JP2014069309A - 液滴吐出装置及びノズルヘッドのクリーニング方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ノズルヘッドのクリーニング時に、ノズル面の損傷を軽減することができる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】 ノズルヘッドのノズル面に、液滴を吐出する複数のノズル孔が開口している。拭き取り部材がノズルヘッドのノズル面に付着した液状残渣に接触して、液状残渣をノズル面から除去する。拭き取り部材を液状残渣に接触させたとき、接触防止構造が、拭き取り部材がノズル面に接触することを防止する。
【選択図】 図5
【解決手段】 ノズルヘッドのノズル面に、液滴を吐出する複数のノズル孔が開口している。拭き取り部材がノズルヘッドのノズル面に付着した液状残渣に接触して、液状残渣をノズル面から除去する。拭き取り部材を液状残渣に接触させたとき、接触防止構造が、拭き取り部材がノズル面に接触することを防止する。
【選択図】 図5
Description
本発明は、ノズル孔から液滴を吐出させる液滴吐出装置、及びノズルヘッドのクリーニング方法に関する。
ノズルヘッドから薄膜パターン形成用の材料を含んだ液滴を吐出して、基板の表面に薄膜パターンを形成する技術が知られている(例えば特許文献1)。
このような薄膜形成技術において、例えば、基板にはプリント配線基板が用いられ、薄膜材料にはソルダーレジストが用いられる。プリント配線基板は、基材及び配線を含み、所定の位置に電子部品等がはんだ付けされる。ソルダーレジストは、電子部品等をはんだ付けする導体部分を露出させ、はんだ付けが不要な部分を覆う。全面にソルダーレジストを塗布した後、フォトリソグラフィ技術を用いて開口を形成する方法に比べて、製造コストの低減を図ることが可能である。
ノズルヘッドのノズル孔が開口している表面(ノズル面)に、液滴が付着して残渣が残る場合がある。ノズル面に液体材料の残渣が付着した状態では、液滴の正常な吐出が行えない場合がある。拭き取り部材でノズル面を掃引することにより、この残渣を拭き取ることができる(例えば、特許文献2)。
ノズル面には、通常、撥水処理等の表面処理が施されている。拭き取り部材に、埃等の固形異物が付着した状態で拭き取りを行うと、ノズル面が損傷する場合がある。また、拭き取りの回数が増えると、ノズル面の表面処理が劣化する。
本発明の目的は、ノズルヘッドのクリーニング時に、ノズル面の損傷を軽減することができる液滴吐出装置及びノズルヘッドのクリーニング方法を提供することである。
本発明の一観点によると、
液滴を吐出する複数のノズル孔が開口したノズル面を有するノズルヘッドと、
前記ノズルヘッドの前記ノズル面に付着した液状残渣に接触して、前記液状残渣を前記ノズル面から除去する拭き取り部材と、
前記拭き取り部材を前記液状残渣に接触させたとき、前記拭き取り部材が前記ノズル面に接触することを防止する接触防止構造と
を有する液滴吐出装置が提供される。
液滴を吐出する複数のノズル孔が開口したノズル面を有するノズルヘッドと、
前記ノズルヘッドの前記ノズル面に付着した液状残渣に接触して、前記液状残渣を前記ノズル面から除去する拭き取り部材と、
前記拭き取り部材を前記液状残渣に接触させたとき、前記拭き取り部材が前記ノズル面に接触することを防止する接触防止構造と
を有する液滴吐出装置が提供される。
本発明の他の観点によると、
液滴を吐出する複数のノズル孔が開口したノズル面を有するノズルヘッドの前記ノズル面に拭き取り部材を近づけるとともに、接触防止構造によって前記拭き取り部材が前記ノズル面に接触することを防止した状態で、前記拭き取り部材を前記ノズル面に沿う方向に
移動させて、ノズル面に付着した液状残渣に前記拭き取り部材を接触させて前記液状残渣を前記ノズル面から除去する液滴吐出装置のノズルヘッドのクリーニング方法が提供される。
