JP2014024152A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、作業者が消耗品の交換を忘れて加工が中断されてしまったり、被加工物や加工装置を損傷させるおそれを低減できる加工装置を提供する。
【解決手段】被加工物に加工を施す加工装置であって、所定の時点で交換を必要とする消耗品と、該消耗品の識別コードを読取って該消耗品の交換タイミングを取得する読取手段と、該交換タイミングに基づいて該消耗品の交換時期に達したことを報知する報知手段と、を備えた加工装置とする。
【選択図】図4
【解決手段】被加工物に加工を施す加工装置であって、所定の時点で交換を必要とする消耗品と、該消耗品の識別コードを読取って該消耗品の交換タイミングを取得する読取手段と、該交換タイミングに基づいて該消耗品の交換時期に達したことを報知する報知手段と、を備えた加工装置とする。
【選択図】図4
Description
本発明は、被加工物を加工する加工装置に関するものであり、より詳しくは、交換が必要となる消耗品が使用されている加工装置に関する。
従来、例えば、半導体製造工程や電子部品製造工程で用いられる加工装置として、切削装置、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置等の各種の加工装置が知られており、これらの加工装置は、ランプや電磁弁、モータや軸受け、加工液添加剤や保護膜剤、等々の多くの消耗品を有して構成されている。
例えば、特許文献1では、被加工物を載置する面(テーブル)を洗浄するために用いられる洗浄ブラシについて記載されている。このような洗浄ブラシは磨耗することが想定されるため、適当なタイミングで交換する必要が生じることになる。
また、特許文献2では、紫外線照射により粘着力が低下する所謂粘着テープ(UVテープ)に対して紫外線を照射するための紫外線照射ランプについて記載されている。このような紫外線照射ランプは寿命があるため、適当なタイミングで交換する必要が生じることになる。
また、特許文献3では、ガラス、セラミックス及びシリコン等の高脆性材料の加工時に発生する切り屑や研磨粉等の被加工材料への付着を抑制し、加工後の洗浄を容易にして洗浄不良による歩留まりの低減を解消するための加工液添加剤について記載されている。このような加工液添加剤については、適当なタイミングでタンクなどに補充する必要が生じることになる。
以上のような消耗品については、一般には、消耗品を新品に交換した後、その消耗品の寿命が切れる前において、一定時間が経過した際に各消耗品を交換することが行われている。
しかし、非常に多くの消耗品を有した加工装置では、個々の消耗品の交換タイミングを管理して、適切なタイミングで交換するのは非常に手間である上、作業者が交換タイミングに気付かずに交換を忘れてしまうおそれがある。
そして、作業者が交換を忘れてしまい、例えば、加工装置で被加工物に加工を施している最中に消耗品が寿命を向かえてしまうことになると、加工が中断されてしまったり、消耗品の種類によっては、加工に影響を及ぼして被加工物や加工装置を損傷させてしまうおそれがある。
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、作業者が消耗品の交換を忘れて加工が中断されてしまったり、被加工物や加工装置を損傷させるおそれを低減できる加工装置を提供することである。
請求項1に記載の発明によると、
被加工物に加工を施す加工装置であって、
所定の時点で交換を必要とする消耗品と、
消耗品の識別コードを読取って消耗品の交換タイミングを取得する読取手段と、
交換タイミングに基づいて消耗品の交換時期に達したことを報知する報知手段と、を備えた加工装置が提供される。
被加工物に加工を施す加工装置であって、
所定の時点で交換を必要とする消耗品と、
消耗品の識別コードを読取って消耗品の交換タイミングを取得する読取手段と、
交換タイミングに基づいて消耗品の交換時期に達したことを報知する報知手段と、を備えた加工装置が提供される。
請求項2に記載の発明によると、
消耗品の交換タイミングは、使用を開始した時点から経過する所定時間であり、
読取手段が識別コードを読取った際の読取日時から所定時間経過した際に、
報知手段が報知する、請求項1に記載の加工装置が提供される。
消耗品の交換タイミングは、使用を開始した時点から経過する所定時間であり、
読取手段が識別コードを読取った際の読取日時から所定時間経過した際に、
報知手段が報知する、請求項1に記載の加工装置が提供される。
請求項3に記載の発明によると、
消耗品の交換タイミングは、所定の日時であり、
所定の日時に達した際に、
報知手段が報知する請求項1に記載の加工装置が提供される。
消耗品の交換タイミングは、所定の日時であり、
所定の日時に達した際に、
報知手段が報知する請求項1に記載の加工装置が提供される。
本発明によると、作業者が消耗品の交換を忘れて加工が中断されてしまったり、被加工物や加工装置を損傷させるおそれを低減できる加工装置が提供される。また、消耗品の寿命(交換タイミング)の管理が不要になるため、管理負担の少ない装置構成が実現できる。
