JP2014062837A - 欠陥検査装置及び欠陥レビュー装置 - Google Patents
欠陥検査装置及び欠陥レビュー装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014062837A JP2014062837A JP2012208808A JP2012208808A JP2014062837A JP 2014062837 A JP2014062837 A JP 2014062837A JP 2012208808 A JP2012208808 A JP 2012208808A JP 2012208808 A JP2012208808 A JP 2012208808A JP 2014062837 A JP2014062837 A JP 2014062837A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- inspection
- area
- color
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
【課題】従来装置では、欠陥検査できるウェーハ上の配列や検査感度に限界がある。
【解決手段】検査装置として、被検査物のカラー画像を撮像するカラー画像撮像装置と、1つのカラー画像から生成される複数の色成分画像のうち少なくとも2つの色成分画像を選択して、その濃淡階調値を各軸とする色空間上に同一の座標値を有する色成分の組をプロットし、プロットされた各点をそれらの分布に基づいて正常領域と欠陥領域に分離し、前記欠陥領域に分類された点と同一の濃淡階調値の組を有する画素を欠陥として判定する計算部とを設ける。
【選択図】図8−3
【解決手段】検査装置として、被検査物のカラー画像を撮像するカラー画像撮像装置と、1つのカラー画像から生成される複数の色成分画像のうち少なくとも2つの色成分画像を選択して、その濃淡階調値を各軸とする色空間上に同一の座標値を有する色成分の組をプロットし、プロットされた各点をそれらの分布に基づいて正常領域と欠陥領域に分離し、前記欠陥領域に分類された点と同一の濃淡階調値の組を有する画素を欠陥として判定する計算部とを設ける。
【選択図】図8−3
Description
本発明は、光学式の欠陥検査装置及び欠陥レビュー装置に関する。
ウェーハプロセスでは、例えばシリコン単結晶等から構成されるウェーハ面内に多数の半導体素子(又はチップ)を形成する。このプロセスは、リソグラフィ技術によりウェーハ表面にパターンを転写する工程と種々の加工工程等で構成される。これら複数の工程の実行により、複数のパターンを所定数だけ重ね合わせた多層構造が形成される。
半導体素子の歩留まりの向上や所定の特性の実現には、個々のパターンが予め決められた所定の形状に形成されることが極めて重要である。そこで通常、個々のパターンを形成するたびに非破壊検査を行っている。
非破壊検査では、ウェーハ面内に格子状に規則的に配列されたチップのうち、ピッチ間隔の整数倍だけ離れて位置する検査チップと比較チップから2つの濃淡画像データを取得し、同一ポイントの濃淡差が予め設定した欠陥判定しきい値よりも大きい場合、その場所を欠陥として抽出する。特許文献1には、隣接する2つのチップを比較する方法が開示されている。
図1に、従来方法の概要を示す。なお、図1は、説明を簡略化するため、1つのチップを検査する場合について表している。ここでは、3つの隣接するチップA、B、Cのうち真ん中に位置するチップB102を検査対象とする。このとき、検査装置は、チップA101、チップB102、チップC103を順番にスキャンして各画像を取得し、隣接する2つの画像間の差画像を計算する。すなわち、チップA101とチップB102の差画像105とチップB102とチップC103の差画像106を計算する。これら2つの差画像105及び106で連続して欠陥104が検出された場合、検査装置はチップB102に欠陥があると判定する。
図2に、このような手順により欠陥を検査する光学式ウェーハパターン外観検査装置(以下、「外観検査装置」という。)の従来例を示す。
検査に先立って、X−Yステージ201の表面には、検査ウェーハ204が載置される。検査の開始後、外観検査装置は、検査ウェーハ204に対し、光源206から検査光を照射する。光源206には、例えばキセノンランプを使用する。検査光は検査ウェーハ204で反射された後、検査ウェーハ204の上方に位置する対物レンズ205を通り、1次元白黒CCDカメラ(撮像装置)202の撮像面に到達する。この状態で、X−Yステージ201を例えばX方向にスキャンする。これにより、検査対象領域に対応する2次元濃淡画像が取得される。
2次元濃淡画像(つまり白黒画像)は、1次元白黒CCDカメラ202から画像比較部203に出力される。画像比較部203は、例えばパーソナルコンピュータの画像処理機能を通じて実現される。
