JP2014072365A - パワーモジュール用基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】セラミックス基板の両面にそれぞれ金属層を接合することによりパワーモジュール用基板を作製する基板作製工程と、前記パワーモジュール用基板をトレーに設けられた保持面上に載置し、これらパワーモジュール用基板およびトレーを樹脂製フィルムで真空包装することにより、前記パワーモジュール用基板が前記トレーの前記保持面に押圧された状態の真空包装体を形成する真空包装工程と、前記真空包装体を常温よりも低い温度まで冷却する冷却工程とを有するパワーモジュール用基板の製造方法。
【選択図】図3
Description
まず、セラミックス基板11の両面に回路層用金属板12および放熱層用金属板13を積層し、これらをろう付、過渡液相接合法(TLP接合法:Transient Liquid Phase Diffusion Bonding)などにより接合してパワーモジュール用基板10を作製する。作製されたパワーモジュール用基板10は、セラミックス基板11と各金属板12,13とを接合した際の熱収縮により反りが生じている場合が多い。
次に、作製したパワーモジュール用基板10をトレー40の保持面41上に載置し、樹脂製フィルム50で真空包装して真空包装体60を形成する。図2に、パワーモジュール用基板10を保持するトレー40を示す。
次に、真空包装体60を常温よりも低い冷却温度(本実施形態では−20℃)まで冷却して保持する(本実施形態では20分間)。このときパワーモジュール用基板10は、トレー40と樹脂製フィルム50との間で拘束されることによって接合時の反りとは逆方向の応力が生じている状態であり、さらに冷却による熱収縮で接合時とは逆方向に反ろうとするので、この応力が増大する。しかしながら、トレー40および樹脂製フィルム50によって拘束されているため、パワーモジュール用基板10には見かけ上の変形がほとんど生じないまま、各金属板12,13に塑性変形を生じさせることができる。
以下、本発明の効果確認試験を行った。
まず、パワーモジュール用基板として、次の構成を有するものを製作した。
本発明例1から4および比較例については、回路層用金属板として27mm×27mm×0.6mmの純度99.99%以上の4Nアルミニウム板を、セラミックス基板として30mm×30mm×0.635mmのAlN板を、放熱層用金属板として28mm×28mm×1.6mmの純度99.99%以上の4Nアルミニウム板を、Al−7.5mass%Siのろう材をそれぞれの板材に介して、ろう付けにより接合した。ろう付け接合の条件は、真空雰囲気中で640℃、荷重3.5kgf/cm2とした。
11 セラミックス基板
12 回路層用金属板(金属層)
13 放熱層用金属板(金属層)
20 電子部品
30 ヒートシンク
40 トレー
41 保持面
41a 貫通孔
42 凹部
50 樹脂製フィルム
100 パワーモジュール
Claims (2)
- セラミックス基板の少なくとも一方の面に金属層を接合することによりパワーモジュール用基板を作製する基板作製工程と、
前記パワーモジュール用基板をトレーに設けられた保持面上に載置し、これらパワーモジュール用基板およびトレーを樹脂製フィルムで真空包装することにより、前記パワーモジュール用基板が前記トレーの前記保持面に押圧された状態の真空包装体を形成する真空包装工程と、
前記真空包装体を常温よりも低い温度まで冷却する冷却工程と
を有することを特徴とするパワーモジュール用基板の製造方法。 - 前記冷却工程において、0℃以下−40℃以上に冷却することを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール用基板の製造方法。
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