JP2014091193A - 研削ホイール - Google Patents
研削ホイール Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014091193A JP2014091193A JP2012242658A JP2012242658A JP2014091193A JP 2014091193 A JP2014091193 A JP 2014091193A JP 2012242658 A JP2012242658 A JP 2012242658A JP 2012242658 A JP2012242658 A JP 2012242658A JP 2014091193 A JP2014091193 A JP 2014091193A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wheel
- grinding
- grinding wheel
- base
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
【課題】サファイアやSiC等の基板の研削装置に用いられ、基板を精度良く、高速に研削する低廉な研削ホイールを提供する。
【解決手段】
回転駆動されるホイールマウント8を備えた研削装置1の該ホイールマウント8に着脱自在に装着される研削ホイール10において、前記ホイールマウント8に装着される円形のホイールベース11と、前記ホイールベース11の一方面に設けられ、前記ホイールベース11の外周近傍に所定の間隔を開けて環状に配置された複数の研削砥石12とを備え、前記ホイールベース11が樹脂製部材で形成する。さらに、前記研削砥石12を、円柱状に形成し、その平面部分の一方を前記ホイールベース11に固定する。
【選択図】図2
【解決手段】
回転駆動されるホイールマウント8を備えた研削装置1の該ホイールマウント8に着脱自在に装着される研削ホイール10において、前記ホイールマウント8に装着される円形のホイールベース11と、前記ホイールベース11の一方面に設けられ、前記ホイールベース11の外周近傍に所定の間隔を開けて環状に配置された複数の研削砥石12とを備え、前記ホイールベース11が樹脂製部材で形成する。さらに、前記研削砥石12を、円柱状に形成し、その平面部分の一方を前記ホイールベース11に固定する。
【選択図】図2
Description
本発明は、サファイア、SiC、GaNなどの基板を研削する研削ホイールに関する。さらに詳しくは、基板研削装置に着脱自在に装着されるとともに、その一方面にダイヤモンド等で形成された研削砥石を備えた研削ホイールに関する。
従来から、ワイヤソーや内周刃などの切断手段でウエハ状に切り出されたサファイアやSiC、GaNなどの基板は、複数の研削及び研磨工程を経て、表面に回路が形成され、裏面研磨で薄厚化された後、ダイシング工程を経てチップ化されている。
例えば、前記研削工程においては、環状のホイールベースの一方面に研削砥石が間隔を開けて複数個環状に配置された研削ホイールが用いられている。前記研削砥石は、ダイヤモンド等の砥粒にレジンボンド、ビトリファイドボンド、メタルボンド等を混練して焼結することで形成されている。また、前記研削砥石は略楕円形状で長細く形成されている(例えば特許文献1)。
また、前記研削ホイールは、アルミニウム合金などの金属部材で形成されており、該研削ホイールは、研削装置の回転自在なスピンドルの先端に脱着可能になっている。また、該研削ホイールの研削面と対向するように設けられた保持テーブル上に研削する基板を保持し、該研削ホイールと保持テーブルを互いに同一または逆方向に回転させながら、該研削ホイールの内側から水等の加工液を供給することで、基板が研削される(例えば特許文献2)。
ところで、上記特許文献2においては、前述のように研削ホイールのホイールベースがアルミニウム合金で形成されている。この研削ホイールは、基板を研削すると研削砥石が摩耗していくので、所定枚数の基板を研削するごとに該研削ホイールをホイールベースと一体に研削装置から取り外し、新しい研削ホイールに交換される。
しかし、上記研削装置から取り外された研削ホイールは、研削砥石のみが再生されるのではなく、ホイールベース自体も金属部材として回収され、ホイールベースと研削砥石は、新たに一から作製されている。
このため、研削ホイールのホイールベースは、アルミニウム合金等の金属部材で毎回新規に作製されていることもあり、コストが高くつく問題がある。
