形状測定装置の全体構成を示す模式図である。 同内面形状測定装置の挿入部の先端側を模式的に示す断面図である。 同内面形状測定装置の使用時の一形態を示す断面図である。 同内面形状測定装置の変形例における挿入部先端側を模式的に示す断面図である。 同変形例の投影部の断面図である。 本発明の第二実施形態に係る内面形状測定装置の挿入部の先端側を模式的に示す断面図である。 本発明の変形例に係る内面形状測定装置の挿入部の先端側を模式的に示す断面図である。
本発明の第一実施形態について、図1から図5を参照して説明する。
図1は、本実施形態の内面形状測定装置(以下、単に「測定装置」と称する)1の全体構成を示す模式図である。測定装置1は、長尺の挿入部10と、挿入部10の先端側に設けられて所定の厚みの光束を投影する投影部20と、平板状光束により生じる光切断線を撮像する撮像部30と、撮像部30で取得された映像信号の処理や解析を行う演算部40と、撮像部30で取得された映像を表示する表示部50と、各種操作入力を行うための操作部60とを備えている。
挿入部10は管状に形成されており、先端側の一定領域を除いて可撓性を有する。必要に応じて湾曲コマや節輪等を備えた公知の湾曲機構を設け、挿入部を能動的な湾曲操作可能に構成してもよい。
図2は、挿入部10の先端側を模式的に示す断面図である。投影部20は、光源となるLED素子(発光素子)21を有する光源ユニット22と、光源ユニット22の周囲に設けられた筒状の外周部23とを備えている。
外周部23は、樹脂等で筒状に形成されており、光を透過可能な透明性を有する本体23aと、本体23aに対して摺動可能に取り付けられた遮蔽部24とを有する。外周部23の外径は挿入部10と略同一であり、基端部が挿入部10の先端部と接続されている。光源ユニット22は、基部22aと、基部22aと接続された基板部22bとを有し、LED素子21は、基板部22bの厚さ方向の両面に1つずつ実装されている。基板部22bは、外周部23の軸線と略平行に延びるように配置されているため、各LED素子21は、外周部13の軸線と略直交する方向に自身の発光面を向けるように配置されている。光源ユニット22に電気を供給する配線25は、挿入部10内を通って基端側に延びている。
遮蔽部24は、略同一形状の第一遮蔽管24Aおよび第二遮蔽管24Bを有する。第一遮蔽管24Aおよび第二遮蔽管24Bは、金属や有色の樹脂等で形成され、LED素子21から発せられた光が外周部23の外に漏れることを防止する。第一遮蔽管24Aおよび第二遮蔽管24Bの内径は、外周部23の外径よりもわずかに大きい。そのため、外周部23の外側に嵌められた各遮蔽管24A、24Bは、外周部23に対して外周部23の軸線方向に摺動可能であり、摩擦係止等により外周部23に対して任意の位置で係止させることができる。また、第一遮蔽管24Aと第二遮蔽管24Bとの距離も任意の値に調節可能である。
外周部23の先端側の開口は遮蔽されており、光源ユニット22の光が開口から漏れたり、外周部23の内部にゴミ等が入ったりしないようになっている。また、投影部20の基端側は基部22aにより遮蔽されており、撮像部30の配置された空間にも光源ユニット22の光は漏れない。
撮像部30は、CCDやCMOS等の撮像素子31と撮像光学系32とを備え、投影部20から投影された円盤状光束およびそれに伴って被検物内面に生じる光切断線を撮像する。撮像部30の基本構造は公知であり、一般的な内視鏡装置の撮像機構等と同様のものを用いることができる。必要に応じて、LED素子等の照明機構を撮像部に設けてもよい。撮像素子31は、必ずしも挿入部10の先端側に配置されなくてもよい。挿入部10の基端側や演算部40の付近に配置される場合は、円盤状光束等を観察可能な位置とイメージガイドで接続すればよい。撮像部30で取得された映像信号は、信号線33を通って演算部40に送られる。
図1に戻って、演算部40は、撮像部30から受け取った映像信号の処理や、映像中の光切断線に基づいた被検物内面形状の算出等を行う。また、操作部60からの操作入力に基づき、測定装置1の全体動作を制御する。
表示部50は、演算部40で処理された映像信号を表示するもので、公知のディスプレイ等を用いることができる。
操作部60の具体的態様に特に制限はなく、例えば挿入部の基端側に設けられたコントローラであってもよいし、表示部50の画面に表示されたボタンやキーボード等のグラフィカルユーザーインターフェース(GUI)であってもよい。操作部の具体的態様は、公知の各種態様から適宜選択されて決定されてよい。
上記のように構成された測定装置1の使用時の動作について説明する。まず使用者は、第一遮蔽管24Aおよび第二遮蔽管24Bを、外周部23の所望の位置に移動させ、係止固定する。第一遮蔽管24Aの基端と第二遮蔽管24Bの先端との間がスリットとなって円盤状光束(後述)が投影されるため、各遮蔽管24A、24Bの外周部23における位置を調節することで、光切断線の投影位置および円盤状光束の厚みや輝度等を調節することができる。
使用者は、挿入部10を被検物に挿入し、撮像部30で外周部23越しに被検物の内部を観察しながら、計測を行う対象部位まで投影部20を含む挿入部10の先端部を導入する。導入時の照明としては、投影部20から投影される円盤状光束を用いてもよいし、別途撮像部に設けた照明機構を用いてもよい。
挿入部10の先端が対象部位に到達したら、使用者は投影部20の光源ユニット22をオンにする(すでにオンになっている場合もある)。すると、LED素子21から発せられた光は、透明性を有する外周部23を透過し、第一遮蔽管24Aと第二遮蔽管24Bとの間に形成されたスリットSlを通って投影部20の外部に漏れ、投影部20から略円盤状の光束Bが投影される。この円盤状光束は、被検物の内面に到達し、被検物内面に光切断線を生じさせる。
使用者は、撮像部30で外周部23越しに光切断線を含む被検物内面の映像を取得する。撮像部30から送られた映像信号は、演算部40で適宜処理されて表示部50に表示される。使用者が操作部60を介して所定の操作入力を行うと、表示部50に表示された画像に基づいて、演算部40で光切断法を用いた公知の演算が行われ、被検物の内面形状が計測される。
LED素子21から発せられる光は、平行光ではないため、投影部20の外部で若干拡散するが、被検物と挿入部10との距離が小さい時にはこの拡散は測定にほとんど影響しない。また、被検物と挿入部とが離れていた場合でも、一定の精度で光切断法による計測を行うことが可能である。
