JP2007244973A - 液滴噴射装置及び塗布体の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】装置の大型化を抑えつつ、液滴の噴射不良の発生を防止することができる液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴噴射装置において、移動可能に設けられ、複数のノズル７ａが形成されたノズル面７ｂを有し複数のノズル７ａからそれぞれ液滴を噴射する液滴噴射ヘッド７と、液滴噴射ヘッド７により噴射された液滴をノズル面７ｂに対向する対向位置から吸引する吸引部２１と、吸引部２１を支持して液滴噴射ヘッド７と共に移動可能に設けられ、支持した吸引部２１を対向位置とその対向位置から離脱した非対向位置とに移動させる支持移動部２２と、吸引部２１内を排気して吸引部２１に吸引力を与える排気部とを備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、液滴を塗布対象物に噴射して塗布する液滴噴射装置及びその液滴噴射装置を用いた塗布体の製造方法に関する。

液滴噴射装置は、通常、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置、電子放出表示装置、プラズマ表示装置及び電気泳動表示装置等の様々な表示装置を製造するために用いられている。

液滴噴射装置は、塗布対象物に向けて複数のノズルから液滴（例えば、インク）をそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッド（例えば、インクジェットヘッド）を備えている。この液滴噴射装置は、液滴噴射ヘッドにより塗布対象物である基板に液滴を着弾させ、所定のパターンのドット列を形成し、例えば、カラーフィルタやブラックマトリクス（カラーフィルタの額縁）等の塗布体を製造する。このとき、基板が載置される基板保持テーブルと液滴噴射ヘッドとは相対的に移動する。

このような液滴噴射装置では、基板搬送中やアライメント動作中等の非液滴噴射動作中に、ノズル先端部のインクが凝固し、ノズルの目詰まりが発生したり、あるいは、塵や埃等の異物がノズルの先端付近に付着したりする。また、液滴噴射動作中にも、飛散インク等がノズル面に付着したりする。このため、液滴の不吐出や飛行曲がり等の噴射不良が発生してしまう。

そこで、ノズルの目詰まりの発生及びノズルの先端付近への異物の付着を防止するため、液滴噴射ヘッドにより液滴を空噴射する空噴射動作（捨て打ち動作）を行う液滴噴射装置が提案されている。また、ノズル面の異物を除去するため、空気の気流の強さを制御しながらノズル面に空気を吹き付ける液滴噴射装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

なお、空噴射動作を行う液滴噴射装置では、通常、液滴噴射ヘッドが噴射した液滴を受け取って吸収する吸収パッドが基板保持テーブルの隣に設けられており、この基板保持テーブルの上方には、液滴噴射ヘッドを支持して案内するガイド板が架橋されている。このため、液滴噴射ヘッドは、メンテナンス動作時、ガイド板により案内され、吸収パッドに対向する位置まで移動し、空噴射動作を行う。
特開２００４−１７４８４５号公報

しかしながら、前述の空噴射動作を行う液滴噴射装置では、基板保持テーブルの隣に吸収パッドを設けるためにその設置スペースを確保する必要があるため、液滴噴射装置が大型化してしまう。特に、液滴噴射ヘッドを複数台設けた場合には、それに応じて吸収パッドも同数だけ並べて設ける必要があり、液滴噴射装置が大型化してしまう。さらに、液滴噴射ヘッドを吸収パッドに対向する位置まで移動させるために、ガイド板を吸収パッドに対向する位置まで延伸させる必要があるため、ガイド板が長くなり、その結果として、液滴噴射装置が大型化してしまう。

また、前述のノズル面に空気を吹き付ける液滴噴射装置では、空噴射動作が行われず、ノズル面に空気が吹き付けられるため、ノズル先端部のインクの乾燥が促進されてしまう。このため、ノズル先端部のインクが凝固し、ノズルの目詰まりが発生しやすくなってしまう。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、その目的は、装置の大型化を抑えつつ、液滴の噴射不良の発生を防止することができる液滴噴射装置及び塗布体の製造方法を提供することである。

本発明の実施の形態に係る第１の特徴は、液滴噴射装置において、移動可能に設けられ、複数のノズルが形成されたノズル面を有し複数のノズルからそれぞれ液滴を噴射する液滴噴射ヘッドと、液滴噴射ヘッドにより噴射された液滴をノズル面に対向する対向位置から吸引する吸引部と、吸引部を支持して液滴噴射ヘッドと共に移動可能に設けられ、支持した吸引部を対向位置と対向位置から離脱した非対向位置とに移動させる支持移動部と、吸引部内を排気して吸引部に吸引力を与える排気部とを備えることである。