液滴を吐出する複数のノズル孔が開口したノズル面を有するノズルヘッドの前記ノズル面に拭き取り部材を近づけるとともに、接触防止構造によって前記拭き取り部材が前記ノズル面に接触することを防止した状態で、前記拭き取り部材を前記ノズル面に沿う方向に
移動させて、ノズル面に付着した液状残渣に前記拭き取り部材を接触させて前記液状残渣を前記ノズル面から除去する液滴吐出装置のノズルヘッドのクリーニング方法が提供される。
接触防止構造が拭き取り部材とノズル面との接触を防止するため、ノズル面の損傷を軽減することができる。
[実施例1]
図1に、実施例1による液滴吐出装置の概略図を示す。定盤20の上に、移動機構21によりステージ22が支持されている。ステージ22の上面(保持面)に、プリント配線板等の基板27が保持される。ステージ22の保持面に平行な方向をX方向及びY方向とし、保持面の法線方向をZ方向とするXYZ直交座標系を定義する。移動機構21は、ステージ22をX方向及びY方向に移動させる。
図1に、実施例1による液滴吐出装置の概略図を示す。定盤20の上に、移動機構21によりステージ22が支持されている。ステージ22の上面(保持面)に、プリント配線板等の基板27が保持される。ステージ22の保持面に平行な方向をX方向及びY方向とし、保持面の法線方向をZ方向とするXYZ直交座標系を定義する。移動機構21は、ステージ22をX方向及びY方向に移動させる。
定盤20の上方に、ノズルユニット30、撮像装置28、及び拭き取り機構50が、支持部材24よって支持されている。ノズルユニット30は、ノズルユニット支持機構31を介して支持部材24に昇降可能に支持されている。ノズルユニット30及び撮像装置28は、ステージ22に保持された基板27に対向する。撮像装置28は、基板27の表面に形成されている配線パターン、アライメントマーク、基板27に形成された薄膜パターン等を撮像する。撮像されて得られた画像データが、制御装置70に入力される。ノズルユニット30は、複数のノズル孔から基板27に向けて、光硬化性(例えば紫外線硬化性)の薄膜材料の液滴(例えばソルダーレジスト等の液滴)を吐出する。吐出された薄膜材料が、基板27の表面に付着する。
拭き取り機構50は、拭き取り部材51を含み、拭き取り部材51をノズルユニット30の下方に配置することができる。ノズルユニット30から薄膜材料の液滴を吐出している期間は、拭き取り部材51はノズルユニット30の下方から横方向に退避される。
制御装置70が、移動機構21、ノズルユニット30、撮像装置28、及び拭き取り機構50を制御する。制御装置70には、基板27に形成すべき薄膜パターンの形状を定義するラスタフォーマットの画像データ等が記憶されている。オペレータが、入力装置71を通して制御装置70に、種々の指令(コマンド)や、制御に必要な数値データを入力する。制御装置70は、出力装置72からオペレータに対して各種情報を出力する。
図2に、実施例1による液滴吐出装置の一部分の斜視図を示す。ステージ22の上に基板27が保持されている。ノズルユニット30が基板27に対向する。ノズルユニット3
0は、ノズルユニット支持機構31を介して支持部材24に取り付けられている。ノズルユニット支持機構31は、回転機構32及び昇降機構33を含む。回転機構32は、Z方向に平行な軸を回転中心として、ノズルユニット30の回転方向の姿勢を変化させる。昇降機構33は、ノズルユニット30をステージ22に対して昇降させる。
0は、ノズルユニット支持機構31を介して支持部材24に取り付けられている。ノズルユニット支持機構31は、回転機構32及び昇降機構33を含む。回転機構32は、Z方向に平行な軸を回転中心として、ノズルユニット30の回転方向の姿勢を変化させる。昇降機構33は、ノズルユニット30をステージ22に対して昇降させる。
