JP2014085646A - 光走査装置及び計測システム - Google Patents
光走査装置及び計測システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014085646A JP2014085646A JP2012237175A JP2012237175A JP2014085646A JP 2014085646 A JP2014085646 A JP 2014085646A JP 2012237175 A JP2012237175 A JP 2012237175A JP 2012237175 A JP2012237175 A JP 2012237175A JP 2014085646 A JP2014085646 A JP 2014085646A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polygon mirror
- optical element
- optical
- light
- scanning device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
【課題】広範囲の走査であっても歪みの少ない正確な走査を可能にする光走査装置及びこれを用いた計測システムを提供すること。
【解決手段】第1ポリゴンミラー71の光射出側に配置される第1光学素子73が第2ポリゴンミラー72の反射面72aに入射する光線の角度範囲を減少させ、第2ポリゴンミラー72の光射出側に配置される第2光学素子74が第1光学素子73に入射する前の光線の角度を比例的に復元するので、第1及び第2ポリゴンミラー71,72による走査の角度範囲が比較的大きくなっても、射出方向の歪みを低減して正確な角度で走査を行なうことができる。
【選択図】図1
【解決手段】第1ポリゴンミラー71の光射出側に配置される第1光学素子73が第2ポリゴンミラー72の反射面72aに入射する光線の角度範囲を減少させ、第2ポリゴンミラー72の光射出側に配置される第2光学素子74が第1光学素子73に入射する前の光線の角度を比例的に復元するので、第1及び第2ポリゴンミラー71,72による走査の角度範囲が比較的大きくなっても、射出方向の歪みを低減して正確な角度で走査を行なうことができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、対象物に計測用の光を走査しながら照射する光走査装置、並びに、この光走査装置を備える計測システムに関する。
レーザーを対象物に2次元的に照射する光走査装置として、例えばポリゴンミラーとガルバノミラーとを組み合わせて、眼底においてレーザー光を水平方向及び垂直方向にそれぞれ走査するものが存在する(特許文献1)。
投影装置用のマルチビーム走査装置として、マルチビーム光源ユニットからの光ビームを第1ポリゴンミラーによって偏向させ、第1ポリゴンミラーからの光ビームを第2ポリゴンミラーによって直交する方向に偏向させるものが存在する(特許文献2)。
しかしながら、特許文献1の走査装置において、ガルバノミラーは一定速度で回転せず加速及び減速を繰り返すことで偏向を行うので、原理的に安定した高速の走査が容易でない。このため、ガルバノミラーとポリゴンミラーとの同期をとることは容易でなく、高速化や高精度化の要求に十分に応えることができない。
また、特許文献2の走査装置の場合、ガルバノミラーに起因する上記のような問題は生じないが、第2ポリゴンミラーのミラー面に入射する光線の角度が第1ポリゴンミラーのミラー面と光線との成す角度に依存して変化する効果が大角度になるほど無視できなり、広範囲の走査では射出方向に歪みが生じ無視できなくなる幾何光学的な問題がある。
本発明は、上記背景に鑑みてなされたものであり、広範囲の走査であっても歪みの少ない正確な走査を可能にする光走査装置及びこれを用いた計測システムを提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明に係る光走査装置は、第1回転軸のまわりに回転する第1ポリゴンミラーと、第1回転軸に対して垂直な線に略平行な第2回転軸のまわりに回転する第2ポリゴンミラーと、第1ポリゴンミラーの光射出側に配置されて、光線の状態を調整するための第1光学素子と、第2ポリゴンミラーの光射出側に配置されて、光線の状態を調整するための第2光学素子と、第1ポリゴンミラーを回転させる第1駆動部と、第2ポリゴンミラーを回転させる第2駆動部とを備え、第1光学素子は、第2ポリゴンミラーの反射面に入射する光線の角度範囲を減少させ、第2光学素子は、第1光学素子に入射する前の光線の角度を比例的に復元する。