また、上記特許文献1のように通常の平面研削における研削ホイールは、前述のように略楕円形状の研削砥石が複数個環状に配置されて構成されており、一つの研削砥石は長細く形成されている。従って、研削時に研削ホイールの内部から供給される加工液が、前記長細い研削砥石の壁面に遮られ、研削砥石の加工面内部にまで行き渡り難くなる問題がある。
上記のように加工液が研削砥石の加工面に行き渡り難くなると、研削砥石を形成している砥石が加工熱によって脱落したり、摩耗が早まったりする問題や基板自体に傷が付いたりする問題があった。また、加工熱により基板が反ったり、厚みがばらついたりするなど加工精度が悪くなる問題もあった。
そこで請求項1の発明は、回転駆動されるホイールマウントを備えた研削装置の該ホイールマウントに着脱自在に装着される研削ホイールにおいて、前記ホイールマウントに装着される円形のホイールベースと、前記ホイールベースの一方面に設けられ、前記ホイールベースの外周近傍に所定の間隔を開けて環状に配置された複数の研削砥石とを備え、 前記ホイールベースが樹脂製部材で形成されている構成を採用した研削ホイールである。
前記研削砥石は、円柱状に形成され、その平面部分の一方が前記ホイールベースに固定されている構成を採用した請求項1に記載の研削ホイールである。
前記研削砥石は、少なくとも2つを1セットとして曲面部が互いに当接して形成されるとともに前記ホイールベースの外周に沿って環状に固定されている構成を採用した請求項2に記載の研削ホイールである。
本発明は、研削ホイールのホイールベースを樹脂で形成しているので、成形も容易で、使用する樹脂も塩化ビニール等を用いれば製造コストを低減できる。また、炭素繊維含有樹脂(CFRP)を用いれば研削時に強度や剛性が必要な基板を研削する際にも強度や剛性を保って研削できる。
また、本発明は、研削砥石を円柱状に形成し、所定の間隔を開けて環状に配置されているので、円柱の曲面に沿って加工液が外側に向かって円滑に流れ、研削砥石の加工部の内部にまで加工液が行き渡るようになる。従って、研削する基板の加工熱が効率よく除去されるので加工効率が向上して高速に研削することが可能となるとともに加工精度も向上する。
また、本発明は、研削砥石を少なくとも2つを1セットとして曲面部が互いに当接した状態で環状にホイールベースに固定するようにすれば、前記互いに当接した研削砥石の個々の当接部にも円柱の外周曲面に沿って加工部の内部まで加工液が供給されるので、加工効率と加工精度が向上する。
以下、本発明の研削ホイールの第1の実施形態について図1乃至図6に基づいて説明する。
図1は、本発明の研削ホイール10が装着される研削装置1の一実施形態を表す全体概略側面図である。前記研削装置1は、水平に設けられた機台3と、前記機台3上の後方に立設されたコラム4と、前記機台3上に設けられ、その上面で基板Wを保持する保持テーブル24と、前記コラム4の前方に上下動可能に設けられた研削ユニット2とから構成される。
前記機台3の上面には、図示左右方向に沿ってレール20が敷設されている。前記レール20上にはその上面に基板Wを吸着保持する保持テーブル24が設けられている。前記保持テーブル24は、下方にスピンドル23が接続され、その保持テーブル24のテーブル面が図示しない適宜な駆動源によって回転可能になっている。
また、前記保持テーブル24は前記スピンドル23を介して支持台21上に設けられており、この支持台21は、スライドガイド22を介してレール20に摺動可能に嵌合している。前記支持台21は、図示二点鎖線位置の基板供給・排出位置aから実線位置の基板研削位置bへと図示しない適宜な駆動源によって水平動自在になっている。
前記基板供給・排出位置aには図示しない適宜の基板供給・排出ユニットが設けられ、基板の1枚ずつの供給と、研削された基板の排出が行われるようになっている。
前記コラム4は、その前面の上下方向に沿ってレール5が敷設されており、前記レール5にスライドガイド6を介して研削ユニット2が図示しない適宜の駆動源によって昇降動自在に設けられている。
前記研削ユニット2は、内部にスピンドル7が設けられており、このスピンドル7の下端にホイールマウント8が図示しない適宜なモーターによって回転可能に固定されている。また、前記スピンドル7の中心を貫通して加工液パイプ30が設けられ、該加工液パイプ30は、前記ホイールマウント8に連通し、一端が該ホイールマウント8内で環状に広がるように開口している。前記加工液パイプ30は、後述する研削ホイール10に冷却水等の加工液31を供給するようになっている。なお、前記加工液パイプ30の他端側には適宜のポンプが接続され、加工液31を送出するようになっている。
