JP2014059449A - 駆動装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】複雑なシステムを要することなく、主走査方向の駆動信号、及び副走査方向の駆動信号を生成することができる駆動装置を提供すること。
【解決手段】主走査方向及び副走査方向に変位する変位部107によって光ビームを走査する二次元スキャナ101を駆動する駆動装置1であって、二次元スキャナ101における主走査方向の変位検出信号と、副走査方向の変位検出信号との周波数比を所定の値に調整する周波数比調整手段と、主走査方向の変位検出信号と、副走査方向の変位検出信号との位相差を所定の値に調整する位相調整手段と、周波数比及び位相差を調整した主走査方向の変位検出信号、及び副走査方向の変位検出信号に基づき、主走査方向の駆動信号及び副走査方向の駆動信号を生成する第1の駆動信号生成手段とを備えることを特徴とする駆動装置1。
【選択図】図1
【解決手段】主走査方向及び副走査方向に変位する変位部107によって光ビームを走査する二次元スキャナ101を駆動する駆動装置1であって、二次元スキャナ101における主走査方向の変位検出信号と、副走査方向の変位検出信号との周波数比を所定の値に調整する周波数比調整手段と、主走査方向の変位検出信号と、副走査方向の変位検出信号との位相差を所定の値に調整する位相調整手段と、周波数比及び位相差を調整した主走査方向の変位検出信号、及び副走査方向の変位検出信号に基づき、主走査方向の駆動信号及び副走査方向の駆動信号を生成する第1の駆動信号生成手段とを備えることを特徴とする駆動装置1。
【選択図】図1
Description
本発明は、光ビームを走査する二次元スキャナを駆動する駆動装置に関する。
従来、主走査方向及び副走査方向に変位する変位部によって光ビームを走査する二次元スキャナが知られている(特許文献1参照)。この二次元スキャナは、主走査方向の駆動信号及び副走査方向の駆動信号に応じて変位部を変位させることで、光ビームを走査する。
二次元スキャナにおける走査を適切に行うためには、主走査方向の駆動信号及び副走査方向の駆動信号の周波数比及び位相を調整する必要がある。特許文献1記載の技術では、その調整に複雑なシステムを要していた。本発明は以上の点に鑑みなされたものであり、複雑なシステムを要することなく、主走査方向の駆動信号、及び副走査方向の駆動信号を生成することができる駆動装置を提供することを目的とする。
本発明の駆動装置は、主走査方向の駆動信号及び副走査方向の駆動信号に応じて主走査方向及び副走査方向に変位する変位部によって光ビームを走査する二次元スキャナを駆動する駆動装置である。
本発明の駆動装置は、二次元スキャナにおける主走査方向の変位検出信号と、副走査方向の変位検出信号との周波数比を所定の値に調整する周波数比調整手段と、主走査方向の変位検出信号と、副走査方向の変位検出信号との位相差を所定の値に調整する位相調整手段と、周波数比調整手段により周波数比を調整し、位相調整手段により位相差を調整した主走査方向の変位検出信号、及び副走査方向の変位検出信号に基づき、主走査方向の駆動信号及び副走査方向の駆動信号を生成する第1の駆動信号生成手段とを備えることを特徴とする。
本発明の駆動装置は、複雑なシステムを要することなく、主走査方向の駆動信号、及び副走査方向の駆動信号を生成することができる。
本発明の実施形態を図面に基づき説明する。
<第1の実施形態>
1.駆動装置1の構成
駆動装置1の構成を図1に基づいて説明する。駆動装置1は、全波整流3、平滑回路5、変位検出部7、DCレベル調整9、乗算部11、自励発振系始動回路13、加算部15、コンパレータ17、位相シフタ19、コンパレータ21、1/M分周器23、位相比較器25、フィルタ27、VCO(Voltage controlled oscillator)29、乗算部31、コンパレータ33、1/N分周器35、全波整流37、平滑回路39、及びDCレベル調整41を備える。上記自励発振系始動回路13は、振幅、及び周波数が一定である主走査方向の駆動信号を発生させる回路である。また、その他の構成は、周知の素子、又は複数の素子の組み合わせである。
<第1の実施形態>
1.駆動装置1の構成