本実施形態の測定装置1によれば、簡素な構造の光源ユニット22および遮蔽部24を備えて投影部20が構成されているため、高精度に加工された円錐状反射鏡を必要としない。また、円錐状反射鏡と光源との精密な位置合わせも必要ないため、円盤状光束を投影する構造を安価かつ簡便に構成することができる。さらに装置の小型化も容易である。
また、投影部の先端側に円錐状反射鏡を配置する必要がないため、投影部の軸線方向の長さを短くすることができる。挿入部10を軸方向に前後させて、円盤状光束を被検物に投影しながら被検物の内面をスキャンする際に、小型な投影部であると、円盤状光束を投影できない領域を小さくすることができ、測定可能領域を広げることができる。さらに、図3に示すように、円盤状光束が投影されるスリットSlをLED素子21よりも先端側に位置させることで、光束Bを前方に投影し、投影部20よりもさらに前方に光切断線を生じさせることも可能になるため、スキャンできない領域をなくすことができる。このとき、投影部20から投影される光束Bの形状は、円錐又は円錐台の側面様となる。
さらに、遮蔽部24が第一遮蔽管24Aおよび第二遮蔽管24Bを有しているため、外周部23に対して容易に移動かつ係止させることで、光束の投影位置および光束の厚みや輝度等を自在かつ簡便に調節することができる。
さらに、光源ユニット22のLED素子21は、発光面を外周部23の軸線に直交する方向に向けているため、LED素子21から発せられる光を効率よく投影部の外部に向かって照射することができる。
本実施形態では、光源ユニットが2つのLED素子を備える例について説明したが、光源ユニットが備える光源の数はこれには限られず、例えば、図4および図5に示すように、投影部20の周方向にLED素子21が4つ並べて配置されてもよい。このようにすると、投影される光束の輝度ムラを低減させることができる。もちろん、光源の数をこれ以上に多くすることも可能である。この他、例えば周方向のある位相に複数の光源がアレイ状に配置されてもよいし、基板部22bの厚さ方向の一方(例えば上方)のみに光源が配置されてもよい。後者の場合、投影部20のおよそ上半分の領域のみから光束が投影されるが、投影部20および挿入部10は、通常被検物の下面に接触しているため、下面側に光束が投影されなくても、多くの場合被検物内面の大部分の計測が可能である。
次に、本発明の第二実施形態について、図6を参照して説明する。本実施形態と第一実施形態との異なるところは、光源の配置態様である。なお、以降の説明において、既に説明したものと共通する構成等については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
図6は、本実施形態の測定装置71の先端部を模式的に示す断面図である。投影部72の光源ユニット73において、基部73aは基板部の機能を兼ねており、基部73aの先端側の面に、LED素子74が一つ取り付けられている。LED素子74は、投影部72の中心軸上に配置されてその発光面を外周部23の軸線が延びる前方に向けており、発光面の向きと投影部72の軸線とが略平行となっている。
本実施形態の測定装置71においても、第一実施形態と同様に、光束Bを投影する構造を安価かつ簡便に構成することができる。
また、LED素子74を一つだけ備え、その発光面が前方に向けられているため、装置全体をさらに小型化することができる。本実施形態の構成では、前方に強い光が発せられるため、図6に示すように、光束BをLED素子74よりも前方に投影するのに適している。
本実施形態は特に小型化に適した構成であるが、寸法的に許容される限りにおいて複数の光源が基部73a上に配置されてもよいことは当然である。
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において構成要素の組み合わせを変えたり、各構成要素に種々の変更を加えたり、削除したりすることが可能である。
まず、本発明の測定装置において、投影部の構成は、上述の各実施形態における物に限られず、様々に変更することができる。
図7に示す変形例では、遮蔽部80が遮蔽管81、82、83の3つの遮蔽管を備えており、遮蔽管81と遮蔽管82との間、および遮蔽管82と遮蔽管83との間にそれぞれスリットSl1、Sl2を形成して、2つの光束B1、B2を投影可能に構成されている。このようにすると、一度に複数の光切断線を生じさせることができ、効率よく内面形状の測定を行うことができる。軸線方向の寸法が異なる複数の遮蔽管を用意すれば、スリットの数をさらに増やしたり、各スリットの幅や位置関係を所望の内容に調節したりすることが可能となる。
また、複数の遮蔽管で遮蔽部を構成するのに代えて、透明な管状部材に一つ以上のリング状の透明領域(スリット)を残し、その他の領域を黒く着色する等により光を透過しない遮光領域とした部材を用いて遮蔽部を構成してもよい。このような遮蔽部であれば、スリットの幅が違う数種類のものをあらかじめ準備しておき、被検体に合わせて使い分けることで、円盤状光束の厚みや輝度等を調節することができる。このように、複数の遮蔽管を用いない構成の遮蔽部であっても、同様の効果を得ることができる。
さらに、透明領域と遮光領域とを有する管状部材を外周部として用い、遮蔽管等を用いずに投影部を構成してもよい。この場合でも、外周部23の先端側を開けた状態で、治具等を用いて光源ユニットを軸方向に位置調整し、位置調整後に外周部23の先端側を遮蔽すれば光切断線の投影位置の調整を容易に行うことができる。
また、遮蔽部は、必ずしも外周部の外側に嵌められる必要はなく、内側に嵌められてもよい。
また、発光素子についても、上述のLED素子には限定されず、レーザーダイオードなどの他の発光素子が用いられてもよい。さらに、必要に応じて拡散板やコリメートレンズ等の各種光学部材を組み合わせて、発光素子から出射される光を適宜望ましい形に調節してもよい。
さらに、モーター等の駆動機構を用いることにより、遮蔽部や撮像部を挿入部に対して進退可能に構成してもよい。このようにすると、測定装置を被検物内部に挿入した後も、出射される光束や取得される画像の調節を行うことができる。
また、本発明の測定装置は、投影部にリング状の遮光領域を設ける等により、円盤状等の光束でなく円盤状等の影を投影する構成としてもよい。このようにしても、被検物表面における影と光との境界線を光切断線として光切断法による内面計測を行うことができる。
1、71 内面形状測定装置
20、72 投影部
21、74 LED素子(発光素子)
22、73 光源ユニット
23 外周部
23a 本体
24、80 遮蔽部
24A 第一遮蔽管
24B 第二遮蔽管
30 撮像部
81、82、83 遮蔽管