上記光走査装置によれば、第1ポリゴンミラーの光射出側に配置される第1光学素子が第2ポリゴンミラーの反射面に入射する光線の角度範囲を減少させ、第2ポリゴンミラーの光射出側に配置される第2光学素子が第1光学素子に入射する前の光線の角度を比例的に復元するので、第1及び第2ポリゴンミラーによる走査の角度範囲が比較的大きくなっても、射出方向の歪みを低減して正確な角度で走査を行なうことができる。
本発明の具体的な側面によれば、上記光走査装置において、第1光学素子は、第2ポリゴンミラーの反射面に入射する光線の角度を略一致させる。この場合、射出方向の歪みを確実に低減することができる。
本発明の別の側面によれば、第1光学素子は、第2ポリゴンミラーの反射面に入射する光線の第2回転軸に平行な所定面に沿った入射角度を、互いに略一致させ、第2光学素子は、第2ポリゴンミラーの反射面で反射された光線の第2回転軸に平行な別の所定面に沿った射出角度を、第1ポリゴンミラーの反射面で反射された光線の第2回転軸に平行な上記所定面に沿った射出角度に略一致させる。これにより、第1ポリゴンミラーによる反射の偏角が維持されて、第1ポリゴンミラーと第2ポリゴンミラーとを同一の手法で制御する簡易な2次元走査が可能になる。
本発明のさらに別の側面によれば、第1光学素子は、シリンドリカルレンズである。この場合、第2ポリゴンミラーの反射面に入射する光線の角度を簡易に一致させることができる。
本発明のさらに別の側面によれば、第2光学素子は、トーリックレンズである。この場合、第2光学素子を通過させることによって、第1光学素子に入射する前の光線の角度を簡易に比例的に復元することができる。
本発明のさらに別の側面によれば、第1ポリゴンミラーに付随して設けられ、第1ポリゴンミラーの回転姿勢に関する情報を検出可能にする第1センサーと、第2ポリゴンミラーに付随して設けられ、第2ポリゴンミラーの回転姿勢に関する情報を検出可能にする第2センサーとをさらに備える。この場合、第1及び第2ポリゴンミラーの回転姿勢を直接的に監視しでき光線の射出方向を精密に制御することができる。
本発明のさらに別の側面によれば、第1ポリゴンミラーに光線を入射させるレーザー発生装置と、第1及び第2ポリゴンミラーの回転姿勢に同期してレーザー発生装置を動作させる走査制御部とをさらに備える。この場合、パルス状のレーザー光を離散的な所望の位置に入射させることができる。
上記目的を達成するため、本発明に係る計測システムは、対象に照明を走査させつつ入射させる上述の光走査装置と、対象からの事象を画像として検出する撮像装置と、光走査装置と撮像装置とを同期して動作させる撮像制御部とを備える。
上記計測システムによれば、走査の角度範囲が大きくなっても、射出方向の歪みを低減して正確な走査を行なうことができる光走査装置を用いているので、広角度範囲で光線の走査を行なって高精度の計測を行なうことができる。
以下、図1等を参照して、本発明の一実施形態に係る光走査装置を組み込んだ計測システムについて説明する。
この計測システム100は、レーザー光を射出する光源装置10と、光源装置10からのレーザー光を走査するための走査装置本体20と、計測対象からの光その他の電磁波を映像として検出する撮像装置30と、計測システム100を構成する各部の動作を統括的に制御する走査制御部であり撮像制御部である主制御部40とを備える。これらのうち、光源装置10と走査装置本体20と主制御部40とは、パルス状のレーザー光を離散的な所望の位置に入射させるための光走査装置60として機能する。