本発明の実施の形態に係る第２の特徴は、塗布体の製造方法において、前述の第１の特徴に係る液滴噴射装置を用いて、塗布対象物に向けて液滴を噴射することである。

本発明によれば、装置の大型化を抑えつつ、液滴の噴射不良の発生を防止することができる。

本発明の実施の一形態について図面を参照して説明する。

図１に示すように、本発明の実施の一形態に係る液滴噴射装置１は、液滴を塗布対象物である基板２に噴射して塗布するインク塗布ボックス３と、そのインク塗布ボックス３にインクを与えるインク供給ボックス４とを備えている。これらのインク塗布ボックス３とインク供給ボックス４とは、互いに隣接して配置され、共に架台５の上面に固定されている。

インク塗布ボックス３の内部には、基板２を保持してこの基板２をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させる基板移動機構６と、液体であるインクを液滴として基板２に向けて噴射する液滴噴射ヘッド７を有するインクジェットヘッドユニット８と、そのインクジェットヘッドユニット８をＸ軸方向に移動させるユニット移動機構９と、インクジェットヘッドユニット８の液滴噴射ヘッド７を清掃するヘッドメンテナンスユニット１０と、インクを収容するインクバッファタンク１１とが設けられている。

基板移動機構６は、Ｙ軸方向ガイド板１２、Ｙ軸方向移動テーブル１３、Ｘ軸方向移動テーブル１４及び基板保持テーブル１５が積層されている。これらのＹ軸方向ガイド板１２、Ｙ軸方向移動テーブル１３、Ｘ軸方向移動テーブル１４及び基板保持テーブル１５は平板状に形成されている。

Ｙ軸方向ガイド板１２は架台５の上面に固定されている。Ｙ軸方向ガイド板１２の上面には、複数のガイド溝１２ａがＹ軸方向に沿って設けられている。

Ｙ軸方向移動テーブル１３は、各ガイド溝１２ａにそれぞれ係合する複数の突起部（図示せず）を下面に有しており、Ｙ軸方向ガイド板１２の上面にＹ軸方向に移動可能に設けられている。また、Ｙ軸方向移動テーブル１３の上面には、複数のガイド溝１３ａがＸ軸方向に沿って設けられている。このＹ軸方向移動テーブル１３は、送りネジと駆動モータとを用いた送り機構（図示せず）により各ガイド溝１３ａに沿ってＹ軸方向に移動する。

Ｘ軸方向移動テーブル１４は、各ガイド溝１３ａに係合する突起部（図示せず）を下面に有しており、Ｙ軸方向移動テーブル１３の上面にＸ軸方向に移動可能に設けられている。このＸ軸方向移動テーブル１４は、送りネジと駆動モータとを用いた送り機構（図示せず）により各ガイド溝１３ａに沿ってＸ軸方向に移動する。

基板保持テーブル１５は、Ｘ軸方向移動テーブル１４の上面に固定されて設けられている。この基板保持テーブル１５は、基板２を吸着する吸着機構（図示せず）を備えており、その吸着機構により上面に基板２を固定して保持する。吸着機構としては、例えばエアー吸着機構等を用いる。なお、基板２の保持手段としては、吸着機構にかえて、基板を把持する把持機構を設けるようにしてもよい。把持機構としては、例えばコの字型の挟み金具等を用いる。

ユニット移動機構９は、架台５の上面に立設された一対の支柱１６と、それらの支柱１６の上端部間に連結されてＸ軸方向に延出するＸ軸方向ガイド板１７と、そのＸ軸方向ガイド板１７にＸ軸方向に移動可能に設けられインクジェットヘッドユニット８を支持するベース板１８とを有している。

一対の支柱１６は、Ｘ軸方向においてＹ軸方向ガイド板１２を挟むように設けられている。また、Ｘ軸方向ガイド板１７の前面には、ガイド溝１７ａがＸ軸方向に沿って設けられている。

