JP2014036084A - Clamp method and clamp device - Google Patents
Clamp method and clamp device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014036084A JP2014036084A JP2012175885A JP2012175885A JP2014036084A JP 2014036084 A JP2014036084 A JP 2014036084A JP 2012175885 A JP2012175885 A JP 2012175885A JP 2012175885 A JP2012175885 A JP 2012175885A JP 2014036084 A JP2014036084 A JP 2014036084A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- optical component
- pressure
- pin
- pressure pin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
Description
開示する技術は、クランプ方法及びクランプ装置に関する。 The disclosed technology relates to a clamping method and a clamping device.
専用型及び汎用型の二部材を位置決めする方法の一例としては、位置決め部よりも小径のガイド部を、位置決め部に対して偏心させ、かつテーパ部により位置決め部に連接させた位置決め治具を用いる方法がある。この方法では、汎用型の位置決め穴と専用型の位置決め穴が重なるようにラフに位置決めした状態で、位置決め治具を、ガイド部から一方の位置決め穴に挿入して回転させる。これにより、ガイド部を中心に位置決め部が公転運動して、専用型の位置決め穴と汎用型の位置決め穴とが整合するように専用型と汎用型とを相対移動させることにより、専用型と汎用型とが高精度で位置決めされる。 As an example of a method for positioning two members of the dedicated type and the general-purpose type, a positioning jig in which a guide portion having a smaller diameter than the positioning portion is eccentric with respect to the positioning portion and is connected to the positioning portion by a tapered portion is used. There is a way. In this method, the positioning jig is inserted into one positioning hole from the guide portion and rotated in a state where the positioning hole of the general-purpose type and the positioning hole of the dedicated type are roughly positioned. As a result, the positioning part revolves around the guide part, and the dedicated type and general purpose type are moved relative to each other so that the dedicated type positioning hole and the general purpose type positioning hole are aligned. The mold is positioned with high accuracy.
一方、基板を吸着テーブル上に位置決めして載置する載置装置として、支持部材に対して複数のリフトピンを傾斜させて設けた載置装置がある。この載置装置では、傾斜させた複数のリフトピンにより基板を支持する。また、載置装置は、基板を支持した複数のリフトピンを一体で、リフトピンの傾斜に沿って下方へ移動させる。これにより、基板は、位置決めピンに突き当てられて位置決めされ、吸着テーブルに載置される。 On the other hand, as a mounting device that positions and mounts a substrate on a suction table, there is a mounting device in which a plurality of lift pins are inclined with respect to a support member. In this mounting apparatus, the substrate is supported by a plurality of inclined lift pins. Further, the mounting apparatus integrally moves a plurality of lift pins supporting the substrate downward along the inclination of the lift pins. Thus, the substrate is abutted against the positioning pins and positioned, and is placed on the suction table.
ところで、基板上に光学部品などを固定する方法には、接着剤を用いて基板に光学部品を接着固定する方法がある。基板に光学部品を接着固定する場合、基板上の予め定めた位置に接着剤を塗布し、この接着剤上に光学部品を配置し、この後、加圧ピンにより光学部品を基板へ向けて押圧することでクランプする。さらに、基板にクランプされた光学部品は、接着剤が固化することにより基板に接着固定される。 Incidentally, as a method of fixing an optical component or the like on a substrate, there is a method of bonding and fixing the optical component to the substrate using an adhesive. When optical components are bonded and fixed to a substrate, an adhesive is applied to the substrate at a predetermined position, the optical components are placed on the adhesive, and then the optical components are pressed toward the substrate with pressure pins. To clamp. Furthermore, the optical component clamped on the substrate is bonded and fixed to the substrate when the adhesive is solidified.
しかしながら、基板と光学部品との間に接着剤が介在していると、基板上に配置された光学部品は、加圧ピンにより押圧されたときに位置ズレを生じてしまう。光学部品が基板に対して位置ズレが生じた状態で接着固定されると、光学部品が基板上に取り付けて形成される光学デバイス等の製品品質の低下を生じさせてしまう。 However, when an adhesive is interposed between the substrate and the optical component, the optical component disposed on the substrate is displaced when pressed by the pressure pin. When the optical component is bonded and fixed in a state where the optical component is displaced from the substrate, the product quality of an optical device or the like formed by attaching the optical component on the substrate is deteriorated.
開示の技術は、一つの側面として、光学部品などの被固定部材を基板に固定する場合の被固定部材の位置ズレを防止する。 As one aspect, the disclosed technology prevents positional displacement of a fixed member when a fixed member such as an optical component is fixed to a substrate.
開示の技術は、一つの側面として、基板に取り付けられる被固定部材を、前記基板に対して位置決めする位置決め用治具の基準面に当接させて配置する。また、前記被固定部材を前記基準面に当接させる方向に傾けた加圧ピンを、先端部を前記被固定部材に当接させて弾性変形により撓ませることにより、前記被固定部材を前記基板及び前記基準面へ向けて押圧する。 In the disclosed technology, as one side surface, a fixed member attached to a substrate is disposed in contact with a reference surface of a positioning jig for positioning with respect to the substrate. Further, a pressure pin inclined in a direction in which the member to be fixed is brought into contact with the reference surface is bent by elastic deformation with a distal end portion being brought into contact with the member to be fixed, thereby fixing the member to be fixed to the substrate. And pressing toward the reference plane.
開示の技術は、一つの側面として、被固定部材を加圧ピンにより基板及び基準面へ向けて押圧してクランプするので、クランプされる被固定部材に位置ズレが生じるのを防止できる、という効果を有する。 As one aspect, the disclosed technology presses and clamps the fixed member toward the substrate and the reference surface with the pressure pin, and therefore, it is possible to prevent the positional displacement of the fixed member to be clamped. Have
以下、図面を参照して開示する技術の実施の形態の一例を詳細に説明する。 Hereinafter, an example of an embodiment of the technology disclosed will be described in detail with reference to the drawings.
図２には、本実施形態に係る部品固定装置１０の一例を示す。部品固定装置は、クランプ装置の一例として機能する。 FIG. 2 shows an example of the component fixing device 10 according to the present embodiment. The component fixing device functions as an example of a clamping device.
部品固定装置１０は、載置台１２を備える。載置台１２は、基台の一例として機能する。図２及び図３に示すように、部品固定装置１０は、載置台１２にベースプレート１４が位置決めされて載置される。また、部品固定装置１０は、ベースプレート１４上に複数の光学部品１６を接着固定する。ベースプレート１４は、基板の一例として機能し、光学部品１６は、被固定部材の一例として機能する。 The component fixing device 10 includes a mounting table 12. The mounting table 12 functions as an example of a base. As shown in FIGS. 2 and 3, the component fixing device 10 is mounted on the mounting table 12 with the base plate 14 positioned. Further, the component fixing device 10 adheres and fixes a plurality of optical components 16 on the base plate 14. The base plate 14 functions as an example of a substrate, and the optical component 16 functions as an example of a fixed member.
部品固定装置１０は、ベースプレート１４への光学部品１６の取り付けに限らず、基板への電子部品の取り付けなど、基板へ被固定部材を位置決めして接着固定する場合の被固定部材のクランプに適用することができる。 The component fixing device 10 is not limited to the mounting of the optical component 16 to the base plate 14, but is applied to the clamp of the fixed member when the fixed member is positioned and fixedly bonded to the substrate, such as the attachment of an electronic component to the substrate. be able to.
ベースプレート１４に取り付ける光学部品１６としては、例えば、レンズやミラーなどがある。ベースプレート１４には、複数の光学部品１６が取り付けられることにより、例えば、光ビームなどの光路が形成される。また、ベースプレート１４は、所定の光学部品１６が取り付けられた状態で図示しないパッケージに収容されることで、例えば光学モジュール、光学デバイスなどを形成する。なお、以下では、ミラー、レンズ等の区別を行なわずに光学部品１６とし、４つの光学部品１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄを、ベースプレート１４へ取り付ける場合を例に説明する。 Examples of the optical component 16 attached to the base plate 14 include a lens and a mirror. By attaching a plurality of optical components 16 to the base plate 14, for example, an optical path such as a light beam is formed. The base plate 14 is accommodated in a package (not shown) with a predetermined optical component 16 attached thereto, thereby forming, for example, an optical module or an optical device. In the following, an example will be described in which the optical component 16 is used without distinguishing between a mirror and a lens, and four optical components 16A, 16B, 16C, and 16D are attached to the base plate 14.
部品固定装置１０は、載置台１２にベースプレート１４を載置する場合に、公知の位置決め方法を適用することができる。本実施の形態では、ベースプレート１４を載置台１２に位置決めして載置する構成として説明するが、部品固定装置１０は、ベースプレート１４が予めパッケージに固定され、当該パッケージを載置台１２上に位置決めして載置する構成であってもよい。また、ベースプレート１４を設けずにパッケージに光学部品１６を固定する光学モジュールである場合、部品固定装置１０は、載置台１２にパッケージを位置決めし、パッケージに光学部品１６の各々を固定する構成であってもよい。 The component fixing device 10 can apply a known positioning method when the base plate 14 is mounted on the mounting table 12. In this embodiment, the base plate 14 is described as being configured to be positioned and placed on the mounting table 12. However, the component fixing device 10 is configured such that the base plate 14 is fixed to the package in advance and the package is positioned on the mounting table 12. It may be configured to be mounted. In the case of an optical module that fixes the optical component 16 to the package without providing the base plate 14, the component fixing device 10 is configured to position the package on the mounting table 12 and fix each of the optical components 16 to the package. May be.