拭き取り機構50が支持部材24に支持されている。拭き取り機構50は、移動機構52及び拭き取り部材51を含む。拭き取り機構50は、拭き取り部材51をノズルユニット30の下方に移動させることができる。移動機構52は拭き取り部材51をY方向に移動させることができる。拭き取り部材51をY方向に移動させることにより、ノズルユニット30のクリーニングを行うことができる。ノズルユニット30のクリーニング方法については、後に詳しく説明する。
図3に、ノズルユニット30の斜視図を示す。ノズルホルダ35に複数、例えば4個のノズルヘッド34がY方向に並んで取り付けられている。ノズルヘッド34の各々の、ステージ22に対向する面(以下、「ノズル面」という。)38に、複数のノズル孔37が開口している。複数のノズル孔37は、X方向に2列に並んでいる。4個のノズルヘッド34の複数のノズル孔37は、X方向に関して異なる位置に配置され、全体としてX方向に関して等間隔に分布する。
Y方向に関して、各ノズルヘッド34の両側に硬化用光源36が取り付けられている。硬化用光源36は、基板27(図2)に硬化用の光、例えば紫外線を照射する。
以下、薄膜パターンの形成方法について説明する。基板27(図2)をY方向に移動させながら、形成すべき薄膜パターンの画像データに基づいて、ノズル孔37から薄膜材料の液滴を吐出させる。この動作を、「走査」ということとする。ノズル孔37から吐出された薄膜材料の液滴が基板27に着弾する。基板27に着弾した薄膜材料に、硬化用光源36から硬化用の光が照射される。これにより、薄膜材料の少なくとも表層部が硬化する。基板27(図2)とノズルユニット30とのX方向の相対位置を変えて、複数回の走査を行うことにより、基板27の表面に薄膜パターンを形成することができる。
図4Aに、ノズルヘッド34の底面図を示す。図4B及び図4Cに、それぞれ図4Aの一点鎖線4B−4B及び一点鎖線4C−4Cにおける断面図を示す。
図4Aに示すように、複数のノズル孔37が分布する領域を突出面39が取り囲んでいる。突出面39は、ノズル面38から、液滴の吐出方向に突き出た位置に固定されている。具体的には、ノズル面38に固定された環状の保護部材の上面が、突出面39を構成する。
図4B及び図4Cに示すように、ノズルヘッド34内に液室40が画定されている。液室40内に、液状の薄膜材料が供給される。ノズル孔37の各々の一端が液室40に開口し、他端がノズル面38に開口する。液室40内に、複数の圧電素子41が装着されている。1つのノズル孔37に対して、一対の圧電素子41が配置される。図4B及び図4Cに示したノズルヘッド34は、相互に隣り合うノズル孔37の間に配置された1つの圧電素子41が2つのノズル孔37で共有される。このようなノズルヘッドは、「シェアモード型」と呼ばれる。圧電素子41を動作させることにより、液室40内の薄膜材料を液滴化してノズル孔37から吐出させることができる。
ノズル面38に、保護部材43が固定されている。保護部材43は、ノズル面38から、液滴の吐出方向(図4B、図4Cにおいて下方)に突き出た上面(突出面)39を有する。
図5A〜図5Dを参照して、ノズルヘッドのクリーニング方法について説明する。
図5Aに示すように、薄膜材料の液滴の吐出を繰り返すと、薄膜材料の液状残渣55がノズル面38に付着する場合がある。ノズル面38には撥水処理が施されているため、液状残渣55は、粘性及び表面張力により、ほぼ半球状になる。
