JP2014061718A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】変位特性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子とを具備し、該圧電素子が、第1電極と、該第1電極上に形成されチタン(Ti)及びジルコニウム(Zr)を含有する圧電体層と、前記圧電体層の前記第1電極とは反対側に形成された第2電極とを備えた液体噴射ヘッドであって、前記圧電体層を電子エネルギー損失分光法で厚さ方向に前記第1電極から100〜500nmの範囲において測定した結晶構造は、単斜晶系構造の部分を有し、測定結果について横軸を前記第1電極からの距離とし縦軸をTi/(Ti+Zr)%とした際のTi/(Ti+Zr)%の、単斜晶系となる範囲からの菱面体晶系への変動が10%以内であり、且つ、単斜晶系となる範囲からの正方晶系への変動が10%以内である。
【選択図】図3
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子とを具備し、該圧電素子が、第1電極と、該第1電極上に形成されチタン(Ti)及びジルコニウム(Zr)を含有する圧電体層と、前記圧電体層の前記第1電極とは反対側に形成された第2電極とを備えた液体噴射ヘッドであって、前記圧電体層を電子エネルギー損失分光法で厚さ方向に前記第1電極から100〜500nmの範囲において測定した結晶構造は、単斜晶系構造の部分を有し、測定結果について横軸を前記第1電極からの距離とし縦軸をTi/(Ti+Zr)%とした際のTi/(Ti+Zr)%の、単斜晶系となる範囲からの菱面体晶系への変動が10%以内であり、且つ、単斜晶系となる範囲からの正方晶系への変動が10%以内である。
【選択図】図3
Description
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに第1電極、圧電体層及び第2電極を有するアクチュエータ装置に関する。
インクジェット式記録ヘッドのノズル開口から液体を噴射させる圧力発生手段として用いられる圧電素子は、電気機械変換機能を呈する圧電材料からなる圧電体層を2つの電極で挟んだ素子である。そして、このような圧電素子に用いられる圧電体層として、チタン及びジルコニウムを含有し、Ti/Zr比を30/70〜70/30の範囲内にするものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1のように全体のTi/Zr比を規定しただけの圧電体層を有する圧電素子では、十分な変位を得られない場合があった。なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドに用いられる圧電素子に限定されず、他の液体を噴射する液体噴射ヘッドに用いられる圧電素子においても存在し、且つ液体噴射ヘッド以外のデバイスに用いられる圧電素子にも存在する。
本発明はこのような事情に鑑み、変位特性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータ装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子とを具備し、該圧電素子が、第1電極と、該第1電極上に形成されチタン(Ti)及びジルコニウム(Zr)を含有する圧電体層と、前記圧電体層の前記第1電極とは反対側に形成された第2電極とを備えた液体噴射ヘッドであって、前記圧電体層を電子エネルギー損失分光法で厚さ方向に前記第1電極から100〜500nmの範囲において測定した結晶構造は、単斜晶系構造の部分を有し、測定結果について横軸を前記第1電極からの距離とし縦軸をTi/(Ti+Zr)%とした際のTi/(Ti+Zr)%の、単斜晶系となる範囲からの菱面体晶系への変動が10%以内であり、且つ、単斜晶系となる範囲からの正方晶系への変動が10%以内であることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、EELS法により測定される圧電体層の結晶構造を、第1電極から100〜500nmの範囲において、単斜晶系構造を有し、測定結果について横軸を第1電極からの距離とし縦軸をTi/(Ti+Zr)%とした際のTi/(Ti+Zr)%の、単斜晶系となる範囲からの菱面体晶系への変動が10%以内であり、且つ、単斜晶系となる範囲からの正方晶系への変動が10%以内であるという所定の結晶構造にすることにより、低い駆動電圧で大きな変位量を得ることができる、すなわち、変位特性を向上することができる。
