JP2014092524A - 半導体ガスセンサ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る半導体ガスセンサ素子1は、金属酸化物半導体を含有する感ガス体4と、この感ガス体4に埋め込まれている電極2,3とを備える。前記電極2,3が白金又は白金合金から形成され、且つその表面上に金被膜が形成されている。
【選択図】図1
Description
線径20μmの白金線から、ヒータ兼用電極及び芯線状電極を形成した。ヒータ兼用電極はコイル状に形成し、その長さは0.5mm、直径は0.3mm、ターン数は7とした。
線径20μmの白金線から、ヒータ兼用電極及び芯線状電極を形成した。ヒータ兼用電極はコイル状に形成し、その長さは0.5mm、直径は0.3mm、ターン数は7とした。
実施例2において、焼結体の表面に、塩化ルテニウム水溶液を付着させる際、金属Ru換算濃度0.2質量%の塩化ルテニウム水溶液を用いた。それ以外は実施例2と同じ方法により、感ガス体、ヒータ兼用電極、及び芯線状電極を備える半導体ガスセンサ素子を得た。尚、同じ構造の半導体ガスセンサ素子を、合計5個作製した。
実施例1において、ヒータ兼用電極及び芯線状電極の各々の表面上に、金被覆を形成しなかった。それ以外は実施例1の場合と同じ方法で、感ガス体、ヒータ兼用電極、及び芯線状電極を備える半導体ガスセンサ素子を得た。尚、同じ構造の半導体ガスセンサ素子を、合計5個作製した。
実施例2において、ヒータ兼用電極及び芯線状電極の各々の表面上に、金被覆を形成しなかった。それ以外は実施例2の場合と同じ方法で、感ガス体、ヒータ兼用電極、及び芯線状電極を備える半導体ガスセンサ素子を得た。尚、同じ構造の半導体ガスセンサ素子を、合計5個作製した。
実施例3において、ヒータ兼用電極及び芯線状電極の各々の表面上に、金被覆を形成しなかった。それ以外は実施例3の場合と同じ方法で、感ガス体、ヒータ兼用電極、及び芯線状電極を備える半導体ガスセンサ素子を得た。尚、同じ構造の半導体ガスセンサ素子を、合計5個作製した。
実施例1及び比較例1の各々について、半導体ガスセンサ素子のヒータ兼用電極の両端間に電圧を印加すると共に、半導体ガスセンサ素子の感ガス体を大気中に曝露した。この状態で、ヒータ兼用電極と芯線状電極との間の電気抵抗値(Rair)を測定した。
実施例1及び比較例1の各々について、半導体ガスセンサ素子のヒータ兼用電極の両端間に0.9Vの電圧を印加すると共に、半導体ガスセンサ素子の感ガス体を大気中に曝露した。この状態で、ヒータ兼用電極と芯線状電極との間の電気抵抗値(Rair)を測定した。
実施例2及び比較例2の各々について、半導体ガスセンサ素子のヒータ兼用電極の両端間に0.9Vの電圧を印加すると共に、半導体ガスセンサ素子の感ガス体を大気中に曝露した。この状態で、ヒータ兼用電極と芯線状電極との間の電気抵抗値(Rair)を測定した。
実施例2及び比較例2の各々について、半導体ガスセンサ素子のヒータ兼用電極の両端間に0.8Vの電圧を印加すると共に、半導体ガスセンサ素子の感ガス体を大気中に曝露した。この大気の温湿度条件を、−10℃、5℃40%RH、20℃60%RH、及び40℃90%RHに設定し、各場合において、ヒータ兼用電極と芯線状電極との間の電気抵抗値(Rs)を測定した。
実施例3及び比較例3の各々について、半導体ガスセンサ素子のヒータ兼用電極の両端間に0.5Vの電圧と0.9Vの電圧とを、1秒間ずつ交互に印加しながら、この半導体ガスセンサ素子の感ガス体を、検出対象のガスを含有する雰囲気中に曝露し、ヒータ兼用電極と芯線状電極との間の電気抵抗値(Rs)を測定した。検出対象のガスとして、一酸化炭素、メタンチオール、アンモニア、二酸化窒素、n−バレルアルデヒド(図11〜14では「n−バレル」と表記している)、及びデカンを用い、ガスの濃度を変動させた場合の、印加電圧が0.5Vの場合と0.9Vの場合の各々において、電気抵抗値(Rs)を測定した。尚、電気抵抗値(Rs)は、電圧を切り替える直前に測定した。
2 電極(ヒータ兼用電極)
3 電極(芯線状電極)
4 感ガス体
Claims (1)
- 金属酸化物半導体を含有する感ガス体と、この感ガス体に埋め込まれている電極とを備え、前記電極が白金又は白金合金から形成され、且つ前記電極の表面上に金被膜が形成されていることを特徴とする半導体ガスセンサ素子。
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