駆動装置1の構成を図1に基づいて説明する。駆動装置1は、全波整流3、平滑回路5、変位検出部7、DCレベル調整9、乗算部11、自励発振系始動回路13、加算部15、コンパレータ17、位相シフタ19、コンパレータ21、1/M分周器23、位相比較器25、フィルタ27、VCO(Voltage controlled oscillator)29、乗算部31、コンパレータ33、1/N分周器35、全波整流37、平滑回路39、及びDCレベル調整41を備える。上記自励発振系始動回路13は、振幅、及び周波数が一定である主走査方向の駆動信号を発生させる回路である。また、その他の構成は、周知の素子、又は複数の素子の組み合わせである。
駆動装置1は、二次元スキャナ101から、主走査方向の変位検出信号と、副走査方向の変位検出信号とを取得し、上記の構成を用いて後述する処理を実行し、主走査方向の駆動信号及び副走査方向の駆動信号を生成し、二次元スキャナ101に供給する。
2.二次元スキャナ101の構成
駆動装置1を適用する対象である二次元スキャナ101の構成を図2に基づいて説明する。二次元スキャナ101は、矩形枠状の外シンバル103の内部に、それよりも小型の矩形枠状である内シンバル105が配置されており、さらに、内シンバル105の内部に光反射部(変位部)107が配置されている。光反射部107の片面にはアルミ薄膜の鏡面が形成されている。
駆動装置1を適用する対象である二次元スキャナ101の構成を図2に基づいて説明する。二次元スキャナ101は、矩形枠状の外シンバル103の内部に、それよりも小型の矩形枠状である内シンバル105が配置されており、さらに、内シンバル105の内部に光反射部(変位部)107が配置されている。光反射部107の片面にはアルミ薄膜の鏡面が形成されている。
外シンバル103と内シンバル105とは、同一直線上に並ぶ弾性連結部109、111によって連結されており、内シンバル105は、弾性連結部109、111を通る回転軸を中心として、外シンバル103に対し捻じり振動可能である。以下では、弾性連結部109、111を通る回転軸を中心とする回転方向を副走査方向とする。
内シンバル105と光反射部107とは、同一直線上に並ぶ弾性連結部113、115によって連結されており、光反射部107は、弾性連結部113、115を通る回転軸を中心として、内シンバル105に対し捻じり振動可能である。以下では、弾性連結部113、115を通る回転軸を中心とする回転方向を主走査方向とする。主走査方向と副走査方向とは直交する。
内シンバル105の内周側には、鋸歯状の主走査駆動櫛歯電極117が形成されているとともに、光反射部107の外周側には、同じく鋸歯状の主走査駆動櫛歯電極119が形成されており、主走査駆動櫛歯電極117と119とは、噛み合うように配置されている。
また、外シンバル103の内周側には、鋸歯状の副走査駆動櫛歯電極121が形成されているとともに、内シンバル105の外周側には、同じく鋸歯状の副走査駆動櫛歯電極123が形成されており、副走査駆動櫛歯電極121と123とは、噛み合うように配置されている。
図3に示すように、副走査駆動櫛歯電極121は、薄膜電極121A、絶縁膜121B、及び電極121Cを積層した構造を有する。また、副走査駆動櫛歯電極123は、薄膜電極123A、絶縁膜123B、及び電極123Cを積層した構造を有する。電極121Cと薄膜電極123Aとの間には副走査方向の駆動信号が印加される。このとき、副走査駆動櫛歯電極121と123の間に働く静電気力により、内シンバル105及び光反射部107は、外シンバル103に対し、副走査方向に変位する。また、主走査駆動櫛歯電極117、119も、副走査駆動櫛歯電極121、123と同様の構成を有しており、それらの間に主走査方向の駆動信号を印加することにより、光反射部107が、内シンバル105に対し、主走査方向に変位する。
よって、光反射部107は、主走査方向の駆動信号及び副走査方向の駆動信号に応じて主走査方向及び副走査方向に変位することができる。光反射部107に光ビームを照射し、上記のとおり、光反射部107を主走査方向及び副走査方向に変位させると、光ビームを主走査方向及び副走査方向(二次元)において走査することができる。
内シンバル105の内周側には、鋸歯状の主走査変位検出櫛歯電極125が形成されているとともに、光反射部107の外周側には、同じく鋸歯状の主走査変位検出櫛歯電極127が形成されており、主走査変位検出櫛歯電極125と127とは、噛み合うように配置されている。