光源装置10は、主制御部40の制御下で動作しており、レーザー発生装置11と発振駆動装置12とを備える。レーザー発生装置11は、パルス型のレーザー発振器であり、例えば電気光学型Qスイッチを組み込んだダイオード励起固体レーザー等を用いることができる。発振駆動装置12は、Qスイッチトリガー回路であり、レーザー発生装置11を所望のタイミングで発振動作させる。つまり、発振駆動装置12は、主制御部40からのトリガーパルスを受けてレーザー発生装置11のQスイッチを動作させ、レーザー発生装置11から光線として例えば周期的なレーザー光RAを射出させる。
走査装置本体20は、第1ポリゴンミラー71と第2ポリゴンミラー72とを備える光学部21と、第1ポリゴンミラー71用の第1モーター駆動ユニット23と、第2ポリゴンミラー72用の第2モーター駆動ユニット24と、第1及び第2モーター駆動ユニット23,24の動作を制御するためのミラー回転制御部25と、ミラー回転制御部25、光源装置10等を同期させて動作させるためのパルス発生装置27とを備える。
図2に示すように、光学部21は、第1回転軸AX1のまわりに回転する第1ポリゴンミラー71と、第2回転軸AX2のまわりに回転する第2ポリゴンミラー72と、第1ポリゴンミラー71の光射出側に配置されて、第1ポリゴンミラー71から射出される光線であるレーザー光RA1の状態を調整するための第1光学素子73と、第2ポリゴンミラー72の光射出側に配置されて、第2ポリゴンミラー72から射出される光線であるレーザー光RA2の状態を調整するための第2光学素子74と、第1ポリゴンミラー71を回転させる第1駆動部75と、第2ポリゴンミラー72を回転させる第2駆動部76とを備える。なお、光学部21には、図1に示すように、第1ポリゴンミラー71に付随してミラー面検出器である1つ以上の第1センサー77が設けられており、第2ポリゴンミラー72に付随してミラー面検出器である1つ以上の第2センサー78が設けられている。
図2に示す第1ポリゴンミラー71の第1回転軸AX1は、Z軸に平行に延びており、第2ポリゴンミラー72の第2回転軸AX2は、第1回転軸AX1すなわちZ軸に対して垂直なX軸に平行に延びている。第1ポリゴンミラー71の反射面71aは、図1の光源装置10からのレーザー光RA0を反射して、第1段階の走査光であるレーザー光RA1を射出する。第2ポリゴンミラー72の反射面72aは、第1ポリゴンミラー71の反射面71aで反射され第1光学素子73を通過したレーザー光RA1を反射して、第2段階の走査光であるレーザー光RA2を射出する。第2ポリゴンミラー72の反射面72aからのレーザー光RA2は、第2光学素子74を通過する。具体的に説明すると、元のレーザー光RA0は、XY面に平行であってX軸に平行に近い方向から第1ポリゴンミラー71の反射面71aに入射する。また、反射面71aでの反射によって偏向されて第1段階の走査光となったレーザー光RA1は、第1光学素子73を通過してY軸に平行な方向から第2ポリゴンミラー72の反射面72aに入射する。この反射面72aでの反射によって偏向されて第2段階の走査光となったレーザー光RA2は、第2光学素子74を通過することで第1段階の走査状態が再現され、2次元的に走査される光線となる。
ここで、第1段階の走査光であるレーザー光RA1は、第1ポリゴンミラー71によってXY面に平行な所定面内で放射状に発散するように走査されるが、第1光学素子73によってY軸に平行にされる。このため、第1光学素子73は、精度向上も考慮して非球面のシリンドリカルレンズとなっている。第1光学素子73の光軸AXIは、Y軸に平行であるものとし、第1光学素子73は、XY断面において曲率を有し、YZ断面において曲率を有しないものとなっている。
第2段階の走査光であるレーザー光RA2は、第2ポリゴンミラー72によって第2回転軸AX2を含む面すなわちYZ面に平行な面内で放射状に発散するように走査されるとともに、第2光学素子74によって非走査方向に関して第1光学素子73に入射する前のレーザー光RA1の角度に復元される。このため、第2光学素子74は、精度向上も考慮して非球面のトーリックレンズとなっている。第2光学素子74の光軸AXOは、YZ面に平行であるものとし、第2光学素子74は、X軸に平行な断面において曲率を有し、YZ断面において曲率を有するものとなっている。
