JP2014022605A - レーザアニール装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上面において基板30を支持するステージと、前記基板30に上方からレーザ光を照射するレーザ光学系と、前記基板30の外周に沿って配置され、前記外周より外側に向かうに従い上方に傾斜した傾斜面11に沿って不活性ガスを前記基板30の上面に出射する出射部25と、を具備するレーザアニール装置。
【選択図】図3
Description
11 傾斜面
12、14 突起部
13、15 溝部
16 ガス導入孔
20 第2部材
25 出射部
34 ステージ
41 レーザ光学系
50 第1出射部
52 第2出射部
70 吸引部
Claims (9)
- 上面において基板を支持するステージと、
前記基板に上方からレーザ光を照射するレーザ光学系と、
前記基板の外周に沿って前記外周の外側に配置され、不活性ガスを前記基板の上面に出射する出射部と、
を具備することを特徴とするレーザアニール装置。 - 前記出射部は、前記外周より外側に向かうに従い上方に傾斜した傾斜面に沿って不活性ガスを前記基板の上面に出射することを特徴とする請求項1記載のレーザアニール装置。
- 前記出射部は、前記傾斜面の外側に設けられ前記傾斜面より上方に突起した突起部を有する第1部材と、前記突起部の上面および前記基板側の側面に沿って前記不活性ガスを前記傾斜面に出射するスリットが形成されるように前記第1部材上に配置された第2部材と、を有することを特徴とする請求項2記載のレーザアニール装置。
- 前記第1部材は、前記突起部の外側に形成された溝部と前記溝部に前記不活性ガスを導入する導入部を有することを特徴とする請求項3記載のレーザアニール装置。
- 前記出射部は、前記基板の全周から前記不活性ガスを前記基板の上面に出射することを特徴とする請求項1から4のいずれか一項記載のレーザアニール装置。
- 前記出射部は、前記基板の外周に前記不活性ガスを出射する複数の出射口を有することを特徴とする請求項1から4のいずれか一項記載のレーザアニール装置。
- 前記複数の出射口は、前記基板の中心に対し斜めに前記不活性ガスを出射することを特徴とする請求項6記載のレーザアニール装置。
- 上面において基板を支持するステージと、
前記基板に上方からレーザ光を照射するレーザ光学系と、
前記基板の上面に上方より不活性ガスを出射する第1出射部と、
前記基板の外側に周囲に上方より不活性ガスを出射する第2出射部と、
を具備することを特徴とするレーザアニール装置。 - 上面において基板を支持するステージと、
前記基板にレーザ光を照射するレーザ光学系と、
前記基板の上面に上方より不活性ガスを出射する出射部と、
前記基板の外側に周囲から上方にガスを吸引する吸引部と、
を具備することを特徴とするレーザアニール装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012160811A JP2014022605A (ja) | 2012-07-19 | 2012-07-19 | レーザアニール装置 |
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JP2012160811A Pending JP2014022605A (ja) | 2012-07-19 | 2012-07-19 | レーザアニール装置 |
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JP (1) | JP2014022605A (ja) |
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- 2012-07-19 JP JP2012160811A patent/JP2014022605A/ja active Pending
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