前記ホイールマウント8は、上下方向に垂直に図示しないネジ穴が複数穿設され、これらネジ穴にボルトを挿通して研削ホイール10のネジ穴に螺合させることで、この研削ホイール10がホイールマウント8に装着固定される。
次に、本発明の研削ホイール10の第1実施形態について、図2及び図3に基づいて説明する。
図2のように前記研削ホイール10は、円形状のホイールベース11の下面側(図示表面側)外周部に複数の研削砥石12が環状に配置されて構成されている。前記ホイールベース11は、例えば塩化ビニールのような樹脂を成型して形成されている。なお、このホイールベース11に用いられる樹脂は、各種の物が使用でき、例えばポリエチレン、炭素繊維含有樹脂(CFRP)などが好ましく用いられる。
前記ホイールベース11は、図3のように断面が略凹状に形成され、内周部が窪んだ状態で形成されている。また、前記ホイールベース11は、中央に開口部13が形成され、ホイールマウント8に装着した際に該ホイールマウント8の開口と合わさって、研削ホイール10内に加工液31が供給されるようになっている。
また、前記ホイールベース11の外周の凸部には、該ホイールベース11の外周に沿って環状に等間隔で楕円溝14が形成されている。前記楕円溝14は、前記研削砥石12をホイールベース11に接着する際の接着代となるもので、接着強度や研削砥石12の形状に応じて適宜深さや形状を変更することができる。
また、前記ホイールベース11の凹部には、3か所の固定穴が設けられ、これら固定穴に支持ピン16が立設されている。前記支持ピン16の他端側には前記開口部13を遮蔽するように遮蔽板15が設けられる。
前記遮蔽板15は、ホイールベース11の凹部の外径よりもやや小さい円形に形成され、前記加工液パイプ30からホイールマウント8の開口を経由して供給される加工液31が直接基板面に供給されないように、一旦加工液31を受けて外周方向の研削砥石12の方向に広げるようになっている。
前記研削砥石12は、ダイヤモンド、シリコンカーバイド、ボロンなどの砥粒にビトリファイドボンド(セラミック質ボンド)、メタルボンド(金属系ボンド)、レジンボンド(樹脂系ボンド)などの接着剤を混練したものを焼結して形成されている。また、本発明においては、前記研削砥石12は円柱状(直径5〜15mm程度)に形成されている。なお、前記研削砥石12の直径は上記に限定されるものではなく、研削する基板Wの材質や、研削砥石12の材質、接着剤、砥粒の粒径や集中度に応じて適宜選択すれば良い。
前記研削砥石12は、その平面の一方が前記楕円溝14に接着され、隣接して3個の研削砥石12がその円柱面にそれぞれ当接するように接着される。従って、1つの楕円溝14内には3個の研削砥石12が1セットとなって接着され、前記研削ホイール10の外周に沿って環状に等間隔で配置される。
上記のように形成された研削ホイール10は、研削装置1のホイールマウント8に図示しないボルトを螺合させることで装着される。
次に本発明の研削ホイール10を装着した研削装置1での基板Wの研削について、図1、図4及び図5に基づいて説明する。
図1のように二点鎖線の供給・排出位置aに位置した保持テーブル24上に図示しない適宜な搬送機構によって基板Wが搬送され、該基板Wが保持テーブル24上に吸着保持される。前記基板Wが保持された保持テーブル24は、研削ユニット2の下方の研削位置b(実線位置)に移動される。
前記保持テーブル24が研削位置bに位置すると、該保持テーブル24が回転するとともに、研削ホイール10を保持テーブル24と同一方向または逆方向に回転させながら研削ユニット24を下降させ、研削砥石12を保持テーブル24上の基板Wに当接させる。なお、前記保持テーブル24は、必要に応じて適宜前後動しながら基板Wが研削される。また、前記研削ホイール10と保持テーブル24の回転方向は、基板Wの材質、使用する研削砥石12の砥粒、接着剤等に応じて適宜選択できる。
図4は、上記基板Wの研削の様子を表す一部切欠き動作説明図である。図4のように基板Wの研削中は、加工液パイプ30を通じて冷却水などの加工液31が研削ホイール10の内部に供給される。前記加工液31は、前記加工液パイプ30から図示しないポンプを通じてスピンドル7の内部に供給され、スピンドル7の下端部でホイールマウント8の開口部に供給される。前記ホイールマウント8に供給された加工液31は、研削ホイール10の開口部13から噴出し、遮蔽板15上に供給される。
前記研削ホイール10は回転しているので、その遠心力により、前記加工液31は、遮蔽板15上を放射状に広がり、該遮蔽板15とホイールベース11の隙間から噴出する。
図5は、前記遮蔽板15とホイールベース11の隙間から噴出した加工液31が研削砥石の方に流れていく様子を説明する動作説明図である。
