JP2014017330A - 被加工物の加工方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】加工表面から上方や空間に向けて延出するようなバリの発生を抑制可能な被加工物の加工方法を提供する。
【解決手段】少なくとも分割予定ライン上に延性材が形成された被加工物Wを分割予定ラインに沿って切削ブレード2で切削する被加工物Wの加工方法であって、被加工物Wの外形よりも大きいサイズの氷サブストレートIに、被加工物Wの表面と氷サブストレートIの表面を平行にした状態で被加工物Wを埋没固定する被加工物固定工程S2と、被加工物固定工程を実施した後、切削ブレード2で被加工物Wの表面側から氷サブストレートIまで切り込み、分割予定ラインに沿って延性材と共に被加工物Wを切削する切削工程S3と、切削工程を実施した後、氷サブストレートIを融解して液体または気体に相変化して、被加工物Wから除去する除去工程S4と、を備える。
【選択図】図1
【解決手段】少なくとも分割予定ライン上に延性材が形成された被加工物Wを分割予定ラインに沿って切削ブレード2で切削する被加工物Wの加工方法であって、被加工物Wの外形よりも大きいサイズの氷サブストレートIに、被加工物Wの表面と氷サブストレートIの表面を平行にした状態で被加工物Wを埋没固定する被加工物固定工程S2と、被加工物固定工程を実施した後、切削ブレード2で被加工物Wの表面側から氷サブストレートIまで切り込み、分割予定ラインに沿って延性材と共に被加工物Wを切削する切削工程S3と、切削工程を実施した後、氷サブストレートIを融解して液体または気体に相変化して、被加工物Wから除去する除去工程S4と、を備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、延性材層を有する、又は、延性材からなる被加工物を切削ブレードで切削する被加工物の加工方法に関する。
従来、金属や樹脂などの延性材料からなる層を有する半導体ウエーハなどの被加工物について、高速回転する切削ブレードで切削加工をした際に、切削断面にバリが発生することがあった。このようなバリが発生すると、短絡などの特性不良や、外観不良に繋がることになる。また、バリの発生は、切削加工後の生産工程でのピックアップ不良や、ボンディング不良等の悪影響を及ぼすことになり、大きな問題となる。特許文献1では、切削加工により形成した切削溝に対し、逆回転させた切削ブレードを通過させるバリ取り工程を実施することでバリを除去する技術が開示されている。
しかしながら、特許文献1に開示される技術では、逆回転させた切削ブレードを通過させる形態であるため、たとえば、切削溝の縁に被加工物の加工表面から上方や空間(スルーホール切断時の横方向)に向けて延出するように発生したバリは除去できないことになる。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、バリの発生を抑制可能な被加工物の加工方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明に係る被加工物の加工方法は、少なくとも分割予定ライン上に延性材が形成された被加工物を前記分割予定ラインに沿って切削ブレードで切削する被加工物の加工方法であって、凝固体により形成され前記被加工物の外形よりも大きいサイズの固定部材に、前記被加工物の表面と前記固定部材の表面を平行にした状態で前記被加工物を埋没固定する被加工物固定工程と、前記被加工物固定工程を実施した後、前記切削ブレードで前記被加工物の表面側から前記固定部材まで切り込み、前記分割予定ラインに沿って前記延性材と共に前記被加工物を切削する切削工程と、前記切削工程を実施した後、前記固定部材を液体または気体に相変化して前記被加工物から除去する除去工程と、を備えることを特徴とする。
上記の被加工物の加工方法において、前記被加工物の前記分割予定ライン上には延性材で形成された中空部を有し、前記被加工物固定工程では、前記中空部を前記凝固体で充填しつつ前記被加工物を前記固定部材に埋没固定し、前記切削工程では、前記分割予定ラインに沿って前記中空部に充填された前記凝固体と共に前記被加工物を切削する、ことが好ましい。
本発明に係る被加工物の加工方法は、分割予定ライン上を延性材で形成された被加工物を固定部材に埋没固定した上で、固定部材と共に切削するので、被加工物の分割予定ライン上の延性材のバリが固定部材側に発生することを防止でき、この結果、バリの発生を抑制できるという効果を奏する。
