JP2014135371A - 面発光レーザ、面発光レーザアレイ及び光走査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 各発光部は、基板101、下部半導体DBR103、下部スペーサ層104、活性層105、上部スペーサ層106、上部半導体DBR107、コンタクト層109、誘電体層110、層間絶縁膜111、p側電極113、n側電極114、及び断線防止部材115などを有している。断線防止部材115は、メサ底部に設けられ、メサ側壁からメサ底面に移行する領域を滑らかにする。この場合は、配線部材のカバレージの不足、及びメサ内部での結晶欠陥の誘発を抑制することができる。そこで、断線や寿命低下を抑制することができる。
【選択図】図8
Description
Claims (10)
- 基板上に下部反射鏡、活性層を含む共振器構造体、及び上部反射鏡が積層されているメサ構造の発光部を有する面発光レーザにおいて、
前記メサ構造における側壁の一部に接し、該側壁から底面に移行する領域を滑らかにする断線防止部材が設けられていることを特徴とする面発光レーザ。 - 前記断線防止部材は、前記側壁からの距離が大きくなるにつれて高さが低くなることを特徴とする請求項1に記載の面発光レーザ。
- 前記断線防止部材は、表面が曲面であることを特徴とする請求項2に記載の面発光レーザ。
- 前記断線防止部材の前記メサ構造の底面からの高さは、前記メサ構造の高さの1/2倍以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の面発光レーザ。
- 前記断線防止部材の前記メサ構造の底面からの高さは、前記共振器構造体の高さ以下であることを特徴とする請求項4に記載の面発光レーザ。
- 前記断線防止部材の材料は、SOG(Spin On Glass)又は有機樹脂であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の面発光レーザ。
- 前記有機樹脂はポリイミドであることを特徴とする請求項6に記載の面発光レーザ。
- 前記ポリイミドはPBO(ポリペンゾオキサゾール)であることを特徴とする請求項7に記載の面発光レーザ。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載の面発光レーザが集積された面発光レーザアレイ。
- 光によって被走査面を走査する光走査装置であって、
請求項1〜8のいずれか一項に記載の面発光レーザ、又は請求項9に記載の面発光レーザアレイを有する光源と、
前記光源からの光を偏向する光偏向器と、
前記光偏向器で偏向された光を前記被走査面上に集光する走査光学系とを備える光走査装置。
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