前記加工液31は、研削砥石12に向かって流れ、一部は研削砥石12間の隙間から研削ホイール10の外側へ流れていく。そして、残りの加工液31は、3本セットとなった研削砥石12の円柱面に沿って流れ、研削砥石12同士の当接部に向けて流れていく。ここで、前記当接部は、研削砥石12同士が線接触しているだけであるので、研削部の略中心まで加工液31が流れて供給されることになる。なお、必要に応じて研削砥石12を当接させずにわずかな隙間を設けても良い。
このように研削部の略中心まで加工液31が供給されるので、研削砥石12の加工熱が抑えられて研削砥石12の寿命が向上するとともに、研削負荷が低減されるので、加工精度の向上と研削速度の向上が図れる。なお、本実施形態においては、3本の研削砥石12を1セットに環状に配置したが、研削砥石12は3本に限定されず、2本でも良く、また4本以上の複数本をセットとしても良い。
基板Wの研削が終了すると研削ユニット24が上昇し、保持テーブル24が図1の供給・排出位置a(二点鎖線)まで後退する。なお、研削の終了は、保持テーブル24や研削ユニット24に設けられた図示しない適宜の厚みセンサで基板Wの厚みを測定することで検出する。
基板Wの供給・排出位置aまで後退した保持テーブル24上から、適宜の搬送機構で基板Wが排出され、次の工程に搬送される。なお、適宜反転機構で基板Wを反転させるようにし、両面を研削するようにしても良い。
次に本発明の第2の実施形態について図6に基づいて説明する。なお、第1の実施形態と同じ部品は同一の符番を付している。
図6のように、本実施形態においては、研削砥石12の配置が前述の第1の実施形態と異なる以外は同一であるので、同一部分の説明は省略する。
前記研削砥石12は、それぞれ等間隔でホイールベース11の外周に沿って環状に配置されている。このように円柱形状の研削砥石12を適宜の間隔を開けて複数個配置しているので、加工液31がその隙間から外方に向けて流出するとともに研削砥石12の円柱面に沿って加工液31が円滑に流れるので、冷却効率が上がり研削砥石の寿命が向上するとともに加工精度が向上し、さらには加工時間も短縮できる。
以上が本発明の研削ホイールの実施形態であるが、本発明はこれらに限定されず、発明の範囲内で適宜変更が行える。例えば、使用した研削砥石の個数は、研削する基板の大きさや材質、厚み等に応じて変更できる。また、加工液の供給方法も適宜変更できる。
W 基板
a 供給・排出位置
b 研削位置
1 研削装置
2 研削ユニット
3 機台
4 コラム
5 レール
6 スライドガイド
7 スピンドル
8 ホイールマウント
10 研削ホイール
11 ホイールベース
12 研削砥石
13 開口部
14 楕円溝
15 遮蔽板
16 支持ピン
20 レール
21 支持台
22 スライドガイド
23 スピンドル
24 保持テーブル
30 加工液パイプ
31 加工液
a 供給・排出位置
b 研削位置
1 研削装置
2 研削ユニット
3 機台
4 コラム
5 レール
6 スライドガイド
7 スピンドル
8 ホイールマウント
10 研削ホイール
11 ホイールベース
12 研削砥石
13 開口部
14 楕円溝
15 遮蔽板
16 支持ピン
20 レール
21 支持台
22 スライドガイド
23 スピンドル
24 保持テーブル
30 加工液パイプ
31 加工液
Claims (3)
- 回転駆動されるホイールマウントを備えた研削装置の該ホイールマウントに着脱自在に装着される研削ホイールにおいて、
前記ホイールマウントに装着される円形のホイールベースと、
前記ホイールベースの一方面に設けられ、前記ホイールベースの外周近傍に所定の間隔を開けて環状に配置された複数の研削砥石とを備え、
前記ホイールベースが樹脂製部材で形成されていることを特徴とする研削ホイール。 - 前記研削砥石は、円柱状に形成され、その平面部分の一方が前記ホイールベースに固定されていることを特徴とする請求項1に記載の研削ホイール。
- 前記研削砥石は、少なくとも2つを1セットとして曲面部が互いに当接して形成されるとともに前記ホイールベースの外周に沿って環状に固定されていることを特徴とする請求項2に記載の研削ホイール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012242658A JP2014091193A (ja) | 2012-11-02 | 2012-11-02 | 研削ホイール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012242658A JP2014091193A (ja) | 2012-11-02 | 2012-11-02 | 研削ホイール |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014091193A true JP2014091193A (ja) | 2014-05-19 |