以下に、本発明に係る被加工物の加工方法の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の図面において、同一または相当する部分には同一の参照符号を付し、その説明は繰り返さない。
[実施形態]
図1〜5を参照して本発明の実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係る被加工物の加工方法の各処理を示すフローチャートであり、図2,3は、本実施形態において被加工物を埋没固定した氷サブストレートを作成するための構成の一例を示す斜視図であり、図4は、本実施形態において作成した氷サブストレートの一例を示す斜視図であり、図5は、本実施形態における被加工物の切削工程を説明するための模式図である。
図1〜5を参照して本発明の実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係る被加工物の加工方法の各処理を示すフローチャートであり、図2,3は、本実施形態において被加工物を埋没固定した氷サブストレートを作成するための構成の一例を示す斜視図であり、図4は、本実施形態において作成した氷サブストレートの一例を示す斜視図であり、図5は、本実施形態における被加工物の切削工程を説明するための模式図である。
本実施形態に係る被加工物の加工方法は、図5などに示される切削装置1により実施される。切削装置1は、切削ブレード2と、被加工物Wを保持したチャックテーブル3とを、所定の分割予定ラインに沿って相対移動させることで、被加工物Wに切削加工を施して、被加工物Wを個々のデバイスチップに分割するものである。
被加工物Wは、切削加工される加工対象であり、本実施形態では、金属や樹脂などの延性材料からなる層を有するか又はこれらの延性材料により形成される、半導体ウエーハや回路基板などの板状部材である。被加工物Wには、表面と裏面とを連通するスルーホールh(中空部)が多数設けられている。本実施形態における被加工物Wは、スルーホールh上に切削装置1の分割予定ラインが設定され、切削装置1の切削ブレード2によって個々のスルーホールhを分断するように切削されるものである。本実施形態の被加工物Wでは、少なくとも分割予定ラインに沿ったスルーホールhを含む部分が、延性材料によって形成されている。
このように延性材料からなる被加工物Wをスルーホールhに沿って切削すると、加工表面から外側やスルーホールh内の空間に向かって延出するようなバリが発生する状況が考えられる。本実施形態では、このようなバリの発生を抑制すべく、被加工物Wは、図4に示すような氷サブストレートI(固定部材)に埋没固定され、切削加工時には氷サブストレートIと共に切削される。
氷サブストレートIは、純水Pを冷凍した氷(凝固体)により形成される板状部材である。氷サブストレートIは、その面積及び厚さが被加工物Wより大きく、被加工物Wを埋没固定可能である。氷サブストレートIは、被加工物Wを埋没固定したときには、被加工物Wのスルーホールhにも氷を充填する。したがって、被加工物Wの切削加工時には、被加工物Wは、スルーホールhに充填された氷と共に切削される。このため、被加工物Wの切削加工時には、氷サブストレートIの融解を防ぐために、例えば冷蔵室内に切削装置1を設置するなど氷の融点より低い温度下にて作業を行う必要がある。
以下、主に図1のフローチャートを参照して、切削装置1により実施される本実施形態に係る被加工物Wの加工方法について詳細に説明する。
図1のフローチャートのステップS1では、図2,3に示すように冷凍用ジグ10の底面上に被加工物Wが配置されて、冷凍用ジグ10内に純水Pが充填される。このステップでは、冷凍用ジグ10内に純水Pを充填する際に被加工物Wの表面が冷凍用ジグ10の底面と当接していることが必要である。このため、被加工物Wの自重に応じて、被加工物Wの冷凍用ジグ10への配置方法を変更することができる。
例えば、被加工物Wが重く、冷凍用ジグ10内に純水Pを注いだときに被加工物Wが浮き上がらない場合には、被加工物Wは自重によって冷凍用ジグ10の底面と接触し続けることが可能である。そこで、このような場合には図2に示すように、冷凍用ジグ10の底面上に被加工物Wをそのまま載置すればよい。