部品固定装置１０は、ベースプレート１４上に光学部品１６を配置するのに先立ち、ベースプレート１４上の各光学部品１６の取り付け位置に接着剤１８（図４参照）が塗布される。部品固定装置１０は、接着剤１８を介在させてベースプレート１４上に配置された光学部品１６をベースプレート１４へ向けて押圧する。これにより、光学部品１６は、接着剤１８が固化することでベースプレート１４に接着固定される。 In the component fixing device 10, an adhesive 18 (see FIG. 4) is applied to the mounting position of each optical component 16 on the base plate 14 before the optical component 16 is arranged on the base plate 14. The component fixing device 10 presses the optical component 16 disposed on the base plate 14 toward the base plate 14 with an adhesive 18 interposed therebetween. Thereby, the optical component 16 is bonded and fixed to the base plate 14 as the adhesive 18 is solidified.
図２及び図３に示すように、部品固定装置１０は、位置決め用治具２０を備える。位置決め用治具２０は、位置決め用治具の一例として機能する。位置決め用治具２０は、平板状に形成され、一辺に基部２２が形成されている。位置決め用治具２０は、基部２２を載置台１２上に設けた固定ブロック２４に固定することで、載置台１２上のベースプレート１４に対して位置決めされて取り付けられる。なお、部品固定装置１０は、位置決め用治具２０が、固定ブロック２４を介して載置台１２に取り付けられることにより、ベースプレート１４と位置決め用治具２０との間に所定の隙間が形成される。 As shown in FIGS. 2 and 3, the component fixing device 10 includes a positioning jig 20. The positioning jig 20 functions as an example of a positioning jig. The positioning jig 20 is formed in a flat plate shape, and a base 22 is formed on one side. The positioning jig 20 is positioned and attached to the base plate 14 on the mounting table 12 by fixing the base 22 to a fixed block 24 provided on the mounting table 12. In the component fixing device 10, a predetermined gap is formed between the base plate 14 and the positioning jig 20 by attaching the positioning jig 20 to the mounting table 12 via the fixing block 24.
位置決め用治具２０は、ベースプレート１４上の光学部品１６の配置位置に、開口部２６が形成されている。開口部２６は、ベースプレート１４上の光学部品１６の配置位置に対応する位置決め用治具２０の領域に、切り込みを形成するか又は穿孔することにより、位置決め用治具２０に形成される。部品固定装置１０は、位置決め用治具２０に開口部２６が形成されていることにより、ベースプレート１４の光学部品１６の配置位置の周囲が開放される。 In the positioning jig 20, an opening 26 is formed at an arrangement position of the optical component 16 on the base plate 14. The opening 26 is formed in the positioning jig 20 by forming a notch or drilling in a region of the positioning jig 20 corresponding to the arrangement position of the optical component 16 on the base plate 14. In the component fixing device 10, the opening 26 is formed in the positioning jig 20, so that the periphery of the arrangement position of the optical component 16 on the base plate 14 is opened.
位置決め用治具２０は、開口部２６に、光学部品１６の各々に対応する位置決め部２８が形成されている。本実施の形態では、一例として位置決め用治具２０に、光学部品１６Ａ、１６Ｂの取り付け位置に合わせた開口部２６Ａ、及び光学部品１６Ｃ、１６Ｄの取り付け位置に合わせた開口部２６Ｂを形成している。位置決め用治具２０は、一例として、開口部２６Ａに、光学部品１６Ａの位置決め部２８Ａ、及び光学部品１６Ｂの位置決め部２８Ｂが形成され、開口部２６Ｂに、光学部品１６Ｃの位置決め部２８Ｃ、及び光学部品１６Ｄの位置決め部２８Ｄが形成されている。 In the positioning jig 20, positioning portions 28 corresponding to the respective optical components 16 are formed in the opening 26. In the present embodiment, as an example, the positioning jig 20 is formed with an opening 26A that matches the mounting position of the optical components 16A and 16B and an opening 26B that matches the mounting position of the optical components 16C and 16D. . As an example, the positioning jig 20 includes a positioning portion 28A of the optical component 16A and a positioning portion 28B of the optical component 16B formed in the opening 26A, and a positioning portion 28C of the optical component 16C and the optical component in the opening 26B. A positioning portion 28D for the component 16D is formed.
位置決め用治具２０は、位置決め部２８（２８Ａ〜２８Ｄ）の各々に、基準面３０Ａ、３０Ｂ、及び非干渉孔３０Ｃが形成されている。光学部品１６がベースプレート１４に取り付けられることでベースプレート１４の表面に沿う光路を形成する場合、基準面３０Ａ、３０Ｂは、光学部品１６において非光路面となる二辺（二方向の端面）に対向するように形成される。 In the positioning jig 20, reference surfaces 30A and 30B and a non-interference hole 30C are formed in each of the positioning portions 28 (28A to 28D). When the optical component 16 is attached to the base plate 14 to form an optical path along the surface of the base plate 14, the reference surfaces 30 </ b> A and 30 </ b> B are opposed to two sides (end surfaces in two directions) that are non-optical path surfaces in the optical component 16. Formed as follows.
光学部品１６は、ベースプレート１４上に配置されるときに、位置決め用治具２０に形成された基準面３０Ａ、３０Ｂに当接されることにより、ベースプレート１４に対して所定の位置及び向きとなるように位置決めされる。位置決め用治具２０の非干渉孔３０Ｃは、基準面３０Ａと基準面３０Ｂとが交差する位置を中心に形成され、基準面３０Ａ、３０Ｂに当接された光学部品１６の角部に対応されている。光学部品１６は、基準面３０Ａ、３０Ｂに当接されることにより、基準面３０Ａ、３０Ｂの各々に対応する面の間の角部が、非干渉孔３０に入り込み、当該角部の損傷が防止される。 When the optical component 16 is disposed on the base plate 14, the optical component 16 comes into contact with the reference surfaces 30 </ b> A and 30 </ b> B formed on the positioning jig 20 so that the optical component 16 has a predetermined position and orientation with respect to the base plate 14. Is positioned. The non-interference hole 30C of the positioning jig 20 is formed around the position where the reference surface 30A and the reference surface 30B intersect, and corresponds to the corner portion of the optical component 16 in contact with the reference surfaces 30A and 30B. Yes. When the optical component 16 is brought into contact with the reference surfaces 30A and 30B, the corners between the surfaces corresponding to the reference surfaces 30A and 30B enter the non-interference holes 30 to prevent the corners from being damaged. Is done.
図２に示すように、部品固定装置１０は、ガイドシャフト３２及びスペーサ３４を備える。ガイドシャフト３２は、ベースプレート１４及び位置決め用治具２０を挟んで対で配置される。また、ガイドシャフト３２は、軸線方向の一端部が、載置台１２に埋め込まれることで載置台１２から立設されて固定される。 As shown in FIG. 2, the component fixing device 10 includes a guide shaft 32 and a spacer 34. The guide shafts 32 are arranged in pairs with the base plate 14 and the positioning jig 20 interposed therebetween. Further, the guide shaft 32 is fixed by being erected from the mounting table 12 by having one end in the axial direction embedded in the mounting table 12.
スペーサ３４は、所定の長さの筒体形状に形成され、内面形状がガイドシャフト３２の外形形状に合わせられている。スペーサ３４は、載置台１２上に配置される。このとき、スペーサ３４は、ガイドシャフト３２が挿入された状態で載置台１２上に配置される。ガイドシャフト３２は、スペーサ３４により載置台１２側が拡径される。 The spacer 34 is formed in a cylindrical shape having a predetermined length, and the inner surface shape is matched with the outer shape of the guide shaft 32. The spacer 34 is disposed on the mounting table 12. At this time, the spacer 34 is disposed on the mounting table 12 with the guide shaft 32 inserted. The guide shaft 32 is expanded in diameter on the mounting table 12 side by a spacer 34.
一方、部品固定装置１０は、加圧ホルダ３６を備える。加圧ホルダ３６は、加圧治具の一部として機能する。加圧ホルダ３６は、例えば、アクリルなどの合成樹脂により矩形ブロック状に形成されている。また、加圧ホルダ３６は、一対のガイドシャフト３２に掛け渡されることにより、載置台１２上のベースプレート１４及び位置決め用治具２０に対向されている。 On the other hand, the component fixing device 10 includes a pressure holder 36. The pressure holder 36 functions as a part of the pressure jig. The pressure holder 36 is formed in a rectangular block shape by synthetic resin such as acrylic. In addition, the pressure holder 36 is opposed to the base plate 14 and the positioning jig 20 on the mounting table 12 by being stretched over the pair of guide shafts 32.
加圧ホルダ３６には、フランジ３８及びリニアブッシュ（軸受筒）４０が取り付けられている。フランジ３８は、矩形平板状に形成され、ガイドシャフト３２の各々に対応して、加圧ホルダ３６の長手方向の両端部に配置され、加圧ホルダ３６の載置台１２と反対側の面（図２の紙面上方側の面）に固定されている。 A flange 38 and a linear bush (bearing cylinder) 40 are attached to the pressure holder 36. The flange 38 is formed in a rectangular flat plate shape, and is disposed at both ends in the longitudinal direction of the pressure holder 36 corresponding to each of the guide shafts 32. The surface of the pressure holder 36 opposite to the mounting table 12 (see FIG. 2 is fixed to the upper surface of the sheet.
リニアブッシュ４０は、内径がガイドシャフト３２の外径に合わせた筒体状に形成されている。リニアブッシュ４０は、軸線方向の一端がフランジ３８を貫通するよう配置されてフランジ３８に取り付けられている。加圧ホルダ３６には、リニアブッシュ４０の外径に応じた貫通孔３６Ａが形成され、リニアブッシュ４０は、加圧ホルダ３６の貫通孔３６Ａに挿入されて、加圧ホルダ３６に取り付けられている。 The linear bush 40 is formed in a cylindrical shape whose inner diameter matches the outer diameter of the guide shaft 32. The linear bush 40 is attached to the flange 38 such that one end in the axial direction passes through the flange 38. A through hole 36A corresponding to the outer diameter of the linear bush 40 is formed in the pressure holder 36, and the linear bush 40 is inserted into the through hole 36A of the pressure holder 36 and attached to the pressure holder 36. .