Claims (12)

  1. 光切断法を用いて被検物の内面形状を測定する内面形状測定装置であって、
    周方向に延びて光が透過可能な一つ以上のスリットを有する筒状の外周部と、一つ以上の発光素子を有して前記外周部内に配置された光源ユニットとを有し、前記被検物に対して前記スリットから所定の厚みの光束を投影する投影部と、
    前記光束が投影された前記被検物の内面を撮像する撮像部と、
    を備えることを特徴とする内面形状測定装置。
  2. 前記外周部は、透明性を有する筒状の本体と、前記本体に対して摺動可能に取り付けられ、少なくとも一部が遮光性を有する遮蔽部と、を有することを特徴とする請求項1に記載の内面形状測定装置。
  3. 前記遮蔽部は、遮光性を有する複数の遮蔽管からなることを特徴とする請求項2に記載の内面形状測定装置。
  4. 前記外周部は、少なくとも一部が遮光性を有し、前記光源ユニットが前記外周部に対して摺動可能に取り付けられていることを特徴とする請求項1に記載の内面形状測定装置。
  5. 前記発光素子は、前記外周部の周方向に並べて複数配置されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の内面形状測定装置。
  6. 前記発光素子は、自身の発光面が前記外周部の先端側に向くように、前記投影部の中心軸上に配置されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の内面形状測定装置。
  7. 光切断法を用いて被検物の内面形状を測定する内面形状測定装置であって、
    周方向に延びて光を遮る遮光領域を有する筒状の外周部と、一つ以上の発光素子を有して前記外周部内に配置された光源ユニットとを有し、前記被検物に対して所定の厚みの影を投影する投影部と、
    前記影が投影された前記被検物の内面を撮像する撮像部と、
    を備えることを特徴とする内面形状測定装置。
  8. 前記外周部は、透明性を有する筒状の本体と、前記本体に対して摺動可能に取り付けられた前記遮光領域とを有することを特徴とする請求項7に記載の内面形状測定装置。
  9. 前記遮光領域は、遮光性を有する複数の遮蔽管からなることを特徴とする請求項8に記載の内面形状測定装置。
  10. 前記光源ユニットが前記外周部に対して摺動可能に取り付けられていることを特徴とする請求項7に記載の内面形状測定装置。
  11. 前記発光素子は、前記外周部の周方向に並べて複数配置されていることを特徴とする請求項7から10のいずれか一項に記載の内面形状測定装置。
  12. 前記発光素子は、自身の発光面が前記外周部の先端側に向くように、前記投影部の中心軸上に配置されていることを特徴とする請求項7から10のいずれか一項に記載の内面形状測定装置。
JP2013016611A 2013-01-31 2013-01-31 内面形状測定装置 Expired - Fee Related JP6270318B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013016611A JP6270318B2 (ja) 2013-01-31 2013-01-31 内面形状測定装置
CN201410013637.4A CN103968777B (zh) 2013-01-31 2014-01-10 内表面形状测量装置
US14/166,671 US9115985B2 (en) 2013-01-31 2014-01-28 Inner surface shape measuring apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013016611A JP6270318B2 (ja) 2013-01-31 2013-01-31 内面形状測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014149164A true JP2014149164A (ja) 2014-08-21
JP6270318B2 JP6270318B2 (ja) 2018-01-31