拭き取り機構50(図2)を動作させることにより、拭き取り部材51をノズルヘッド34の下方に配置する。拭き取り部材51には、例えば不織布等の吸水性を有する材料が用いられる。拭き取り部材51が突出面39に接触するまで、拭き取り部材51とノズルヘッド34とを近付ける。例えば、昇降機構33(図2)を動作させて、ノズルヘッド34を下降させることにより、拭き取り部材51とノズルヘッド34とを近付けることができる。また、拭き取り機構50に、拭き取り部材51を昇降させる機能を持たせてもよい。この場合には、拭き取り部材51を上昇させることにより、拭き取り部材51とノズルヘッド34とを近付けることができる。ノズル面38から突出面39までの高さは、液状残渣55の高さより低くなるように設定されている。このため、液状残渣55の頂部が、突出面39よりも高い位置まで突き出ている。
図5Bに、図5Aの一点鎖線5B−5Bにおける断面図を示す。拭き取り部材51は、X方向に長い形状を有し、X方向に関して、ノズル面38のうち突出面39で囲まれた領域(図4A)よりも長い。このため、拭き取り部材51がY方向のどの位置にあっても、少なくともその両端が突出面39に接触する。拭き取り部材51が突出面39に接触することにより、拭き取り部材51の、ノズル面38への接触が防止される。突出面39は、拭き取り部材51とノズル面38との接触を防止する「接触防止構造」として作用する。
図5Cに示すように、拭き取り機構50の移動機構52を動作させることにより、拭き取り部材51を、突出面39に接触させた状態で、ノズル面38に沿う方向(Y方向)に移動させる。図5Dに、図5Cの一点鎖線5D−5Dにおける断面図を示す。図5Dに示すように、拭き取り部材51が、その両端の近傍において、突出面39に接触している。ノズル面38と拭き取り部材51との間には、間隙が確保されている。拭き取り部材51の移動中に、拭き取り部材51が液状残渣55に接触する。拭き取り部材51が吸水性を有するため、液状残渣55が拭き取り部材51に吸収される。
実施例1によるクリーニング方法では、拭き取り部材51がノズル面38に接触しないため、ノズル面38の撥水処理の劣化を抑制することができる。
図6を参照して、ノズル面38から突出面39(図5)までの高さの目安について説明する。ノズル面38に付着している液状残渣55の体積をvで表し、半径をrで表し、ノズル面38から突出面39までの高さをhで表す。液状残渣55が半球状であると仮定すると、その半径rは、液状残渣55の高さと等しい。
図6に、液状残渣55の体積vと、半径rとの関係を示す。横軸は体積vを単位「pL」で表し、縦軸は半径rを単位「μm」で表す。液状残渣55の体積vは、液状の薄膜材料の粘度、表面張力等に依存する。ソルダーレジストの薄膜を形成する場合、液状残渣55の体積vは2〜10pL程度である。このとき、液状残渣55の半径rは約11〜16μmになる。突出面39を液状残渣55の頂部より低くするために、高さhを10μm以下とすることが好ましい。高さhが低すぎると、拭き取り部材51(図5D)の撓み等によって、拭き取り部材51がノズル面38に接触し易くなる。ノズル面38への拭き取り部材51の接触を防止するために、高さhを5μm以上とすることが好ましい。
[実施例2]
図7Aに、実施例2による液滴吐出装置のクリーニング機構の正面図を示す。以下、実施例1との相違点について説明し、同一の構成については説明を省略する。実施例2では、拭き取り部材80として、吸水性を有するウエスが用いられる。ノズルヘッド34の下方に、押し付け機構85が配置される。拭き取り部材80が、繰り出しロール81から繰り出され、ノズルヘッド34と押し付け機構85との間を通過して、巻き取りロール82に巻き取られる。押し付け機構85は、平面状の上面を有する押し付け部材86を昇降させることができる。
図7Aに、実施例2による液滴吐出装置のクリーニング機構の正面図を示す。以下、実施例1との相違点について説明し、同一の構成については説明を省略する。実施例2では、拭き取り部材80として、吸水性を有するウエスが用いられる。ノズルヘッド34の下方に、押し付け機構85が配置される。拭き取り部材80が、繰り出しロール81から繰り出され、ノズルヘッド34と押し付け機構85との間を通過して、巻き取りロール82に巻き取られる。押し付け機構85は、平面状の上面を有する押し付け部材86を昇降させることができる。