以上のように、第1ポリゴンミラー71によって、レーザー光RA2の元になるレーザー光RA1が偏向され、第1及び第2光学素子73,74によってX軸方向すなわち縦方向に関する走査が行なわれる。また、第2ポリゴンミラー72によって、レーザー光RA2が偏向され、YZ面内方向すなわち横方向に関する走査が行なわれる。つまり、第1及び第2ポリゴンミラー71,72と第1及び第2光学素子73,74とによってレーザー光RAが縦横に関して2次元的に走査される。
図3は、X軸方向に関する走査を概念的に説明する図であり、XY面に平行な所定面を基準として光路が展開されている。図3において、第1ポリゴンミラー71の反射面71aからのレーザー光RA1は、±2θの角度範囲で走査される。このレーザー光RA1は、第1光学素子73を経て一旦光軸AX又はY軸に平行となり、第2ポリゴンミラー72の反射面72aに入射する。つまり、第2ポリゴンミラー72の反射面72aに入射するレーザー光RA1の入射角度は、第2回転軸AX2に平行な所定面に沿ったどの位置でも同じになっている。結果的に、第2ポリゴンミラー72の反射面72aで反射されたレーザー光RA2は、第1ポリゴンミラー71の回転角に関わらず光軸AXに平行なままに維持され、第2光学素子74に入射する。第2光学素子74は、例えばX軸方向に関する焦点距離f2が第1光学素子73のX軸方向に関する焦点距離f1と等しくなっており、第2光学素子74を経たレーザー光RA2は、第2回転軸AX2に平行な別の所定面に沿って進行し、一旦収束するとともに発散し、レーザー光RA1が走査される角度範囲±2θと同じ角度範囲で走査される。つまり、第2光学素子74は、第1光学素子73に入射する前のレーザー光RA1の角度を復元する。より具体的には、第2光学素子74は、第2ポリゴンミラー72の反射面72aで反射されたレーザー光RA2の第2回転軸AX2(図2参照)に平行な別の所定面に沿った最終的な射出角度を、第1ポリゴンミラー71の反射面71aで反射された光線の第2回転軸AX2に平行な所定面(XY面)に沿った元の射出角度に略一致させる。
以下、第1光学素子73の具体的な実施例について説明する。第1光学素子73の第1面及び第2面のX軸方向を含む断面は、以下の式で表すことができる。
ここで、SAGは光軸から半径rの位置における面の光軸方向の高さであり、cは曲率であり、kは円錐定数であり、A、B、C、及びDは、4次、6次、8次、及び10次の補正係数である。具体的な数値は以下のようなものとした。
第1面(入射側)
1/c=46.130921, k=-0.921269, A=-0.182691e-5, B=-0.561534e-9, C=0.741786e-12,
D=-0.216216e-15
第2面(射出側)
1/c=-46.130921, k=-0.921269, A=0.182691e-5, B=0.561534e-9, C=-0.741786e-12,
D=0.216216e-15
第1光学素子73は、シリンドリカルレンズであり、図3に示す断面(xy断面)を光軸AXに垂直なz方向に移動させた軌跡として3次元の外形を有する。
ここで、SAGは光軸から半径rの位置における面の光軸方向の高さであり、cは曲率であり、kは円錐定数であり、A、B、C、及びDは、4次、6次、8次、及び10次の補正係数である。具体的な数値は以下のようなものとした。
第1面(入射側)
1/c=46.130921, k=-0.921269, A=-0.182691e-5, B=-0.561534e-9, C=0.741786e-12,
D=-0.216216e-15
第2面(射出側)
1/c=-46.130921, k=-0.921269, A=0.182691e-5, B=0.561534e-9, C=-0.741786e-12,
D=0.216216e-15
第1光学素子73は、シリンドリカルレンズであり、図3に示す断面(xy断面)を光軸AXに垂直なz方向に移動させた軌跡として3次元の外形を有する。