かかる態様では、EELS法により測定される圧電体層の結晶構造を、第1電極から100〜500nmの範囲において、単斜晶系構造を有し、測定結果について横軸を第1電極からの距離とし縦軸をTi/(Ti+Zr)%とした際のTi/(Ti+Zr)%の、単斜晶系となる範囲からの菱面体晶系への変動が10%以内であり、且つ、単斜晶系となる範囲からの正方晶系への変動が10%以内であるという所定の結晶構造にすることにより、低い駆動電圧で大きな変位量を得ることができる、すなわち、変位特性を向上することができる。
ここで、前記圧電体層の結晶構造が前記圧電体層の厚さ方向で異なることが好ましい。これによれば、さらに変位特性を向上させることができる。
また、前記圧電体層の厚さは、1〜2μmであってもよい。これによれば、厚さ1〜2μm程度の薄膜の圧電体層とした場合であっても、低い駆動電圧で大きな変位量を得ることができる。
また、前記第1電極は、白金を含むことが好ましい。これによれば、変位特性に優れた圧電素子を有する液体噴射ヘッドを実現できる。
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる態様では、低い駆動電圧で大きな変位量を得ることができる、すなわち、変位特性を向上した液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置を実現できる。
また、本発明の他の態様は、第1電極と、該第1電極上に形成されチタン(Ti)及びジルコニウム(Zr)を含有する圧電体層と、前記圧電体層の前記第1電極とは反対側に形成された第2電極とを具備し、前記圧電体層を電子エネルギー損失分光法で厚さ方向に前記第1電極から100〜500nmの範囲において測定した結晶構造は、単斜晶系構造の部分を有し、測定結果について横軸を前記第1電極からの距離とし縦軸をTi/(Ti+Zr)%とした際のTi/(Ti+Zr)%の、単斜晶系となる範囲からの菱面体晶系への変動が10%以内であり、且つ、単斜晶系となる範囲からの正方晶系への変動が10%以内であることを特徴とするアクチュエータ装置にある。
かかる態様では、EELS法により測定される圧電体層の結晶構造を、第1電極から100〜500nmの範囲において、単斜晶系構造を有し、測定結果について横軸を第1電極からの距離とし縦軸をTi/(Ti+Zr)%とした際のTi/(Ti+Zr)%の、単斜晶系となる範囲からの菱面体晶系への変動が10%以内であり、且つ、単斜晶系となる範囲からの正方晶系への変動が10%以内であるという所定の結晶構造にすることにより、低い駆動電圧で大きな変位量を得ることができる、すなわち、変位特性を向上することができる。
かかる態様では、EELS法により測定される圧電体層の結晶構造を、第1電極から100〜500nmの範囲において、単斜晶系構造を有し、測定結果について横軸を第1電極からの距離とし縦軸をTi/(Ti+Zr)%とした際のTi/(Ti+Zr)%の、単斜晶系となる範囲からの菱面体晶系への変動が10%以内であり、且つ、単斜晶系となる範囲からの正方晶系への変動が10%以内であるという所定の結晶構造にすることにより、低い駆動電圧で大きな変位量を得ることができる、すなわち、変位特性を向上することができる。
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びそのA−A′断面図である。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びそのA−A′断面図である。
図1及び図2に示すように、本実施形態の流路形成基板10は、シリコン単結晶基板からなり、その一方の面には弾性膜50が形成されている。
流路形成基板10には、複数の圧力発生室12がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板10の圧力発生室12の長手方向外側の領域には連通部13が形成され、連通部13と各圧力発生室12とが、各圧力発生室12毎に設けられたインク供給路14及び連通路15を介して連通されている。連通部13は、後述する保護基板のリザーバ部31と連通して各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバの一部を構成する。インク供給路14は、圧力発生室12よりも狭い幅で形成されており、連通部13から圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。なお、本実施形態では、流路の幅を片側から絞ることでインク供給路14を形成したが、流路の幅を両側から絞ることでインク供給路を形成してもよい。また、流路の幅を絞るのではなく、厚さ方向から絞ることでインク供給路を形成してもよい。
