JP2014143404A - 抵抗素子、表示装置、及び電子機器 - Google Patents
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- H01L27/1255—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs integrated with passive devices, e.g. auxiliary capacitors
-
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
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Abstract
【解決手段】半導体層と、半導体層上に形成された絶縁層と、を有し、半導体層は、少なくともインジウム(In)、亜鉛(Zn)及びM(Al、Ga、Ge、Y、Zr、Sn、La、CeまたはHfの金属)を含むIn−M−Zn酸化物で表記される酸化物であり、絶縁層は、少なくとも水素を含む。
【選択図】図2
Description
1. 実施の形態1 (本発明の一態様に関する基本構成について)
2. 実施の形態2 (表示装置の一態様について)
3. 実施の形態3 (表示装置の作製方法について)
4. 実施の形態4 (表示装置の変形例、及び作製方法について)
5. 実施の形態5 (表示装置の変形例、及び作製方法について)
6. 実施の形態6 (表示装置の変形例、及び作製方法について)
7. 実施の形態7 (表示装置の変形例について)
8. 実施の形態8 (トランジスタの構成について)
9. 実施の形態9 (酸化物半導体膜の電子線回折パターンについて)
10. 実施の形態10 (金属膜、半導体膜、無機絶縁膜などの成膜方法について)
11. 実施の形態11 (酸化物半導体を成膜、及び加熱できる装置について)
12. 実施の形態12 (タッチセンサ、表示モジュールについて)
13. 実施の形態13 (電子機器について)
14. 実施例1 (酸化物半導体層、酸化物積層の抵抗について)
15. 実施例2 (酸化物半導体層の不純物分析について)
16. 実施例3 (酸化物半導体膜、及び酸化物積層のESRについて)
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置について、図1乃至図5を用いて説明を行う。
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置について、図6乃至図9を用いて説明を行う。
駆動回路部104は、基板302と、基板302上に形成された導電性を有する層(以下、導電層304a、304bという)と、基板302、及び導電層304a、304b上に形成された絶縁性を有する層(以下、絶縁層305という)と、絶縁層305上に形成された絶縁性を有する層(以下、絶縁層306という)と、絶縁層306上に形成され、導電層304aと重畳する位置に形成された半導体層308aと、絶縁層306、及び半導体層308a上に形成された導電性を有する層(以下、導電層310a、310bという)と、絶縁層306上に形成された導電性を有する層(以下、導電層310cという)と、半導体層308a、及び導電層310a、310b、310cを覆うように形成された絶縁性を有する層(以下、絶縁層312という)と、絶縁層312上に形成された絶縁性を有する層(以下、絶縁層314という)と、絶縁層314上に形成された導電性を有する層(以下、導電層316aという)と、を有する。
画素回路部108は、基板302と、基板302上に形成された導電性を有する層(以下、導電層304cという)と、基板302、及び導電層304c上に形成された絶縁層305と、絶縁層305上に形成された絶縁層306と、絶縁層306上に形成され、導電層304cと重畳する位置に形成された半導体層308bと、絶縁層306上に形成された半導体層308cと、絶縁層306、及び半導体層308b上に形成された導電性を有する層(以下、導電層310d、310eという)と、半導体層308b、及び導電層310d、310eを覆うように形成され、且つ半導体層308cの一部を覆う絶縁層312と、絶縁層312上に形成され、且つ半導体層308c上に形成された絶縁層314と、絶縁層314上に形成され、且つ導電層310eに接続された導電層316bと、を有する。
抵抗素子114は、基板302と、基板302上に形成された絶縁層305と、絶縁層305上に形成された絶縁層306と、絶縁層306上に形成された半導体層308dと、絶縁層306、及び半導体層308d上に形成された導電性を有する層(以下、導電層310f、310gという)と、導電層310f、310g上に形成された絶縁層312と、絶縁層312、導電層310f、310g、及び半導体層308d上に形成された絶縁層314と、を有する。
本実施の形態では、実施の形態2で説明した表示装置の作製方法について、図10乃至図23を用いて説明する。
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置について、図24乃至図29を用いて説明を行う。
駆動回路部104は、基板302と、基板302上に形成された導電層304a、304bと、基板302、及び導電層304a、304b上に形成された絶縁層305と、絶縁層305上に形成された絶縁層306と、絶縁層306上に形成され、導電層304aと重畳する位置に形成された半導体層308aと、絶縁層306、及び半導体層308a上に形成された導電層310a、310bと、絶縁層306上に形成された導電層310cと、半導体層308a、及び導電層310a、310b、310cを覆うように形成された絶縁層312と、絶縁層312上に形成された絶縁層314と、絶縁層314上に形成された導電層316aと、を有する。
画素回路部108は、基板302と、基板302上に形成された導電層304cと、基板302、及び導電層304c上に形成された絶縁層305と、絶縁層305上に形成された絶縁層306と、絶縁層306上に形成され、導電層304cと重畳する位置に形成された半導体層308bと、絶縁層306上に形成された半導体層308cと、絶縁層306、及び半導体層308b上に形成された導電層310d、310eと、半導体層308b、及び導電層310d、310eを覆うように形成され、且つ半導体層308cの一部を覆う絶縁層312と、絶縁層312上に形成され、且つ半導体層308c上に形成された絶縁層314と、絶縁層314上に形成され、且つ導電層310eに接続された導電層316bと、を有する。
抵抗素子114は、基板302と、基板302上に形成された絶縁層305と、絶縁層305上に形成された絶縁層306と、絶縁層306上に形成された半導体層308dと、絶縁層306、及び半導体層308d上に形成された導電層310f、310gと、導電層310f、310g上に形成された絶縁層312と、絶縁層312、導電層310f、310g、及び半導体層308d上に形成された絶縁層314と、を有する。
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置について、図30乃至図35を用いて説明を行う。
駆動回路部104は、基板302と、基板302上に形成された導電層304a、304bと、基板302、及び導電層304a、304b上に形成された絶縁層305と、絶縁層305上に形成された絶縁層306と、絶縁層306上に形成され、導電層304aと重畳する位置に形成された半導体層308aと、絶縁層306、及び半導体層308a上に形成された導電層310a、310bと、絶縁層306上に形成された導電層310cと、半導体層308a、及び導電層310a、310b、310cを覆うように形成された絶縁層312と、絶縁層312上に形成された絶縁層314と、絶縁層314上に形成された導電層316aと、を有する。
画素回路部108は、基板302と、基板302上に形成された導電層304cと、基板302、及び導電層304c上に形成された絶縁層305と、絶縁層305上に形成された絶縁層306と、絶縁層306上に形成され、導電層304cと重畳する位置に形成された半導体層308bと、絶縁層306上に形成された半導体層308cと、絶縁層306、及び半導体層308b上に形成された導電層310d、310eと、半導体層308b、及び導電層310d、310eを覆うように形成され、且つ半導体層308cの一部を覆う絶縁層312と、絶縁層312上に形成され、且つ半導体層308c上に形成された絶縁層314と、絶縁層314上に形成され、且つ導電層310eに接続された導電層316bと、を有する。
抵抗素子114は、基板302と、基板302上に形成された絶縁層305と、絶縁層305上に形成された絶縁層306と、絶縁層306上に形成された半導体層308dと、絶縁層306、及び半導体層308d上に形成された導電層310f、310gと、導電層310f、310g上に形成された絶縁層312と、絶縁層312、導電層310f、310g、及び半導体層308d上に形成された絶縁層314と、を有する。
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置について、図36乃至図41を用いて説明を行う。
駆動回路部104は、基板302と、基板302上に形成された導電層304a、304bと、基板302、及び導電層304a、304b上に形成された絶縁層305と、絶縁層305上に形成された絶縁層306と、絶縁層306上に形成され、導電層304aと重畳する位置に形成された半導体層308aと、絶縁層306、及び半導体層308a上に形成された導電層310a、310bと、絶縁層306上に形成された導電層310cと、半導体層308a、及び導電層310a、310b、310cを覆うように形成された絶縁層312と、絶縁層312上に形成された絶縁層314と、絶縁層314上に形成された導電層316aと、を有する。