図7Bに、クリーニング時におけるクリーニング機構の正面図を示す。ノズルヘッド34を、突出面39が拭き取り部材80に接触するまで下降させる。さらに、押し付け部材86を、拭き取り部材80に接触するまで上昇させる。拭き取り部材80が液状残渣55に接触し、液状残渣55を吸収する。これにより、ノズル面38から液状残渣55を取り除くことができる。実施例2においても、拭き取り部材80がノズル面38に接触しないため、ノズル面38の撥水処理の劣化を抑制することができる。
[実施例3]
図8Aに、実施例3によるクリーニング機構の概略図を示す。以下、実施例1との相違点について説明し、同一の構成については説明を省略する。
図8Aに、実施例3によるクリーニング機構の概略図を示す。以下、実施例1との相違点について説明し、同一の構成については説明を省略する。
ノズルヘッド34の下方に吸引容器92が配置される。吸引容器92は、上方に向かって開口しており、吸引容器92の開口部を多孔質部材91が塞ぐ。多孔質部材91には、例えばメッシュ、スポンジ等が用いられる。多孔質部材91は、吸引容器92の開口面よりもやや深い位置に取り付けられている。昇降機構93が、吸引容器92を、ノズルヘッド34に対して昇降させる。吸引容器92に、開閉バルブ94を介して吸引装置95が接続されている。開閉バルブ94を開き、吸引装置95を動作させると、吸引容器92と多孔質部材91とで囲まれた空間が減圧される。
図8Bに、クリーニング時におけるクリーニング機構の概略図を示す。昇降機構93を動作させて、吸引容器92の開口部の縁がノズル面38に接触するまで、吸引容器92を上昇させる。吸引容器92の開口部の縁は、ノズル孔37が分布する領域を取り囲む環状の領域において、ノズル面38に接触する。吸引容器92とノズル面38との接触箇所の一部には、空気を流通させるための隙間が残されている。多孔質部材91は、吸引容器92の開口面よりもやや深い位置に取り付けられているため、ノズル面38に接触しない。
ノズル面38に付着している液状残渣55が、多孔質部材91に接触する。開閉バルブ94を開き、吸引装置95を動作させることにより、吸引容器92内の空間を減圧する。これにより、液状残渣55が、多孔質部材91を介して吸引容器92内に吸引される。
実施例3においては、多孔質部材91がノズル面38に接触しないため、ノズル面38の撥水処理の劣化を抑制することができる。吸引容器92の開口部の縁よりも深い位置に多孔質部材91を取り付けた構造が、「接触防止構造」として作用する。吸引容器92の開口部の縁をノズル面38に接触させた状態で、ノズル面38と多孔質部材91との間隔は、実施例1におけるノズル面38かた突出面39までの高さh(図6)と同程度とすることが好ましい。吸引容器92の開口部の縁がノズル面38に接触するが、この接触箇所は、ノズル孔37から面内方向に離れている。このため、この接触箇所の撥水処理が劣化しても、ノズルヘッド34の動作に支障はない。
上記実施例1〜実施例3では、ノズル孔からソルダーレジストの液滴を吐出させる例について説明したが、ノズル孔から吐出させる液滴は、ソルダーレジストに限らない。その
他の液状材料を吐出させる場合にも、上記実施例1〜実施例3のクリーニング機構を適用することが可能である。
他の液状材料を吐出させる場合にも、上記実施例1〜実施例3のクリーニング機構を適用することが可能である。
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
20 定盤
21 移動機構
22 ステージ
24 支持部材
27 基板
28 撮像装置
30 ノズルユニット
31 ノズルユニット支持機構
32 回転機構
33 昇降機構
34 ノズルヘッド