Family

ID=51222599

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013016611A Expired - Fee Related JP6270318B2 (ja) 2013-01-31 2013-01-31 内面形状測定装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9115985B2 (ja)
JP (1) JP6270318B2 (ja)
CN (1) CN103968777B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018084414A (ja) * 2016-11-21 2018-05-31 東日本旅客鉄道株式会社 孔壁面形状計測装置

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105509639B (zh) * 2014-09-24 2019-01-01 通用电气公司 用来测量几何特征的测量***和测量方法
CA2930037A1 (en) * 2016-05-16 2017-11-16 Inuktun Services Ltd. Apparatus for laser profiling inspection
CN108434510B (zh) * 2018-05-23 2021-03-02 宁波宝亭生物科技有限公司 一种改性淀粉止血微球的制备方法

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6267212U (ja) * 1985-10-17 1987-04-27
JPS6358130A (ja) * 1986-08-28 1988-03-12 Mitsubishi Electric Corp 管内面検査装置
JPH05107037A (ja) * 1991-10-17 1993-04-27 Central Japan Railway Co 光切断計測用平板状光束投光装置
JPH05149884A (ja) * 1991-04-26 1993-06-15 Sekiyu Sangyo Kasseika Center 管内検査装置
JPH05175310A (ja) * 1991-12-26 1993-07-13 Canon Inc ワイヤボンディング検査装置
JPH0694452A (ja) * 1991-03-29 1994-04-05 Okumura Corp 空洞内撮影方法および空洞内撮影装置
JPH0989788A (ja) * 1995-09-20 1997-04-04 Denso Corp 筒内面観察装置
US5895927A (en) * 1995-06-30 1999-04-20 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Electro-optic, noncontact, interior cross-sectional profiler
JP2005319315A (ja) * 2004-05-03 2005-11-17 Given Imaging Ltd パノラミックビューを有する内視鏡
US20080105067A1 (en) * 2006-11-08 2008-05-08 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. Device for Inspecting a Pipeline
JP2008221896A (ja) * 2007-03-08 2008-09-25 Kobe Steel Ltd タイヤ形状検出装置,タイヤ形状検出方法
US20100060904A1 (en) * 2008-09-05 2010-03-11 3Dm Devices Inc. Hand-held surface profiler