Family
ID=50935655
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012242658A Pending JP2014091193A (ja) | 2012-11-02 | 2012-11-02 | 研削ホイール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014091193A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020055071A (ja) * | 2018-10-02 | 2020-04-09 | 株式会社ディスコ | 研削ホイールの製造方法 |
JP2022546056A (ja) * | 2019-08-30 | 2022-11-02 | 桂林創源金剛石有限公司 | ツール冷却機構 |
-
2012
- 2012-11-02 JP JP2012242658A patent/JP2014091193A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020055071A (ja) * | 2018-10-02 | 2020-04-09 | 株式会社ディスコ | 研削ホイールの製造方法 |
CN110977798A (zh) * | 2018-10-02 | 2020-04-10 | 株式会社迪思科 | 磨削磨轮的制造方法 |
JP7152922B2 (ja) | 2018-10-02 | 2022-10-13 | 株式会社ディスコ | 研削ホイールの製造方法 |
TWI800687B (zh) * | 2018-10-02 | 2023-05-01 | 日商迪思科股份有限公司 | 磨削輪的製造方法 |
JP2022546056A (ja) * | 2019-08-30 | 2022-11-02 | 桂林創源金剛石有限公司 | ツール冷却機構 |
JP7465579B2 (ja) | 2019-08-30 | 2024-04-11 | 桂林創源金剛石有限公司 | ツール冷却機構 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI710427B (zh) | 磨削輪及被加工物的磨削方法 | |
JP5632215B2 (ja) | 研削加工ツール | |
TW201711805A (zh) | 砂輪及研削方法 | |
JP2010052076A (ja) | 研削ホイール | |
JP2008084976A (ja) | ウエーハの研削加工方法 | |
US20200061773A1 (en) | Polishing pad | |
JP2014091193A (ja) | 研削ホイール | |
KR20160058700A (ko) | 피가공물의 연삭 방법 | |
JP2008130808A (ja) | 研削加工方法 | |
JP6336734B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2012006123A (ja) | 洗浄方法 | |
JP4901428B2 (ja) | ウエーハの砥石工具、研削加工方法および研削加工装置 | |
JP6125357B2 (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP2011143495A (ja) | 研削装置 | |
JP2015199133A (ja) | 研削ホイール | |
JP6920079B2 (ja) | チャックテーブル | |
JP2015178149A (ja) | 研削装置 | |
JP7158813B2 (ja) | 研削ホイール | |
US20230051072A1 (en) | Dressing ring | |
JP6345981B2 (ja) | 支持治具 | |
JP2019062147A (ja) | 保護部材の加工方法 | |
JP6980341B2 (ja) | 保護部材の加工方法 | |
JP6925699B2 (ja) | 平面研削砥石 | |
KR20130101451A (ko) | 연삭장치 | |
KR20220086485A (ko) | 드레싱 공구 |