ベース板１８は、ガイド溝１７ａに係合する突起部（図示せず）を背面に有しており、Ｘ軸方向ガイド板１７にＸ軸方向に移動可能に設けられている。このベース板１８は、送りネジと駆動モータとを用いた送り機構（図示せず）によりガイド溝１７ａに沿ってＸ軸方向に移動する。このようなベース板１８の前面には、インクジェットヘッドユニット８が取付けられている。

インクジェットヘッドユニット８は、図２に示すように、液滴噴射ヘッド７と、その液滴噴射ヘッド７を移動可能に支持する支持機構１９と、基板２上のアライメントマークを撮像する撮像部２０とを具備している。

液滴噴射ヘッド７は、インクジェットヘッドユニット８の先端に着脱可能に設けられている。この液滴噴射ヘッド７は、液滴が吐出される複数のノズル７ａが形成されたノズル面７ｂを有している。ノズル面７ｂはノズルプレート７ｃの外面である。各ノズル７ａは、ノズル面７ｂに所定ピッチで一直線上に設けられている。ここで、例えば、ノズル７ａの直径は数μｍから数十μｍ程度であり、ノズル７ａのピッチ間隔は数十μｍから数百μｍ程度である。なお、ノズル面７ｂ上には、インクの付着等を防止するための撥液膜（図示せず）が設けられている。この液滴噴射ヘッド７は、各ノズル７ａから液滴（インク滴）を基板２に向けて噴射し、基板２の表面に、例えばカラーフィルタのパターン等を塗布する。

支持機構１９は、基板２面に対して垂直方向、すなわちＺ軸方向に液滴噴射ヘッド７を移動させるＺ軸方向移動機構１９ａと、液滴噴射ヘッド７をＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構１９ｂと、液滴噴射ヘッド７をθ方向に回転させるθ方向回転機構１９ｃとにより構成されている。これにより、液滴噴射ヘッド７は、Ｚ軸方向及びＹ軸方向に移動可能であり、θ軸方向に回転可能である。

撮像部２０は、液滴噴射ヘッド７に固定して設けられている。この撮像部２０は、液滴噴射ヘッド７と共に移動し、基板２上に設けられた複数のアライメントマークをそれぞれ対向する位置から撮像する。撮像部２０としては、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ等を用いる。この撮像部２０により撮像された各アライメントマークに基づいて、基板保持テーブル１５上の基板２の位置補正が行われる。

ヘッドメンテナンスユニット１０は、図２及び図３に示すように、液滴噴射ヘッド７により噴射された液滴をそのノズル面７ｂに対向する対向位置から吸引する吸引部２１と、その吸引部２１を支持して液滴噴射ヘッド７と共に移動可能に設けられ、支持した吸引部２１を対向位置とその対向位置から離脱した離脱位置である非対向位置とに移動させる支持移動部２２と、吸引部２１内を排気して吸引部２１に吸引力を与える排気部２３とを備えている。

吸引部２１は、図３に示すように、例えば箱型形状に形成された吸引ヘッドであり、液滴噴射ヘッド７により噴射された液滴を吸引するための開口部２１ａを有している。この吸引部２１内には、吸引された液滴が通過する複数の貫通孔（オリフィス）２４ａが形成された板材２４が設けられている。この吸引部２１は、支持移動部２２により対向位置と非対向位置とに移動可能に支持されており、液滴噴射ヘッド７と共に移動する。

板材２４は、開口部２１ａを塞ぐように吸引部２１内に設けられている。この板材２４の外面２４ｂが、吸引部２１が対向位置に位置した場合、液滴噴射ヘッド７のノズル面７ｂに対向する対向面である。

各貫通孔２４ａは、図４に示すように、開口部２１ａにより露出する板材２４の外面２４ｂに、所定ピッチで一直線上に設けられている。これらの貫通孔２４ａは、例えば円形状に形成されている。ここで、例えば、貫通孔２４ａの直径Ａは１〜２ｍｍ程度であり、貫通孔２４ａのピッチ間隔Ｂは５ｍｍ程度である。このように複数の貫通孔２４ａを吸引部２１の対向面である外面２４ｂに設けることにより、吸引部２１の吸引速度のムラが減少し、さらに、その吸引力が変動し難くなる。

支持移動部２２は、図２に示すように、ベース板１８に固定された第１支持アーム２２ａと、その第１支持アーム２２ａにＹ軸方向に移動可能に設けられ吸引部２１を支持する第２支持アーム２２ｂと、第２支持アーム２２ｂをＹ軸方向に移動させる移動機構（図示せず）とを備えている。