また、外シンバル103の内周側には、鋸歯状の副走査変位検出櫛歯電極129が形成されているとともに、内シンバル105の外周側には、同じく鋸歯状の副走査変位検出櫛歯電極131が形成されており、副走査変位検出櫛歯電極129と131とは、噛み合うように配置されている。
図4に示すように、副走査変位検出櫛歯電極129は、薄膜電極129A、絶縁膜129B、及び電極129Cを積層した構造を有する。また、副走査変位検出櫛歯電極131は、薄膜電極131A、絶縁膜131B、及び電極131Cを積層した構造を有する。内シンバル105及び光反射部107が副走査方向に変位したとき、電極131Cと薄膜電極129Aとの間の静電容量変化により、副走査変位検出櫛歯電極129、131間に副走査方向の変位検出信号が生じる。また、主走査変位検出櫛歯電極125、127も、副走査変位検出櫛歯電極129、131と同様の構成を有しており、光反射部107が主走査方向に変位したとき、主走査変位検出櫛歯電極125、127間に、主走査方向の変位検出信号が生じる。
よって、二次元スキャナ101は、光反射部107の主走査方向における変位を反映した主走査方向の変位検出信号を出力するとともに、光反射部107の副走査方向における変位を反映した副走査方向の変位検出信号を出力する。
3.駆動装置1が実行する処理
(3−1)二次元スキャナ101の始動から十分時間が経過したときの処理
二次元スキャナ101の始動から十分時間が経過したときに駆動装置1が実行する処理を説明する。このとき、自励発振系始動回路13はOFFとなっている。駆動装置1は、二次元スキャナ101から、主走査方向の変位検出信号と、副走査方向の変位検出信号とを取得する。主走査方向の変位検出信号は、全波整流3において交流から直流に変換され、平滑回路5において平滑化され、DCレベル調整9において振幅を所定の基準振幅に調整される。また、主走査方向の変位検出信号は、位相シフタ19において位相を90度ずらされる。これは、二次元スキャナ101において、主走査方向の周期的な変位を継続するためには、駆動信号の位相が、変位検出信号の位相と90度ずれている必要があるためである。
(3−1)二次元スキャナ101の始動から十分時間が経過したときの処理
二次元スキャナ101の始動から十分時間が経過したときに駆動装置1が実行する処理を説明する。このとき、自励発振系始動回路13はOFFとなっている。駆動装置1は、二次元スキャナ101から、主走査方向の変位検出信号と、副走査方向の変位検出信号とを取得する。主走査方向の変位検出信号は、全波整流3において交流から直流に変換され、平滑回路5において平滑化され、DCレベル調整9において振幅を所定の基準振幅に調整される。また、主走査方向の変位検出信号は、位相シフタ19において位相を90度ずらされる。これは、二次元スキャナ101において、主走査方向の周期的な変位を継続するためには、駆動信号の位相が、変位検出信号の位相と90度ずれている必要があるためである。
DCレベル調整9において振幅を調整された信号と、位相シフタ19において位相を90度ずらされた信号とは、乗算部11において乗算され、主走査方向の駆動信号となる。この主走査方向の駆動信号は、DCレベル調整9において調整された振幅を有するとともに、主走査方向の変位検出信号の位相とは90度ずれた位相を有する。主走査方向の駆動信号は、二次元スキャナ101に供給される。
また、副走査方向の変位検出信号は、1/M分周器23、位相比較器25、フィルタ27、VCO29、及び1/N分周器35により、その周波数を(N/M)×fに調整されるとともに、その位相を、主走査方向の変位検出信号の位相と同期するように調整される。ここで、Nは1/N分周器35により決まる固定値であり、Mは1/M分周器23により決まる固定値であり、fは主走査方向の変位検出信号の周波数である。すなわち、主走査方向の変位検出信号の周波数と、副走査方向の変位検出信号の周波数との周波数比が、1:N/Mに調整される。
なお、1/M分周器23、位相比較器25、フィルタ27、VCO29、及び1/N分周器35は、周知のフェーズロックドループ(PLL)を構成する。上記の処理においては、主走査方向の変位検出信号の周波数を1/M分周器23を用いて1/M倍にした信号と、副走査方向の変位検出信号の周波数を1/N分周器35を用いて1/N倍にした信号とを用いる。
