JP2014086572A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体発光素子1は、基板11と、半導体積層体19と、第1電極15および第2電極17とを備え、半導体積層体19が溝部22によって複数の半導体ブロック19A,19Bに分離され、第1電極15が、第2半導体層19bおよび活性層19cを貫通して第1半導体層19aと接続される突出部151を有し、第2電極17は、第2半導体層19bと接続され、かつ、溝部22の底部に露出する外部接続部17cを備えている。
【選択図】図3
Description
本発明の実施形態に係る半導体発光素子1の構成について、図1〜図4を参照しながら説明する。
基板11は、半導体積層体19が電極などの部材を介して貼り合わせられ、半導体積層体19などを支持するためのものである。基板11は、図1〜図3に示すように、略矩形平板状に形成されている。また、基板11は、図3に示すように、下面に裏面接着層12が形成され、上面に基板側接着層13が形成されている。この基板11の面積は特に限定されず、当該基板11上に積層される部材の大きさに応じて適宜選択される。また、基板11の厚さは、放熱性の観点から50μm〜500μmとすることが好ましい。
裏面接着層12は、基板11と電気的に接続されており、かつ半導体発光素子1を例えば発光装置の実装基板(図示省略)に実装するための層である。裏面接着層12は、図3に示すように、基板11の下面全域、すなわち基板11の基板側接着層13が形成されている面の反対側に形成されている。裏面接着層12の厚さは特に限定されず、所望の接合性および導電性に応じて適宜調整することができる。また、裏面接着層12の具体例としては、TiSi2,Ti,Ni,Pt,Ru,Au,Sn,Alなどの金属を含む層やその積層構造で構成することができる。なお、裏面接着層12は、後記する基板側接着層13、第1電極側接着層14と同様の材料を使用することができるが、例えば導電性樹脂材料を使用してもよい。
基板側接着層13は、基板11を第1電極側接着層14に接合し、かつ第1電極接着層14と基板11とを電気的に接続するための層である。基板側接着層13は、図3に示すように、基板11の上面全域、すなわち基板11の裏面接着層12が形成されている面の反対側に形成され、基板と電気的に接続されている。裏面接着層12の厚さは特に限定されず、所望の接合性および導電性に応じて適宜調整することができる。また、基板側接着層13の具体例としては、Al,Al合金,TiSi,Si,Ti,Ni,Pt,Au,Sn,Pd,Rh,Ru,Inなどの金属を含む層やその積層構造で構成することができる。
第1電極側接着層14は、第1電極15を基板側接着層13と接合し、かつ基板側接着層13と半導体積層体19とを電気的に接続するための層である。第1電極側接着層14は、図3に示すように、第1電極15の下面全域に形成されている。第1電極側接着層14の厚さは特に限定されず、所望の接合性および導電性に応じて適宜調整することができる。また、第1電極側接着層14の具体例としては、前記した基板側接着層13と同様に、Al,Al合金,TiSi2,Si,Ni,Ti,Pt,Au,Sn,Pd,Rh,Ru,Inなどの金属を含む層やその積層構造で構成することができる。
第1電極15は、第1半導体層19aに対して電流を供給するためのものである。第1電極15は、第1半導体層19aがn型半導体層である本実施形態においてはn側電極として機能する。第1電極15は、図3に示すように、第1電極側接着層14の上面全域に形成され、後記する絶縁膜16を挟んで、第2電極17と対向するように配置されている。また、第1電極15は、後記する半導体積層体19(半導体ブロック19Aおよび半導体ブロック19B)よりも広い範囲に形成されている。すなわち、第1電極15は、半導体積層体19の面積よりも広い面積で形成されており、当該半導体積層体19の下面を超えた縁の部分に段差が形成されている。なお、前記した「半導体積層体19の面積」とは、ここでは図1に示すように、半導体積層体19を構成する各半導体ブロック19A,19Bの下面の面積と、これらの間に形成された溝部22の面積とを合計した、半導体積層体19の外形の面積のことを意味している。
絶縁膜16は、第1電極15と、第2電極17と、第2半導体層19bおよび活性層19cとを絶縁するためのものである。絶縁膜16は、図3に示すように、第1電極15の突出部151の先端の上面と先端の外周面とを除いた、第1電極15の表面を全て覆うように形成されている。また、絶縁膜16は、第1電極15と、後記する第2電極17の配線部17aとの間に形成されている。
第2電極17は、第2半導体層19bに対して電流を供給するためのものである。第2電極17は、第2半導体層19bがp型半導体層である本実施形態においてはp側電極として機能する。第2電極17は、図3に示すように、第2半導体層19bの下部に膜状に形成され、絶縁膜16を挟んで第1電極15と対向するように配置されている。第2電極17は、より具体的には、第2半導体層19bと接続される内部接続部17bと、内部接続部17bを介して第2半導体層19bに電気的に接続される配線部17aと、配線部17aと接続される外部接続部17cとから構成されている。
第1保護膜18は、図3に示すように、内部接続部17bと同層に配置され、当該内部接続部17bと外部接続部17cとの間、および、内部接続部17bと絶縁膜16の開口突出部161との間をそれぞれ満たすように形成されている。また、第1保護膜18は、半導体積層体19の外側に露出する絶縁膜16の上面を覆うように形成されている。これにより、第1保護膜18は、配線部17aおよび第2保護膜21の間と、配線部17aおよび第2半導体層19bの間と、絶縁膜16および第2半導体層19bの間と、絶縁膜16および第2保護膜21の間とに設けられている。この第1保護膜18は、活性層19cから放出された光の一部を反射するための光反射部材として機能させることができ、例えば樹脂にTiO2などの光拡散材を含有させた白樹脂や、分布ブラッグ反射鏡膜などから構成することができる。また、第1保護膜18に、光反射部材としてSiO2などの透光性絶縁膜を用いることもでき、透光性絶縁膜が形成された前記各部材との界面で光を反射することができる。また、第1保護膜18の厚さは特に限定されず、所望の特性に応じて適宜調整することができる。