第１支持アーム２２ａは、ベース板１８に固定されて設けられており、第２支持アーム２２ｂをＹ軸方向に移動可能に支持している。第２支持アーム２２ｂは、移動機構によりＹ軸方向に移動し、吸引部２１を対向位置と非対向位置とに位置付ける。移動機構は、例えば、送りネジと駆動モータとを用いた送り機構等である。このような支持移動部２２により、吸引部２１は対向位置と非対向位置とに移動する。

排気部２３は、図３に示すように、吸引部２１の側面に接続された排気パイプ２３ａと、その排気パイプ２３ａ中に設けられた廃液タンク２３ｂと、排気パイプ２３ａを介して吸引部２１内の気体を吸引する吸引ポンプ２３ｃとを備えている。この排気部２３は、板材２４の下方から吸引部２１内を排気し、吸引部２１に吸引力を与える。

排気パイプ２３ａは、吸引部２１の底面に近い側面に接続されている。この排気パイプ２３ａは、廃液タンク２３ｂを介して吸引ポンプ２３ｃに連通している。廃液タンク２３ｂは、架台５内に設けられており、吸引部２１により吸引された液滴を廃液として収容するタンクである。吸引ポンプ２３ｃは、架台５内に設けられており、吸引部２１内に廃液タンク２３ｂを介して排気パイプ２３ａにより接続されている。この吸引ポンプ２３ｃは、排気パイプ２３ａを介して吸引部２１内の気体を吸引して排気する。これにより、吸引部２１内が排気され、吸引力が吸引部２１に付与される。

このようなヘッドメンテナンスユニット１０は、基板２の搬送待機中や基板２上のアライメントマークの撮影動作中等の非液滴噴射動作中に、支持移動部２２の第２支持アーム２２ｂを移動させ、その第２支持アーム２２ｂ上の吸引部２１を対向位置に位置付ける。その後、ヘッドメンテナンスユニット１０は、排気部２３の吸引ポンプ２３ｃを駆動し、液滴噴射ヘッド７により噴射された液滴を吸引部２１により吸引する。また、ヘッドメンテナンスユニット１０は、吸引部２１が液滴噴射ヘッド７の液滴噴射動作を妨げないように、液滴噴射動作前に、支持移動部２２の第２支持アーム２２ｂを移動させ、その第２支持アーム２２ｂ上の吸引部２１を非対向位置、すなわち吸引部２１の待機位置に位置付ける。

図１に示すように、インクバッファタンク１１は、その内部に貯留したインクの液面と液滴噴射ヘッド７のノズル面７ｂとの水頭差（水頭圧）を利用し、ノズル先端のインクの液面（メニスカス）を調整する。これにより、インクの漏れ出しや噴射不良が防止されている。

インク供給ボックス４の内部には、インクを収容するインクタンク２５が着脱可能に取付けられている。インクタンク２５は、供給パイプ２６によりインクバッファタンク１１を介して液滴噴射ヘッド７に接続されている。すなわち、液滴噴射ヘッド７は、インクタンク２５からインクバッファタンク１１を介してインクの供給を受ける。インクとしては、水性インク、油性インク及び紫外線硬化インク等の各種のインクを用いる。例えば、油性インクは、顔料、溶剤（インク溶剤）、分散剤、添加剤及び界面活性剤等の各種の成分により構成されている。ここで、カラーフィルタの額縁を形成する場合には、黒インクが用いられる。この額縁とは、光が透過する透過領域（ＲＧＢ領域）の周囲に設けられた遮光領域である。

架台５の内部には、液滴噴射装置１の各部を制御するための制御部２７及び各種のプログラムを記憶する記憶部（図示せず）等が設けられている。制御部２７は、各種のプログラムに基づいて、Ｙ軸方向移動テーブル１３の移動制御、Ｘ軸方向移動テーブル１４の移動制御、ベース板１８の移動制御、Ｚ軸方向移動機構１９ａの駆動制御、Ｙ軸方向移動機構１９ｂの駆動制御及びθ方向回転機構１９ｃの駆動制御等を行う。これにより、基板保持テーブル１５上の基板２と、インクジェットヘッドユニット８の液滴噴射ヘッド７との相対位置を色々と変化させることができる。さらに、制御部２７は、各種のプログラムに基づいて、インクジェットヘッドユニット８の撮像部２０の駆動制御、支持移動部２２の第２支持アーム２２ｂの移動制御及び排気部２３の吸引ポンプ２３ｃの駆動制御等を行う。