画像比較部203は、画像メモリ部209と減算器210で構成される。画像メモリ部209は、X−Yステージ201が1チップ分をスキャンするのに要する時間だけ、1次元白黒CCDカメラ202からの2次元検査画像(現在画像)を遅延する。画像メモリ部209は、例えばシフトレジスタ回路で構成される。これにより、減算器210には、1チップ前の2次元検査画像(遅延画像)が入力される。
減算器210は、X−Yステージ201のX方向へのスキャンと同期して、遅延画像と現在画像の同一ポイント間の差分を計算する。これにより、検査チップ207と比較チップ208の差画像を計算する。
なお、特許文献2には、半導体ウェハの検査装置において、2次元白黒CCDカメラを検査画像の取得に使用する構成が開示されている。
ところが、従来の外観検査装置には、検査チップのウェーハ上の配列に関する制約や検査感度に関する限界がある。
まず、配列上の制約を、図3に示すウェーハマップを用いて説明する。前述したように、1チップの検査には、左右2つのチップを含む計3つのチップが同一ライン上に存在することが必要となる。すなわち、図3に示すウェーハマップの最上列のように、1列に3チップ以上のチップが存在する必要があり、最下列のように1列に1チップ又は2チップしかない場合には検査を行うことができない。
次に、検査感度に関する限界を図4及び図5を用いて説明する。図4に示す限界は、欠陥検査に差画像を用いることに起因する限界である。X−Yステージ201の精度が高く、チップA101とチップB102の画像のずれ量が1画素未満の場合でも、遅延画像と現在画像の間には、一般にサンプリング誤差が残る。このサンプリング誤差が、欠陥104よりも大きなノイズを発生させた場合、真(本当)の欠陥のみを検出することが不可能となる。続いて、2つ目の限界を説明する。図5は、メタル配線パターンを含むチップ画像を示したものである。図5の例は、チップAとチップBの配線にグレインが存在する例である。なお、チップCの配線にはグレインが存在しないものとする。図5の例の場合、差画像105に、欠陥104よりも大きな濃淡差がグレインの部分に現れる。結果的に、真(本当)の欠陥104だけを検出することが不可能になる。
上記課題を解決するために、本発明に係る欠陥検査装置及び欠陥レビュー装置は、被検査領域のカラー画像を撮像するカラー画像撮像装置と、1つのカラー画像から生成される複数の色成分画像のうち少なくとも2つの色成分画像を選択して、その濃淡階調値を各軸とする色空間上に同一の座標値を有する色成分の組をプロットし、プロットされた各点をそれらの分布に基づいて正常領域と欠陥領域に分離し、前記欠陥領域に分類された点と同一の濃淡階調値の組を有する画素を欠陥として判定する計算部とを有する。
本発明によれば、ウェーハ上の任意の列及び位置のチップを検査又はレビューすることができる。また、本発明によれば、サンプリング誤差が発生しないため、真の欠陥のみを検出することができる。また、本発明によれば、被検査領域にグレインが含まれる場合でも真の欠陥のみを検出することができる。前述した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
以下、添付図面に基づいて、本発明の実施例を説明する。なお、本発明は、後述する実施例に限定されるものではなく、その技術思想の範囲において、種々の変形が可能である。
[実施例1]
(装置構成)
図6に、実施例に係る光学式ウェーハパターン外観検査装置の構成例を示す。図6は、図2と対応する部分に同一符号を付して表している。実施例装置と従来装置(図2)との違いは、1次元白黒CCDカメラ(撮像装置)202に代えて、2次元カラーCCDカメラ601を搭載する点と、画像比較部203に代えて画像処理パソコン602を接続する点である。なお、カラー撮像可能であれば、2次元カラーCCDカメラである必要は無く、例えば1次元カラーCCDカメラ、2次元カラーCMOSカメラ、1次元カラーCMOSカメラ等でも構わない。
(装置構成)
図6に、実施例に係る光学式ウェーハパターン外観検査装置の構成例を示す。図6は、図2と対応する部分に同一符号を付して表している。実施例装置と従来装置(図2)との違いは、1次元白黒CCDカメラ(撮像装置)202に代えて、2次元カラーCCDカメラ601を搭載する点と、画像比較部203に代えて画像処理パソコン602を接続する点である。なお、カラー撮像可能であれば、2次元カラーCCDカメラである必要は無く、例えば1次元カラーCCDカメラ、2次元カラーCMOSカメラ、1次元カラーCMOSカメラ等でも構わない。
本実施例の場合、欠陥検出処理は、画像処理パソコン602で実行されるプログラムによる画像処理を通じて提供される。本実施例に係る画像処理パソコン602は、同一の撮像領域から取得した1つのカラー画像からR成分画像、G成分画像、B成分画像を分離し、そのうちR成分画像とG成分画像について定義した色空間上の成分分布に基づいて欠陥の有無を判定する。なお、プログラムを通じて提供される処理内容の全部又は一部は、専用の処理ボード、ASICその他の半導体集積回路等を通じてハードウェア的に実現しても良い。
(処理動作)
図7に、本実施例に係る外観検査装置において実行される検査動作の概要を示す。本実施例では、検査対象をウェーハとする。まず、検査ウェーハ204が、X−Yステージ201に載置される。検査ウェーハ204には、チップが格子状かつ規則的に配列されている。
図7に、本実施例に係る外観検査装置において実行される検査動作の概要を示す。本実施例では、検査対象をウェーハとする。まず、検査ウェーハ204が、X−Yステージ201に載置される。検査ウェーハ204には、チップが格子状かつ規則的に配列されている。
この後、外観検査装置は、不図示の駆動制御部によるX−Yステージ201の制御を通じ、検査対象とするチップ(検査チップ207)を検査エリアに移動させる(ステップ701)。検査エリアは、光源光が照射される領域である。移動の開始後、画像処理パソコン602は、検査チップ207の位置決め(ステージ移動)が完了したか否かを判定する(ステップ702)。
ステージ移動が完了すると、検査ウェーハ204に対し、光源206(例えばキセノンランプ)から検査光が照射される。検査光は、検査チップ207で反射される。この反射光は、検査ウェーハ204の上方に配置された対物レンズ205を通じ、2次元カラーCCDカメラ601の撮像領域に入射する。2次元カラーCCDカメラ601は、この反射光の像を2次元カラー画像として画像処理パソコン602に出力する。
画像処理パソコン602は、2次元カラーCCDカメラ601から入力される2次元カラー画像を、キャプチャーボード等にキャプチャーする(ステップ703)。キャプチャーされたカラー画像の例を図8−1に示す。図8−1は、検査チップ207がチップBの場合である。図8−1に例示する検査チップ207の画像は、見かけ上、図4で示したチップBの画像と同じであるが、白黒画像ではなくカラー画像である。キャプチャーされた画像の視野範囲は、例えば画素サイズが1μmであれば100×100μmである。
次に、画像処理パソコン602は、キャプチャーされたカラー画像をRGB成分に分離し、3つの色成分画像(R成分画像、G成分画像、B成分画像)を生成する(ステップ704)。図8−2に、カラー画像から分離されたR成分画像、G成分画像、B成分画像の例を示す。キャプチャーボードに取り込まれるカラー画像は、24ビットのビットマップ形式であることが多いが、これを8ビット256濃淡階調のRGB画像に変換することは容易である。勿論、カラー画像のデータ形式や画像変換方式はこれに限られるものではなく、既知の任意の方式を適用できる。
この後、画像処理パソコン602は、生成された3つの色成分画像から2つの色成分画像を選択する(ステップ705)。どの色成分画像を選択するかは過去の経験に基づいて、検査前に予め決めておく。本実施例の場合、R成分画像とG成分画像の2つを選択する。
次に、画像処理パソコン602は、同じ座標値を有する画素のR成分の濃淡階調値を縦軸成分、G成分の濃淡階調値を横軸成分として、R−G成分空間図上にプロットする(ステップ706)。検査チップ207を構成する全画素に対応する点がR−G成分空間図上にプロットされる。本実施例の場合、検査チップ207の一辺は100画素であるので10000個の点がプロットされる。図8−3にプロット例を示す。図8−3では、横軸がG成分の濃淡階調値であり、縦軸がR成分の濃淡階調値である。
この後、画像処理パソコン602は、R−G成分空間図上の全プロット点の重心を含む塊り領域から一定距離だけ離れて出現するプロット点の領域を欠陥領域として抽出する(ステップ707)。欠陥は、一般に、その材質や段差量が周囲と異なる部分である。これらの違いは、周辺領域との間で色収差の違いとして検出される。本発明者は、この特性に着目する。なお、正常領域と欠陥領域のしきい値として使用する一定距離の値は、過去の経験に基づいて、検査前に予め決めておく。なお、一定距離は、検査領域の材質や照明光によっても異なる。
図9に、R−G成分空間図にプロットされた全画素の重心を含む塊り領域を求める処理と、当該領域から一定距離以上離れた画素を抽出する処理の概念を示す。本実施例の場合、画像処理パソコン602は、各プロット点の中心から一定距離を塗り潰す処理を実行する。例えばプロット点の中心から半径8レベルの範囲を塗り潰す。次に、画像処理パソコン602は、塗り潰し処理後の複数のプロット点が直接に又は間接的に繋がって形成された1つの領域であって、全プロット点の重心を含む領域を「重心を含む塊り領域」と定義する。
なお、半径8レベルは一例である。例えば設定された塗り潰し範囲を用いた自動判定結果と同一領域についてのオペレータのレビュー結果とを比較して、最適な塗り潰し範囲をプロセス毎に設定しても良い。
図9の例では、黒く塗り潰された領域が「重心を含む塊り領域」である。なお、図9の例では、「重心を含む塊り領域」と一定距離以上離れた領域が3つある。これらの領域が「欠陥領域」と判定されている。図9では、これらの欠陥領域を灰色の塗り潰しで表している。
画像処理パソコン602は、検査チップ207を構成する10000画素(=100画素×100画素)のうち、G成分の濃淡階調値とR成分の濃淡階調値の組み合わせが、先に抽出された欠陥領域と一致する場合、その画素の座標(100×100画素内の座標)を欠陥座標として出力する。なお、本発明者は出力された欠陥座標が実際に欠陥であることを確認した。これは欠陥部の色の具合が、正常パターンとは違うということを意味している。
なお、画像処理パソコン602は、全検査エリアの検査が終了するまでステップ701〜ステップ707までの処理を繰り返し実行する(ステップ708)。例えば、サイズが1000μm×1000μmで与えられる検査チップ207の全体を検査する場合、画像処理パソコン602は、ステップ701〜ステップ707までの処理を100回繰り返し、その後、検査を終了する。
本実施例の検出方法は、検査チップ207にグレインが含まれる場合にも有効であることを発明者は確認した。すなわち、グレインは検出されず、真(本当)の欠陥のみを検出できることを発明者は確認した。
参考までに、図10−1に、キャプチャーされたカラー画像にグレインが含まれる例を示す。図10−1に例示した画像は図5と同じくチップBの画像であるが、白黒画像ではなくカラー画像である。図10−2は、カラー画像から分離されたR成分画像、G成分画像、B成分画像の例を示す。図中丸印で示すように、R成分画像とG成分画像にはグレインが含まれている。図10−3は、同じ座標値を有する画素のR成分の濃淡階調値を縦軸成分、G成分の濃淡階調値を横軸成分として、R−G成分空間図上にプロットした図である。前述したように、図中に丸印で示す領域は、真(本当)の欠陥のみであることを発明者は確認した。
(まとめ)
以上説明したように、本実施例に係る外観検査装置では、1つの検査チップから撮像したカラー画像だけで欠陥を判定することができる。このため、左右に対比画素が存在しない列、例えば1チップしかない列についても欠陥を検査することができる。また、1列に3つ以上のチップを含む列の場合でも、左右に対比画素を有しない両端位置のチップにおける欠陥も検査することができる。
以上説明したように、本実施例に係る外観検査装置では、1つの検査チップから撮像したカラー画像だけで欠陥を判定することができる。このため、左右に対比画素が存在しない列、例えば1チップしかない列についても欠陥を検査することができる。また、1列に3つ以上のチップを含む列の場合でも、左右に対比画素を有しない両端位置のチップにおける欠陥も検査することができる。
また、本実施例に係る外観検査装置では、原理的にサンプリング誤差が発生しない。このため、欠陥がノイズに埋もれることがなく、真の欠陥のみを検出することができる。また、本実施例に係る外観検査装置は、撮像領域にグレインが含まれる場合でも真の欠陥のみを検出することができる。
[実施例2]
(装置構成)
ここでは、前述した外観検査装置を欠陥レビュー装置として使用する場合について説明する。なお、レビュー対象とする欠陥の検査には、従来装置として説明した図2に示す構成の光学式ウェーハパターン外観検査装置を使用する。
(装置構成)
ここでは、前述した外観検査装置を欠陥レビュー装置として使用する場合について説明する。なお、レビュー対象とする欠陥の検査には、従来装置として説明した図2に示す構成の光学式ウェーハパターン外観検査装置を使用する。
図11に、実施例2に係るレビュー機能付き外観検査装置の構成例を示す。なお、図11は、図2及び図6と対応する部分に同一符号を付して示している。本実施例の場合、1次元白黒CCDカメラ202の撮像視野は、2次元カラーCCDカメラ601の撮像視野よりも広い。このため、検査ウェーハ204の全体を外観検査するのに要する時間は、1次元白黒CCDカメラ202を用いる方が2次元カラーCCDカメラ601を用いる場合よりも短く済む。
そこで、本実施例では、外観検査に1次元白黒CCDカメラ202を使用し、検出された欠陥のレビューに2次元カラーCCDカメラ601を使用する。すなわち、本実施例では、従来装置と実施例1とのハイブリッド方式であり、実施例1で使用した装置構成をレビュー装置として使用する。
なお、図11には、連続する2つの差画像の比較に基づいて欠陥104を検出し、検出された欠陥座標をレビュー用に画像処理パソコン602に出力する欠陥検出部1101が追加される。もっとも、欠陥検出部1101による欠陥検出処理も、画像処理パソコン602の機能として実現しても良い。
(処理動作)
図12に、本実施例に係るレビュー機能付き外観検査装置において実行される検査動作の概要を示す。なお、図12には、図7との対応部分に同一符号を付して示している。
図12に、本実施例に係るレビュー機能付き外観検査装置において実行される検査動作の概要を示す。なお、図12には、図7との対応部分に同一符号を付して示している。
本実施例に係るレビュー機能付き外観検査装置は、まず、検査ウェーハ204を載置したX−Yステージ201をX方向にスキャンし、全検出エリアのスキャン画像を1次元白黒CCDカメラ202で撮像する(ステップ1201)。
この際、1次元白黒CCDカメラ202で撮像された2次元検査画像(現在画像)は画像比較部203に出力され、減算器210において遅延画像と比較される。これら連続するチップ間の差画像は欠陥検出部1101に与えられ、欠陥判定される。因みに、欠陥検出部1101は、図1で説明した原理に従って欠陥の有無を判定する。判定結果である欠陥座標の情報は、欠陥検出部1101から画像処理パソコン602に出力される。欠陥座標は、欠陥が検出されるたび逐次出力しても良いし、全検査エリアのスキャンの終了を待って一括出力しても良い。
なお、前述したように、1次元白黒CCDカメラ202を用いた欠陥検査では、検査できないチップがある。このようなチップについては、後述するレビュー検査の際にまとめて欠陥検査しても良い。
次に、画像処理パソコン602は、取得した欠陥座標の情報を検査チップ207の座標位置として不図示の駆動制御部に与える。不図示の駆動制御部は、欠陥座標の検査チップ207が検査エリアに位置するように、X−Yステージ201を移動する(ステップ1202)。
ステージ移動が完了すると、画像処理パソコン602は、2次元カラーCCDカメラ601から入力される2次元カラー画像をキャプチャーする(ステップ703)。この後、実施例1と同様の処理、すなわちステップ704からステップ707までの処理が順番に実行される。なお、ステップ707で欠陥領域が抽出された場合、ステップ1201で検出された欠陥は真(本当)の欠陥であると判定される。もし、ステップ707で欠陥領域が抽出されなければ、ステップ1201で検出された欠陥は誤報であると判定される。
この後、画像処理パソコン602は、全ての欠陥座標について判定処理が終了したか否かを判定する(ステップ1203)。欠陥検出部1101から通知された欠陥座標のうち未判定の座標が残っている間、画像処理パソコン602は、ステップ1202及びステップ703〜ステップ707の処理を繰り返す。これに対し、全ての欠陥座標について判定が終了すると、画像処理パソコン602はレビュー検査を終了する。
(まとめ)
以上説明したように、本実施例に係るレビュー機能(欠陥レビュー装置)は、実施例1と同様の効果を得ることができる。すなわち、本実施例に係る欠陥レビュー装置は、左右に対比画素が存在しない列のチップ、3つ以上のチップを含む列でも左右に対比画素を有しない両端位置のチップについても欠陥の有無をレビューすることができる。
以上説明したように、本実施例に係るレビュー機能(欠陥レビュー装置)は、実施例1と同様の効果を得ることができる。すなわち、本実施例に係る欠陥レビュー装置は、左右に対比画素が存在しない列のチップ、3つ以上のチップを含む列でも左右に対比画素を有しない両端位置のチップについても欠陥の有無をレビューすることができる。
また、本実施例に係る欠陥レビュー装置は、原理的にサンプリング誤差が発生しない。このため、真の欠陥のみをレビューすることができる。また、本実施例に係る欠陥レビュー装置は、撮像領域にグレインが含まれる場合でも真の欠陥のみをレビューすることができる。
また、本実施例に係るレビュー機能付き外観検査装置は、前述したレビュー機能を組み合わせたことにより、実施例1に比して欠陥の検出に要する時間を短縮することができる。
[他の実施例]
(1)前述の実施例においては、ウェーハパターン外観検査装置について説明したが、各実施例で説明した検査/レビュー原理は、ウェーハ以外の欠陥検査やレビューにも応用することができる。例えばバンプ検査装置や基板検査装置にも応用することができる。
(2)前述の実施例においては、各画素の色成分を2次元の色成分空間上にマッピングして「重心を含む塊り領域」を求め、当該領域から一定距離だけ離れた領域を欠陥領域として判定する場合について説明したが、各画素の色成分を3次元の色成分空間上にマッピングしても良い。
(3)前述の実施例においては、カラー画像をR成分画像、G成分画像、B成分画像に分離しているが、その他の色成分画像に分離して用いても良い。
(4)本発明は、上述した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例を含んでいる。例えば上述した実施例は、本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備える場合に限定されるものではない。
(1)前述の実施例においては、ウェーハパターン外観検査装置について説明したが、各実施例で説明した検査/レビュー原理は、ウェーハ以外の欠陥検査やレビューにも応用することができる。例えばバンプ検査装置や基板検査装置にも応用することができる。
(2)前述の実施例においては、各画素の色成分を2次元の色成分空間上にマッピングして「重心を含む塊り領域」を求め、当該領域から一定距離だけ離れた領域を欠陥領域として判定する場合について説明したが、各画素の色成分を3次元の色成分空間上にマッピングしても良い。
(3)前述の実施例においては、カラー画像をR成分画像、G成分画像、B成分画像に分離しているが、その他の色成分画像に分離して用いても良い。
(4)本発明は、上述した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例を含んでいる。例えば上述した実施例は、本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備える場合に限定されるものではない。
また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能である。また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成を追加し、削除し、又は置換することもできる。
また、上述した各構成、機能、処理部、処理手段等は、それらの一部又は全部を、例えば集積回路で設計する等によりハードウェアで実現してもよい。また、上述した各構成、機能等は、CPUがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、実行することによりソフトウェアで実現してもよい。
各機能を実現するプログラム、テーブル、ファイル等の情報は、メモリや、ハードディスク、SSD(Solid State Drive)等の記録装置、または、ICカード、SDカード、DVD等の記録媒体に置くことができる。
また、制御線や情報線は説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしも全ての制御線や情報線を示しているとは限らない。実際には殆ど全ての構成が相互に接続されていると考えてもよい。
101:チップA
102:チップB
103:チップC
104:欠陥
105:差画像(チップA−チップB)
106:差画像(チップB−チップC)
201:X−Yステージ
202:1次元白黒CCDカメラ
203:画像比較部
204:検査ウェーハ
205:対物レンズ
206:光源
207:検査チップ
208:比較チップ
209:画像メモリ部
210:減算器
601:2次元カラーCCDカメラ
602:画像処理パソコン
1101:欠陥検出部
102:チップB
103:チップC
104:欠陥
105:差画像(チップA−チップB)
106:差画像(チップB−チップC)
201:X−Yステージ
202:1次元白黒CCDカメラ
203:画像比較部
204:検査ウェーハ
205:対物レンズ
206:光源
207:検査チップ
208:比較チップ
209:画像メモリ部
210:減算器
601:2次元カラーCCDカメラ
602:画像処理パソコン
1101:欠陥検出部
Claims (9)
- 照明光を発生する光源と、
被検査物の表面上に所望の光束を照明する照明光学系と、
前記被検査物の表面からの反射光を集光する集光光学系と、
前記集光光学系で集光された反射光を受光してカラー画像を撮像するカラー画像撮像装置と、
1つのカラー画像から生成される複数の色成分画像のうち少なくとも2つの色成分画像を選択して、その濃淡階調値を各軸とする色空間上に同一の座標値を有する色成分の組をプロットし、プロットされた各点をそれらの分布に基づいて正常領域と欠陥領域に分離し、前記欠陥領域に分類された点と同一の濃淡階調値の組を有する画素を欠陥として判定する計算部と
を有する検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記計算部は、前記色空間上における各点の寸法に予め定めた値を使用し、各点が直接又は間接的に繋がって形成された1つの領域であって、プロットされた全ての点の重心を含む領域を前記正常領域と判定する
ことを特徴とする検査装置。 - 請求項2に記載の検査装置において、
前記計算部は、前記色空間上において前記正常領域から所定の距離以上離れた点を前記欠陥領域と判定する
ことを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記計算部は、前記色空間上において前記正常領域から所定の距離以上離れた点を前記欠陥領域と判定する
ことを特徴とする検査装置。 - 照明光を発生する光源と、
被検査物の表面上に所望の光束を照明する照明光学系と、
前記被検査物の表面からの反射光を集光する集光光学系と、
欠陥座標に対応する領域に前記被検査物を位置決めした状態で、前記集光光学系で集光された反射光を受光してカラー画像を撮像するカラー画像撮像装置と、
1つのカラー画像から生成される複数の色成分画像のうち少なくとも2つの色成分画像を選択して、その濃淡階調値を各軸とする色空間上に同一の座標値を有する色成分の組をプロットし、プロットされた各点をそれらの分布に基づいて正常領域と欠陥領域に分離し、前記欠陥領域に分類された点と同一の濃淡階調値の組を有する画素を欠陥として判定する計算部と
を有するレビュー装置。 - 請求項5に記載のレビュー装置において、
前記計算部は、前記色空間上における各点の寸法に予め定めた値を使用し、各点が直接又は間接的に繋がって形成された1つの領域であって、プロットされた全ての点の重心を含む領域を前記正常領域と判定する
ことを特徴とするレビュー装置。 - 請求項6に記載のレビュー装置において、
前記計算部は、前記色空間上において前記正常領域から所定の距離以上離れた点を前記欠陥領域と判定する
ことを特徴とするレビュー装置。 - 請求項5に記載のレビュー装置において、
前記計算部は、前記色空間上において前記正常領域から所定の距離以上離れたプロット点を前記欠陥領域と判定する
ことを特徴とするレビュー装置。 - 請求項5に記載のレビュー装置において、
前記集光光学系で集光された反射光を受光して白黒画像を撮像する白黒画像撮像装置と、
前記白黒撮像に基づいて欠陥を検出し、検出された領域の座標を前記検出座標として出力する欠陥検出部と
を有するレビュー装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012208808A JP2014062837A (ja) | 2012-09-21 | 2012-09-21 | 欠陥検査装置及び欠陥レビュー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012208808A JP2014062837A (ja) | 2012-09-21 | 2012-09-21 | 欠陥検査装置及び欠陥レビュー装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014062837A true JP2014062837A (ja) | 2014-04-10 |
Family
ID=50618202
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012208808A Pending JP2014062837A (ja) | 2012-09-21 | 2012-09-21 | 欠陥検査装置及び欠陥レビュー装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014062837A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017194425A (ja) * | 2016-04-22 | 2017-10-26 | 株式会社 東京ウエルズ | 欠陥検査方法および欠陥検査システム |
KR20180106856A (ko) * | 2017-03-21 | 2018-10-01 | 테스트 리서치 인코포레이티드 | 자동 광학 검사 시스템 및 그 동작 방법 |
CN111380875A (zh) * | 2018-12-29 | 2020-07-07 | 深圳中科飞测科技有限公司 | 一种缺陷检测方法及*** |
CN113643995A (zh) * | 2021-07-21 | 2021-11-12 | 长江存储科技有限责任公司 | 一种检测方法和装置 |
-
2012
- 2012-09-21 JP JP2012208808A patent/JP2014062837A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017194425A (ja) * | 2016-04-22 | 2017-10-26 | 株式会社 東京ウエルズ | 欠陥検査方法および欠陥検査システム |
KR20180106856A (ko) * | 2017-03-21 | 2018-10-01 | 테스트 리서치 인코포레이티드 | 자동 광학 검사 시스템 및 그 동작 방법 |
JP2018159705A (ja) * | 2017-03-21 | 2018-10-11 | テスト リサーチ, インク. | 自動光学検査システム及びその操作方法 |
TWI665443B (zh) * | 2017-03-21 | 2019-07-11 | 德律科技股份有限公司 | 自動光學檢測系統及其操作方法 |
US10438340B2 (en) | 2017-03-21 | 2019-10-08 | Test Research, Inc. | Automatic optical inspection system and operating method thereof |
KR102102874B1 (ko) | 2017-03-21 | 2020-04-23 | 테스트 리서치 인코포레이티드 | 자동 광학 검사 시스템 및 그 동작 방법 |
CN111380875A (zh) * | 2018-12-29 | 2020-07-07 | 深圳中科飞测科技有限公司 | 一种缺陷检测方法及*** |
CN111380875B (zh) * | 2018-12-29 | 2023-09-12 | 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 一种缺陷检测方法及*** |
CN113643995A (zh) * | 2021-07-21 | 2021-11-12 | 长江存储科技有限责任公司 | 一种检测方法和装置 |
CN113643995B (zh) * | 2021-07-21 | 2024-05-14 | 长江存储科技有限责任公司 | 一种检测方法和装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5256251B2 (ja) | 測定対象物の検査方法 | |
JP4776308B2 (ja) | 画像欠陥検査装置、画像欠陥検査システム、欠陥分類装置及び画像欠陥検査方法 | |
KR102233050B1 (ko) | 결함 특유적 정보를 이용한 웨이퍼 상의 결함 검출 | |
US9865046B2 (en) | Defect inspection method and defect inspection device | |
JP6348289B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
JP2008203034A (ja) | 欠陥検出装置および欠陥検出方法 | |
JP2005156475A (ja) | パターン欠陥検査装置およびパターン欠陥検査方法 | |
JP2005158780A (ja) | パターン欠陥検査方法及びその装置 | |
JP2007149837A (ja) | 画像欠陥検査装置、画像欠陥検査システム及び画像欠陥検査方法 | |
JP4484844B2 (ja) | 画像二値化処理方法、画像処理装置及びコンピュータプログラム | |
JP2007212201A (ja) | パターン検査方法及びその装置 | |
JP2006284433A (ja) | 外観検査装置及び外観検査方法 | |
JP2010043941A (ja) | 画像検査装置及び画像検査方法 | |
JP4230880B2 (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP2014062837A (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥レビュー装置 | |
JP2005317818A (ja) | パターン検査装置およびパターン検査方法 | |
JP2009097928A (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
JP2009097959A (ja) | 欠陥検出装置及び欠陥検出方法 | |
JP4074624B2 (ja) | パターン検査方法 | |
JP2004212218A (ja) | 試料検査方法及び検査装置 | |
JP4090775B2 (ja) | 電子回路用部品の外観検査方法及び外観検査装置並びに電子回路用部品の製造方法 | |
JP5033077B2 (ja) | 成形品の外観検査方法およびその装置 | |
KR20110002977A (ko) | 3차원 형상 검사방법 | |
JP2009188175A (ja) | 外観検査装置及び外観検査方法 | |
JP2009074828A (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 |