加圧ホルダ３６は、ガイドシャフト３２がリニアブッシュ４０に挿入されることにより、一対のガイドシャフト３２に掛け渡されている。これにより、部品固定装置１０は、加圧ホルダ３６がガイドシャフト３２との軸線方向である載置台１２上のベースプレート１４に対する接近方向及び離間方向に沿って相対移動可能となるように取り付けられている。なお、部品固定装置１０は、一例として２本のガイドシャフト３２を用いているが、３本以上のガイドシャフト３２を設けるなど、加圧ホルダ３６が平行移動可能となる任意の構成を適用することができる。 The pressure holder 36 is stretched over the pair of guide shafts 32 by inserting the guide shaft 32 into the linear bush 40. Thereby, the component fixing device 10 is attached so that the pressurization holder 36 can be relatively moved along the approaching direction and the separation direction with respect to the base plate 14 on the mounting table 12 which is an axial direction with respect to the guide shaft 32. . In addition, although the component fixing device 10 uses two guide shafts 32 as an example, an arbitrary configuration in which the pressure holder 36 can be translated is applied, such as providing three or more guide shafts 32. Can do.
部品固定装置１０は、圧縮コイルばね（以下、コイルばね４２という）を備える。コイルばね４２は、一対のガイドシャフト３２の各々に設けられ、内径がガイドシャフト２２の外径より大きく、外径がスリーブ３４及びリニアブッシュ４０の外径より小さくなっている。コイルばね４２は、ガイドシャフト３２が挿通されることにより、スペーサ３４と加圧ホルダ３６のリニアブッシュ４０との間に配置される。コイルばね４２は、加圧ホルダ３６が、載置台１２への接近方向へ移動することにより、スリーブ３４とリニアブッシュ４０との間で圧縮され、加圧ホルダ３６を載置台１２から離間する方向へ付勢する。 The component fixing device 10 includes a compression coil spring (hereinafter referred to as a coil spring 42). The coil spring 42 is provided in each of the pair of guide shafts 32, and has an inner diameter larger than the outer diameter of the guide shaft 22 and an outer diameter smaller than the outer diameters of the sleeve 34 and the linear bush 40. The coil spring 42 is disposed between the spacer 34 and the linear bush 40 of the pressure holder 36 when the guide shaft 32 is inserted. The coil spring 42 is compressed between the sleeve 34 and the linear bush 40 when the pressure holder 36 moves in the approaching direction to the mounting table 12, and moves the pressure holder 36 away from the mounting table 12. Energize.
ガイドシャフト３２は、加圧ホルダ３６側の端部に雌ねじが形成されたねじ部３２Ａが設けられている。また、部品固定装置１０は、加圧ボルト４４を備える。ガイドシャフト３２及び加圧ボルト４４は、加圧ホルダ３６の昇降部の一例として機能する。 The guide shaft 32 is provided with a threaded portion 32A in which an internal thread is formed at an end portion on the pressure holder 36 side. In addition, the component fixing device 10 includes a pressure bolt 44. The guide shaft 32 and the pressure bolt 44 function as an example of an elevating part of the pressure holder 36.
加圧ボルト４４は、軸部４４Ａに、ガイドシャフト３２のねじ部３２Ａに対応する雄ねじが形成され、頭部４４Ｂにひら目、あや目などのローレット目が形成されている。これにより、加圧ボルト４４は、頭部４４Ｂが回されることにより、ねじ部４４Ａがガイドシャフト３２のねじ部３２Ａに螺合される。 The pressurizing bolt 44 is formed with a male screw corresponding to the threaded portion 32A of the guide shaft 32 on the shaft portion 44A, and knurled eyes such as a palm and an eye on the head 44B. As a result, the screw bolt 44 </ b> A of the pressure bolt 44 is screwed into the screw portion 32 </ b> A of the guide shaft 32 by turning the head 44 </ b> B.
加圧ボルト４４は、軸部４４Ａがフランジ３８側からリニアブッシュ４０内に挿入され、ガイドシャフト３２のねじ部３２Ａに対向される。加圧ボルト４４は、軸部４４Ａがリニアブッシュ４０に挿入されて締め付け方向に回されることにより、軸部４４Ａがガイドシャフト３２のねじ部３２Ａに螺合挿入される。加圧ホルダ３６は、固定ボルト４４の軸部４４Ａが、ガイドシャフト３２のねじ部３２Ａに螺合挿入されることで、コイルばね４２の付勢力に抗して、載置台１２へ向けて移動される。なお、図２では、載置台１２の上面に沿う方向をＸ−Ｙ方向として示し、載置台１２の上面と交差する方向である加圧ホルダ３６の昇降方向をＺ方向として示す。 The pressure bolt 44 has a shaft portion 44 </ b> A inserted into the linear bush 40 from the flange 38 side and is opposed to the screw portion 32 </ b> A of the guide shaft 32. The pressure bolt 44 is inserted into the threaded portion 32 </ b> A of the guide shaft 32 by the shaft portion 44 </ b> A being inserted into the linear bush 40 and rotated in the tightening direction. The pressure holder 36 is moved toward the mounting table 12 against the biasing force of the coil spring 42 by the shaft portion 44A of the fixing bolt 44 being screwed into the screw portion 32A of the guide shaft 32. The In FIG. 2, the direction along the upper surface of the mounting table 12 is shown as the XY direction, and the elevation direction of the pressure holder 36 that intersects the upper surface of the mounting table 12 is shown as the Z direction.
部品固定装置１０は、例えば、載置台１２上のベースプレート１４と加圧ホルダ３６の下面の間隔が、所定の間隔となる位置まで加圧ホルダ３６を、載置台１２への接近方向へ移動する。加圧ホルダ３６の載置台１２への接近方向の移動位置は、図示しないストッパを設けて、ストッパに当接する位置まで、加圧ホルダ３６が移動するようにしても良い。また、スペーサ３４を加圧ホルダ３６のストッパとして用いることもでき、この場合、例えば、スペーサ３４にコイルばね４２の一部を収容する収容部を形成すれば良い。 For example, the component fixing device 10 moves the pressure holder 36 in the approaching direction to the mounting table 12 to a position where the distance between the lower surface of the base plate 14 and the pressure holder 36 on the mounting table 12 becomes a predetermined distance. As the moving position of the pressure holder 36 in the approaching direction to the mounting table 12, a stopper (not shown) may be provided so that the pressure holder 36 moves to a position where it comes into contact with the stopper. The spacer 34 can also be used as a stopper for the pressure holder 36. In this case, for example, an accommodation portion for accommodating a part of the coil spring 42 may be formed in the spacer 34.
一方、部品固定装置１０は、加圧ピン４６を備える。加圧ピン４６は、ベースプレート１４に固定される光学部品１６の各々に対向し、加圧ホルダ３６から載置台１２へ向けて突設されている。 On the other hand, the component fixing device 10 includes a pressure pin 46. The pressure pin 46 faces each of the optical components 16 fixed to the base plate 14 and protrudes from the pressure holder 36 toward the mounting table 12.
部品固定装置１０は、加圧ホルダ３６が所定の移動位置まで載置台１２へ接近移動することで、加圧ホルダ３６に設けた加圧ピン４６の各々が光学部材１６に当接し、光学部材１６の各々をベースプレート１４へ向けて押圧する。これにより、部品固定装置１０は、載置台１２と加圧ピン４６との間でベースプレート１４及び光学部品１６をクランプする。 In the component fixing device 10, when the pressure holder 36 moves closer to the mounting table 12 to a predetermined movement position, each of the pressure pins 46 provided on the pressure holder 36 contacts the optical member 16, and the optical member 16. Are pressed toward the base plate 14. As a result, the component fixing device 10 clamps the base plate 14 and the optical component 16 between the mounting table 12 and the pressure pin 46.
ベースプレート１４及び光学部品１６は、部品固定装置１０にクランプされた状態で、接着剤１８に対する接着プロセス（接着フロー）が実行されることにより、ベースプレート１４に光学部品１６が固定される。なお、接着剤１８は、ベースプレート１４の材質、光学部品１６の材質、及び適用する接着プロセス（加熱処理、紫外線処理）等に応じて選択される。 The base plate 14 and the optical component 16 are clamped by the component fixing device 10, and the optical component 16 is fixed to the base plate 14 by performing a bonding process (bonding flow) to the adhesive 18. The adhesive 18 is selected according to the material of the base plate 14, the material of the optical component 16, the bonding process to be applied (heating treatment, ultraviolet treatment), and the like.
ところで、図１には、本実施形態に係る加圧ピン４６の一例を示す。本実施形態に適用した加圧ピン４６は、断面矩形状に形成され、長手方向の一端部が、光学部品１６（図２及び図３参照）に対向する押圧部４８とされている。また、加圧ピン４６は、一例として、ステンレス（ＳＵＳ３０４）が用いられ、断面が０．５ｍｍ×０．５ｍｍ、長さＬが１５ｍｍに形成されている。これにより、本実施形態は、加圧ピン４６が、長手方向（以下、軸線方向とする）と交差する方向へ湾曲する弾性変形である撓みが生じ易くなっている。 FIG. 1 shows an example of the pressure pin 46 according to this embodiment. The pressure pin 46 applied to this embodiment is formed in a rectangular cross section, and one end portion in the longitudinal direction is a pressing portion 48 facing the optical component 16 (see FIGS. 2 and 3). In addition, as an example, the pressure pin 46 is made of stainless steel (SUS304), and has a cross section of 0.5 mm × 0.5 mm and a length L of 15 mm. Accordingly, in the present embodiment, the pressure pin 46 is likely to bend, which is an elastic deformation in which the pressure pin 46 is bent in a direction intersecting the longitudinal direction (hereinafter referred to as the axial direction).