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。加工装置の一例として、半導体ウェーハの切削装置2の外観斜視図が図1に示されている。切削装置2は、切削ブレードを有する切削ユニット10等の加工手段がハウジング8内に収容された加工装置本体4と、加工装置本体4のハウジング8に装着された表示モニタ6などを有して構成される。
切削ユニット10に隣接してチャックテーブル12がX軸方向に移動可能に配設されている。14は内部にウェーハ22を複数収容可能なカセット24を載置するカセット載置台(エレベータ)であり、上下方向に移動可能に構成されている。なお、加工時にウェーハ22を保持する保持手段としては、チャックテーブル12のようにテーブルで構成する他、エッジクランプ(端を挟持する形態)による保持手段が使用されることも考えられる。
50は消耗品52に記録(表示や磁気などによる記録)された識別コード54を読取るための読取装置である。この読取装置50で消耗品52の識別コード54を読取ることで、詳しくは後述するように、制御装置30では、当該消耗品52の寿命(交換時期)などの情報を認識できるようになっている。
60は制御装置30からの指令によって報知音を発生するためのスピーカーである。このスピーカー60から所定の報知音が発されることにより、詳しくは後述するように、作業者が音によって特別の状況が生じたことが判るようになっている。
62は制御装置30からの指令によって報知光を発生するための表示灯(ランプ)である。この表示灯62から所定の報知光が発されることにより、詳しくは後述するように、作業者が光によって特別の状況が生じたことが判るようになっている。
70は紫外線を照射するための紫外線照射ランプを備える紫外線照射ユニットである。この紫外線照射ユニット70は、カセット載置台14に内設して設けられている。カセット24内では、ウェーハ22が粘着テープ(UVテープ)に貼着されており、ウェーハを切削後にこの粘着テープに対して紫外線照射ユニット70から紫外線を照射して粘着テープの粘着力を低下させることで、後のチップのピックアップ作業が容易にできるようになっている。
図2の概略図に示されるように、切削装置2には、切削装置2を自動制御するための制御装置30が設けられている。制御装置30は、例えばマイクロコンピュータによって構成されており、制御プログラムに従って演算処理するCPU(中央処理装置)31と、制御プログラムや各種データベース等を格納するROM(リードオンリーメモリ)32と、演算結果等を格納する読み書き可能なRAM(ランダムアクセスメモリ)33と、入出力インターフェース34とを備えて構成される。
ROM32には、切削ユニット10などを自動制御するための制御プログラムや、制御プログラムによって読み出されることが想定される各種データベースが記憶される。
RAM33は、制御プログラムや各種データの読み込みや、オペレータにより入力される加工条件の一時的な記憶などを行う。
入出力インターフェース34には、加工条件や装置を操作する操作指令を入力する入力手段として機能するとともに、各種情報を表示する表示手段としても機能する表示モニタ6(図1参照)が接続されている。なお、二つの表示モニタを備えるなどによって、入力手段と表示手段をそれぞれ個別に設ける構成としてもよい。
入出力インターフェース34には、消耗品52に記録(表示や磁気などによる記録)された識別コード54(図3(A)参照)を読取るための読取装置50が接続されている。
入出力インターフェース34には、切削ユニット10を回転させるモータや、チャックテーブル12を移動させるモータなどの各種駆動装置が接続されており、制御プログラムの実行による演算結果に基づいて、各種駆動装置が加工条件に則って駆動されるようになっている。
入出力インターフェース34には、スピーカー60や、表示灯62や、紫外線照射ユニット70が接続されており、制御装置30から発せられる指令に応じて、それぞれ、報知音、報知光、紫外線が発せられるようになっている。
図3(A)(B)に示すように、読取装置50は、消耗品52に記録された識別コード54を読取るべく構成されている。本実施形態では、読取装置50は、切削装置2の壁面に着脱自在に設けられるとともに、切削装置2側と接続コード51を介して接続されることで、作業者が手で掴んで自由に動かすことが可能なハンディタイプにて構成されている。読取装置50には、識別コード54を認識するための読取部50aが形成されており、当該読取部50aを識別コード54にかざすことによって、非接触により識別コード54が認識されるように構成されている。
以上の形態によれば、必要なときだけ切削装置2から読取装置50を取り外して識別コード54の認識を行うことができ、読取装置50の設置箇所に困ることがない。また、非接触による認識可能な構成とすることによれば、消耗品52をかざすだけで容易に識別コード54を認識させることができ、作業性に優れた構成が実現できる。なお、読取装置50の具体的な構成については特に限定されるものではなく、ハンディタイプの他にも固定型とすることなども考えられる。