第2光学素子74の第1面及び第2面のX軸方向又はx軸方向を含む光軸上の断面は、第1光学素子73の第1面及び第2面のX軸方向を含む断面と同じとした。ただし、第2光学素子74は、トーリックレンズであり、第1光学素子73と同様の断面を光軸AX上に設定された或る基準点を通るとともにx軸に平行な回転軸(不図示)のまわり回転させた軌跡として3次元の外形を有する。ここで、光軸AX上の回転の基準点から第2光学素子74の中心までの距離は、具体的な実施例では57mmとした。なお、第2光学素子74の回転対称点としての上記基準点は、第1光学素子73の光源に相当するものとなっており、第1ポリゴンミラー71の反射面71a上の光射出位置に配置されている。ただし、第2光学素子74から光軸AX上の回転の基準点までの距離は、第1光学素子73の光源に一致させる必要はなく、第2ポリゴンミラー72の反射面72aまでの距離等を考慮して適宜調整することができる。
以上の説明では、第2光学素子74のX軸方向に関する焦点距離f2が第1光学素子73のX軸方向に関する焦点距離f1に等しいとしたが、焦点距離f2が焦点距離f1と異なるものとすることもできる。この場合、レーザー光RA2が走査される角度範囲は、レーザー光RA1が走査される角度範囲±2θと異なるが、係数を掛けた比例的な関係を有するものとなる。つまり、この場合も第2光学素子74は、第1光学素子73に入射する前のレーザー光RA1の角度を比例的に復元する。
さらに、第2光学素子74のX軸方向に関する焦点距離f2は、正に限らず負とすることができ、この場合もレーザー光RA2をX方向に発散するように走査することができる。
図4は、図2の光学部21によるレーザー光RAの走査パターンの一例を説明する図である。レーザー光RAは、対象領域AR内において第1ポリゴンミラー71によってX軸方向に対応する角度Θを周期的に所定量(単位走査角度)だけ変化させつつ、第2ポリゴンミラー72によってYZ面内の特定方向に対応する角度Φを周期的に所定量(単位走査角度)だけ変化させた角度方向に照射される。なお、図示の例では、第1ポリゴンミラー71による単位走査角度と第2ポリゴンミラー72による単位走査角度とが略等しいものとなっているが、第1ポリゴンミラー71による単位走査角度と第2ポリゴンミラー72による単位走査角度とのいずれか一方を相対的に小さくすることもできる。
図1に戻って、第1ポリゴンミラー71に付随して設けられた第1センサー77は、光源と光検出素子とを一体化したユニットであり、反射面71aに検査光を入射させて反射光を検出することによって、第1ポリゴンミラー71の回転姿勢に関する情報を検出することができ、第1ポリゴンミラー71の回転速度や回転の起点を検出するために利用される。第2ポリゴンミラー72に付随して設けられた第2センサー78も、第1センサー77と同様の構造を有し、反射面72aに検査光を入射させて反射光を検出することによって、第2ポリゴンミラー72の回転姿勢に関する情報を検出することができ、第2ポリゴンミラー72の回転速度や回転の起点を検出するために利用される。第1及び第2センサー77,78の検出出力は、後述する第1及び第2モーター駆動ユニット23,24を介してミラー回転制御部25や主制御部40に送信される。
第1モーター駆動ユニット23は、ミラー回転制御部25の制御下で動作し、第1駆動部75に組み込まれたモーターに駆動電圧を供給することによってモーターを一定速度で回転させる。第1駆動部75には、モーターに付随してエンコーダが組み込まれており、第1駆動部75に駆動された第1ポリゴンミラー71の回転角度を示すエンコーダ信号をミラー回転制御部25に出力する。
第2モーター駆動ユニット24は、ミラー回転制御部25の制御下で動作し、第2駆動部76に組み込まれたモーターに駆動電圧を供給することによってモーターを一定速度で回転させる。第2駆動部76には、モーターに付随してエンコーダが組み込まれており、第2駆動部76に駆動された第2ポリゴンミラー72の回転角度を示すエンコーダ信号をミラー回転制御部25に出力する。
ミラー回転制御部25は、DSP等の信号処理回路を組み込んだものであり、第1及び第2モーター駆動ユニット23,24からのエンコーダ信号に処理を施してフィードバックに利用している。つまり、ミラー回転制御部25は、第1及び第2ポリゴンミラー71,72の回転状態を直接的に監視して回転角度を一定に保っている。
パルス発生装置27は、主制御部40の制御下で走査装置本体20を動作させるための基準パルスを発生する。パルス発生装置27からの基準パルスは、ミラー回転制御部25の動作に利用される。