本実施の形態では、光学部品１６に対向される加圧ピン４６の軸線方向の端部を、例えば半径Ｒ＝０．７５ｍｍの円弧状に湾曲させることにより押圧部４８を形成している。また、本実施形態では、加圧ピン４６の押圧部４８に、無電解ニッケルテフロンメッキ（テフロンは登録商標）によるコーティングを施している。 In the present embodiment, the pressing portion 48 is formed by bending the end portion in the axial direction of the pressure pin 46 facing the optical component 16 into an arc shape having a radius R = 0.75 mm, for example. In this embodiment, the pressing portion 48 of the pressing pin 46 is coated with electroless nickel Teflon plating (Teflon is a registered trademark).
これにより、本実施形態では、加圧ピン４６の押圧部４８が光学部品１６に当接されたときに、光学部品１６に損傷が生じるのを防止している。また、本実施形態は、光学部品１６と加圧ピン４６の押圧部４８との間に所定の摩擦力が生じるようにしている。なお、加圧ピン４６の押圧部４８の被覆処理は、無電解ニッケルテフロンメッキ（テフロンは登録商標）によるコーティングに限るものでない。押圧部４８の被覆処理は、光学部品１６に損傷を生じさせることなく、所定の摩擦力が得られるものであれば良い。例えば、光学部品１６の材質（ガラスか、プラスチックなどの樹脂か等）に応じた被覆処理を適用することができる。 Accordingly, in the present embodiment, the optical component 16 is prevented from being damaged when the pressing portion 48 of the pressure pin 46 is brought into contact with the optical component 16. In the present embodiment, a predetermined frictional force is generated between the optical component 16 and the pressing portion 48 of the pressing pin 46. In addition, the coating process of the pressing portion 48 of the pressure pin 46 is not limited to coating by electroless nickel Teflon plating (Teflon is a registered trademark). The covering process of the pressing part 48 may be any process that can obtain a predetermined frictional force without causing damage to the optical component 16. For example, a coating process according to the material of the optical component 16 (such as glass or resin such as plastic) can be applied.
部品固定装置１０は、加圧ホルダ３６に加圧ピン４６の外形形状（断面形状）に応じた取付け孔５０が形成されている。取付け孔５０は、加圧ホルダ３６の載置台１２側の面に所定の深さとなるように穿孔されて加圧ホルダ３６に形成されている。加圧ピン４６は、押圧部４８と反対側の端部である基部４８Ａが、加圧ホルダ３６の取付け孔５０に挿入されて加圧ホルダ３６に取り付けられる。 In the component fixing device 10, a mounting hole 50 corresponding to the outer shape (cross-sectional shape) of the pressure pin 46 is formed in the pressure holder 36. The attachment hole 50 is formed in the pressure holder 36 by being drilled to a predetermined depth on the surface of the pressure holder 36 on the mounting table 12 side. The pressure pin 46 is attached to the pressure holder 36 by inserting a base portion 48 </ b> A, which is an end opposite to the pressing portion 48, into the attachment hole 50 of the pressure holder 36.
また、取付け孔５０は、加圧ホルダ３６の載置台１２への接離方向（矢印Ｚ方向）に対して、所定の向き及び角度で傾くように加圧ホルダ３６に形成されている。これにより、加圧ホルダ３６に取り付けられた加圧ピン４６は、載置台１２に対して、所定の方向及び角度で傾けられる。加圧ピン４６の傾き方向Ｔは、軸線方向に沿った押圧部４８の方向を、載置台１２の表面（Ｘ−Ｙ平面）に投影した方向としている。また、加圧ピン４６の角度θは、加圧ホルダ３６の載置台１２への接近方向に対する加圧ピン４６の軸線の角度としている。加圧ホルダ３６の載置台１２への接近方向は、加圧ピン４６が光学部品１６をクランプするときの加圧ピン４６の移動方向である。本実施形態においては、角度θを、一例として５°（θ＝５°）としている。 Further, the mounting hole 50 is formed in the pressure holder 36 so as to be inclined at a predetermined direction and angle with respect to a direction in which the pressure holder 36 is moved toward and away from the mounting table 12 (arrow Z direction). Thereby, the pressure pin 46 attached to the pressure holder 36 is tilted with respect to the mounting table 12 at a predetermined direction and angle. The inclination direction T of the pressure pin 46 is a direction in which the direction of the pressing portion 48 along the axial direction is projected onto the surface (XY plane) of the mounting table 12. Further, the angle θ of the pressure pin 46 is the angle of the axis of the pressure pin 46 with respect to the approaching direction of the pressure holder 36 to the mounting table 12. The direction in which the pressure holder 36 approaches the mounting table 12 is the direction in which the pressure pin 46 moves when the pressure pin 46 clamps the optical component 16. In the present embodiment, the angle θ is set to 5 ° (θ = 5 °) as an example.
一方、部品固定装置１０は、加圧ホルダ３６に取り付けられた加圧ピン４６の押圧部４８が、ベースプレート１４上に位置決めされた光学部品１６の重心位置Ｃとなるように、加圧ホルダ３６に取付け孔５０が形成されている。また、部品固定装置１０は、加圧ピン４６の各々の傾き方向Ｔを、光学部品１６の重心位置Ｃから位置決め部２８の非干渉孔３０Ｃへ向かう位置決め方向Ｐに合わせている。すなわち、位置決め方向Ｐは、光学部品１６を基準面３０Ａ及び基準面３０Ｂに当接させる方向であり、傾き方向Ｔは、この位置決め方向に合わせられている。加圧ホルダ３６には、加圧ピン４６Ａ、４６Ｂ、４６Ｃ、４６Ｄに設定された傾き方向Ｔとなるように取付け孔５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃ、５０Ｄが形成されている。 On the other hand, the component fixing device 10 is attached to the pressure holder 36 so that the pressing portion 48 of the pressure pin 46 attached to the pressure holder 36 is positioned at the center of gravity C of the optical component 16 positioned on the base plate 14. A mounting hole 50 is formed. In addition, the component fixing device 10 matches the inclination direction T of each pressure pin 46 with the positioning direction P from the center of gravity C of the optical component 16 toward the non-interference hole 30C of the positioning unit 28. That is, the positioning direction P is a direction in which the optical component 16 is brought into contact with the reference surface 30A and the reference surface 30B, and the tilt direction T is aligned with this positioning direction. Mounting holes 50A, 50B, 50C, and 50D are formed in the pressure holder 36 so as to have the inclination direction T set to the pressure pins 46A, 46B, 46C, and 46D.
これにより、図３に示すように、部品固定装置１０は、光学部品１６Ａに対する加圧ピン４６Ａの傾き方向Ｔａが、光学部品１６Ａの位置決め方向Ｐａに合わせられている。また、部品固定装置１０は、光学部品１６Ｂに対する加圧ピン４６Ｂの傾き方向Ｔｂが、光学部品１６Ｂの位置決め方向Ｐｂに合わせられ、光学部品１６Ｃに対する加圧ピン４６Ｃの傾き方向Ｔｃが、光学部品１６Ｃの位置決め方向Ｐｃに合わせられている。また、部品固定装置１０は、光学部品１６Ｄに対する加圧ピン４６Ｄの傾き方向Ｔｄが、光学部品１６Ｄの位置決め方向Ｐｄに合わせられている。 Thereby, as shown in FIG. 3, in the component fixing device 10, the inclination direction Ta of the pressure pin 46A with respect to the optical component 16A is aligned with the positioning direction Pa of the optical component 16A. Further, in the component fixing device 10, the inclination direction Tb of the pressure pin 46B relative to the optical component 16B is aligned with the positioning direction Pb of the optical component 16B, and the inclination direction Tc of the pressure pin 46C relative to the optical component 16C is equal to the optical component 16C. To the positioning direction Pc. In the component fixing device 10, the inclination direction Td of the pressure pin 46D with respect to the optical component 16D is aligned with the positioning direction Pd of the optical component 16D.
部品固定装置１０は、加圧ホルダ３６に加圧ピン４６を傾けて取り付けることにより、加圧ホルダ３６を載置台１２へ向けて移動して加圧ピン４６により光学部品１６を押圧したときに、加圧ピン４６に撓みを生じさせる。これにより、部品固定装置１０は、加圧ピン４６に生じる付勢力により光学部品１６をベースプレート１４へ向けて押圧するとき、光学部品１６を位置決め方向Ｐへ向けて押圧する。このとき、部品固定装置１０は、加圧ピン４６に撓みが生じていることで、光学部品１６を位置決め部２８へ移動するストロークが得られる。 The component fixing device 10 attaches the pressure pin 46 to the pressure holder 36 at an angle, so that the pressure holder 36 moves toward the mounting table 12 and presses the optical component 16 with the pressure pin 46. The pressure pin 46 is bent. Thus, the component fixing device 10 presses the optical component 16 in the positioning direction P when pressing the optical component 16 toward the base plate 14 by the urging force generated in the pressure pin 46. At this time, the component fixing device 10 can obtain a stroke for moving the optical component 16 to the positioning portion 28 because the pressure pin 46 is bent.
以下に、本実施の形態の作用として、部品固定装置１０を用いたベースプレート１４への光学部品１６の取り付けを説明する。 Hereinafter, as an operation of the present embodiment, attachment of the optical component 16 to the base plate 14 using the component fixing device 10 will be described.