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1124625C (zh) * 1998-10-06 2003-10-15 上海明昱科技发展有限公司 一种配电变压器
US6931149B2 (en) * 2002-04-19 2005-08-16 Norsk Elektro Optikk A/S Pipeline internal inspection device and method
EP2093536B1 (en) * 2006-12-13 2021-01-20 Nikon Corporation Measurement device and measurement method
CN101382422A (zh) * 2008-10-16 2009-03-11 上海交通大学 管形零件内轮廓自动检测***
DE102009019459B4 (de) * 2009-05-04 2012-02-02 Hommel-Etamic Gmbh Vorrichtung zur Abbildung der Innenfläche eines Hohlraumes in einem Werkstück

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6267212U (ja) * 1985-10-17 1987-04-27
JPS6358130A (ja) * 1986-08-28 1988-03-12 Mitsubishi Electric Corp 管内面検査装置
JPH0694452A (ja) * 1991-03-29 1994-04-05 Okumura Corp 空洞内撮影方法および空洞内撮影装置
JPH05149884A (ja) * 1991-04-26 1993-06-15 Sekiyu Sangyo Kasseika Center 管内検査装置
JPH05107037A (ja) * 1991-10-17 1993-04-27 Central Japan Railway Co 光切断計測用平板状光束投光装置
JP2862715B2 (ja) * 1991-10-17 1999-03-03 東海旅客鉄道株式会社 光切断計測用平板状光束投光装置
JPH05175310A (ja) * 1991-12-26 1993-07-13 Canon Inc ワイヤボンディング検査装置
US5895927A (en) * 1995-06-30 1999-04-20 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Electro-optic, noncontact, interior cross-sectional profiler
JPH0989788A (ja) * 1995-09-20 1997-04-04 Denso Corp 筒内面観察装置
JP2005319315A (ja) * 2004-05-03 2005-11-17 Given Imaging Ltd パノラミックビューを有する内視鏡
US20080105067A1 (en) * 2006-11-08 2008-05-08 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. Device for Inspecting a Pipeline
JP2008221896A (ja) * 2007-03-08 2008-09-25 Kobe Steel Ltd タイヤ形状検出装置,タイヤ形状検出方法
US20100060904A1 (en) * 2008-09-05 2010-03-11 3Dm Devices Inc. Hand-held surface profiler

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018084414A (ja) * 2016-11-21 2018-05-31 東日本旅客鉄道株式会社 孔壁面形状計測装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN103968777B (zh) 2018-01-26
US20140211212A1 (en) 2014-07-31
US9115985B2 (en) 2015-08-25
JP6270318B2 (ja) 2018-01-31
CN103968777A (zh) 2014-08-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10898110B2 (en) Endoscope apparatus and measuring method
US9910139B2 (en) Methods and systems for LIDAR optics alignment
JP5815531B2 (ja) 内視鏡および表面のトポグラフィの測定方法
JP6270318B2 (ja) 内面形状測定装置
JP2014041091A (ja) 配光特性測定装置および配光特性測定方法
JP6522181B2 (ja) 画像測定器
JP2018004624A (ja) 距離計測機能付き内視鏡および距離計測方法
JP5953443B2 (ja) 内視鏡システム
JP2009288108A (ja) 画像相関変位計
JP6045129B2 (ja) 内視鏡用撮影装置
US10195002B2 (en) Device and method for generating dental three-dimensional surface image
JP5829280B2 (ja) 内面形状測定装置、検出ヘッド及び内視鏡装置
JP2016205981A (ja) テラヘルツ照射位置の可視化装置
JP2013170919A (ja) 孔内周面撮影装置
JP6234274B2 (ja) 内面形状計測方法および装置
JP2017129523A (ja) 内面検査システム、アセンブリ、および導光部品
US11119395B2 (en) Image pickup apparatus, optical measurement apparatus, and measurement system
KR102019978B1 (ko) 치수 측정 장치
RU2405138C1 (ru) Рентгенооптический эндоскоп
JP5479822B2 (ja) 検査システム
RU2386956C1 (ru) Рентгенооптический эндоскоп
JP2021085815A (ja) 光照射装置、検査システム、及び、光照射方法
JP2017198485A (ja) 内面検査システム
WO2013118910A1 (ja) 内径測定装置
JP7268993B2 (ja) 拡大観察装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160121

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20161026

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20161101

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20161222

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20161226

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170530

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170727

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20170728

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20171222

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20171226

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6270318

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees
R371 Transfer withdrawn

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350