撮像装置30は、走査装置本体20等によって照明された計測対象を撮影するものである。詳細な説明は省略するが、撮像装置30は、例えば結像又は集光用の光学系と、光学系によって形成された像を蛍光像に変換するイメージ増倍装置と、イメージ増倍装置からの蛍光像出力を電気的な画像信号に変換する信号変換装置と、これらの装置部分の動作を制御する制御部とを備える。なお、撮像装置30は、可視光以外の電磁波の計測を行うものであってもよい。この場合、第1光学素子73や第2光学素子74の透過率、反射率等の光学特性を利用される電磁波の特性に適合させるものとする。
主制御部40は、パルス発生装置27やミラー回転制御部25を適宜動作させるとともに、第1及び第2モーター駆動ユニット23,24を介して第1及び第2ポリゴンミラー71,72の回転角度を示すエンコーダ信号を受け取る。主制御部(走査制御部)40は、第1及び第2ポリゴンミラー71,72の回転角度に同期させて、光源装置10の発振駆動装置12にレーザーパルス発生用のトリガー信号を出力する。主制御部40(撮像制御部)は、第1及び第2ポリゴンミラー71,72の回転角度に同期させて、撮像装置30に撮影及び開始及び終了用のトリガー信号を出力する。つまり、走査装置本体20を動作させてレーザー光RAの2次元的な走査を行うことができるともに、レーザー光RAの照射タイミングに合わせて撮像装置30による対象の撮影が可能になる。
以上のように、実施形態の計測システム100によれば、走査の角度範囲が大きくなっても、射出方向の歪みを低減して正確な走査を行なうことができる光走査装置60を用いているので、広角度範囲で光線の走査を行なって高精度の計測を行なうことができる。
また、実施形態の光走査装置60によれば、第1ポリゴンミラー71の光射出側に配置される第1光学素子73が第2ポリゴンミラー72の反射面72aに入射する光線の角度範囲を減少させ、第2ポリゴンミラー72の光射出側に配置される第2光学素子74が第1光学素子73に入射する前の光線の角度を比例的に復元するので、第1及び第2ポリゴンミラー71,72による走査の角度範囲が比較的大きくなっても、射出方向の歪みを低減して正確な角度で走査を行なうことができる。
以上実施形態に即して本発明を説明したが、本発明は、上記の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
すなわち、上記実施形態では、第1ポリゴンミラー71で反射されたレーザー光RA1を第1光学素子73によってY軸に平行にしているが、第1ポリゴンミラー71で反射されたレーザー光RA1を第1光学素子73によってY軸に対して所定の傾きを有するものとできる。この場合も、レーザー光RA1の第2ポリゴンミラー72への入射角度が一様になるので、射出方向の歪みを低減して正確な角度で走査を行なうことができる。
第1光学素子73は、断面非球面のシリンドリカルレンズとする必要はなく、例えば断面球面のシリンドリカルレンズとすることもできる。また、第2光学素子74は、断面非球面のトーリックレンズとする必要はなく、例えば断面球面のトーリックレンズとすることもできる。
10…光源装置、 11…レーザー発生装置、 12…発振駆動装置、 20…走査装置本体、 21…光学部、 23,24…第1及び第2モーター駆動ユニット、 25…ミラー回転制御部、 27…パルス発生装置、 30…撮像装置、 40…主制御部、 60…光走査装置、 71…第1ポリゴンミラー、 72…第2ポリゴンミラー、 71a…第1反射面、 72a…第2反射面、 73…第1光学素子、 74…第2光学素子、 75…第1駆動部、 76…第2駆動部、 77,78…第1及び第2センサー、 100…計測システム、 AX,AXO…光軸、 AX1…第1回転軸、 AX2…第2回転軸、 RA…レーザー光、 RA0,RA1,RA2…レーザー光
Claims (8)
- 第1回転軸のまわりに回転する第1ポリゴンミラーと、
前記第1回転軸に対して垂直な線に略平行な第2回転軸のまわりに回転する第2ポリゴンミラーと、
前記第1ポリゴンミラーの光射出側に配置されて、光線の状態を調整するための第1光学素子と、
前記第2ポリゴンミラーの光射出側に配置されて、光線の状態を調整するための第2光学素子と、
前記第1ポリゴンミラーを回転させる第1駆動部と、
前記第2ポリゴンミラーを回転させる第2駆動部とを備え、