図４には、加圧ピン４６を用いた部品固定装置１０におけるベースプレート１４及び光学部品１６のクランプ処理を段階的に示している。なお、図４は、一例として、紙面右側が図３の４Ａ−４Ａ線に沿った断面を示し、紙面左側が図３の４Ｂ−４Ｂ線に沿った断面を示している。 FIG. 4 shows the clamping process of the base plate 14 and the optical component 16 in the component fixing device 10 using the pressure pin 46 in a stepwise manner. In FIG. 4, as an example, the right side of the drawing shows a cross section along line 4A-4A in FIG. 3, and the left side of the drawing shows a cross section along line 4B-4B in FIG. 3.
図４の上段に示すように、部品固定装置１０は、載置台１２にベースプレート１４が位置決めされて載置され、ベースプレート１４を覆うように位置決め用治具２０が位置決めされて取り付けられる。また、部品固定装置１０は、光学部品１６の各々が取り付けられるベースプレート１４上の位置に接着剤１８が塗布される。このとき、部品固定装置１０は、ベースプレート１４と位置決め用治具２０との間に所定の間隙が形成されることにより、ベースプレート１４上の接着剤１８が位置決め用治具２０に付着してしまうことない。 As shown in the upper part of FIG. 4, the component fixing device 10 is placed with the base plate 14 positioned on the mounting table 12, and the positioning jig 20 is positioned and attached so as to cover the base plate 14. In the component fixing device 10, an adhesive 18 is applied to a position on the base plate 14 to which each of the optical components 16 is attached. At this time, the component fixing device 10 causes the adhesive 18 on the base plate 14 to adhere to the positioning jig 20 by forming a predetermined gap between the base plate 14 and the positioning jig 20. Absent.
ベースプレート１４に取り付けられる光学部品１６の各々は、例えば、位置決め用治具２０の開口部２６からベースプレート１４上の接着剤１８に載せられる。また、光学部品１６の各々は、ベースプレート１４上に配置されるときに、開口部２６に形成されている位置決め部２８の基準面３０Ａ、３０Ｂに突き当てられることで位置決めされる。これにより、部品固定装置１０は、光学部品１６の各々に、加圧ホルダ３６に取り付けられている加圧ピン４６の押圧部４８が対向される。 Each of the optical components 16 attached to the base plate 14 is placed on the adhesive 18 on the base plate 14 from, for example, the opening 26 of the positioning jig 20. Further, each optical component 16 is positioned by being abutted against the reference surfaces 30A and 30B of the positioning portion 28 formed in the opening portion 26 when being arranged on the base plate 14. Thus, in the component fixing device 10, the pressing portion 48 of the pressure pin 46 attached to the pressure holder 36 is opposed to each of the optical components 16.
この後、部品固定装置１０は、加圧ボルト４４が操作されることにより、加圧ホルダ３６がガイドシャフト３２に沿って載置台１２へ向けて移動される。また、部品固定装置１０は、加圧ホルダ３６が載置台１２へ向けて移動されることにより、加圧ホルダ３６に取り付けられている複数の加圧ピン４６が、光学部品１６へ向けて移動される。これにより、図４の中段に示すように、部品固定装置１０は、ベースプレート１４からの高さが高い光学部品１６から順に、加圧ピン４６が当接する。 Thereafter, in the component fixing device 10, the pressure holder 36 is moved toward the mounting table 12 along the guide shaft 32 by operating the pressure bolt 44. In the component fixing device 10, the plurality of pressure pins 46 attached to the pressure holder 36 are moved toward the optical component 16 by moving the pressure holder 36 toward the mounting table 12. The As a result, as shown in the middle part of FIG. 4, in the component fixing device 10, the pressure pins 46 abut in order from the optical component 16 having a high height from the base plate 14.
部品固定装置１０は、加圧ピン４６の先端の押圧部４８が光学部品１６に当接することにより、加圧ピン４６が光学部品１６をベースプレート１４へ向けて押圧する。光学部品１６は、加圧ピン４６によりベースプレート１４へ向けて押圧されることにより、ベースプレート１４との間の余剰の接着剤１８を押し出す。これにより、ベースプレート１４と光学部品１６との間には、接着剤１８の薄膜（例えば、数十μmの薄膜）が形成され、ベースプレート１４への光学部品１６の確実な接着固定が可能となる。 In the component fixing device 10, the pressing pin 46 presses the optical component 16 toward the base plate 14 when the pressing portion 48 at the tip of the pressing pin 46 contacts the optical component 16. The optical component 16 is pushed toward the base plate 14 by the pressure pin 46, thereby pushing out the excess adhesive 18 between the optical component 16 and the base plate 14. Thereby, a thin film (for example, a thin film of several tens of μm) of the adhesive 18 is formed between the base plate 14 and the optical component 16, and the optical component 16 can be securely bonded and fixed to the base plate 14.
部品固定装置１０は、加圧ホルダ３６が予め設定された移動位置まで載置台１２へ向けて移動される。部品固定装置１０は、加圧ホルダ３６が載置台１２へ向けて移動することにより生じるコイルばね４２の付勢力及び固定ボルト４４により、加圧ホルダ３６を移動位置で保持する。 In the component fixing device 10, the pressure holder 36 is moved toward the mounting table 12 to a preset moving position. The component fixing device 10 holds the pressure holder 36 in the moving position by the urging force of the coil spring 42 and the fixing bolt 44 that are generated when the pressure holder 36 moves toward the mounting table 12.
加圧ホルダ３６の移動位置は、光学部品１６の各々に加圧ピン４６の押圧部４８が当接し、かつ、加圧ホルダ３６が載置台１２へ接近する方向に沿って圧縮力を受ける位置を含む。すなわち、加圧ホルダ３６の移動位置は、載置台１２と加圧ホルダ３６との間隔を、加圧ピン４６の押圧部４８が光学部品１６に当接する間隔よりも更に狭めた間隔となる位置となっている。 The movement position of the pressure holder 36 is a position where the pressing portion 48 of the pressure pin 46 contacts each of the optical components 16 and receives the compression force along the direction in which the pressure holder 36 approaches the mounting table 12. Including. That is, the movement position of the pressure holder 36 is a position where the distance between the mounting table 12 and the pressure holder 36 is further narrower than the distance at which the pressing portion 48 of the pressure pin 46 contacts the optical component 16. It has become.
これにより、図４の下段に示すように、部品固定装置１０は、ベースプレート１４と各光学部品１６との間に、適切な厚みの接着剤１８の薄膜を形成した状態で、ベースプレート１４及び光学部品１６をクランプする。この状態で、接着プロセスが実行されることで、光学部品１６の各々は、ベースプレート１４に接着固定される。 As a result, as shown in the lower part of FIG. 4, the component fixing device 10 includes the base plate 14 and the optical component in a state in which a thin film of the adhesive 18 having an appropriate thickness is formed between the base plate 14 and each optical component 16. 16 is clamped. In this state, the bonding process is executed, whereby each of the optical components 16 is bonded and fixed to the base plate 14.
ところで、部品固定装置１０は、光学部品１６に対向する加圧ピン４６の各々を載置台１２に対して角度θで傾けている。また、部品固定装置１０は、各加圧ピン４６の傾き方向Ｔを、対向する光学部材１６の位置決め方向Ｐに合わせている。 By the way, the component fixing device 10 inclines each of the pressure pins 46 facing the optical component 16 with respect to the mounting table 12 at an angle θ. In addition, the component fixing device 10 matches the inclination direction T of each pressure pin 46 with the positioning direction P of the optical member 16 that faces the component fixing device 10.
これにより、部品固定装置１０は、加圧ピン４６が光学部品１６をベースプレート１４へ向けて押圧し、また、加圧ピン４６が光学部品１６を位置決め方向Ｐへ向けて押圧する。光学部品１６の各々は、位置決め部２８の基準面３０Ａ、３０Ｂに当接された状態で、ベースプレート１４と加圧ピン４６との間でクランプされる。 Accordingly, in the component fixing device 10, the pressure pin 46 presses the optical component 16 toward the base plate 14, and the pressure pin 46 presses the optical component 16 toward the positioning direction P. Each of the optical components 16 is clamped between the base plate 14 and the pressure pin 46 while being in contact with the reference surfaces 30 </ b> A and 30 </ b> B of the positioning portion 28.
すなわち、角度θで傾けられた加圧ピン４６は、光学部品１６と加圧ホルダ３６との間で加圧ホルダ３６の移動方向に沿って圧縮力を受けることで弾性変形による撓みが生じる。これにより、図５に示すように、加圧ピン４６は、加圧ホルダ３６から押圧力Ｆを受ける。押圧力Ｆは、加圧ホルダ３６が加圧ピン４６から受ける弾性力に対する抗力として生じる。 In other words, the pressure pin 46 inclined by the angle θ receives a compressive force along the moving direction of the pressure holder 36 between the optical component 16 and the pressure holder 36, and thereby bends due to elastic deformation. Thereby, as shown in FIG. 5, the pressing pin 46 receives the pressing force F from the pressing holder 36. The pressing force F is generated as a resistance against the elastic force that the pressing holder 36 receives from the pressing pin 46.