半導体積層体19は、半導体発光素子1における発光部を構成するものである。半導体積層体19は、図3に示すように、基板11の上部に配置されている。また、半導体積層体19と基板11との間には、基板側接着層13、第1電極側接着層14、第1電極15、絶縁膜16、第2電極17および第1保護膜18が配置されている。そして、半導体積層体19は、具体的には図3に示すように、第2電極17の内部接続部17b上および第1保護膜18上に形成されているとともに、図2に示すように、第1電極15の突出部151および絶縁膜16の開口突出部161によって、複数個所が貫かれた状態となっている。なお、前記した「貫かれた状態」とは、ここでは図3に示すように、突出部151および開口突出部161によって、半導体積層体19の第2半導体層19bおよび活性層19cが完全に貫通されており、かつ、半導体積層体19の第1半導体層19aの一部がえぐられた状態のことを意味している。
第2保護膜21は、半導体積層体19を埃、塵の付着などによる電流のショートや物理的ダメージから保護するための層である。第2保護膜21は、図3に示すように、半導体積層体19を構成する半導体ブロック19A,19Bのそれぞれの上面および側面を全て覆うように形成されている。また、第2保護膜21の下面は、図3に示すように、第1半導体層19aの上面の凹凸部に対応して、凹凸状に形成されている。
以下、本発明の実施形態に係る半導体発光素子1の製造方法について、図5〜図7を参照(構成については図1〜図3参照)しながら説明する。なお、以下で参照する図5〜図7は、前記した図3と同様に、図1のB−B’断面に相当する断面図であり、貫通孔20、第1電極15の突出部151および絶縁膜16の開口突出部161をそれぞれ2個だけ図示し、その他を省略している。
11 基板
12 裏面接着層
13 基板側接着層
14 第1電極側接着層
15 第1電極
151,151A 突出部
16 絶縁膜
161 開口突出部
17 第2電極
17a 配線部
17b 内部接続部
17c 外部接続部
18 第1保護膜(光反射部材)
19 半導体積層体
19A,19B 半導体ブロック
19a 第1半導体層
19b 第2半導体層
19c 活性層
20 貫通孔
21 第2保護膜
22,22A 溝部
Sb サファイア基板
Claims (11)
- 基板と、前記基板の上部に配置され、第2半導体層、活性層および第1半導体層が順に積層された半導体積層体と、前記基板と前記半導体積層体との間に配置された第1電極および第2電極とを備える発光素子であって、
前記半導体積層体は、溝部によって複数の半導体ブロックに分離され、
前記第1電極は、前記複数の半導体ブロックのそれぞれにおいて、前記第2半導体層および前記活性層を貫通して前記第1半導体層と接続される突出部を有し、
前記第2電極は、前記複数の半導体ブロックのそれぞれにおいて、前記第2半導体層と接続され、かつ、前記溝部の底部に露出する外部接続部を備えていることを特徴とする半導体発光素子。 - 前記外部接続部は、前記溝部の一端および他端に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記第2電極は、前記半導体ブロック同士を接続する配線部と、前記配線部と接続される前記外部接続部とから構成され、
前記第2電極は、前記溝部の両端に配置された外部接続部の間であって、上面視において前記溝部と重なる位置に前記配線部が設けられていない部分があることを特徴とする請求項2に記載の半導体発光素子。 - 前記溝部の幅は、前記外部接続部の幅よりも狭く形成されていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の半導体発光素子。
- 前記複数の半導体ブロックは、それぞれの形状が同じであることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
- 前記溝部を形成する前記複数の半導体ブロックの対向する側面は、テーパ状に傾斜されていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
- 前記溝部を形成する前記複数の半導体ブロックの対向する側面に、凹凸部が形成されていることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
- 前記溝部の底部における前記外部接続部が設けられた領域以外の領域に、白色樹脂または分布ブラッグ反射鏡を有する光反射性部材が設けられていることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
- 前記光反射部材は、前記溝部の底部から前記第2半導体層の下部に入り込むように設けられていることを特徴とする請求項8に記載の半導体発光素子。
- 前記第2電極は、前記半導体ブロック同士を接続する配線部と、前記配線部と接続される前記外部接続部とから構成され、
前記配線部は、Ag,Pt,Rh,Al,Al合金から選択される材料を含むことを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の半導体発光素子。 - 前記光反射部材は、前記溝部に対して線対称の位置に形成されていることを特徴とする請求項8または請求項9に記載の半導体発光素子。
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