JP2014141612A - 分離装置及び分離方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】冷却又は加熱によって接着力が低下する接着剤ADを介して被着体と接着体とが接着された一体物WKから、当該接着体BS又は被着体WFを分離する分離装置において、冷却又は加熱によって前記接着剤の接着力が低下された状態の前記一体物における前記接着体及び前記被着体それぞれを保持する保持手段20と、前記接着体と前記被着体とを相対移動させて分離する移動手段30と、前記一体物から前記接着体又は被着体が分離する直前の領域である分離直前領域PEに対し、冷却によって接着力が低下する接着剤に対しては加熱を、加熱によって接着力が低下する接着剤に対しては冷却を行う剥離前処理手段40と、を有する分離装置。
【選択図】図1
Description
冷却又は加熱によって接着力が低下する接着剤を介して被着体と接着体とが接着された一体物から、当該接着体又は被着体を分離する分離装置において、
冷却又は加熱によって前記接着剤の接着力が低下された状態の前記一体物における前記接着体及び前記被着体それぞれを保持する保持手段と、
前記接着体と前記被着体とを相対移動させて分離する移動手段と、
前記一体物から前記接着体又は被着体が分離する分離縁の直前の領域である分離直前領域に対し、冷却によって接着力が低下する接着剤に対しては加熱を、加熱によって接着力が低下する接着剤に対しては冷却を行う剥離前処理手段と、を有することを特徴とする。
冷却又は加熱によって接着力が低下する接着剤を介して被着体と接着体とが接着された一体物から、当該接着体又は被着体を分離する分離方法であって、
冷却又は加熱によって前記接着剤の接着力が低下された状態の前記一体物における前記接着体及び前記被着体それぞれを保持する工程と、
前記接着体と前記被着体とを相対移動させて分離する工程と、
前記一体物から前記接着体又は被着体が分離する分離縁の直前の領域である分離直前領域に対し、冷却によって接着力が低下する接着剤に対しては加熱を、加熱によって接着力が低下する接着剤に対しては冷却を行う工程と、を有することを特徴とする。
また、剥離前処理手段が気体吹き付け手段を有する場合、被着体又は接着体に対して過度な押圧力等を与えることを回避しつつ、振動分離現象の発生を防止でき、また押圧手段と併せて用いる場合にも、分離直前領域を適切に冷却又は加熱することができる。
なお、本明細書におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸及びY軸は、水平面内の軸とし、Z軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の紙面に直交する手前方向、「後」がその逆方向とする。
接着体保持手段21は、剥離用シートPTを支持する支持軸23と、駆動機器としての回動モータ24によって駆動される駆動ローラ25との間に剥離用シートPTを挟み込むピンチローラ26と、駆動機器としての直動モータ27の出力軸27Aに支持された押圧部材28と、駆動機器としてのリニアモータ29Aの各スライダ29Bそれぞれに支持され、剥離用シートPTを切断可能なカッター刃やレーザカッタ等の切断手段29Cとで構成されている。
被着体保持手段22は、上面が載置面22Aとされ、当該載置面22Aに形成された図示しない吸引孔に減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段が接続されている。
まず、剥離用シートPTを支持軸23に支持させ、当該剥離用シートPTの先端部を駆動ローラ25とピンチローラ26との間に挟み込んでおく。次いで、図示しない操作パネル等を介して運転開始の信号が入力されると、接着体保持手段21が回動モータ24を駆動し、図1中実線で示すように、剥離用シートPTが所定長さ垂れ下がるように当該剥離用シートPTを繰り出す。そして、図示しない搬送手段が駆動し、ウエハWF側が載置面22Aに接触するように、冷却によって接着剤ADの接着力が低下された状態の一体物WKを図1中実線で示す位置で待機している被着体保持手段22上に載置すると、当該被着体保持手段22が図示しない減圧手段を駆動し、一体物WKを吸着保持する。
例えば、加熱によって接着力が低下する接着剤ADを介してウエハWFと基材シートBSとが接着された一体物WKから、基材シートBSを分離する分離装置であってもよく、保持手段20が加熱によって接着剤ADの接着力が低下された状態の一体物WKにおける基材シートBS及びウエハWFそれぞれを保持し、移動手段30が基材シートBSとウエハWFとを相対移動させて分離するときに、剥離前処理手段40が分離直前領域PEに対して冷却を行う構成としてもよい。この場合、上記実施形態の剥離前処理手段40の加熱手段41に代えて、ペルチェ素子や熱交換器等の冷却手段を設ければよい。
20…保持手段
30…移動手段
40…剥離前処理手段
50…接着力低下手段
AD…接着剤
WF…ウエハ(被着体)
BS…基材シートBS(接着体)
WK…一体物
DP…分離縁
PE…分離直前領域
Claims (3)
- 冷却又は加熱によって接着力が低下する接着剤を介して被着体と接着体とが接着された一体物から、当該接着体又は被着体を分離する分離装置において、
冷却又は加熱によって前記接着剤の接着力が低下された状態の前記一体物における前記接着体及び前記被着体それぞれを保持する保持手段と、
前記接着体と前記被着体とを相対移動させて分離する移動手段と、
前記一体物から前記接着体又は被着体が分離する分離縁の直前の領域である分離直前領域に対し、冷却によって接着力が低下する接着剤に対しては加熱を、加熱によって接着力が低下する接着剤に対しては冷却を行う剥離前処理手段と、を有することを特徴とする分離装置。 - 冷却又は加熱によって前記接着剤の接着力を低下させる接着力低下手段を有することを特徴とする請求項1に記載の分離装置。
- 冷却又は加熱によって接着力が低下する接着剤を介して被着体と接着体とが接着された一体物から、当該接着体又は被着体を分離する分離方法であって、
冷却又は加熱によって前記接着剤の接着力が低下された状態の前記一体物における前記接着体及び前記被着体それぞれを保持する工程と、
前記接着体と前記被着体とを相対移動させて分離する工程と、
前記一体物から前記接着体又は被着体が分離する分離縁の直前の領域である分離直前領域に対し、冷却によって接着力が低下する接着剤に対しては加熱を、加熱によって接着力が低下する接着剤に対しては冷却を行う工程と、を有することを特徴とする分離方法。
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