加圧ピン４６は、角度θで傾けてられていることにより軸線と交差する方向に向けて撓みが生じる。加圧ピン４６が傾き方向Ｔへ向けて角度θで傾けられていることにより、加圧ピン４６が受ける押圧力Ｆは、加圧ピン４６の長手方向（軸線方向）に沿う押圧力Ｆａ、及び加圧ピン４６の軸線方向と交差する方向（直角方向）に向く押圧力Ｆｂに分けられる。加圧ピン４６に軸線方向に沿う伸縮が生じない場合、押圧力Ｆｂは、曲げ力となって加圧ピン４６に撓みを生じさせる。 Since the pressure pin 46 is inclined at an angle θ, the pressure pin 46 bends in a direction intersecting the axis. Since the pressing pin 46 is inclined at the angle θ toward the tilt direction T, the pressing force F received by the pressing pin 46 is a pressing force Fa along the longitudinal direction (axial direction) of the pressing pin 46, and It is divided into a pressing force Fb directed in a direction (perpendicular direction) intersecting the axial direction of the pressing pin 46. When the pressing pin 46 does not expand or contract along the axial direction, the pressing force Fb becomes a bending force and causes the pressing pin 46 to bend.
加圧ピン４６は、傾きに沿う押圧力Ｆａにより押圧部４８が光学部材１６を押圧する。加圧ピン４６の押圧部４８において、光学部品１６を押圧する押圧力Ｆａは、光学部品１６をベースプレート１４へ向けて押圧する押圧力Ｆｃ、及びベースプレート１４の表面（Ｘ−Ｙ平面）に沿う押圧力Ｆｂに分けられる。 In the pressing pin 46, the pressing portion 48 presses the optical member 16 by the pressing force Fa along the inclination. In the pressing portion 48 of the pressing pin 46, the pressing force Fa pressing the optical component 16 is a pressing force Fc pressing the optical component 16 toward the base plate 14 and a pressing along the surface (XY plane) of the base plate 14. The pressure is divided into Fb.
これにより、部品固定装置１０は、加圧ピン４６が押圧力Ｆｃで光学部品１６をベースプレート１４へ向けて押圧して、ベースプレート１４及び光学部品１６をクランプする。 Thereby, in the component fixing device 10, the pressure pin 46 presses the optical component 16 toward the base plate 14 with the pressing force Fc, and the base plate 14 and the optical component 16 are clamped.
一方、光学部品１６と加圧ピン４６の押圧部４８との間には、摩擦力Ｆｆが生じる。押圧力Ｆｄが光学部品１６と加圧ピン４６の押圧部４８との間の最大静止摩擦力より小さい場合、押圧力Ｆｄと摩擦力Ｆｆとが等しくなり、光学部品１６と加圧ピン４６の押圧部４８との間には、滑りが生じない。光学部品１６と加圧ピン４６の押圧部４８との間に滑りが生じないことで、押圧力Ｆｄは、ベースプレート１４と光学部品１６との間に作用する。したがって、加圧ピン４６の傾きの角度θは、押圧力Ｆｄが加圧ピン４６の押圧部４８と光学部品との間の最大摩擦力以下となる角度より小さい角度とすれば良い。 On the other hand, a frictional force Ff is generated between the optical component 16 and the pressing portion 48 of the pressing pin 46. When the pressing force Fd is smaller than the maximum static frictional force between the optical component 16 and the pressing portion 48 of the pressing pin 46, the pressing force Fd and the frictional force Ff are equal, and the pressing of the optical component 16 and the pressing pin 46 is performed. No slip occurs between the part 48. Since no slip occurs between the optical component 16 and the pressing portion 48 of the pressure pin 46, the pressing force Fd acts between the base plate 14 and the optical component 16. Accordingly, the inclination angle θ of the pressure pin 46 may be smaller than the angle at which the pressing force Fd is equal to or less than the maximum frictional force between the pressing portion 48 of the pressure pin 46 and the optical component.
ベースプレート１４と光学部品１６との間には、固化する前の接着剤１８の薄膜が形成されているため、ベースプレート１４と光学部品１６との間は、最大摩擦力が低下している。これにより、ベースプレート１４と光学部品１６との間の最大摩擦力が押圧力Ｆｄより小さい場合、光学部品１６は、押圧力Ｆｄによりベースプレート１４上を、傾き方向Ｔへ押圧される。したがって、加圧ピン４６の傾きの角度θは、押圧力Ｆｄがベースプレート１４と光学部品との間の最大摩擦力を超える角度より大きい角度とすれば良い。 Since a thin film of the adhesive 18 before being solidified is formed between the base plate 14 and the optical component 16, the maximum frictional force is reduced between the base plate 14 and the optical component 16. Thereby, when the maximum frictional force between the base plate 14 and the optical component 16 is smaller than the pressing force Fd, the optical component 16 is pressed on the base plate 14 in the tilt direction T by the pressing force Fd. Therefore, the inclination angle θ of the pressure pin 46 may be larger than the angle at which the pressing force Fd exceeds the maximum frictional force between the base plate 14 and the optical component.
加圧ピン４６の傾き方向Ｔが、光学部品１６を位置決め部２８の基準面３０Ａ、３０Ｂへ向ける位置決め方向Ｐであることにより、光学部品１６は、位置決め部２８（基準面３０Ａ、３０Ｂ）へ向けて押圧力を受ける。すなわち、光学部品１６は、加圧ピン４６の押圧部４８から、押圧力Ｆｄ、及びベースプレート１４と光学部品１６との間の摩擦力Ｆｇに応じた押圧力を受ける。 Since the inclination direction T of the pressure pin 46 is a positioning direction P in which the optical component 16 is directed toward the reference surfaces 30A and 30B of the positioning portion 28, the optical component 16 is directed toward the positioning portion 28 (reference surfaces 30A and 30B). Receive pressure. That is, the optical component 16 receives a pressing force Fd and a pressing force according to the friction force Fg between the base plate 14 and the optical component 16 from the pressing portion 48 of the pressing pin 46.
したがって、光学部品１６と位置決め部２８の基準面３０Ａ、３０Ｂとの間に隙間が生じている場合、光学部品１６は、加圧ピン４６により基準面３０Ａ、３０Ｂに突き当てられるように移動される。このとき、加圧ピン４６の押圧部４８が円弧上に湾曲されていることにより、加圧ピン４６は、光学部品１６を確実に押圧する。また、光学部品１６の移動方向が加圧ピン４６に生じた撓みを解消する方向であることにより、光学部品１６を移動するときのストロークが確保されるので、加圧ピン４６は、光学部品１６の押圧状態を維持する。 Therefore, when a gap is generated between the optical component 16 and the reference surfaces 30A and 30B of the positioning portion 28, the optical component 16 is moved by the pressure pin 46 so as to abut against the reference surfaces 30A and 30B. . At this time, since the pressing portion 48 of the pressing pin 46 is curved on an arc, the pressing pin 46 reliably presses the optical component 16. In addition, since the movement direction of the optical component 16 is a direction that eliminates the bending generated in the pressure pin 46, a stroke when the optical component 16 is moved is secured. The pressed state is maintained.
また、光学部品１６が位置決め部２８の基準面３０Ａ、３０Ｂに当接していると、光学部品１６は、押圧力Ｆｄと摩擦力Ｆｇの差の押圧力を受けて、基準面３０Ａ、３０Ｂに押し付けられ、基準面３０Ａ、３０Ｂに当接された状態が保持される。 Further, when the optical component 16 is in contact with the reference surfaces 30A and 30B of the positioning portion 28, the optical component 16 receives the pressing force of the difference between the pressing force Fd and the frictional force Fg and presses against the reference surfaces 30A and 30B. Thus, the state in contact with the reference surfaces 30A and 30B is maintained.
したがって、部品固定装置１０は、光学部品１６が位置決め部２８の基準面３０Ａ及び基準面３０Ｂから離れることによる位置ズレを防止し、ベースプレート１４及び光学部品１６を確実にクランプすることができる。これにより、部品固定装置１０は、光学部品１６をベースプレート１４へ高精度で位置決めして接着固定した光学モジュール、光学デバイスを得ることができる。 Therefore, the component fixing device 10 can prevent the positional displacement due to the optical component 16 being separated from the reference surface 30A and the reference surface 30B of the positioning portion 28, and can securely clamp the base plate 14 and the optical component 16. Thereby, the component fixing apparatus 10 can obtain an optical module and an optical device in which the optical component 16 is positioned and bonded and fixed to the base plate 14 with high accuracy.
また、部品固定装置１０は、加圧ピン４６の各々が、加圧ホルダ３６の載置台１２側の面と光学部品１６の上面との間の間隔に応じて弾性変形する。これにより、部品固定装置１０は、高さの異なる光学部品１６の各々を正確に位置決めした状態でクランプすることができる。 In the component fixing device 10, each of the pressure pins 46 is elastically deformed according to the distance between the surface of the pressure holder 36 on the mounting table 12 side and the upper surface of the optical component 16. Thereby, the component fixing device 10 can clamp the optical components 16 having different heights in a state where each component is accurately positioned.
さらに、部品固定装置１０は、加圧ピン４６の傾き方向Ｔを、光学部品１６の各々の位置決め方向Ｐに合わせている。これにより、部品固定装置１０は、加圧ホルダ３６の単一方向への移動により、位置決め方向Ｐの異なる複数の光学部品１６の各々を、ベースプレート１４に対する適正な位置でクランプすることができる。 Further, the component fixing device 10 matches the inclination direction T of the pressure pin 46 with the positioning direction P of each optical component 16. Thereby, the component fixing device 10 can clamp each of the plurality of optical components 16 having different positioning directions P at an appropriate position with respect to the base plate 14 by the movement of the pressure holder 36 in a single direction.
以上説明した本実施の形態は、加圧ピン４６の傾き方向Ｔを、光学部品１６の位置決め方向Ｐに合わせたが、加圧ピン４６の傾き方向Ｔは、これに限るものではない。図６には、加圧ピン４６の傾き方向Ｔの他の一例を示す。 In the present embodiment described above, the inclination direction T of the pressure pin 46 is matched with the positioning direction P of the optical component 16, but the inclination direction T of the pressure pin 46 is not limited to this. FIG. 6 shows another example of the inclination direction T of the pressure pin 46.