次に、このような液滴噴射装置１の液滴噴射処理及び清掃処理について説明する。液滴噴射装置１の制御部２７は各種のプログラムに基づいて液滴噴射処理及び清掃処理を実行する。なお、清掃処理は、基板２の搬送待機中や基板２上のアライメントマークの撮影動作中等の非液滴噴射動作中に定期的に実行される。

液滴噴射処理では、まず、制御部２７は、Ｙ軸方向移動テーブル１３及びＸ軸方向移動テーブル１４を駆動制御し、加えて、インクジェットヘッドユニット８の撮像部２０の駆動制御し、基板２上のアライメントマークを撮像し、基板保持テーブル１５上の基板２の位置調整を行う。

その後、制御部２７は、インク塗布ボックス３の各部を駆動制御し、基板保持テーブル１５上の基板２に対する液滴の塗布を行う液滴塗布動作を行う。詳しくは、制御部２７は、Ｙ軸方向移動テーブル１３及びＸ軸方向移動テーブル１４を駆動制御し、加えて、インクジェットヘッドユニット８の液滴噴射ヘッド７を駆動制御し、液滴噴射ヘッド７により塗布対象物である基板２に向かって液滴を噴射する液滴噴射動作を行う。これにより、液滴噴射ヘッド７は、インクを液滴として各ノズル７ａからそれぞれ吐出し、移動する基板２にそれらの液滴を着弾させ、所定のパターンのドット列を順次形成する。

清掃処理では、制御部２７は、ヘッドメンテナンスユニット１０を駆動制御し、支持移動部２２の第２支持アーム２２ｂを移動させ、その第２支持アーム２２ｂ上の吸引部２１を対向位置に位置付け、排気部２３の吸引ポンプ２３ｃを駆動する。これにより、吸引力が吸引部２１に付与され、吸引部２１は液滴噴射ヘッド７のノズル面７ｂの周囲の気体を吸引する。

その後、制御部２７は、インクジェットヘッドユニット８の液滴噴射ヘッド７を駆動制御し、インクを液滴として噴射する空噴射動作（捨て打ち動作）を行う。このとき、液滴噴射ヘッド７は、各ノズル７ａから液滴を複数回連続的にそれぞれ噴射する。噴射された液滴は、吸引部２１により吸引され、排気パイプ２３ａを介して廃液タンク２３ｂ内に収容される。このようなメンテナンス動作後、制御部２７は、ヘッドメンテナンスユニット１０を駆動制御し、吸引部２１が液滴噴射ヘッド７の液滴噴射動作を妨げないように、支持移動部２２の第２支持アーム２２ｂを移動させ、その第２支持アーム２２ｂ上の吸引部２１を非対向位置、すなわち吸引部２１の待機位置に位置付ける。

以上説明したように、本発明の実施の形態によれば、液滴噴射ヘッド７により噴射された液滴を対向位置から吸引する吸引部２１と、その吸引部２１を支持して液滴噴射ヘッド７と共に移動可能に設けられ、支持した吸引部２１を対向位置と非対向位置とに移動させる支持移動部２２と、吸引部２１内を排気して吸引部２１に吸引力を与える排気部２３とを設けることによって、吸引部２１が支持移動部２２により液滴噴射ヘッド７と共に移動し、さらに、対向位置及び非対向位置に自在に移動するので、例えば、Ｙ軸方向ガイド板１２の隣に吸引部２１を設け、その吸引部２１に液滴噴射ヘッド７を対向させるためにＸ軸方向ガイド板１７を延出させる必要がなくなる。これにより、液滴噴射装置１の大型化を防止することができる。

さらに、液滴噴射ヘッド７の空噴射動作により、液滴が各ノズル７ａから噴射されるので、ノズル７ａ先端部のインクの凝固が防がれ、ノズル７ａの目詰まりの発生が防止される。加えて、液滴噴射ヘッド７により噴射された液滴は、吸引部２１により対向位置から吸引されるので、噴射により飛散した液滴が液滴噴射ヘッド７のノズル面７ｂに付着することが抑えられる。このようにして、ノズル７ａの目詰まりの発生が防止され、さらに、ノズル面７ｂに対する飛散液滴の付着が抑えられるので、液滴の不吐出や飛行曲がり等の液滴の噴射不良の発生を防止することができる。