35 ノズルホルダ
36 硬化用光源
37 ノズル孔
38 ノズル面
39 突出面(接触防止構造)
40 液室
41 圧電素子
43 保護部材
50 拭き取り機構
51 拭き取り部材
52 移動機構
55 液状残渣
70 制御装置
71 入力装置
72 出力装置
80 拭き取り部材
81 繰り出しロール
82 巻き取りロール
85 押し付け機構
86 押し付け部材
91 多孔質部材
92 吸引容器
93 昇降機構
94 開閉バルブ
95 吸引装置
21 移動機構
22 ステージ
24 支持部材
27 基板
28 撮像装置
30 ノズルユニット
31 ノズルユニット支持機構
32 回転機構
33 昇降機構
34 ノズルヘッド
35 ノズルホルダ
36 硬化用光源
37 ノズル孔
38 ノズル面
39 突出面(接触防止構造)
40 液室
41 圧電素子
43 保護部材
50 拭き取り機構
51 拭き取り部材
52 移動機構
55 液状残渣
70 制御装置
71 入力装置
72 出力装置
80 拭き取り部材
81 繰り出しロール
82 巻き取りロール
85 押し付け機構
86 押し付け部材
91 多孔質部材
92 吸引容器
93 昇降機構
94 開閉バルブ
95 吸引装置
Claims (8)
- 液滴を吐出する複数のノズル孔が開口したノズル面を有するノズルヘッドと、
前記ノズルヘッドの前記ノズル面に付着した液状残渣に接触して、前記液状残渣を前記ノズル面から除去する拭き取り部材と、
前記拭き取り部材を前記液状残渣に接触させたとき、前記拭き取り部材が前記ノズル面に接触することを防止する接触防止構造と
を有する液滴吐出装置。 - 前記接触防止構造は、前記ノズルヘッドに固定され、前記ノズル面から、前記液滴の吐出方向に突き出た位置に突出面を有し、
さらに、前記液状残渣の除去時に、前記拭き取り部材が前記突出面に接触した状態で、前記拭き取り部材を前記突出面に沿って移動させる移動機構を有する請求項1に記載の液滴吐出装置。 - 前記拭き取り部材は、吸水性を有する部材を含み、前記液状残渣の除去時に、前記吸水性を有する部材が前記液状残渣に接触して前記液状残渣を吸収する請求項1または2に記載の液滴吐出装置。
- 前記拭き取り部材は、前記液状残渣の除去時に、前記液状残渣に接触する多孔質部材を含み、
さらに、前記多孔質部材を介して前記液状残渣を吸引する吸引装置を有する請求項1または2に記載の液滴吐出装置。 - 液滴を吐出する複数のノズル孔が開口したノズル面を有するノズルヘッドの前記ノズル面に拭き取り部材を近づけるとともに、接触防止構造によって前記拭き取り部材が前記ノズル面に接触することを防止した状態で、前記拭き取り部材を前記ノズル面に沿う方向に移動させて、ノズル面に付着した液状残渣に前記拭き取り部材を接触させて前記液状残渣を前記ノズル面から除去する液滴吐出装置のノズルヘッドのクリーニング方法。
- 前記接触防止構造は、前記ノズルヘッドに固定され、前記ノズル面から、前記液滴の吐出方向に突き出た位置に突出面を有し、前記拭き取り部材の一部を前記突出面に接触させることにより、前記拭き取り部材が前記ノズル面に接触することを防止する請求項5に記載のノズルヘッドのクリーニング方法。
- 前記拭き取り部材は、吸水性を有する部材を含み、前記吸水性を有する部材で前記液状残渣を吸収することにより、前記液状残渣を前記ノズル面から除去する請求項5または6に記載のノズルヘッドのクリーニング方法。
- 前記拭き取り部材は、前記液状残渣の除去時に、前記液状残渣に接触する多孔質部材を含み、前記液状残渣の除去時に、前記多孔質部材の孔を介して、前記液状残渣を吸引することにより、前記液状残渣を前記ノズル面から除去する請求項5または6に記載のノズルヘッドのクリーニング方法。
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