図６では、加圧ピン４６の傾き方向Ｔの基準面３０Ａに対する角度θ１と、基準面３０Ｂに対する角度θ２とを、例えば、θ１＝θ２とするなどして合わせている。これにより、加圧ピン４６は、光学部品１６が基準面３０Ａ及び基準面３０Ｂの各々を等しく押圧するように、光学部品１６へ押圧力を付与する。開示の技術におけて、傾き方向Ｔは、基準面３０Ａ、３０Ｂの各々に交差する方向を含む。 In FIG. 6, the angle θ 1 with respect to the reference surface 30A in the inclination direction T of the pressure pin 46 and the angle θ 2 with respect to the reference surface 30B are matched, for example, by θ 1 = θ 2 . Thereby, the pressure pin 46 applies a pressing force to the optical component 16 so that the optical component 16 presses each of the reference surface 30A and the reference surface 30B equally. In the disclosed technique, the tilt direction T includes a direction intersecting each of the reference planes 30A and 30B.
開示の技術においては、加圧ピンの傾き方向により、加圧ピンに弾性変形による撓みが生じる方向、及び加圧ピンが被固定部材を基板に沿って押圧する方向が設定される。また、開示の技術において、加圧ピンの傾き方向は、加圧ピンが被固定部材を位置決め方向へ向けて押圧可能となる任意の方向を含む。また、開示の技術において、加圧ピンの形状は、被固定部材に基板へ向けた押圧力、及び基板の表面に沿う押圧力を生じさせうる任意の形状を含む。 In the disclosed technology, the direction in which the pressure pin is bent due to elastic deformation and the direction in which the pressure pin presses the fixed member along the substrate are set by the inclination direction of the pressure pin. In the disclosed technology, the inclination direction of the pressure pin includes an arbitrary direction in which the pressure pin can press the fixed member toward the positioning direction. In the disclosed technology, the shape of the pressure pin includes an arbitrary shape that can generate a pressing force toward the substrate and a pressing force along the surface of the substrate.
図７には、加圧ピン４６に替えて用いる加圧ピンの一例とする加圧ピン５２を示す。この加圧ピン５２は、先端部が半球状又は半円柱状に形成されることで、光学部品１６に当接する押圧部５４が形成されている。また、加圧ピン５２は、押圧部５４を含む端部に、例えば、無電解ニッケルテフロンメッキ（テフロンは登録商標）などによるコーティングを施している。 FIG. 7 shows a pressure pin 52 as an example of a pressure pin used in place of the pressure pin 46. The pressing pin 52 is formed in a hemispherical shape or a semi-cylindrical tip portion, so that a pressing portion 54 that contacts the optical component 16 is formed. Further, the pressurizing pin 52 is coated on the end including the pressing portion 54 by, for example, electroless nickel Teflon plating (Teflon is a registered trademark).
したがって、押圧部５４を形成した加圧ピン５２においても、押圧部５４が光学部品１６を押圧するときに、所定の摩擦力を生じさせ、また、光学部品１６を損傷させてしまうのを防止することができる。 Therefore, even in the pressure pin 52 formed with the pressing portion 54, when the pressing portion 54 presses the optical component 16, a predetermined frictional force is generated and the optical component 16 is prevented from being damaged. be able to.
また、加圧ピン５２は、軸線方向の中間部に曲げ部５２Ａを形成することで、基部４８Ａ側に対して押圧部５４側が所定の角度θとなるように傾けられている。加圧ピン５２を用いる場合、加圧ホルダ３６には、角度θで傾けることなく穿孔された取付け孔５６が形成される。 Further, the pressurizing pin 52 is inclined so that the pressing portion 54 side has a predetermined angle θ with respect to the base portion 48A side by forming a bent portion 52A at an intermediate portion in the axial direction. When the pressure pin 52 is used, the pressure holder 36 is formed with a mounting hole 56 that is drilled without being inclined at an angle θ.
加圧ピン５２は、加圧ホルダ３６の移動により押圧部５４が光学部品１６へ押し付けられることにより、曲げ部５２Ａにおいて弾性変形する。このとき、加圧ピン５２は、曲げ部５２Ａから押圧部４８Ａの間で撓むように弾性変形が生じる。 The pressing pin 52 is elastically deformed at the bending portion 52 </ b> A when the pressing portion 54 is pressed against the optical component 16 by the movement of the pressing holder 36. At this time, the pressure pin 52 is elastically deformed so as to bend between the bending portion 52A and the pressing portion 48A.
加圧ピン５２は、撓みが生じることで光学部品１６をベースプレート１４へ向けて押圧する。また、加圧ピン５２は、撓みにより得られるストロークで光学部品１６を位置決め部２８へ向けて押圧する。 The pressure pin 52 presses the optical component 16 toward the base plate 14 due to the bending. Further, the pressure pin 52 presses the optical component 16 toward the positioning portion 28 with a stroke obtained by bending.
以上説明した本実施形態は、ガイドシャフト３２及び加圧ボルト４４を用いて形成した昇降部により、加圧ホルダ３６を載置台１２へ向けて移動するようにしているが、昇降部は、これに限るものではない。昇降部は、例えば、モータ等の駆動部の駆動力により回転する送りねじを備えた送りねじ機構を用い、加圧ホルダ３６をガイドシャフト３２に沿って移動させるなど、各種の昇降機構を適用することができる。また、昇降部としてモータ等の駆動力を用いた昇降機構を適用する場合は、加圧治具を予め設定した移動量、移動位置で自動停止させることができるので好ましい。 In the present embodiment described above, the lifting holder formed by using the guide shaft 32 and the pressing bolt 44 is configured to move the pressing holder 36 toward the mounting table 12. It is not limited. The elevating unit uses various elevating mechanisms such as a feed screw mechanism including a feed screw that is rotated by a driving force of a driving unit such as a motor and the like, and the pressure holder 36 is moved along the guide shaft 32. be able to. Moreover, when applying the raising / lowering mechanism using driving force, such as a motor, as a raising / lowering part, since a pressurization jig | tool can be automatically stopped at the preset movement amount and movement position, it is preferable.
開示の技術において、加圧ピンの傾きの角度、加圧ピンのサイズを含めた形状、材質は、被固定部材をクランプするのに必要な押圧力、及び被固定部材を位置決めするのに必要な押圧力が得られるように設定されるものであれば良い。 In the disclosed technology, the shape and material including the inclination angle of the pressure pin, the size of the pressure pin, the pressing force necessary to clamp the fixed member, and the position necessary to position the fixed member What is necessary is just to set so that a pressing force may be obtained.
開示の技術は、上記実施の形態に記載に限らず、各部分が目的とする機能を含む形態であれば良い。また、本明細書に記載された全ての特許出願及び特許出願に開示される技術文献は、個々の文献、特許出願及び技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書中に、参照により取り込まれる。 The disclosed technology is not limited to the above-described embodiment, and any form may be used as long as each part includes a target function. In addition, all patent applications and technical documents disclosed in the patent application described in this specification include cases where individual documents, patent applications, and technical standards are specifically and individually described to be incorporated by reference. To the same extent, it is incorporated herein by reference.
また、開示の技術は、以下の付記を含む。 The disclosed technology includes the following supplementary notes.
（付記１）
基板に取り付けられる被固定部材を、前記基板に対して位置決めする位置決め用治具の基準面に当接させて配置し、
前記被固定部材を前記基準面に当接させる方向に傾けた加圧ピンを、先端部を前記被固定部材に当接させて弾性変形により撓ませることにより、前記被固定部材を前記基板及び前記基準面へ向けて押圧させる、
ことを含むクランプ方法。
(Appendix 1)
A fixed member attached to the substrate is placed in contact with a reference surface of a positioning jig for positioning with respect to the substrate,
A pressure pin that is inclined in a direction in which the fixed member is brought into contact with the reference surface is bent by elastic deformation with a tip portion thereof in contact with the fixed member, thereby fixing the fixed member to the substrate and the substrate. Press toward the reference plane,
A clamping method comprising:
（付記２）
前記基板に配置される複数の前記被固定部材の各々に対して前記加圧ピンを設け、
前記加圧ピンの各々を一体で前記基板へ向けて移動させて、前記被固定部材の各々を押圧する、付記１記載のクランプ方法。
(Appendix 2)
The pressure pin is provided for each of the plurality of fixed members disposed on the substrate,
The clamping method according to claim 1, wherein each of the pressure pins is integrally moved toward the substrate to press each of the fixed members.
（付記３）
前記基板に、前記被固定部材を接着固定する接着剤を塗布する、付記１又は付記２記載のクランプ方法。
(Appendix 3)
The clamping method according to appendix 1 or appendix 2, wherein an adhesive that adheres and fixes the fixed member is applied to the substrate.
（付記４）
被固定部材が取り付けられる基板が載置される基台と、
前記基板上に配置される前記被固定部材が基準面に当接されることにより、前記被固定部材が前記基板に対して位置決めされる位置決め用治具と、
前記基板上に配置される前記被固定部材を前記基準面に当接させる方向に傾けられて配置され、先端部が前記被固定部材に対向される加圧ピンと、
前記加圧ピンを保持して前記基台に載置される前記基板に対向され、前記先端部を前記被固定部材に当接させた前記加圧ピンを弾性変形させることにより撓ませて、前記被固定部材を前記基台及び前記基準面へ向けて押圧する加圧治具と、
を含むクランプ装置。
(Appendix 4)
A base on which a substrate to which a fixed member is attached is placed;
A positioning jig for positioning the fixed member with respect to the substrate by contacting the fixed member disposed on the substrate with a reference surface;
A pressure pin that is disposed to be inclined in a direction in which the member to be fixed disposed on the substrate is brought into contact with the reference surface, and whose tip is opposed to the member to be fixed;
Holding the pressure pin, facing the substrate placed on the base, and bending the pressure pin elastically deforming the pressure pin with the distal end abutted against the fixed member, A pressing jig that presses the fixed member toward the base and the reference surface;
Including clamping device.