また、副走査方向の変位検出信号は、全波整流37において、交流から直流に変換され、平滑回路39において平滑化され、DCレベル調整41において、振幅を所定の基準振幅に調整される。
1/M分周器23、位相比較器25、フィルタ27、VCO29、及び1/N分周器35により、その周波数を(N/M)×fに調整された信号と、DCレベル調整41において振幅を調整された信号とは、乗算部31において乗算され、副走査方向の駆動信号となる。この副走査方向の駆動信号は、DCレベル調整41において調整された振幅を有するとともに、1/M分周器23、位相比較器25、フィルタ27、VCO29、及び1/N分周器35によって、上記のように調整された周波数及び位相を有する。副主走査方向の駆動信号は、二次元スキャナ101に供給される。
なお、主走査方向の駆動信号と、副走査方向の駆動信号の例を図5に示す。主走査方向の駆動信号、及び副走査方向の駆動信号はともに正弦波であり、主走査方向の駆動信号における周波数は、副走査方向の駆動信号における周波数よりも大きい。
1/M分周器23、位相比較器25、フィルタ27、VCO29、及び1/N分周器35は、周波数比調整手段、及び位相調整手段の一実施形態である。また、駆動装置1の各構成が第1の駆動信号生成手段の一実施形態である。また、全波整流3、平滑回路5、DCレベル調整9、全波整流37、平滑回路39、及びDCレベル調整41は、振幅調整手段の一実施形態である。また、自励発振系始動回路13は、第2の駆動信号生成手段の一実施形態である。
(3−2)二次元スキャナ101の始動時における処理
二次元スキャナ101の始動直後において駆動装置1が実行する処理を説明する。このとき、自励発振系始動回路13がONとなり、振幅及び周波数が一定である主走査方向の駆動信号を発生させる。また、このとき、上記(3−1)の処理も実行され、この処理に起因する主走査方向の駆動信号も生成している。
(3−2)二次元スキャナ101の始動時における処理
二次元スキャナ101の始動直後において駆動装置1が実行する処理を説明する。このとき、自励発振系始動回路13がONとなり、振幅及び周波数が一定である主走査方向の駆動信号を発生させる。また、このとき、上記(3−1)の処理も実行され、この処理に起因する主走査方向の駆動信号も生成している。
自励発振系始動回路13が発生させた主走査方向の駆動信号と、上記(3−1)の処理によって生成した主走査方向の駆動信号とは、加算部15において加算され、その加算された主走査方向の駆動信号が、二次元スキャナ101に供給される。
駆動装置1は、変位検出部7において、主走査方向の変位検出信号の振幅を常時検出しており、その検出値が所定の基準値以下であるうちは、自励発振系始動回路13をONのままとする。一方、変位検出部7において検出した、主走査方向の変位検出信号の振幅が所定の基準値を超えたときは、自励発振系始動回路13をOFFとして、上記(3−1)の処理に移行する。
なお、二次元スキャナ101の始動時から一定時間が経過するまでは自励発振系始動回路13をONとし、一定時間が経過した後では、自励発振系始動回路13をOFFとしてもよい。
4.駆動装置1が奏する効果
(4−1)駆動装置1は、特許文献1記載のような主走査同期信号と副走査同期信号とを発生させる同期信号発生部を設けるような複雑なシステムを要することなく、主走査方向の駆動信号、及び副走査方向の駆動信号を生成することができる。
(4−2)駆動装置1は、二次元スキャナ101の始動時においては、自励発振系始動回路13を用いて、主走査方向の駆動信号を供給することができる。そのため、二次元スキャナ101の始動時において、主走査方向の変位検出信号の振幅が小さい期間においても、ノイズの影響を受け難い主走査方向の駆動信号を供給することができる。
(4−3)駆動装置1は、1/M分周器23、及び1/N分周器35を用いて、主走査方向の変位検出信号と、副走査方向の変位検出信号との周波数比を調整する。そのため、駆動装置1の装置構成を簡素化することができる。
(4−4)駆動装置1は、二次元スキャナ101を含めたフィードバックによるフェーズロックドループを用い、主走査方向の変位検出信号と、副走査方向の変位検出信号との位相差を調整する。そのため、駆動装置1の装置構成を簡素化することができる。