なお、本実施形態では、流路形成基板10には、圧力発生室12、連通部13、インク供給路14及び連通路15からなる液体流路が設けられていることになる。
また、流路形成基板10の開口面側には、各圧力発生室12のインク供給路14とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口21が穿設されたノズルプレート20が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。なお、ノズルプレート20は、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板、ステンレス鋼等からなる。
一方、このような流路形成基板10の開口面とは反対側には、上述したように弾性膜50が形成され、この弾性膜50上には、絶縁体膜55が形成されている。さらに、この絶縁体膜55上には、第1電極60と、圧電体層70と、第2電極80とが、積層形成されて、圧電素子300を構成している。ここで、圧電素子300は、第1電極60、圧電体層70及び第2電極80を含む部分をいう。一般的には、圧電素子300の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層70を各圧力発生室12毎にパターニングして構成する。本実施形態では、第1電極60を圧電素子300の共通電極とし、第2電極80を圧電素子300の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。また、ここでは、圧電素子300と当該圧電素子300の駆動により変位が生じる振動板とを合わせてアクチュエータ装置と称する。なお、上述した例では、弾性膜50、絶縁体膜55及び第1電極60が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜50及び絶縁体膜55を設けずに、第1電極60のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電素子300自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。
圧電体層70は、第1電極60上に形成される電気機械変換作用を示す圧電材料、例えばペロブスカイト構造を有し、金属としてZrやTiを含む強誘電体材料からなる。圧電体層70としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等の強誘電体材料や、これに酸化ニオブ、酸化ニッケル又は酸化マグネシウム等の金属酸化物を添加したもの等が好適である。具体的には、チタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3)、チタン酸ジルコン酸バリウム(Ba(Zr,Ti)O3)、ジルコン酸チタン酸鉛ランタン((Pb,La)(Zr,Ti)O3)又は、マグネシウムニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛(Pb(Zr,Ti)(Mg,Nb)O3)等を用いることができる。
圧電体層70の厚さについては、製造工程でクラックが発生しない程度に厚さを抑え、且つ十分な変位特性を呈する程度に厚く形成する。例えば、本実施形態では、圧電体層70を1〜2μm前後の厚さで形成した。
そして、本実施形態では、圧電体層70を電子エネルギー損失分光法(EELS(Electoron Energy Loss Spectroscopy)法)で厚さ方向に第1電極60から100〜500nmの範囲において測定した結晶構造は、単斜晶系構造の部分を有し、測定結果について横軸を第1電極60からの距離とし縦軸をTi/(Ti+Zr)%とした際のTi/(Ti+Zr)%の、単斜晶系となる範囲からの菱面体晶系の変動が10%以内となっている。また、該Ti/(Ti+Zr)%の、単斜晶系となる範囲からの正方晶系の変動が10%以内である。
具体的には、本実施形態の圧電体層70は、EELS法で圧電体層70の厚さ方向に測定すると、図3に示すように圧電体層70は第1電極60側では正方晶系であり、第1電極60から100nm付近以降は単斜晶系を中心にして結晶構造が、圧電体層の厚さ方向で異なっている、つまり、単斜晶系を中心にして結晶構造が単斜晶系とは異なる構造に変化している。なお、図3において、横軸が第1電極60(BE)からの距離、縦軸がTi/(Ti+Zr)(モル比)%である。また、図中に記載された横軸と並行な2本の線は、上から順に、正方晶系と単斜晶系との境界を示す線、及び、単斜晶系と菱面体晶系との境界を示す線であり、Tは結晶構造が正方晶系、Mは結晶構造が単斜晶系、Rは結晶構造が菱面体晶系であることを示す。この結晶構造の境界に関しても、EELS法により求めることができる。詳述すると、EELS測定すると、図4に示すような、各Ti/(Ti+Zr)におけるスペクトルが得られる。そして、結晶構造が正方晶系の場合、図4に示すBピークが消滅するため、スペクトルから正方晶系か否かが判断できる。また、図4に示すDピークとEピークの距離は、単斜晶系ではほぼ一定であるが、菱面体晶系になると減衰するため、減衰が発生することで菱面体晶系であることが特定できる。例えば、Ti/(Ti+Zr)と、DピークとEピークの距離との関係例を表す図5では、DピークとEピークの距離がほぼ一定の領域とピーク距離が減衰する領域があり、この減衰が発生したところ(図5においては、46%。)が菱面体晶系と単斜晶系の境界となる。このように、EELS法によって、結晶構造の境界を求めることができる。後述するように、結晶構造の境界はTi/(Ti+Zr)のみでは決まらず、応力等の条件によっても変化するが、EELS測定を行うことで、結晶構造の境界もわかる。
そして、本実施形態の圧電体層70は、図3に示すように、圧電体層70の厚さ方向の第1電極側から100〜500nmの範囲において、第1電極60側から順に、菱面体晶系、単斜晶系、正方晶系、単斜晶系、菱面体晶系、単斜晶系と結晶構造が連続的に変化している。該菱面体晶系の部分(第1電極側から100〜140nm付近及び第1電極側から240〜470nm付近)では、Ti/(Ti+Zr)%の単斜晶系となる範囲からの菱面体晶系の変動、すなわち、菱面体晶系と単斜晶系との境界でのTi/(Ti+Zr)%であるXRと菱面体晶系の部分でのTi/(Ti+Zr)%であるX1やX2等との差が10%以内である。また、正方晶系の部分(第1電極側から150〜190nm付近)では、Ti/(Ti+Zr)%の単斜晶系となる範囲からの正方晶系の変動、すなわち、正方晶系と単斜晶系との境界でのTi/(Ti+Zr)%であるXTと正方晶系の部分でのTi/(Ti+Zr)%であるX3等との差が10%以内である。
このような所定の範囲の結晶構造にすることにより、該範囲外の圧電体層を有する圧電素子よりも、低い駆動電圧で大きな変位量を得ることができる、すなわち、変位特性を向上することができる圧電素子となる。
ここで、圧電体層70は、Ti/(Ti+Zr)%の変化に伴い、結晶構造が正方晶系、単斜晶系、菱面体晶系で変化する。例えば、Ti/(Ti+Zr)%が比較的低い状態では菱面体晶系となり、高くなるに従い単斜晶系、正方晶系となる。そして、このようなTi/(Ti+Zr)%の違いによる結晶構造の相違は、絶対的なTi/(Ti+Zr)%によって規定されるものではなく、第1電極60、絶縁体膜55、弾性膜50、流路形成基板10等の圧電体層70の下地による応力や、圧電体層70の製造条件などによっても変化するものである。第1電極60等の下地や圧電体層70の、材質、厚さ、焼成温度等の製造条件を変えて圧電素子300を作製し、各圧電体層70について結晶構造を測定し、Ti/Zr+Ti%に対して結晶構造を示した図を、図6に示す。図中、Tetは正方晶系、Monoは単斜晶系、Rhomは菱面体晶系であることを示す。図6に示すように、同じTi/Zr+Ti%を有する圧電体層70でも、結晶構造は異なっている。すなわち、Ti/Zr+Ti%だけでなく、応力によっても結晶構造が変化していることを示している。また、例えば図3の圧電体層70の応力が変化すると縦軸方向にシフトする、すなわち、同じTi/Zr+Ti%でも、結晶構造が変化する。
したがって、従来技術のように、Ti/Zr比のみを規定しても、変位特性の良好な圧電素子300を確実に得ることはできないが、本発明においては、上述したように応力等の影響も考慮して結晶構造を所定の範囲に規定しているので、良好な変位特性を有する圧電素子300を確実に得ることができる。
特に1〜2μm程度の薄膜の圧電体層70では、厚膜に比べて強大な応力がかかるため、Ti/Zr比のみを規定しても良好な変位特性を得難いが、本願においては、上記所定の範囲内なので、良好な変位特性を有する圧電素子300になる。
このような圧電体層70を有する圧電素子300を流路形成基板10上に形成する方法は特に限定されないが、例えば、以下の方法で製造することができる。なお、図7〜図10は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す圧力発生室の長手方向の断面図である。まず、図7(a)に示すように、シリコンウェハである流路形成基板用ウェハ110の表面に弾性膜50を構成する二酸化シリコン(SiO2)等からなる二酸化シリコン膜51を形成する。次いで、図7(b)に示すように、弾性膜50(二酸化シリコン膜51)上に、酸化ジルコニウム等からなる絶縁体膜55を形成する。次に、図7(c)に示すように、白金(Pt)の単層又は、この白金層にイリジウム(Ir)層を積層、合金化等した第1電極60をスパッタリング法等により形成する。
次いで、図8(a)に示すように、第1電極60上にチタン(Ti)からなる例えば4nm程度の種チタン層61をスパッタリング法等により形成する。このように第1電極60の上に種チタン層61を設けることにより、後の工程で第1電極60上に種チタン層61を介して圧電体層70を形成する際に、圧電体層70の優先配向方位を(100)や(111)に制御することができ、電気機械変換素子として好適な圧電体層70を得ることができる。なお、種チタン層61は、圧電体層70が結晶化する際に、結晶化を促進させるシードとして機能し、圧電体層70の焼成後には圧電体層70内に拡散するものである。
次に、圧電体層70を形成する。ここで、本実施形態では、金属有機物を溶媒に溶解・分散したいわゆるゾルを塗布乾燥してゲル化し、さらに高温で焼成することで金属酸化物からなる圧電体層70を得る、いわゆるゾル−ゲル法を用いて圧電体層70を形成している。なお、圧電体層70の製造方法は、ゾル−ゲル法に限定されず、MOD(Metal-Organic Decomposition)法を用いてもよい。
圧電体層70の具体的な形成手順としては、まず、図8(b)に示すように、第1電極60(種チタン層61)上に圧電体層の前駆体膜である圧電体前駆体膜74を成膜する。すなわち、第1電極60が形成された流路形成基板10上にTi及びZrを含むゾル(溶液)を塗布する(塗布工程)。次いで、この圧電体前駆体膜74を所定温度に加熱して一定時間乾燥させる(乾燥工程)。例えば、圧電体前駆体膜74を150〜170℃で5〜10分間保持することで乾燥することができる。次に、乾燥した圧電体前駆体膜74を所定温度に加熱して一定時間保持することによって脱脂する(脱脂工程)。例えば、圧電体前駆体膜74を300〜400℃程度の温度に加熱して約5〜10分間保持することで脱脂できる。なお、ここで言う脱脂とは、圧電体前駆体膜74に含まれる有機成分を、例えば、NO2、CO2、H2O等として離脱させることである。また、脱脂工程では、昇温レートを15℃/sec以上とすることができる。
次に、図8(c)に示すように、圧電体前駆体膜74を所定温度に加熱して一定時間保持することによって結晶化させ、1層目の圧電体膜75を形成する(焼成工程)。例えば、圧電体前駆体膜74を650〜800℃で5〜30分間加熱して圧電体膜75を形成することができる。また、焼成工程では、昇温レートを15℃/sec以下とすることができる。
次に、図9(a)に示すように、第1電極60上に1層目の圧電体膜75を形成した段階で、第1電極60及び1層目の圧電体膜75を同時にパターニングする。
次いで、図9(b)に示すように、1層目の圧電体膜75上を含む流路形成基板用ウェハ110の全面に、再びチタン(Ti)からなる中間チタン層62を形成後、上述した塗布工程、乾燥工程、脱脂工程及び焼成工程からなる圧電体膜形成工程を行うことにより、図9(c)に示すように2層目の圧電体膜75が形成される。そして、図9(d)に示すように、2層目の圧電体膜75の上に、上述した塗布工程、乾燥工程、脱脂工程及び焼成工程からなる圧電体膜形成工程を繰り返し行うことにより、複数層の圧電体膜75からなる圧電体層70が形成される。
次に、図10(a)に示すように、圧電体層70上に亘って、例えば、イリジウム(Ir)等からなる第2電極80を形成した後、図10(b)に示すように、圧電体層70及び第2電極80を、各圧力発生室12に対向する領域にパターニングして圧電素子300を形成する。
なお、圧電体層70の結晶構造に影響を与える圧電体層70にかかる応力は、上記圧電素子300を流路形成基板10上に形成する方法において、第1電極60、絶縁体膜55、弾性膜50、流路形成基板10等の圧電体層70の下地や圧電体層70の、材質、厚さ、組成、焼成温度等の製造条件、及びこれらのバランスによって変化するものである。