また、吸引部２１が支持移動部２２により液滴噴射ヘッド７と共に移動することから、基板２上のアライメントマークの撮影動作中にも、メンテナンス動作を行うことが可能になるので、液滴塗布動作後から次の液滴塗布動作までの待機時間を短縮することができる。加えて、吸引部２１が支持移動部２２により対向位置に短時間で移動することが可能になるので、Ｙ軸方向ガイド板１２の隣に吸引部２１を設けた場合に比べ、吸引部２１を液滴噴射ヘッド７に対向させるための移動時間を短縮することができる。

また、吸引部２１は、対向位置でノズル面７ｂに対向する面であって、複数の貫通孔２４ａが形成された対向面である外面２４ｂを有していることから、吸引部２１の吸引速度が均一となり、吸引による流速も一定になるので、飛散した液滴を確実に吸引することができ、さらに、各ノズル７ａの先端部のインクが局所的に短時間で乾燥してしまうことを防止することができる。加えて、吸引部２１と液滴噴射ヘッド７のノズル面７ｂとのギャップ（離反距離）が多少変動しても、吸引部２１の吸引力を変動し難くすることができる。

また、前述の液滴噴射装置１を用いて、塗布対象物である基板２に向けて液滴を噴射することによって、例えばカラーフィルタやブラックマトリクス（カラーフィルタの額縁）等の塗布体が製造されるので、塗布体の製造不良の発生を防止することができ、さらに、信頼性が高い塗布体を得ることができる。

（他の実施の形態）
なお、本発明は、前述の実施の形態に限るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。

例えば、前述の実施の形態においては、液滴噴射ヘッド７を１つだけ設けているが、これに限るものではなく、液滴噴射ヘッド７を複数台設けるようにしてもよく、その数は限定されない。

また、前述の実施の形態においては、吸引部２１の底面側の側面に排気パイプ２３ａを接続しているが、これに限るものではなく、例えば、吸引部２１の底面に接続するようにしてもよい。さらに、吸引部２１に１本の排気パイプ２３ａを接続し、その排気パイプ２３ａを介して吸引ポンプ２３ｃにより吸引部２１内を排気しているが、これに限るものではなく、例えば、吸引部２１に２本の排気パイプ２３ａを接続し、それらの排気パイプ２３ａを介して吸引部２１により吸引部２１内を排気するようにしてもよい。

本発明の実施の一形態に係る液滴噴射装置の概略構成を示す斜視図である。 図１に示す液滴噴射装置が備えるインクジェットヘッドユニット及びヘッドメンテナンスユニットの概略構成を示す側面図である。 図２に示すヘッドメンテナンスユニットの概略構成を示す模式図である。 図２及び図３に示すヘッドメンテナンスユニットが備える吸引部を示す平面図である。

符号の説明

１…液滴噴射装置、２…塗布対象物（基板）、７…液滴噴射ヘッド、７ａ…ノズル、７ｂ…ノズル面、２１…吸引部、２２…支持移動部、２３…排気部、２４…板材、２４ａ…貫通孔

Claims (3)

1. 移動可能に設けられ、複数のノズルが形成されたノズル面を有し前記複数のノズルからそれぞれ液滴を噴射する液滴噴射ヘッドと、
   前記液滴噴射ヘッドにより噴射された前記液滴を前記ノズル面に対向する対向位置から吸引する吸引部と、
   前記吸引部を支持して前記液滴噴射ヘッドと共に移動可能に設けられ、支持した前記吸引部を前記対向位置と前記対向位置から離脱した非対向位置とに移動させる支持移動部と、
   前記吸引部内を排気して前記吸引部に吸引力を与える排気部と、
   を備えることを特徴とする液滴噴射装置。
2. 前記吸引部は、前記対向位置で前記ノズル面に対向する面であって、複数の貫通孔が形成された対向面を有していることを特徴とする請求項１記載の液滴噴射装置。
3. 請求項１又は２記載の液滴噴射装置を用いて、塗布対象物に向けて液滴を噴射することを特徴とする塗布体の製造方法。
   
   
   

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