図3(A)に示すように、本実施形態では、消耗品52の一例として、紫外線照射ユニットに内蔵されるUVランプ53(紫外線照射ランプ)に識別コード54が表示されることとしている。この識別コード54には、製品寿命情報56や使用可能期間情報57などの消耗品52の交換に必要となる各種情報58が格納されている。なお、製品寿命情報56と使用可能期間情報57は、両方またはいずれか一方が格納されていればよく、詳しくは後述するように、両方、または、一方が格納されている場合のそれぞれに応じて交換日時D(報知日時E)が特定される。
ここで、製品寿命情報56は、例えば、消耗品52の使用期限、つまりは、製品寿命を特定するための情報として記録させることができる。具体的には、製品寿命情報56は、例えば、消耗品52の動作を保障する製品寿命が10年であり、製造日が2010年1月1日であれば、2020年1月1日とされる。
また、使用可能期間情報57は、例えば、消耗品52が使用され始めた後の使用期限、つまりは、実際の使用による消耗によって使用ができなくなる期間として記録される。具体的には、使用可能期間情報57は、例えば、20000時間、30日、3ヶ月、などとされる。
なお、識別コード54は、例えば、本実施形態のように二次元バーコード(単なるバーコードでもよい)の形態で消耗品52の紙面に表示されて視認可能とするほか、磁気によって消耗品52内に視認不能に格納されるものであってもよい。また、識別コード54は消耗品52の紙面に表示されることとするほか、シールなどによって消耗品52に貼付されるものであってもよい。
また、上述した読取装置50と消耗品52に付される識別コード54による実施形態とするほかにも、作業者によって識別コード54(例えば番号、記号などの文字列)を読取装置50に入力する形態なども考えられる。つまり、読取装置50においては、識別コード54に格納される情報が認識できるものであればよく、その認識させる形態についても特に限定されるものではない。
図4は、本発明において特徴的な機能について説明する機能ブロック図である。この図4では、読取装置50と、制御装置30と、表示モニタ6と、スピーカー60と、表示灯62とが示されている。
そして、この図4に示すように、制御装置30においては、図2に示すCPU31、ROM32、RAM34により、入力日時認識部36と、製品寿命認識部37と、使用可能期間認識部38と、報知日時特定部39と、報知指令部40としてそれぞれ機能する各種機能部が構成される。
入力日時認識部36では、読取装置50によって識別コード54が読取られた具体的な読取日時Aが認識される。この読取装置50による識別コード54の読取りは、消耗品52を新規に取り付ける際、或いは、交換する際に実施される。
製品寿命認識部37では、識別コード54に格納された製品寿命情報56が認識される。ここで、製品寿命認識部37は、当該製品寿命情報56に記録された製品寿命日時Bが、読取日時Aよりも早く、既に寿命がきれている場合には、報知指令部40によって表示モニタ6などを利用して報知がなされることとしてもよい。
使用可能期間認識部38では、識別コード54に格納された使用可能期間情報57が認識される。具体的には、例えば、20000時間といった使用可能期間Cが認識される。
報知日時特定部39では、入力日時認識部36にて認識された読取日時Aに、使用可能期間認識部38で認識された使用可能期間Cを加算することで、交換日時Dが算出される。
ここで、報知日時特定部39は、読取日時Aと使用可能期間Cとから算出された交換日時Dが製品寿命日時Bよりも前である場合には、交換日時Dを報知日時Eとして特定する。
他方、報知日時特定部39は、算出された交換日時Dが製品寿命日時Bよりも後である場合には、製品寿命日時Bを報知日時Eとして特定する。これは、製品寿命日時Bが交換日時Dよりも先に到来してしまうケースであり、例えば、加工液添加剤の保管期間が長く、消費期限が近づいていたようなケースが考えられる。
そして、報知日時特定部39は、報知日時Eを報知指令部40へと出力し、報知指令部40では、当該報知日時Eになった際に、表示モニタ6(アラート表示)、スピーカー60(報知音)、表示灯62(ライト点滅)の少なくとも一つを用いて、報知を行う。この報知よって、作業者に対し、消耗品52が交換すべき日時が到来したことを認識させることができる。
なお、例えば、UVランプ53などのように、実際に点灯(稼動)された時間の累積によって報知日時Eが変動することが想定される。このような消耗品52については、実際に使用された時間を累積し、当該累積時間が使用可能期間Cに到達したタイミングを報知日時Eとすることとしてもよい。或いは、個別の消耗品52の使用時間を累積するのではなく、装置全体としての稼働時間を累積し、当該累積時間が使用可能期間Cに到達したタイミングを報知日時Eとすることとしてもよい。