（付記５）
前記基板に配置される複数の前記被固定部材の各々に対する前記加圧ピンが、前記加圧治具に設けられた、付記４記載のクランプ装置。
(Appendix 5)
The clamping device according to appendix 4, wherein the pressing pin for each of the plurality of fixed members disposed on the substrate is provided in the pressing jig.
（付記６）
前記加圧治具を、前記加圧ピンに前記弾性変形による撓みの生じる位置へ移動させて保持する昇降部を含む、付記４又は付記５記載のクランプ装置。
(Appendix 6)
The clamp device according to appendix 4 or appendix 5, including an elevating unit that moves and holds the pressing jig to a position where the pressing pin is bent due to the elastic deformation.
（付記７）
前記加圧治具が、前記加圧ピンの基部が挿入されることで、前記加圧ピンを、前記被固定部材から前記基準面へ向く方向に沿って傾けて保持する取付け孔が形成されたホルダを含む、付記４から付記６の何れかに記載のクランプ装置。
(Appendix 7)
By attaching the base of the pressurizing pin to the pressurizing jig, an attachment hole for holding the pressurizing pin tilted along the direction from the fixed member toward the reference surface is formed. The clamping device according to any one of appendix 4 to appendix 6, including a holder.
（付記８）
前記基台に載置される前記基板に、前記被固定部材を接着固定する接着剤が塗布される、付記４から付記７の何れかに記載のクランプ装置。
(Appendix 8)
The clamp apparatus according to any one of appendix 4 to appendix 7, wherein an adhesive that adheres and fixes the fixed member is applied to the substrate placed on the base.
（付記９）
前記加圧ピンの前記被固定部材に対向する前記先端部が円弧状に湾曲され、湾曲された外周面が前記被固定部材に当接される、付記４から付記８の何れかに記載のクランプ装置。
(Appendix 9)
The clamp according to any one of appendix 4 to appendix 8, wherein the tip portion of the pressure pin facing the fixed member is curved in an arc shape and a curved outer peripheral surface is brought into contact with the fixed member. apparatus.
（付記１０）
前記加圧ピンの前記被固定部材に当接される前記先端部が、被覆処理されている付記４から付記９の何れかに記載のクランプ装置。
(Appendix 10)
The clamp device according to any one of appendix 4 to appendix 9, wherein the tip portion of the pressure pin that is in contact with the fixed member is coated.
１０ 部品固定装置
１２ 載置台
１４ ベースプレート
１６ 光学部品
１８ 接着剤
２０ 位置決め用治具
２８ 位置決め部
３０Ａ、３０Ｂ 基準面
３２ ガイドシャフト
３６ 加圧ホルダ
４４ 加圧ボルト
４６、５２ 加圧ピン
４８、４８Ａ 押圧部
５０、５６ 取付け孔
５２Ａ 曲げ部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Component fixing device 12 Mounting base 14 Base plate 16 Optical component 18 Adhesive 20 Positioning jig 28 Positioning part 30A, 30B Reference plane 32 Guide shaft 36 Pressing holder 44 Pressing bolt 46, 52 Pressing pin 48, 48A Pressing part 50, 56 Mounting hole 52A Bending part
Claims (7)
前記被固定部材を前記基準面に当接させる方向に傾けた加圧ピンを、先端部を前記被固定部材に当接させて弾性変形により撓ませることにより、前記被固定部材を前記基板及び前記基準面へ向けて押圧する、
ことを含むクランプ方法。 A fixed member attached to the substrate is placed in contact with a reference surface of a positioning jig for positioning with respect to the substrate,
A pressure pin that is inclined in a direction in which the fixed member is brought into contact with the reference surface is bent by elastic deformation with a tip portion thereof in contact with the fixed member, thereby fixing the fixed member to the substrate and the substrate. Press toward the reference plane,
A clamping method comprising:
前記加圧ピンの各々を一体で前記基板へ向けて移動させて、前記被固定部材の各々を押圧する、請求項１記載のクランプ方法。 The pressure pin is provided for each of the plurality of fixed members disposed on the substrate,
The clamping method according to claim 1, wherein each of the pressure pins is integrally moved toward the substrate to press each of the fixed members.
前記基板上に配置される前記被固定部材が基準面に当接されることにより、前記被固定部材が前記基板に対して位置決めされる位置決め用治具と、
前記基板上に配置される前記被固定部材を前記基準面に当接させる方向に傾けられて配置され、先端部が前記被固定部材に対向される加圧ピンと、
前記加圧ピンを保持して前記基台に載置される前記基板に対向され、前記先端部を前記被固定部材に当接させた前記加圧ピンを弾性変形させることにより撓ませて、前記被固定部材を前記基台及び前記基準面へ向けて押圧する加圧治具と、
を含むクランプ装置。 A base on which a substrate to which a fixed member is attached is placed;
A positioning jig for positioning the fixed member with respect to the substrate by contacting the fixed member disposed on the substrate with a reference surface;
A pressure pin that is disposed to be inclined in a direction in which the member to be fixed disposed on the substrate is brought into contact with the reference surface, and whose tip is opposed to the member to be fixed;
Holding the pressure pin, facing the substrate placed on the base, and bending the pressure pin elastically deforming the pressure pin with the distal end abutted against the fixed member, A pressing jig that presses the fixed member toward the base and the reference surface;
Including clamping device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012175885A JP6135064B2 (en) | 2012-08-08 | 2012-08-08 | Clamping method and clamping device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012175885A JP6135064B2 (en) | 2012-08-08 | 2012-08-08 | Clamping method and clamping device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014036084A true JP2014036084A (en) | 2014-02-24 |
| JP6135064B2 JP6135064B2 (en) | 2017-05-31 |
Family
ID=50284897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012175885A Expired - Fee Related JP6135064B2 (en) | 2012-08-08 | 2012-08-08 | Clamping method and clamping device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6135064B2 (en) |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5532037U (en) * | 1978-08-23 | 1980-03-01 | ||
| JPS6437082U (en) * | 1987-08-28 | 1989-03-06 | ||
| JPH01133768U (en) * | 1988-03-04 | 1989-09-12 | ||
| JP2001066575A (en) * | 1999-06-22 | 2001-03-16 | Sony Corp | Method for joining dustproof glass of liquid crystal display device |
| JP2001215614A (en) * | 2000-02-04 | 2001-08-10 | Nec Corp | Projection type liquid crystal display device |
| JP2008162783A (en) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Sharp Corp | Sucking/holding device and sucking/holding method |
| JP2008233153A (en) * | 2007-03-16 | 2008-10-02 | Kenwood Corp | Positioning and fixing mechanism for rectangular plate member |
-
2012
- 2012-08-08 JP JP2012175885A patent/JP6135064B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5532037U (en) * | 1978-08-23 | 1980-03-01 | ||
| JPS6437082U (en) * | 1987-08-28 | 1989-03-06 | ||
| JPH01133768U (en) * | 1988-03-04 | 1989-09-12 | ||
| JP2001066575A (en) * | 1999-06-22 | 2001-03-16 | Sony Corp | Method for joining dustproof glass of liquid crystal display device |
| JP2001215614A (en) * | 2000-02-04 | 2001-08-10 | Nec Corp | Projection type liquid crystal display device |
| JP2008162783A (en) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Sharp Corp | Sucking/holding device and sucking/holding method |
| JP2008233153A (en) * | 2007-03-16 | 2008-10-02 | Kenwood Corp | Positioning and fixing mechanism for rectangular plate member |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP6135064B2 (en) | 2017-05-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110657146B (en) | Optical lens coupling machine | |
| JP5565792B2 (en) | Alignment device | |
| KR101026042B1 (en) | Gripper apparatus for mounting electronic parts | |
| KR20170076652A (en) | Mounting head and mounting device in which same is used | |
| JP5125700B2 (en) | Lens holding device and projection display device using the same | |
| JP5847718B2 (en) | Method for passively aligning an optoelectronic component assembly on a substrate | |
| CN105813765B (en) | Coated member and apparatus for coating | |
| JP2009251207A5 (en) | ||
| KR102483954B1 (en) | Clamping apparatus | |
| JP6135064B2 (en) | Clamping method and clamping device | |
| JP3741004B2 (en) | Optical fiber holding mechanism of optical fiber fusion splicer | |
| CN213259238U (en) | Lens pressing device | |
| JP5484599B2 (en) | Fusion splicing device and splicing splicing method | |
| KR102147126B1 (en) | Apparatus for breaking substrate | |
| JP2005258100A (en) | Positioning device, assembling device and positioning method of optical member | |
| JP2001077267A (en) | Semiconductor manufacturing device and manufacture of semiconductor device | |
| US10751747B2 (en) | Application mechanism, application apparatus, method for manufacturing object to which application material is applied, and method for manufacturing substrate | |
| JP5380032B2 (en) | Sheet-shaped member holder, sheet-shaped member installation device, and sheet-shaped member installation method | |
| WO2014129146A1 (en) | Device for assembling optical system, and method for assembling optical system | |
| CN113909849B (en) | Device and method for assembling crossed rollers | |
| US7872818B2 (en) | Apparatus for coupling first lens to second lens | |
| EP1811828A1 (en) | Micromechanical placement system, and corresponding device | |
| JP6934843B2 (en) | Caulking device and caulking method | |
| JP2016174534A (en) | Vibration wave motor | |
| KR101475430B1 (en) | Jig for encoder |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150406 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160128 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160202 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160322 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160823 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161017 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170328 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170410 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6135064 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |