JP2014142299A - ガス濃度測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スーパールミネッセントダイオード光を発生するスーパールミネッセントダイオード7と、スーパールミネッセントダイオード7を駆動させる駆動部4aと、ガスを導入し且つスーパールミネッセントダイオード光を入射するサンプルセル2、サンプルセル2の出力側に設けられ、スーパールミネッセントダイオード光を分光するグレーティグ8と、るグレーティグ8で分光されたスーパールミネッセントダイオード光を受光するフォトダイオードアレイ9と、フォトダイオードアレイ9の受光出力に基づきガスの濃度を演算する演算処理部5とを備える。
【選択図】図1
Description
log(T)=−εcl
で求められる。Tは透過率、εは吸収係数、cはガスの濃度、lは光路長である。εとlとが既知であれば、ガスの濃度を求めることができる。また、SLD7を用いることで、複数のガス濃度を測定することができる。
log(T)=−εcl
で求められる。Tは透過率、εは吸収係数、cはガスの濃度、lは光路長である。εとlとが既知であれば、ガスの濃度を求めることができる。また、SLD7を用いることで、ガス濃度を測定することができる。
2 サンプルセル
3 フォトダイオード
4 レーザ駆動部
4a SLD駆動部
5 演算処理部
6 レーザ光
7 SLD
8 グレーティング
9 フォトダイオードアレイ
12 固定鏡
13 移動鏡
14 干渉計
16 SLD光
17 煙道
Claims (5)
- スーパールミネッセントダイオード光を発生するスーパールミネッセントダイオードと、
前記スーパールミネッセントダイオードを駆動させる駆動部と、
ガスを導入し且つ前記スーパールミネッセントダイオード光を入射するガス導入部と、
前記ガス導入部の入力側又は出力側に設けられ、前記スーパールミネッセントダイオード光を分光する分光部と、
前記分光部で分光された前記スーパールミネッセントダイオード光を受光する受光素子と、
前記受光素子の受光出力に基づき前記ガスの濃度を演算する演算処理部と、
を備えることを特徴とするガス濃度測定装置。 - 前記分光部は、前記ガス導入部からの前記スーパールミネッセントダイオード光を分光する回折格子からなることを特徴とする請求項1記載のガス濃度測定装置。
- 前記分光部は、前記スーパールミネッセントダイオードからの前記スーパールミネッセントダイオード光を分光する干渉計からなることを特徴とする請求項1記載のガス濃度測定装置。
- 前記干渉計は、前記スーパールミネッセントダイオードからの前記スーパールミネッセントダイオード光を分光するビームスプリッタと、
前記ビームスプリッタからの前記スーパールミネッセントダイオード光を反射して前記ビームスプリッタを介して前記ガス導入部に導く固定鏡と、
前記ビームスプリッタからの前記スーパールミネッセントダイオード光を反射して前記ビームスプリッタを介して前記ガス導入部に導く移動鏡と、
を備えることを特徴とする請求項3記載のガス濃度測定装置。 - 前記ガス導入部は、前記ガスを封入し且つ前記スーパールミネッセントダイオード光を入射するサンプルセルであることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載のガス濃度測定装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2582234C1 (ru) * | 2015-02-10 | 2016-04-20 | Федеральное Государственное Бюджетное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Донской Государственный Технический Университет" (Дгту) | Оптико-электронный способ измерения концентрации газов |
JP2016156752A (ja) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | 国立大学法人名古屋大学 | 炭素同位体分析装置および炭素同位体分析方法 |
JP2016156706A (ja) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | 国立大学法人名古屋大学 | 炭素同位体分析装置および炭素同位体分析方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10142147A (ja) * | 1996-11-08 | 1998-05-29 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 窒素酸化物濃度測定装置 |
JP2002257722A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-09-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 全反射減衰を利用したセンサー |
JP2004184409A (ja) * | 2002-11-20 | 2004-07-02 | Seiko Epson Corp | 半導体装置の製造装置及びガス濃度分析方法 |
JP2005121463A (ja) * | 2003-10-16 | 2005-05-12 | Anritsu Corp | ガスセンサ |
JP2006266771A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Anritsu Corp | ガスセンサ |
JP2009229415A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Osaka Gas Co Ltd | ガス検知器 |
-
2013
- 2013-01-25 JP JP2013011689A patent/JP2014142299A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10142147A (ja) * | 1996-11-08 | 1998-05-29 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 窒素酸化物濃度測定装置 |
JP2002257722A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-09-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 全反射減衰を利用したセンサー |
JP2004184409A (ja) * | 2002-11-20 | 2004-07-02 | Seiko Epson Corp | 半導体装置の製造装置及びガス濃度分析方法 |
JP2005121463A (ja) * | 2003-10-16 | 2005-05-12 | Anritsu Corp | ガスセンサ |
JP2006266771A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Anritsu Corp | ガスセンサ |
JP2009229415A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Osaka Gas Co Ltd | ガス検知器 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2582234C1 (ru) * | 2015-02-10 | 2016-04-20 | Федеральное Государственное Бюджетное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Донской Государственный Технический Университет" (Дгту) | Оптико-электронный способ измерения концентрации газов |
JP2016156752A (ja) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | 国立大学法人名古屋大学 | 炭素同位体分析装置および炭素同位体分析方法 |
JP2016156706A (ja) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | 国立大学法人名古屋大学 | 炭素同位体分析装置および炭素同位体分析方法 |
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