前記第1光学素子は、前記第2ポリゴンミラーの反射面に入射する光線の角度範囲を減少させ、
前記第2光学素子は、前記第1光学素子に入射する前の光線の角度を比例的に復元する、光走査装置。 - 前記第1光学素子は、前記第2ポリゴンミラーの反射面に入射する光線の角度を略一致させる、請求項1に記載の光走査装置。
- 前記第1光学素子は、前記第2ポリゴンミラーの反射面に入射する光線の前記第2回転軸に平行な所定面に沿った入射角度を、互いに略一致させ、
前記第2光学素子は、前記第2ポリゴンミラーの反射面で反射された光線の前記第2回転軸に平行な別の所定面に沿った射出角度を、前記第1ポリゴンミラーの反射面で反射された光線の前記第2回転軸に平行な前記所定面に沿った射出角度に略一致させる、請求項1に記載の光走査装置。 - 前記第1光学素子は、シリンドリカルレンズである、請求項3に記載の光走査装置。
- 前記第2光学素子は、トーリックレンズである、請求項3及び4のいずれか一項に記載の光走査装置。
- 前記第1ポリゴンミラーに付随して設けられ、前記第1ポリゴンミラーの回転姿勢に関する情報を検出可能にする第1センサーと、前記第2ポリゴンミラーに付随して設けられ、前記第2ポリゴンミラーの回転姿勢に関する情報を検出可能にする第2センサーとをさらに備える、請求項1から5までのいずれか一項に記載の光走査装置。
- 前記第1ポリゴンミラーに光線を入射させるレーザー発生装置と、前記第1及び第2ポリゴンミラーの回転姿勢に同期して前記レーザー発生装置を動作させる走査制御部とをさらに備える、請求項1から6までのいずれか一項に記載の光走査装置。
- 対象に照明を走査させつつ入射させる請求項1から7までのいずれか一項に記載の光走査装置と、
対象からの事象を画像として検出する撮像装置と、
前記光走査装置と前記撮像装置とを同期して動作させる撮像制御部と
を備える計測システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012237175A JP2014085646A (ja) | 2012-10-26 | 2012-10-26 | 光走査装置及び計測システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012237175A JP2014085646A (ja) | 2012-10-26 | 2012-10-26 | 光走査装置及び計測システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014085646A true JP2014085646A (ja) | 2014-05-12 |
Family
ID=50788710
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012237175A Pending JP2014085646A (ja) | 2012-10-26 | 2012-10-26 | 光走査装置及び計測システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014085646A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101697530B1 (ko) * | 2015-09-17 | 2017-01-18 | 한국생산기술연구원 | 단방향으로 회전하는 폴리곤미러를 구비하고 조형광선의 에너지밀도 조절기능을 갖는 입체조형장비의 헤드장치 및 이를 이용하는 조형평면의 스캐닝방법 및 이를 이용하는 입체조형장치. |
KR101704547B1 (ko) * | 2015-12-09 | 2017-02-22 | 한국생산기술연구원 | 단방향으로 회전하는 폴리곤미러를 구비하고 조형광선의 빔스팟크기 조절기능을 갖는 입체조형장비의 헤드장치 및 이를 이용하는 조형평면의 스캐닝방법 및 이를 이용하는 입체조형장치. |
KR102496330B1 (ko) * | 2022-05-18 | 2023-02-06 | 두원포토닉스 주식회사 | 비행체 방어용 레이저 장치 및 그 운용 방법 |
-
2012