(実施例1)
上述した方法で、流路形成基板10上に圧電素子300を作製した。なお、圧電体層70を形成する工程において、焼成温度は680℃とした。また、同じゾルを用いて12層の圧電体前駆体膜を形成したが、1層目の圧電体前駆体膜を形成した後焼成し、2〜4層目の圧電体前駆体膜を積層した後焼成し、その後5〜12層目の圧電体前駆体膜を積層した後焼成した。
得られた圧電素子300の圧電体層70について、EELS法で厚さ方向に結晶構造を測定し、測定結果について横軸を第1電極60からの距離とし縦軸をTi/(Ti+Zr)%とした結果を図11に示す。なお、図中、破線で仕切られ1Lと記載された領域は、圧電体膜75の1層目を、2〜4Lと記載された領域は2〜4層目を、5L〜と記載された領域は5層目以降を示す。また、圧電素子を駆動して変位量を測定した。
上述した方法で、流路形成基板10上に圧電素子300を作製した。なお、圧電体層70を形成する工程において、焼成温度は680℃とした。また、同じゾルを用いて12層の圧電体前駆体膜を形成したが、1層目の圧電体前駆体膜を形成した後焼成し、2〜4層目の圧電体前駆体膜を積層した後焼成し、その後5〜12層目の圧電体前駆体膜を積層した後焼成した。
得られた圧電素子300の圧電体層70について、EELS法で厚さ方向に結晶構造を測定し、測定結果について横軸を第1電極60からの距離とし縦軸をTi/(Ti+Zr)%とした結果を図11に示す。なお、図中、破線で仕切られ1Lと記載された領域は、圧電体膜75の1層目を、2〜4Lと記載された領域は2〜4層目を、5L〜と記載された領域は5層目以降を示す。また、圧電素子を駆動して変位量を測定した。
(実施例2)
中間チタン層62を形成しなかった以外は実施例1と同様の操作を行った。結果を図12に示す。
中間チタン層62を形成しなかった以外は実施例1と同様の操作を行った。結果を図12に示す。
(比較例1)
圧電体層70の焼成温度を700℃とした以外は実施例1と同様の操作を行った。結果を図13に示す。
圧電体層70の焼成温度を700℃とした以外は実施例1と同様の操作を行った。結果を図13に示す。
(比較例2)
圧電体層70の焼成温度を780℃とした以外は実施例1と同様の操作を行った。結果を図14に示す。
圧電体層70の焼成温度を780℃とした以外は実施例1と同様の操作を行った。結果を図14に示す。
(比較例3)
第1電極60を白金(Pt)とチタン(Ti)の積層とし、膜厚をそれぞれ80nm、50nmとして応力状態を変更した以外は、実施例1と同様の操作を行った。結果を図15に示す。
第1電極60を白金(Pt)とチタン(Ti)の積層とし、膜厚をそれぞれ80nm、50nmとして応力状態を変更した以外は、実施例1と同様の操作を行った。結果を図15に示す。
図11〜15に示すように、圧電体層70の焼成条件や下地を変えると応力等が変わるため、圧電体層70の結晶構造は実施例1〜2及び比較例1〜3で異なっていた。そして、図11及び12に示すように所定の範囲内の結晶構造、すなわち、単斜晶系構造を有し、Ti/(Ti+Zr)%の、単斜晶系となる範囲からの菱面体晶系への変動が10%以内であり、且つ、単斜晶系となる範囲からの正方晶系への変動が10%以内である実施例1〜2は、図13〜図15に示すように上記所定の範囲外の結晶構造を有する比較例1〜3と比べて、大きな変位量を得ることができた。
また、圧電素子300の個別電極である各第2電極80には、インク供給路14側の端部近傍から引き出され、絶縁体膜55上にまで延設される、例えば、金(Au)等からなるリード電極90が接続されている。
このような圧電素子300が形成された流路形成基板10上、すなわち、第1電極60、絶縁体膜55及びリード電極90上には、リザーバ100の少なくとも一部を構成するリザーバ部31を有する保護基板30が接着剤35を介して接合されている。このリザーバ部31は、本実施形態では、保護基板30を厚さ方向に貫通して圧力発生室12の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板10の連通部13と連通されて各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバ100を構成している。また、流路形成基板10の連通部13を圧力発生室12毎に複数に分割して、リザーバ部31のみをリザーバとしてもよい。さらに、例えば、流路形成基板10に圧力発生室12のみを設け、流路形成基板10と保護基板30との間に介在する部材(例えば、弾性膜50、絶縁体膜55等)にリザーバと各圧力発生室12とを連通するインク供給路14を設けるようにしてもよい。
また、保護基板30の圧電素子300に対向する領域には、圧電素子300の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部32が設けられている。圧電素子保持部32は、圧電素子300の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。
このような保護基板30としては、流路形成基板10の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板10と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
また、保護基板30には、保護基板30を厚さ方向に貫通する貫通孔33が設けられている。そして、各圧電素子300から引き出されたリード電極90の端部近傍は、貫通孔33内に露出するように設けられている。
また、保護基板30上には、並設された圧電素子300を駆動するための駆動回路120が固定されている。この駆動回路120としては、例えば、回路基板や半導体集積回路(IC)等を用いることができる。そして、駆動回路120とリード電極90とは、ボンディングワイヤ等の導電性ワイヤからなる接続配線121を介して電気的に接続されている。
また、このような保護基板30上には、封止膜41及び固定板42とからなるコンプライアンス基板40が接合されている。ここで、封止膜41は、剛性が低く可撓性を有する材料からなり、この封止膜41によってリザーバ部31の一方面が封止されている。また、固定板42は、比較的硬質の材料で形成されている。この固定板42のリザーバ100に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部43となっているため、リザーバ100の一方面は可撓性を有する封止膜41のみで封止されている。
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部のインク供給手段と接続したインク導入口からインクを取り込み、リザーバ100からノズル開口21に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路120からの記録信号に従い、圧力発生室12に対応するそれぞれの第1電極60と第2電極80との間に電圧を印加し、弾性膜50、絶縁体膜55、第1電極60及び圧電体層70をたわみ変形させることにより、各圧力発生室12内の圧力が高まりノズル開口21からインク滴が吐出する。
(他の実施形態)
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1では、圧電体層70として、第1電極60から100〜500nmの範囲において、上記所定範囲の菱面体晶系及び正方晶系の両方の結晶構造を有するもの(図3)や、上記所定範囲の菱面体晶系は有するが正方晶系は有さないもの(実施例2)を示したが、本発明は、単斜晶系となる範囲からの菱面体晶系のTi/(Ti+Zr)%の変動、及び、単斜晶系となる範囲からの正方晶系のTi/(Ti+Zr)%の変動がそれぞれ10%以内であればよく、菱面体晶系及び正方晶系の両方の結晶構造を有さなくてもよい。また、圧電体層は、(100)面、(110)面、(001)面、(111)面の何れに優先配向していてもよい。なお、圧電体層の結晶構造が正方晶系であると上記配向を制御し易いため、圧電体層70の第1電極60側の結晶構造は正方晶系であることが好ましい。
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1では、圧電体層70として、第1電極60から100〜500nmの範囲において、上記所定範囲の菱面体晶系及び正方晶系の両方の結晶構造を有するもの(図3)や、上記所定範囲の菱面体晶系は有するが正方晶系は有さないもの(実施例2)を示したが、本発明は、単斜晶系となる範囲からの菱面体晶系のTi/(Ti+Zr)%の変動、及び、単斜晶系となる範囲からの正方晶系のTi/(Ti+Zr)%の変動がそれぞれ10%以内であればよく、菱面体晶系及び正方晶系の両方の結晶構造を有さなくてもよい。また、圧電体層は、(100)面、(110)面、(001)面、(111)面の何れに優先配向していてもよい。なお、圧電体層の結晶構造が正方晶系であると上記配向を制御し易いため、圧電体層70の第1電極60側の結晶構造は正方晶系であることが好ましい。
また、例えば、上述した実施形態1では、流路形成基板10として、シリコン単結晶基板を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、結晶面方位が(100)面、(110)面等のシリコン単結晶基板を用いるようにしてもよく、また、SOI基板、ガラス等の材料を用いるようにしてもよい。
さらに、これらインクジェット式記録ヘッドIは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図16は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
図16に示すインクジェット式記録装置IIにおいて、インクジェット式記録ヘッドIを有する記録ヘッドユニット1A及び1Bは、インク供給手段を構成するカートリッジ2A及び2Bが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット1A及び1Bは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
そして、駆動モータ6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
なお、上述した実施形態1では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレー、FED(電界放出ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
また、本発明は、インクジェット式記録ヘッドに代表される液体噴射ヘッドに搭載される圧電素子に限られず、他の装置に搭載される圧電素子にも適用することができる。
I インクジェット式記録ヘッド(液体噴射ヘッド)、 II インクジェット式記録装置(液体噴射装置)、 10 流路形成基板、 12 圧力発生室、 13 連通部、 14 インク供給路、 15 連通路、 20 ノズルプレート、 21 ノズル開口、 30 保護基板、 31 リザーバ部、 40 コンプライアンス基板、 50 弾性膜、 55 絶縁体膜、 60 第1電極、 70 圧電体層、 80 第2電極、 90 リード電極、 100 リザーバ、 120 駆動回路、 300 圧電素子。
Claims (6)
- 液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子とを具備し、
該圧電素子が、第1電極と、該第1電極上に形成されチタン(Ti)及びジルコニウム(Zr)を含有する圧電体層と、前記圧電体層の前記第1電極とは反対側に形成された第2電極とを備えた液体噴射ヘッドであって、
前記圧電体層を電子エネルギー損失分光法で厚さ方向に前記第1電極から100〜500nmの範囲において測定した結晶構造は、単斜晶系構造の部分を有し、測定結果について横軸を前記第1電極からの距離とし縦軸をTi/(Ti+Zr)%とした際のTi/(Ti+Zr)%の、単斜晶系となる範囲からの菱面体晶系への変動が10%以内であり、且つ、単斜晶系となる範囲からの正方晶系への変動が10%以内であることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記圧電体層の結晶構造が前記圧電体層の厚さ方向で異なることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記圧電体層の厚さは、1〜2μmであることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記第1電極は、白金を含むことを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
- 第1電極と、該第1電極上に形成されチタン(Ti)及びジルコニウム(Zr)を含有する圧電体層と、前記圧電体層の前記第1電極とは反対側に形成された第2電極とを具備し、
前記圧電体層を電子エネルギー損失分光法で厚さ方向に前記第1電極から100〜500nmの範囲において測定した結晶構造は、単斜晶系構造の部分を有し、測定結果について横軸を前記第1電極からの距離とし縦軸をTi/(Ti+Zr)%とした際のTi/(Ti+Zr)%の、単斜晶系となる範囲からの菱面体晶系への変動が10%以内であり、且つ、単斜晶系となる範囲からの正方晶系への変動が10%以内であることを特徴とするアクチュエータ装置。
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