以上のようにして、本発明を実施することができる。被加工物としてのウェーハ22に加工を施す切削装置(加工装置)2であって、所定の時点で交換を必要とする消耗品52と、消耗品の52の識別コード54を読取って消耗品52の交換タイミングを取得する読取手段と、消耗品52の交換タイミングに基づいて消耗品52の交換の時期に達したことを報知する表示モニタ6、スピーカー60、表示灯62などの報知手段と、を備えた切削装置2とするものである。
そして、実施形態の一つとして、消耗品52の交換タイミングは、使用を開始した時点から経過する使用可能期間C(所定時間)であり、読取装置50が識別コード54を読取った際の読取日時Aから使用可能期間Cが経過した際(報知日時E)に、報知手段が報知する構成とすることが考えられる。
さらに、他の実施形態として、消耗品52の交換タイミングは、製品寿命日時B(所定の日時)であり、製品寿命日時Bに達した際(報知日時E)に報知手段が報知する構成とすることが考えられる。
そして、以上の構成によれば、作業者が消耗品の交換を忘れて加工が中断されてしまったり、被加工物や加工装置を損傷させるおそれを低減できる加工装置が提供される。また、消耗品の寿命(交換タイミング)の管理が不要になるため、管理負担の少ない装置構成が実現できる。
なお、消耗品としては、ランプ、電磁弁、モータ、加工液添加剤、スピンドル等、様々なものが考えられる。また、報知日時Eの基準は、消費期限(例えば、加工添加剤などの液体類)、点灯・動作時間(例えば、ランプや電磁弁などの機能部品)の累積が所定時間に達した場合や、装置稼動時間の累積が所定時間に達した場合など、適宜基準を設定することとしてもよい。
さらに、報知日時Eよりも所定時間前に報知がなされるように構成してもよい。
なお、以上の実施形態では、加工装置として切削装置2を用いて説明したが、このほか、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置、洗浄装置、など、各種の加工装置において本発明を実施することは可能である。
また、以上の実施形態では、製品寿命情報56と使用可能期間情報57の両方が識別コード54に格納されている例を用いて説明したが、いずれか一方の情報が識別コードに格納されている場合についても本発明を実施することができる。
即ち、製品寿命情報56のみが識別コード54に格納されている場合には、報知日時特定部39は、当該製品寿命情報56に記録された製品寿命日時Bを交換日時Dとし、当該交換日時Dが報知日時Eとして特定される。
他方、使用可能期間情報57のみが識別コード54に格納されている場合には、報知日時特定部39は、読取日時Aに使用可能期間認識部38で認識された使用可能期間Cを加算することで交換日時Dを算出し、当該交換日時Dが報知日時Eとして特定される。
30 制御装置
36 入力日時認識部
37 製品寿命認識部
38 使用可能期間認識部
39 報知日時特定部
40 報知指令部
50 読取装置
52 消耗品
53 UVランプ
54 識別コード
56 製品寿命情報
57 使用可能期間情報
60 スピーカー
62 表示灯
70 紫外線照射ユニット
A 取付日時
B 製品寿命年月日
C 使用可能期間
D 交換日時
36 入力日時認識部
37 製品寿命認識部
38 使用可能期間認識部
39 報知日時特定部
40 報知指令部
50 読取装置
52 消耗品
53 UVランプ
54 識別コード
56 製品寿命情報
57 使用可能期間情報
60 スピーカー
62 表示灯
70 紫外線照射ユニット
A 取付日時
B 製品寿命年月日
C 使用可能期間
D 交換日時
Claims (3)
- 被加工物に加工を施す加工装置であって、
所定の時点で交換を必要とする消耗品と、
該消耗品の識別コードを読取って該消耗品の交換タイミングを取得する読取手段と、
該交換タイミングに基づいて該消耗品の交換時期に達したことを報知する報知手段と、を備えた加工装置。 - 前記消耗品の前記交換タイミングは、使用を開始した時点から経過する所定時間であり、
該読取手段が前記識別コードを読取った際の読取日時から該所定時間経過した際に、
前記報知手段が報知する、請求項1に記載の加工装置。 - 前記消耗品の前記交換タイミングは、所定の日時であり、
該所定の日時に達した際に、
前記報知手段が報知する請求項1に記載の加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012165773A JP2014024152A (ja) | 2012-07-26 | 2012-07-26 | 加工装置 |
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JP2012165773A JP2014024152A (ja) | 2012-07-26 | 2012-07-26 | 加工装置 |
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- 2012-07-26 JP JP2012165773A patent/JP2014024152A/ja active Pending
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