- 2012-10-26 JP JP2012237175A patent/JP2014085646A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101697530B1 (ko) * | 2015-09-17 | 2017-01-18 | 한국생산기술연구원 | 단방향으로 회전하는 폴리곤미러를 구비하고 조형광선의 에너지밀도 조절기능을 갖는 입체조형장비의 헤드장치 및 이를 이용하는 조형평면의 스캐닝방법 및 이를 이용하는 입체조형장치. |
KR101704547B1 (ko) * | 2015-12-09 | 2017-02-22 | 한국생산기술연구원 | 단방향으로 회전하는 폴리곤미러를 구비하고 조형광선의 빔스팟크기 조절기능을 갖는 입체조형장비의 헤드장치 및 이를 이용하는 조형평면의 스캐닝방법 및 이를 이용하는 입체조형장치. |
KR102496330B1 (ko) * | 2022-05-18 | 2023-02-06 | 두원포토닉스 주식회사 | 비행체 방어용 레이저 장치 및 그 운용 방법 |
WO2023224246A1 (ko) * | 2022-05-18 | 2023-11-23 | 두원포토닉스 주식회사 | 비행체 방어용 레이저 장치 및 그 운용 방법 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2940489B1 (en) | Object detection device and sensing apparatus | |
WO2018082200A1 (zh) | 一种二维扫描装置及具有该二维扫描装置的激光雷达装置 | |
US8738320B2 (en) | Light condensing lens and three-dimensional distance measuring apparatus | |
JP2011053137A (ja) | 光測距装置 | |
US11402197B2 (en) | Distance measuring module | |
JP6704537B1 (ja) | 障害物検出装置 | |
JP6414349B1 (ja) | 光放射装置、物体情報検知装置、光路調整方法、物体情報検知方法、及び、光変調ユニット | |
JP2020187079A (ja) | レーザレーダ装置及び走行体 | |
US20200150418A1 (en) | Distance measurement device and mobile body | |
JP2022159464A (ja) | 測距装置 | |
JP2014085646A (ja) | 光走査装置及び計測システム | |
CN112859048A (zh) | 光束扫描装置、包括其的激光雷达和控制方法 | |
JP2021170033A (ja) | 走査装置 | |
CN111175721B (zh) | Lidar传感器和用于lidar传感器的方法 | |
JP2000098027A (ja) | レーザレーダ装置 | |
JP6989341B2 (ja) | レーザレーダ装置 | |
WO2019244701A1 (ja) | 光放射装置、物体情報検知装置、光路調整方法、及び、物体情報検知方法 | |
JP2022022390A (ja) | 測距装置 | |
CN110940960B (zh) | 激光雷达扫描***和激光雷达扫描方法 | |
CN111830705B (zh) | 光学装置、搭载***和移动装置 | |
JP2022043268A (ja) | 照射装置及び受信装置 | |
JP2015125317A (ja) | 2次元走査型のレーザビーム投射装置および2次元測距装置 | |
JP4151358B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP7501309B2 (ja) | 光学装置、計測装置、ロボット、電子機器および造形装置 | |
EP3904945A1 (en) | Light projection device and light projection device for vehicle |