画素回路部108は、基板302と、基板302上に形成された導電層304cと、基板302、及び導電層304c上に形成された絶縁層305と、絶縁層305上に形成された絶縁層306と、絶縁層306上に形成され、導電層304cと重畳する位置に形成された半導体層308bと、絶縁層305上に形成された半導体層308cと、絶縁層306、及び半導体層308b上に形成された導電層310d、310eと、半導体層308b、308c及び導電層310d、310eを覆うように形成された絶縁層312と、絶縁層312上に形成された絶縁層314と、絶縁層314上に形成され、且つ導電層310eに接続された導電層316bと、を有する。
抵抗素子114は、基板302と、基板302上に形成された絶縁層305と、絶縁層305上に形成された絶縁層306と、絶縁層305上に形成された半導体層308dと、絶縁層306、及び半導体層308d上に形成された導電層310f、310gと、半導体層308d、導電層310f、310g上に形成された絶縁層312と、絶縁層312上に形成された絶縁層314と、を有する。
開口部384a、384b、384cの形成方法としては、例えば、ドライエッチング法を用いることができる。ただし、開口部384a、384b、384cの形成方法としては、これに限定されず、ウエットエッチング法、またはドライエッチング法とウエットエッチング法を組み合わせた形成方法としてもよい。
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置について、図42乃至図44を用いて説明を行う。
駆動回路部104は、基板302と、基板302上に形成された導電層304a、304bと、基板302、及び導電層304a、304b上に形成された絶縁層305と、絶縁層305上に形成された絶縁層306と、絶縁層306上に形成され、導電層304aと重畳する位置に形成された半導体層308aと、絶縁層306、及び半導体層308a上に形成された導電層310a、310bと、絶縁層306上に形成された導電層310cと、半導体層308a、及び導電層310a、310b、310cを覆うように形成された絶縁層312と、絶縁層312上に形成された絶縁層314と、絶縁層314上に形成された導電層316aと、を有する。
画素回路部108は、基板302と、基板302上に形成された導電層304cと、基板302、及び導電層304c上に形成された絶縁層305と、絶縁層305上に形成された絶縁層306と、絶縁層306上に形成され、導電層304cと重畳する位置に形成された半導体層308bと、絶縁層305上に形成された半導体層308cと、絶縁層306、及び半導体層308b上に形成された導電層310d、310eと、半導体層308b、308c及び導電層310d、310eを覆うように形成された絶縁層312と、絶縁層312上に形成された絶縁層314と、絶縁層314上に形成され、且つ導電層310eに接続された導電層316bと、を有する。
抵抗素子114は、基板302と、基板302上に形成された絶縁層305と、絶縁層305上に形成された絶縁層306と、絶縁層305上に形成された半導体層308dと、絶縁層306、及び半導体層308d上に形成された導電層310f、310gと、半導体層308d、導電層310f、310g上に形成された絶縁層312と、絶縁層312上に形成された絶縁層314と、を有する。
駆動回路部104は、基板302と、基板302上に形成された導電層304a、304bと、基板302、及び導電層304a、304b上に形成された絶縁層305と、絶縁層305上に形成された絶縁層306と、絶縁層306上に形成され、導電層304aと重畳する位置に形成された半導体層308aと、絶縁層306、及び半導体層308a上に形成された導電層310a、310bと、絶縁層306上に形成された導電層310cと、半導体層308a、及び導電層310a、310b、310cを覆うように形成された絶縁層312と、絶縁層312上に形成された絶縁層314と、絶縁層314上に形成された絶縁層324と、絶縁層324上に形成された導電層316aと、を有する。
画素回路部108は、基板302と、基板302上に形成された導電層304cと、基板302、及び導電層304c上に形成された絶縁層305と、絶縁層305上に形成された絶縁層306と、絶縁層306上に形成され、導電層304cと重畳する位置に形成された半導体層308bと、絶縁層305上に形成された半導体層308cと、絶縁層306、及び半導体層308b上に形成された導電層310d、310eと、半導体層308b、308c及び導電層310d、310eを覆うように形成された絶縁層312と、絶縁層312上に形成された絶縁層314と、絶縁層314上に形成された絶縁層324と、絶縁層324上に形成され、且つ導電層310eに接続された導電層316bと、を有する。
抵抗素子114は、基板302と、基板302上に形成された絶縁層305と、絶縁層305上に形成された絶縁層306と、絶縁層305上に形成された半導体層308dと、絶縁層306、及び半導体層308d上に形成された導電層310f、310gと、半導体層308d、導電層310f、310g上に形成された絶縁層312と、絶縁層312上に形成された絶縁層314と、絶縁層314上に形成された絶縁層324と、を有する。
駆動回路部104は、基板302と、基板302上に形成された導電層304a、304bと、基板302、及び導電層304a、304b上に形成された絶縁層305と、絶縁層305上に形成された絶縁層306と、絶縁層306上に形成され、導電層304aと重畳する位置に形成された半導体層308aと、絶縁層306、及び半導体層308a上に形成された導電層310a、310bと、絶縁層306上に形成された導電層310cと、半導体層308a、及び導電層310a、310b、310cを覆うように形成された絶縁層312と、絶縁層312上に形成された絶縁層314と、絶縁層314上に形成された導電層316aと、を有する。
画素回路部108は、基板302と、基板302上に形成された導電層304cと、基板302、及び導電層304c上に形成された絶縁層305と、絶縁層305上に形成された絶縁層306と、絶縁層306上に形成され、導電層304cと重畳する位置に形成された半導体層308bと、絶縁層305上に形成された半導体層308cと、絶縁層306、及び半導体層308b上に形成された導電層310d、310eと、半導体層308b、308c及び導電層310d、310eを覆うように形成された絶縁層312と、絶縁層312上に形成された絶縁層314と、絶縁層314上に形成され、且つ導電層310eに接続された導電層316bと、を有する。
抵抗素子114は、基板302と、基板302上に形成された絶縁層305と、絶縁層305上に形成された絶縁層306と、絶縁層305上に形成された半導体層308dと、絶縁層306、及び半導体層308d上に形成された導電層310f、310gと、半導体層308d、導電層310f、310g上に形成された絶縁層312と、絶縁層312上に形成された絶縁層314と、を有する。
本実施の形態においては、実施の形態1の図1(A)に示す表示装置の駆動回路部104、画素回路部108に用いることのできるトランジスタの構成について図45を用いて以下説明を行う。
本実施の形態では、本発明の一態様に用いることのできる酸化物半導体膜について、電子線回折パターンの観察結果を説明する。
本実施の形態では、上記実施の形態で開示された金属膜、半導体膜、無機絶縁膜などの形成方法の一例について説明する。
本実施の形態では、酸化物半導体を成膜、及び加熱することができる装置の一例について、図46乃至図48を用いて、説明する。
本実施の形態においては、本発明の一態様の表示装置と組み合わせることができるタッチセンサ、及び表示モジュールについて、図49乃至図51を用いて説明する。
本実施の形態においては、電子機器の例について説明する。
104 駆動回路部
104a ゲートドライバ
104b ソースドライバ
106 保護回路部
106_1 保護回路部
106_2 保護回路部
106_3 保護回路部
106_4 保護回路部
107 端子部
108 画素回路部
110 配線
112 配線
114 抵抗素子
116 トランジスタ
131_1 トランジスタ
131_2 トランジスタ
131_3 トランジスタ
133_1 容量素子
133_2 容量素子
134 トランジスタ
135 発光素子
151 トランジスタ
152 トランジスタ
153 トランジスタ
154 トランジスタ
155 トランジスタ
155A トランジスタ
155B トランジスタ
156 トランジスタ
156A トランジスタ
156B トランジスタ
157 トランジスタ
157A トランジスタ
157B トランジスタ
158 トランジスタ
158A トランジスタ
158B トランジスタ
159 トランジスタ
160 トランジスタ
161 トランジスタ
162 トランジスタ
163 トランジスタ
164 トランジスタ
165 トランジスタ
166 トランジスタ
171 抵抗素子
172 抵抗素子
173 抵抗素子
174 抵抗素子
174A 抵抗素子
174B 抵抗素子
175 抵抗素子
175A 抵抗素子
175B 抵抗素子
176 抵抗素子
177 抵抗素子
178 抵抗素子
179 抵抗素子
180 抵抗素子
181 配線
182 配線
183 配線
184 配線
185 配線
186 配線
187 配線
188 配線
189 配線
190 配線
191 配線
199 抵抗素子
202 基板
205 絶縁層
206 絶縁層
208 半導体層
209 開口部
210a 導電層
210b 導電層
212 絶縁層
214 絶縁層
302 基板
304a 導電層
304b 導電層
304c 導電層
304d 導電層
305 絶縁層
306 絶縁層
307 半導体層
308a 半導体層
308b 半導体層
308c 半導体層
308d 半導体層
309 導電層
310a 導電層
310b 導電層
310c 導電層
310d 導電層
310e 導電層
310f 導電層
310g 導電層
311 絶縁層
312 絶縁層
313 絶縁層
314 絶縁層
315 導電層
316a 導電層
316b 導電層
316c 導電層
318 配向膜
320 液晶層
322 液晶素子
324 絶縁層
342 基板
344 遮光層
346 有色層
348 絶縁層
350 導電層
352 配向膜
362 開口部
363 開口部
364a 開口部
364b 開口部
364c 開口部
372 開口部
372a 開口部
372b 開口部
372c 開口部
372d 開口部
372e 開口部
374a 開口部
374b 開口部
374c 開口部
374d 開口部
374e 開口部
376a 開口部
376b 開口部
380 酸化物積層
380a 酸化物半導体層
380b 酸化物層
382 n型領域
382a 開口部
382b 開口部
382c 開口部
384a 開口部
384b 開口部
384c 開口部
1901 ガラス基板
1903 絶縁層
1904 絶縁層
1905 半導体層
1906 酸化物積層
1907 導電層
1909 導電層
1910 絶縁層
1911 絶縁層
1913 開口部
1915 開口部
1917 開口部
1919 開口部
2000 装置
2100 基板
2101 ロード室
2102 アンロード室
2111 成膜室
2112 成膜室
2113 成膜室
2114 成膜室
2121 加熱室
2122 加熱室
2123 加熱室
2141 基板支持部
2143 移動手段
2150 成膜室
2151 ターゲット
2153 防着板
2155 基板加熱手段
2157 圧力調整手段
2159 ガス導入手段
2161 ゲートバルブ
2170 加熱室
2171 ヒータ
2173 保護板
4500 タッチセンサ
4510 導電層
4510a 導電層
4510b 導電層
4510c 導電層
4520 導電層
4540 容量
4710 電極
4810 絶縁層
4820 絶縁層
4910 基板
4920 基板
5000 筐体
5001 表示部
5002 表示部
5003 スピーカ
5004 LEDランプ
5005 操作キー
5006 接続端子
5007 センサ
5008 マイクロフォン
5009 スイッチ
5010 赤外線ポート
5011 記録媒体読込部
5012 支持部
5013 イヤホン
5014 アンテナ
5015 シャッターボタン
5016 受像部
5017 充電器
5018 支持台
5019 外部接続ポート
5020 ポインティングデバイス
5021 リーダ/ライタ
5022 筐体
5023 表示部
5024 リモコン装置
5025 スピーカ
5026 表示モジュール
5027 ユニットバス
5028 表示モジュール
5029 車体
5030 天井
5031 表示モジュール
5032 ヒンジ部
8000 表示モジュール
8001 上部カバー
8002 下部カバー
8003 FPC
8004 タッチパネル
8005 FPC
8006 表示パネルセル
8007 バックライトユニット
8008 光源
8009 フレーム
8010 プリント基板
8011 バッテリー
Claims (12)
- 半導体層と、
前記半導体層上に形成された絶縁層と、を有し、
前記半導体層は、
少なくともインジウム(In)、亜鉛(Zn)及びM(Al、Ga、Ge、Y、Zr、Sn、La、CeまたはHfの金属)を含むIn−M−Zn酸化物で表記される酸化物であり、
前記絶縁層は、少なくとも水素を含む
ことを特徴とする抵抗素子。 - 半導体層と、
前記半導体層上に形成された絶縁層と、を有し、
前記半導体層は、
少なくともインジウム(In)、亜鉛(Zn)及びM(Al、Ga、Ge、Y、Zr、Sn、La、CeまたはHfの金属)を含むIn−M−Zn酸化物で表記される酸化物であり、且つ微結晶領域を含み、
前記微結晶領域は、ビーム径が5nmφ以上10nmφ以下とした電子線回折パターンにおいて、円周状に配置された複数のスポットが観察され、且つ、ビーム径が300nmφ以上とした電子線回折パターンにおいては、前記複数のスポットが観察されず、
前記絶縁層は、少なくとも水素を含む
ことを特徴とする抵抗素子。 - 請求項1または請求項2において、
前記半導体層上に形成された一対の電極層を有する
ことを特徴とする抵抗素子。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一において、
前記絶縁層に含まれる水素濃度は、1×1022atoms/cm3以上である
ことを特徴とする抵抗素子。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか一において、
前記絶縁層は、窒化シリコン膜である
ことを特徴とする抵抗素子。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一において、
前記半導体層は、抵抗率が1×10−3Ωcm以上1×104Ωcm未満である
ことを特徴とする抵抗素子。 - 画素部と、
前記画素部の外側に配置された駆動回路部と、
前記画素部または前記駆動回路部のいずれか一方または双方に電気的に接続された保護回路部と、を有し、
前記画素部は、
画素電極と、
前記画素電極に電気的に接続された第1のトランジスタと、を有し、
前記駆動回路部は、
前記第1のトランジスタのオン状態、オフ状態を制御する第2のトランジスタと、を有し、
前記第1のトランジスタ、及び前記第2のトランジスタは、
チャネル形成領域に第1の酸化物半導体層を有し、
前記保護回路部が、
前記第1の酸化物半導体層と同一工程で形成された第2の酸化物半導体層を有し、
前記第1の酸化物半導体層と、前記第2の酸化物半導体層とは、水素濃度が異なる
ことを特徴とする表示装置。 - 画素部と、
前記画素部の外側に配置された駆動回路部と、
前記画素部または前記駆動回路部のいずれか一方または双方に電気的に接続された保護回路部と、を有し、
前記画素部は、
画素電極と、
前記画素電極に電気的に接続された第1のトランジスタと、を有し、
前記駆動回路部は、
前記第1のトランジスタのオン状態、オフ状態を制御する第2のトランジスタと、を有し、
前記第1のトランジスタ、及び前記第2のトランジスタは、
チャネル形成領域に第1の酸化物半導体層を有し、
前記保護回路部が、
前記第1の酸化物半導体層と同一工程で形成された第2の酸化物半導体層を有し、
前記第1の酸化物半導体層と、前記第2の酸化物半導体層とは、水素濃度が異なり、
前記第1の酸化物半導体層、及び前記第2の酸化物半導体層は、微結晶領域を含み、
前記微結晶領域は、ビーム径が5nmφ以上10nmφ以下とした電子線回折において、円周状に配置された複数のスポットが観察され、且つ、ビーム径が300nmφ以上とした電子線回折パターンにおいては、前記複数のスポットが観察されない
ことを特徴とする表示装置。 - 請求項7または請求項8において、
前記第2の酸化物半導体層は、前記第1の酸化物半導体層よりも水素濃度が高い
ことを特徴とする表示装置。 - 請求項7または請求項8において、
前記第2の酸化物半導体層は、前記第1の酸化物半導体層よりも抵抗率が低い
ことを特徴とする表示装置。 - 請求項7乃至請求項10のいずれか一において、
前記第1の酸化物半導体層、及び前記第2の酸化物半導体層は、
少なくともインジウム(In)、亜鉛(Zn)及びM(Al、Ga、Ge、Y、Zr、Sn、La、CeまたはHfの金属)を含むIn−M−Zn酸化物で表記される酸化物である
ことを特徴とする表示装置。 - 請求項7乃至請求項11のいずれか一に記載の表示装置を有する電子機器。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017109642A1 (ja) * | 2015-12-24 | 2017-06-29 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 金属酸化物膜、および半導体装置 |
WO2018163997A1 (ja) * | 2017-03-09 | 2018-09-13 | シャープ株式会社 | アクティブマトリクス基板およびその製造方法 |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI602249B (zh) | 2011-03-11 | 2017-10-11 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置的製造方法 |
KR20220145922A (ko) | 2012-12-25 | 2022-10-31 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
TWI614813B (zh) | 2013-01-21 | 2018-02-11 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置的製造方法 |
US10416504B2 (en) | 2013-05-21 | 2019-09-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid crystal display device |
KR102244553B1 (ko) | 2013-08-23 | 2021-04-23 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 용량 소자 및 반도체 장치 |
US9425217B2 (en) | 2013-09-23 | 2016-08-23 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
JP2015179247A (ja) | 2013-10-22 | 2015-10-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
US9455142B2 (en) * | 2014-02-06 | 2016-09-27 | Transtron Solutions Llc | Molecular precursor compounds for ABIGZO zinc-group 13 mixed oxide materials |
CN104867981B (zh) * | 2014-02-21 | 2020-04-21 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体膜、晶体管、半导体装置、显示装置以及电子设备 |
US10109707B2 (en) * | 2014-03-31 | 2018-10-23 | Flosfia Inc. | Crystalline multilayer oxide thin films structure in semiconductor device |
US9722091B2 (en) | 2014-09-12 | 2017-08-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing semiconductor device |
KR20170098839A (ko) | 2014-12-29 | 2017-08-30 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 반도체 장치를 가지는 표시 장치 |
CN106206743B (zh) * | 2015-05-04 | 2020-04-28 | 清华大学 | 薄膜晶体管及其制备方法、薄膜晶体管面板以及显示装置 |
JP2016219550A (ja) * | 2015-05-18 | 2016-12-22 | キヤノン株式会社 | 撮像装置、撮像システムおよび撮像装置の製造方法 |
JP6539123B2 (ja) * | 2015-06-18 | 2019-07-03 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置及びその製造方法ならびにカメラ |
US10501003B2 (en) | 2015-07-17 | 2019-12-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, lighting device, and vehicle |
US9852926B2 (en) | 2015-10-20 | 2017-12-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Manufacturing method for semiconductor device |
US10333004B2 (en) | 2016-03-18 | 2019-06-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, semiconductor wafer, module and electronic device |
CN105866704A (zh) * | 2016-05-27 | 2016-08-17 | 湖南福德电气有限公司 | 一款ups电源专用测试负载箱 |
CN106896598A (zh) * | 2017-02-27 | 2017-06-27 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种goa驱动面板 |
CN107146816B (zh) * | 2017-04-10 | 2020-05-15 | 华南理工大学 | 一种氧化物半导体薄膜及由其制备的薄膜晶体管 |
CN109698204B (zh) * | 2017-10-24 | 2021-09-07 | 元太科技工业股份有限公司 | 驱动基板及显示装置 |
TWI659254B (zh) * | 2017-10-24 | 2019-05-11 | 元太科技工業股份有限公司 | 驅動基板及顯示裝置 |
CN109449168B (zh) * | 2018-11-14 | 2021-05-18 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 导线结构及其制造方法、阵列基板和显示装置 |
CN111223459B (zh) * | 2018-11-27 | 2022-03-08 | 元太科技工业股份有限公司 | 移位寄存器以及栅极驱动电路 |
CN116864510A (zh) * | 2019-03-19 | 2023-10-10 | 群创光电股份有限公司 | 具有晶体管元件的工作模块 |
TWI818428B (zh) * | 2022-01-27 | 2023-10-11 | 友達光電股份有限公司 | 通訊裝置及其通訊元件與此通訊元件的製造方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007250983A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Canon Inc | 酸化物膜をチャネルに用いた電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
WO2009075161A1 (ja) * | 2007-12-12 | 2009-06-18 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | パターン化結晶質半導体薄膜、薄膜トランジスタの製造方法、及び電界効果型トランジスタ |
JP2009141002A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Canon Inc | 絶縁層を有する酸化物半導体素子およびそれを用いた表示装置 |
WO2009093625A1 (ja) * | 2008-01-23 | 2009-07-30 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | 電界効果型トランジスタ及びその製造方法、それを用いた表示装置、並びに半導体装置 |
JP2010171394A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-08-05 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 論理回路及び半導体装置 |
JP2011109084A (ja) * | 2009-10-21 | 2011-06-02 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
JP2011142309A (ja) * | 2009-12-08 | 2011-07-21 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置およびその作製方法 |
JP2012134475A (ja) * | 2010-12-03 | 2012-07-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 酸化物半導体膜および半導体装置 |
Family Cites Families (140)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60198861A (ja) | 1984-03-23 | 1985-10-08 | Fujitsu Ltd | 薄膜トランジスタ |
JPH0244256B2 (ja) | 1987-01-28 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn2o5deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPS63210023A (ja) | 1987-02-24 | 1988-08-31 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | InGaZn↓4O↓7で示される六方晶系の層状構造を有する化合物およびその製造法 |
JPH0244260B2 (ja) | 1987-02-24 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn5o8deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244258B2 (ja) | 1987-02-24 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn3o6deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244262B2 (ja) | 1987-02-27 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn6o9deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244263B2 (ja) | 1987-04-22 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn7o10deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH05251705A (ja) | 1992-03-04 | 1993-09-28 | Fuji Xerox Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
JP3479375B2 (ja) | 1995-03-27 | 2003-12-15 | 科学技術振興事業団 | 亜酸化銅等の金属酸化物半導体による薄膜トランジスタとpn接合を形成した金属酸化物半導体装置およびそれらの製造方法 |
DE69635107D1 (de) | 1995-08-03 | 2005-09-29 | Koninkl Philips Electronics Nv | Halbleiteranordnung mit einem transparenten schaltungselement |
JP3625598B2 (ja) | 1995-12-30 | 2005-03-02 | 三星電子株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
JP4170454B2 (ja) | 1998-07-24 | 2008-10-22 | Hoya株式会社 | 透明導電性酸化物薄膜を有する物品及びその製造方法 |
US6140198A (en) | 1998-11-06 | 2000-10-31 | United Microelectronics Corp. | Method of fabricating load resistor |
JP2000150861A (ja) | 1998-11-16 | 2000-05-30 | Tdk Corp | 酸化物薄膜 |
JP3276930B2 (ja) | 1998-11-17 | 2002-04-22 | 科学技術振興事業団 | トランジスタ及び半導体装置 |
TW460731B (en) | 1999-09-03 | 2001-10-21 | Ind Tech Res Inst | Electrode structure and production method of wide viewing angle LCD |
JP4089858B2 (ja) | 2000-09-01 | 2008-05-28 | 国立大学法人東北大学 | 半導体デバイス |
KR20020038482A (ko) | 2000-11-15 | 2002-05-23 | 모리시타 요이찌 | 박막 트랜지스터 어레이, 그 제조방법 및 그것을 이용한표시패널 |
JP3997731B2 (ja) | 2001-03-19 | 2007-10-24 | 富士ゼロックス株式会社 | 基材上に結晶性半導体薄膜を形成する方法 |
JP2002289859A (ja) | 2001-03-23 | 2002-10-04 | Minolta Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
JP4090716B2 (ja) | 2001-09-10 | 2008-05-28 | 雅司 川崎 | 薄膜トランジスタおよびマトリクス表示装置 |
JP3925839B2 (ja) | 2001-09-10 | 2007-06-06 | シャープ株式会社 | 半導体記憶装置およびその試験方法 |
JP4164562B2 (ja) | 2002-09-11 | 2008-10-15 | 独立行政法人科学技術振興機構 | ホモロガス薄膜を活性層として用いる透明薄膜電界効果型トランジスタ |
US7061014B2 (en) | 2001-11-05 | 2006-06-13 | Japan Science And Technology Agency | Natural-superlattice homologous single crystal thin film, method for preparation thereof, and device using said single crystal thin film |
JP4083486B2 (ja) | 2002-02-21 | 2008-04-30 | 独立行政法人科学技術振興機構 | LnCuO(S,Se,Te)単結晶薄膜の製造方法 |
US7049190B2 (en) | 2002-03-15 | 2006-05-23 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Method for forming ZnO film, method for forming ZnO semiconductor layer, method for fabricating semiconductor device, and semiconductor device |
JP3933591B2 (ja) | 2002-03-26 | 2007-06-20 | 淳二 城戸 | 有機エレクトロルミネッセント素子 |
US7339187B2 (en) | 2002-05-21 | 2008-03-04 | State Of Oregon Acting By And Through The Oregon State Board Of Higher Education On Behalf Of Oregon State University | Transistor structures |
JP2004022625A (ja) | 2002-06-13 | 2004-01-22 | Murata Mfg Co Ltd | 半導体デバイス及び該半導体デバイスの製造方法 |
US7105868B2 (en) | 2002-06-24 | 2006-09-12 | Cermet, Inc. | High-electron mobility transistor with zinc oxide |
US7067843B2 (en) | 2002-10-11 | 2006-06-27 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Transparent oxide semiconductor thin film transistors |
JP4166105B2 (ja) | 2003-03-06 | 2008-10-15 | シャープ株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2004273732A (ja) | 2003-03-07 | 2004-09-30 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板およびその製造方法 |
JP4108633B2 (ja) | 2003-06-20 | 2008-06-25 | シャープ株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法ならびに電子デバイス |
US7262463B2 (en) | 2003-07-25 | 2007-08-28 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Transistor including a deposited channel region having a doped portion |
EP1737044B1 (en) | 2004-03-12 | 2014-12-10 | Japan Science and Technology Agency | Amorphous oxide and thin film transistor |
US7145174B2 (en) | 2004-03-12 | 2006-12-05 | Hewlett-Packard Development Company, Lp. | Semiconductor device |
US7297977B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-11-20 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Semiconductor device |
US7282782B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-10-16 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Combined binary oxide semiconductor device |
US7211825B2 (en) | 2004-06-14 | 2007-05-01 | Yi-Chi Shih | Indium oxide-based thin film transistors and circuits |
US7199016B2 (en) * | 2004-08-13 | 2007-04-03 | Raytheon Company | Integrated circuit resistor |
JP2006100760A (ja) | 2004-09-02 | 2006-04-13 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
US7285501B2 (en) | 2004-09-17 | 2007-10-23 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of forming a solution processed device |
US7298084B2 (en) | 2004-11-02 | 2007-11-20 | 3M Innovative Properties Company | Methods and displays utilizing integrated zinc oxide row and column drivers in conjunction with organic light emitting diodes |
AU2005302964B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-11-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor employing an amorphous oxide |
US7453065B2 (en) | 2004-11-10 | 2008-11-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Sensor and image pickup device |
US7863611B2 (en) | 2004-11-10 | 2011-01-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Integrated circuits utilizing amorphous oxides |
US7829444B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-11-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor manufacturing method |
EP1810335B1 (en) | 2004-11-10 | 2020-05-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Light-emitting device |
US7791072B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Display |
CA2708335A1 (en) | 2004-11-10 | 2006-05-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Amorphous oxide and field effect transistor |
KR101139522B1 (ko) | 2004-12-04 | 2012-05-07 | 엘지디스플레이 주식회사 | 반투과형 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 |
US7579224B2 (en) | 2005-01-21 | 2009-08-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing a thin film semiconductor device |
TWI569441B (zh) | 2005-01-28 | 2017-02-01 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置,電子裝置,和半導體裝置的製造方法 |
TWI412138B (zh) | 2005-01-28 | 2013-10-11 | Semiconductor Energy Lab | 半導體裝置,電子裝置,和半導體裝置的製造方法 |
US7858451B2 (en) | 2005-02-03 | 2010-12-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electronic device, semiconductor device and manufacturing method thereof |
US7948171B2 (en) | 2005-02-18 | 2011-05-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device |
US20060197092A1 (en) | 2005-03-03 | 2006-09-07 | Randy Hoffman | System and method for forming conductive material on a substrate |
US8681077B2 (en) | 2005-03-18 | 2014-03-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, and display device, driving method and electronic apparatus thereof |
WO2006105077A2 (en) | 2005-03-28 | 2006-10-05 | Massachusetts Institute Of Technology | Low voltage thin film transistor with high-k dielectric material |
US7645478B2 (en) | 2005-03-31 | 2010-01-12 | 3M Innovative Properties Company | Methods of making displays |
US8300031B2 (en) | 2005-04-20 | 2012-10-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device comprising transistor having gate and drain connected through a current-voltage conversion element |
JP2006344849A (ja) | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
US7691666B2 (en) | 2005-06-16 | 2010-04-06 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7402506B2 (en) | 2005-06-16 | 2008-07-22 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7507618B2 (en) | 2005-06-27 | 2009-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Method for making electronic devices using metal oxide nanoparticles |
KR100711890B1 (ko) | 2005-07-28 | 2007-04-25 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 발광표시장치 및 그의 제조방법 |
JP2007059128A (ja) | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Canon Inc | 有機el表示装置およびその製造方法 |
JP5116225B2 (ja) | 2005-09-06 | 2013-01-09 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体デバイスの製造方法 |
JP4850457B2 (ja) | 2005-09-06 | 2012-01-11 | キヤノン株式会社 | 薄膜トランジスタ及び薄膜ダイオード |
JP2007073705A (ja) | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Canon Inc | 酸化物半導体チャネル薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP4280736B2 (ja) | 2005-09-06 | 2009-06-17 | キヤノン株式会社 | 半導体素子 |
JP5064747B2 (ja) | 2005-09-29 | 2012-10-31 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置、電気泳動表示装置、表示モジュール、電子機器、及び半導体装置の作製方法 |
JP5078246B2 (ja) | 2005-09-29 | 2012-11-21 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置、及び半導体装置の作製方法 |
EP1998375A3 (en) | 2005-09-29 | 2012-01-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co, Ltd. | Semiconductor device having oxide semiconductor layer and manufacturing method |
JP5037808B2 (ja) | 2005-10-20 | 2012-10-03 | キヤノン株式会社 | アモルファス酸化物を用いた電界効果型トランジスタ、及び該トランジスタを用いた表示装置 |
KR101112652B1 (ko) | 2005-11-15 | 2012-02-16 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 액티브 매트릭스 디스플레이 장치 및 텔레비전 수신기 |
TWI292281B (en) | 2005-12-29 | 2008-01-01 | Ind Tech Res Inst | Pixel structure of active organic light emitting diode and method of fabricating the same |
US7867636B2 (en) | 2006-01-11 | 2011-01-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transparent conductive film and method for manufacturing the same |
JP4977478B2 (ja) | 2006-01-21 | 2012-07-18 | 三星電子株式会社 | ZnOフィルム及びこれを用いたTFTの製造方法 |
US7576394B2 (en) | 2006-02-02 | 2009-08-18 | Kochi Industrial Promotion Center | Thin film transistor including low resistance conductive thin films and manufacturing method thereof |
US7977169B2 (en) | 2006-02-15 | 2011-07-12 | Kochi Industrial Promotion Center | Semiconductor device including active layer made of zinc oxide with controlled orientations and manufacturing method thereof |
KR20070101595A (ko) | 2006-04-11 | 2007-10-17 | 삼성전자주식회사 | ZnO TFT |
US20070252928A1 (en) | 2006-04-28 | 2007-11-01 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure, transmission type liquid crystal display, reflection type display and manufacturing method thereof |
JP2007310334A (ja) | 2006-05-19 | 2007-11-29 | Mikuni Denshi Kk | ハーフトーン露光法を用いた液晶表示装置の製造法 |
JP5028033B2 (ja) | 2006-06-13 | 2012-09-19 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4609797B2 (ja) | 2006-08-09 | 2011-01-12 | Nec液晶テクノロジー株式会社 | 薄膜デバイス及びその製造方法 |
JP4999400B2 (ja) | 2006-08-09 | 2012-08-15 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4332545B2 (ja) | 2006-09-15 | 2009-09-16 | キヤノン株式会社 | 電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
JP5164357B2 (ja) | 2006-09-27 | 2013-03-21 | キヤノン株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP4274219B2 (ja) | 2006-09-27 | 2009-06-03 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、有機エレクトロルミネッセンス装置、有機薄膜半導体装置 |
TWI834568B (zh) * | 2006-09-29 | 2024-03-01 | 日商半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置 |
US7622371B2 (en) | 2006-10-10 | 2009-11-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fused nanocrystal thin film semiconductor and method |
US7772021B2 (en) | 2006-11-29 | 2010-08-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Flat panel displays comprising a thin-film transistor having a semiconductive oxide in its channel and methods of fabricating the same for use in flat panel displays |
JP2008140684A (ja) | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Toppan Printing Co Ltd | カラーelディスプレイおよびその製造方法 |
KR101146574B1 (ko) | 2006-12-05 | 2012-05-16 | 캐논 가부시끼가이샤 | 산화물 반도체를 이용한 박막 트랜지스터의 제조방법 및 표시장치 |
KR101303578B1 (ko) | 2007-01-05 | 2013-09-09 | 삼성전자주식회사 | 박막 식각 방법 |
KR100787464B1 (ko) | 2007-01-08 | 2007-12-26 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막 트랜지스터, 및 그 제조방법 |
US8207063B2 (en) | 2007-01-26 | 2012-06-26 | Eastman Kodak Company | Process for atomic layer deposition |
KR100851215B1 (ko) | 2007-03-14 | 2008-08-07 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막 트랜지스터 및 이를 이용한 유기 전계 발광표시장치 |
US7795613B2 (en) | 2007-04-17 | 2010-09-14 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure with transistor |
KR101325053B1 (ko) | 2007-04-18 | 2013-11-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 기판 및 이의 제조 방법 |
KR20080094300A (ko) | 2007-04-19 | 2008-10-23 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법과 박막 트랜지스터를포함하는 평판 디스플레이 |
KR101334181B1 (ko) | 2007-04-20 | 2013-11-28 | 삼성전자주식회사 | 선택적으로 결정화된 채널층을 갖는 박막 트랜지스터 및 그제조 방법 |
CN101663762B (zh) | 2007-04-25 | 2011-09-21 | 佳能株式会社 | 氧氮化物半导体 |
KR101345376B1 (ko) | 2007-05-29 | 2013-12-24 | 삼성전자주식회사 | ZnO 계 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 |
JP2009071289A (ja) * | 2007-08-17 | 2009-04-02 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置およびその作製方法 |
KR101375831B1 (ko) | 2007-12-03 | 2014-04-02 | 삼성전자주식회사 | 산화물 반도체 박막 트랜지스터를 이용한 디스플레이 장치 |
US8202365B2 (en) | 2007-12-17 | 2012-06-19 | Fujifilm Corporation | Process for producing oriented inorganic crystalline film, and semiconductor device using the oriented inorganic crystalline film |
US9041202B2 (en) | 2008-05-16 | 2015-05-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method of the same |
JP5435326B2 (ja) * | 2008-09-02 | 2014-03-05 | 日立金属株式会社 | ダイカスト用被覆金型およびその製造方法 |
EP2327069A4 (en) | 2008-09-12 | 2013-03-20 | Semiconductor Energy Lab | DISPLAY DEVICE |
KR101829673B1 (ko) | 2008-09-12 | 2018-02-19 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시 장치 |
JP4623179B2 (ja) | 2008-09-18 | 2011-02-02 | ソニー株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
KR101408715B1 (ko) | 2008-09-19 | 2014-06-17 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시 장치 |
KR101507324B1 (ko) | 2008-09-19 | 2015-03-31 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시 장치 |
EP2172804B1 (en) | 2008-10-03 | 2016-05-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co, Ltd. | Display device |
KR101273972B1 (ko) | 2008-10-03 | 2013-06-12 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체장치 |
CN101719493B (zh) | 2008-10-08 | 2014-05-14 | 株式会社半导体能源研究所 | 显示装置 |
JP5451280B2 (ja) | 2008-10-09 | 2014-03-26 | キヤノン株式会社 | ウルツ鉱型結晶成長用基板およびその製造方法ならびに半導体装置 |
EP2184783B1 (en) | 2008-11-07 | 2012-10-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co, Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
US8232947B2 (en) * | 2008-11-14 | 2012-07-31 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid crystal display device |
JP5455753B2 (ja) | 2009-04-06 | 2014-03-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Icカード |
KR101900653B1 (ko) | 2009-07-10 | 2018-09-19 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
KR101746198B1 (ko) | 2009-09-04 | 2017-06-12 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시장치 및 전자기기 |
KR101460869B1 (ko) * | 2009-09-04 | 2014-11-11 | 가부시끼가이샤 도시바 | 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법 |
CN102576677B (zh) * | 2009-09-24 | 2015-07-22 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体元件及其制造方法 |
KR101082174B1 (ko) * | 2009-11-27 | 2011-11-09 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기전계발광 표시 장치 및 그의 제조 방법 |
JP5584103B2 (ja) | 2009-12-04 | 2014-09-03 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP5095864B2 (ja) | 2009-12-09 | 2012-12-12 | シャープ株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP5727204B2 (ja) | 2009-12-11 | 2015-06-03 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
WO2011089767A1 (ja) | 2010-01-21 | 2011-07-28 | シャープ株式会社 | 回路基板、表示装置及び回路基板の製造方法 |
WO2011093150A1 (en) | 2010-01-29 | 2011-08-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
KR20120112803A (ko) | 2010-01-29 | 2012-10-11 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 이를 이용한 전자 기기 |
KR101773992B1 (ko) | 2010-03-12 | 2017-09-01 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
US9537043B2 (en) | 2010-04-23 | 2017-01-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Photoelectric conversion device and manufacturing method thereof |
US8610180B2 (en) | 2010-06-11 | 2013-12-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Gas sensor and method for manufacturing the gas sensor |
US9230994B2 (en) | 2010-09-15 | 2016-01-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid crystal display device |
TWI573277B (zh) | 2011-05-05 | 2017-03-01 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置及其製造方法 |
KR20220145922A (ko) | 2012-12-25 | 2022-10-31 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
-
2013
- 2013-12-19 KR KR1020130159621A patent/KR102241249B1/ko active IP Right Grant
- 2013-12-20 US US14/137,484 patent/US10229934B2/en active Active
- 2013-12-20 JP JP2013263874A patent/JP6300513B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2013-12-25 CN CN201310724080.0A patent/CN103904065B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2019
- 2019-03-08 US US16/296,297 patent/US10629625B2/en active Active
-
2020
- 2020-04-08 US US16/842,946 patent/US10978492B2/en active Active
-
2021
- 2021-04-09 KR KR1020210046636A patent/KR102319769B1/ko active IP Right Grant
- 2021-10-25 KR KR1020210142479A patent/KR102388140B1/ko active IP Right Grant
-
2022
- 2022-04-13 KR KR1020220045485A patent/KR102465068B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007250983A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Canon Inc | 酸化物膜をチャネルに用いた電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
JP2009141002A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Canon Inc | 絶縁層を有する酸化物半導体素子およびそれを用いた表示装置 |
WO2009075161A1 (ja) * | 2007-12-12 | 2009-06-18 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | パターン化結晶質半導体薄膜、薄膜トランジスタの製造方法、及び電界効果型トランジスタ |
WO2009093625A1 (ja) * | 2008-01-23 | 2009-07-30 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | 電界効果型トランジスタ及びその製造方法、それを用いた表示装置、並びに半導体装置 |
JP2010171394A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-08-05 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 論理回路及び半導体装置 |
JP2011109084A (ja) * | 2009-10-21 | 2011-06-02 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
JP2011142309A (ja) * | 2009-12-08 | 2011-07-21 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置およびその作製方法 |
JP2012134475A (ja) * | 2010-12-03 | 2012-07-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 酸化物半導体膜および半導体装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017109642A1 (ja) * | 2015-12-24 | 2017-06-29 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 金属酸化物膜、および半導体装置 |
WO2018163997A1 (ja) * | 2017-03-09 | 2018-09-13 | シャープ株式会社 | アクティブマトリクス基板およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20220050120A (ko) | 2022-04-22 |
KR20140082934A (ko) | 2014-07-03 |
KR20210132630A (ko) | 2021-11-04 |
US10229934B2 (en) | 2019-03-12 |
US20200235136A1 (en) | 2020-07-23 |
KR102319769B1 (ko) | 2021-10-29 |
CN103904065A (zh) | 2014-07-02 |
KR102388140B1 (ko) | 2022-04-18 |
JP6300513B2 (ja) | 2018-03-28 |
KR20210042299A (ko) | 2021-04-19 |
US20140175436A1 (en) | 2014-06-26 |
US20190273100A1 (en) | 2019-09-05 |
KR102241249B1 (ko) | 2021-04-15 |
KR102465068B1 (ko) | 2022-11-09 |
US10978492B2 (en) | 2021-04-13 |
CN103904065B (zh) | 2019-01-22 |
US10629625B2 (en) | 2020-04-21 |
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---|---|---|
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