(4−5)駆動装置1は、主走査方向の変位検出信号、及び副走査方向の変位検出信号の振幅を所定の値に調整することができる。
<第2の実施形態>
1.駆動装置1の構成
本実施形態の駆動装置1の構成を図6に基づいて説明する。本実施形態の駆動装置1の構成は、基本的には前記第1の実施形態と同様であるが、切換スイッチ43を備える点で相違する。切換スイッチ43は、乗算部11と加算部15との間を、電気的に接続した状態と、切り離された状態とのいずれかにすることができる。
(4−1)駆動装置1は、特許文献1記載のような主走査同期信号と副走査同期信号とを発生させる同期信号発生部を設けるような複雑なシステムを要することなく、主走査方向の駆動信号、及び副走査方向の駆動信号を生成することができる。
(4−2)駆動装置1は、二次元スキャナ101の始動時においては、自励発振系始動回路13を用いて、主走査方向の駆動信号を供給することができる。そのため、二次元スキャナ101の始動時において、主走査方向の変位検出信号の振幅が小さい期間においても、ノイズの影響を受け難い主走査方向の駆動信号を供給することができる。
(4−3)駆動装置1は、1/M分周器23、及び1/N分周器35を用いて、主走査方向の変位検出信号と、副走査方向の変位検出信号との周波数比を調整する。そのため、駆動装置1の装置構成を簡素化することができる。
(4−4)駆動装置1は、二次元スキャナ101を含めたフィードバックによるフェーズロックドループを用い、主走査方向の変位検出信号と、副走査方向の変位検出信号との位相差を調整する。そのため、駆動装置1の装置構成を簡素化することができる。
(4−5)駆動装置1は、主走査方向の変位検出信号、及び副走査方向の変位検出信号の振幅を所定の値に調整することができる。
<第2の実施形態>
1.駆動装置1の構成
本実施形態の駆動装置1の構成を図6に基づいて説明する。本実施形態の駆動装置1の構成は、基本的には前記第1の実施形態と同様であるが、切換スイッチ43を備える点で相違する。切換スイッチ43は、乗算部11と加算部15との間を、電気的に接続した状態と、切り離された状態とのいずれかにすることができる。
2.駆動装置1が実行する処理
(2−1)二次元スキャナ101の始動から十分時間が経過したときの処理
切換スイッチ43は、乗算部11と加算部15との間を、電気的に接続した状態としている。また、自励発振系始動回路13はOFFとなっている。駆動装置1は、前記第1の実施形態における「(3−1)二次元スキャナ101の始動から十分時間が経過したときの処理」と同様に、主走査方向の駆動信号と、副走査方向の駆動信号とを作成し、二次元スキャナ101に供給する。
(2−2)二次元スキャナ101の始動時における処理
二次元スキャナ101の始動直後において、切換スイッチ43は、乗算部11と加算部15との間を、電気的に切り離した状態としている。また、このとき、自励発振系始動回路13がONとなり、振幅が一定である主走査方向の駆動信号を発生させる。
(2−1)二次元スキャナ101の始動から十分時間が経過したときの処理
切換スイッチ43は、乗算部11と加算部15との間を、電気的に接続した状態としている。また、自励発振系始動回路13はOFFとなっている。駆動装置1は、前記第1の実施形態における「(3−1)二次元スキャナ101の始動から十分時間が経過したときの処理」と同様に、主走査方向の駆動信号と、副走査方向の駆動信号とを作成し、二次元スキャナ101に供給する。
(2−2)二次元スキャナ101の始動時における処理
二次元スキャナ101の始動直後において、切換スイッチ43は、乗算部11と加算部15との間を、電気的に切り離した状態としている。また、このとき、自励発振系始動回路13がONとなり、振幅が一定である主走査方向の駆動信号を発生させる。
よって、主走査方向の駆動信号として、自励発振系始動回路13が発生させた主走査方向の駆動信号のみが、二次元スキャナ101に供給される。
駆動装置1は、変位検出部7において、主走査方向の変位検出信号の振幅を常時検出しており、その検出値が所定の基準値以下であるうちは、切換スイッチ43をOFFの状態とし、自励発振系始動回路13をONとして、上記の処理を行う。一方、変位検出部7において検出した、主走査方向の変位検出信号の振幅が所定の基準値を超えたときは、切換スイッチ43をONの状態とし、自励発振系始動回路13をOFFとして、上記(2−1)の処理に移行する。
駆動装置1は、変位検出部7において、主走査方向の変位検出信号の振幅を常時検出しており、その検出値が所定の基準値以下であるうちは、切換スイッチ43をOFFの状態とし、自励発振系始動回路13をONとして、上記の処理を行う。一方、変位検出部7において検出した、主走査方向の変位検出信号の振幅が所定の基準値を超えたときは、切換スイッチ43をONの状態とし、自励発振系始動回路13をOFFとして、上記(2−1)の処理に移行する。
なお、二次元スキャナ101の始動時から一定時間が経過するまでは、切換スイッチ43をOFFの状態とするとともに、自励発振系始動回路13をONとし、一定時間が経過した後では、切換スイッチ43をONの状態とするとともに、自励発振系始動回路13をOFFとしてもよい。
3.駆動装置1が奏する効果
(3−1)駆動装置1は、前記第1の実施形態と略同様の効果を奏することができる。
(3−2)駆動装置1は、二次元スキャナ101の始動時においては、自励発振系始動回路13のみを用いて、主走査方向の駆動信号を供給することができる。そのため、二次元スキャナ101の始動時において、主走査方向の変位検出信号の振幅が小さい期間においても、ノイズの影響を受け難い主走査方向の駆動信号を供給することができる。
<第3の実施形態>
1.駆動装置1の構成
本実施形態の駆動装置1の構成を図7に基づいて説明する。本実施形態の駆動装置1の構成は、基本的には前記第1の実施形態と同様であるが、変位検出部7、自励発振系始動回路13、及び加算部15を備えない点で相違する。
(3−1)駆動装置1は、前記第1の実施形態と略同様の効果を奏することができる。
(3−2)駆動装置1は、二次元スキャナ101の始動時においては、自励発振系始動回路13のみを用いて、主走査方向の駆動信号を供給することができる。そのため、二次元スキャナ101の始動時において、主走査方向の変位検出信号の振幅が小さい期間においても、ノイズの影響を受け難い主走査方向の駆動信号を供給することができる。
<第3の実施形態>
1.駆動装置1の構成
本実施形態の駆動装置1の構成を図7に基づいて説明する。本実施形態の駆動装置1の構成は、基本的には前記第1の実施形態と同様であるが、変位検出部7、自励発振系始動回路13、及び加算部15を備えない点で相違する。
2.駆動装置1が実行する処理
駆動装置1は、常に、前記第1の実施形態における「(3−1)二次元スキャナ101の始動から十分時間が経過したときの処理」を実行する。
駆動装置1は、常に、前記第1の実施形態における「(3−1)二次元スキャナ101の始動から十分時間が経過したときの処理」を実行する。
3.駆動装置1が奏する効果
(3−1)駆動装置1は、二次元スキャナ101の始動時を除き、前記第1の実施形態と略同様の効果を奏することができる。
(3−2)駆動装置1は、変位検出部7、自励発振系始動回路13及び加算部15を備えないので、その構成を一層簡略化することができる。
(3−1)駆動装置1は、二次元スキャナ101の始動時を除き、前記第1の実施形態と略同様の効果を奏することができる。
(3−2)駆動装置1は、変位検出部7、自励発振系始動回路13及び加算部15を備えないので、その構成を一層簡略化することができる。
尚、本発明は前記実施の形態になんら限定されるものではなく、本発明を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
1・・・駆動装置、3・・・全波整流、5・・・平滑回路、
7・・・変位検出部、9・・・DCレベル調整、11・・・乗算部、
13・・・自励発振系始動回路、15・・・加算部、
17、21、33・・・コンパレータ、19・・・位相シフタ、
23・・・1/M分周器、25・・・位相比較器、27・・・フィルタ、
31・・・乗算部、35・・・1/N分周器、37・・・全波整流、
39・・・平滑回路、41・・・DCレベル調整、
43・・・切換スイッチ、101・・・二次元スキャナ、
103・・・外シンバル、105・・・内シンバル、
107・・・光反射部、
109、111、113、115・・・弾性連結部、
117、119・・・主走査駆動櫛歯電極、
121、123・・・副走査駆動櫛歯電極、
121A、123A・・・薄膜電極、
121B、123B・・・絶縁膜、
121C、123C・・・電極、
125、127・・・主走査変位検出櫛歯電極、
129、131・・・副走査変位検出櫛歯電極、
129A、131A・・・薄膜電極、
129B、131B・・・絶縁膜、
129C、131C・・・電極
7・・・変位検出部、9・・・DCレベル調整、11・・・乗算部、
13・・・自励発振系始動回路、15・・・加算部、
17、21、33・・・コンパレータ、19・・・位相シフタ、
23・・・1/M分周器、25・・・位相比較器、27・・・フィルタ、
31・・・乗算部、35・・・1/N分周器、37・・・全波整流、
39・・・平滑回路、41・・・DCレベル調整、
43・・・切換スイッチ、101・・・二次元スキャナ、
103・・・外シンバル、105・・・内シンバル、
107・・・光反射部、
109、111、113、115・・・弾性連結部、
117、119・・・主走査駆動櫛歯電極、
121、123・・・副走査駆動櫛歯電極、
121A、123A・・・薄膜電極、
121B、123B・・・絶縁膜、
121C、123C・・・電極、
125、127・・・主走査変位検出櫛歯電極、
129、131・・・副走査変位検出櫛歯電極、
129A、131A・・・薄膜電極、
129B、131B・・・絶縁膜、
129C、131C・・・電極
Claims (5)
- 主走査方向の駆動信号及び副走査方向の駆動信号に応じて前記主走査方向及び前記副走査方向に変位する変位部によって光ビームを走査する二次元スキャナを駆動する駆動装置であって、
前記二次元スキャナにおける前記主走査方向の変位検出信号と、前記副走査方向の変位検出信号との周波数比を所定の値に調整する周波数比調整手段と、
前記主走査方向の変位検出信号と、前記副走査方向の変位検出信号との位相差を所定の値に調整する位相調整手段と、
前記周波数比調整手段により前記周波数比を調整し、前記位相調整手段により前記位相差を調整した前記主走査方向の変位検出信号、及び前記副走査方向の変位検出信号に基づき、前記主走査方向の駆動信号及び前記副走査方向の駆動信号を生成する第1の駆動信号生成手段と、
を備えることを特徴とする駆動装置。 - 前記周波数比調整手段は、分周器を用いて前記周波数比を調整することを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。
- 前記位相調整手段は、二次元スキャナを含めたフィードバックによるフェーズロックドループを用い、前記位相差を調整することを特徴とする請求項1又は2に記載の駆動装置。
- 前記主走査方向の変位検出信号、及び前記副走査方向の変位検出信号の振幅を所定の値に調整する振幅調整手段を備え、
前記第1の駆動信号生成手段は、前記振幅調整手段により振幅を調整された前記主走査方向の変位検出信号、及び前記副走査方向の変位検出信号に基づき、前記主走査方向の駆動信号及び前記副走査方向の駆動信号を生成することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の駆動装置。 - 一定の振幅を有する前記主走査方向の駆動信号又は前記副走査方向の駆動信号を生成する第2の駆動信号生成手段を備え、
前記二次元スキャナの始動時においては、少なくとも前記第2の駆動信号生成手段の前記主走査方向の駆動信号又は前記副走査方向の駆動信号を前記二次元スキャナに供給し、
前記始動から一定時間経過後、あるいは、前記主走査方向の変位検出信号又は前記副走査方向の変位検出信号の振幅が所定値に達した後においては、前記第1の駆動信号生成手段の前記主走査方向の駆動信号及び前記副走査方向の駆動信号を前記二次元スキャナに供給することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の駆動装置。
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2012
- 2012-09-18 JP JP2012204417A patent/JP2014059449A/ja active Pending
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