一方、被加工物Wが軽く、冷凍用ジグ10内に純水Pを注いだときに被加工物Wが浮き上がる場合には、被加工物Wは自重のみでは冷凍用ジグ10の底面と接触することができない。そこで、例えば図3に示すように、冷凍用ジグ10を、枠体10aと底部10bとを別体として構成し、底部10bの表面には、ポリエチレンテレフタレート(PET)などの合成樹脂からなる保護テープ等の粘着手段を設ける。そして、枠体10aを底部10b上に接着固定し、この枠体10aの内部にて被加工物Wを底部10b上に接着固定した状態で、冷凍用ジグ10内に純水Pを注げばよい。なお、被加工物Wを冷凍用ジグ10の底面に接着する構成は、図3に例示したもの以外の構成としてもよい。ステップS1の処理が実行されるとステップS2に進む。
ステップS2では、冷凍用ジグ10に充填された純水Pを凍結して氷サブストレートIが作成される(被加工物固定工程)。氷サブストレートIは、純水Pを凍結した後に冷凍用ジグ10から取り外され、必要に応じて表面(冷凍用ジグ10の底面側の面)と裏面とが平行なるように処理(例えば裏面を研磨するなど)されると、図4に示すように、表面と裏面とが平行な板状部材となる。氷サブストレートIは、被加工物Wの外形よりも大きいサイズである。言い換えると、氷サブストレートIは、表面及び裏面の面積と厚みとが被加工物Wのものより大きい形状である。このように作成された氷サブストレートIでは、被加工物Wは、その表面と氷サブストレートIの表面を平行にした状態、すなわち被加工物Wの表面と氷サブストレートIの表面とが同一平面状となるよう、埋没固定されている。被加工物Wは、その表面の周囲が氷サブストレートIの表面で囲まれるよう、氷サブストレートIの表面の略中央に配置されている。ステップS2の処理が実行されるとステップS3に進む。
ステップS3では、被加工物Wが氷サブストレートIと共に切削される(切削工程)。より詳細には、図5に示すように、被加工物Wが埋設された氷サブストレートIは、被加工物Wの分割予定ラインが被加工物Wのスルーホールh上を通るように、支持部材Sに固定された上でチャックテーブル3上に保持される。切削ブレード2を高速回転させて、被加工物Wの表面側から氷サブストレートIまで切り込む。そして、チャックテーブル3を切削ブレード2に対して相対移動させることで、分割予定ラインに沿って、氷サブストレートIと共に被加工物Wを切削する。切削ブレード2は、スルーホールhに充填された氷と共に、分割予定ライン上のスルーホールhを分断するように被加工物Wを切削する。
なお、ステップS3の工程は、被加工物Wの切削中に氷サブストレートIが融解するのを防止するため、例えば切削装置1を冷蔵室内に設置するなど低温環境で行われる。冷蔵室内の温度は、−5〜10℃程度が好ましい。また、一般に、切削ブレード2で被加工物Wを切削する際には切削箇所に切削液が供給されるが、ステップS3の工程は低温の冷蔵室内で行われるため、切削液の種類によっては凍結し切削作業に影響が出る虞がある。そこで、切削液の凍結を防止するために、切削液にはエチレングリコール等の凝固点降下剤が混入された不凍液が使用されることが好ましい。
また、ステップS3にて氷サブストレートIを固定する支持部材Sは、切削ブレード2により切削されないよう配置されており、再利用が可能である。ステップS3の処理が実行されるとステップS4に進む。
ステップS4では、氷サブストレートIが融解され、被加工物Wから除去される(除去工程)。被加工物W及び氷サブストレートIを常温の場所に置くか、または高温で熱することによって、氷サブストレートIが水または水蒸気に相変化して、被加工物Wから簡便に除去することができる。ステップS4が実行されると本フローチャートの処理は終了する。
次に、本実施形態に係る被加工物Wの加工方法の効果について説明する。
本実施形態に係る被加工物Wの加工方法は、少なくとも分割予定ライン上に延性材が形成された被加工物Wを分割予定ラインに沿って切削ブレード2で切削するためのものであり、氷(純水P)により形成され被加工物Wの外形よりも大きいサイズの氷サブストレートIに、被加工物Wの表面と氷サブストレートIの表面を平行にした状態で被加工物Wを埋没固定する被加工物固定工程S2と、被加工物固定工程を実施した後、切削ブレード2で被加工物Wの表面側から氷サブストレートIまで切り込み、分割予定ラインに沿って延性材と共に被加工物Wを切削する切削工程S3と、切削工程を実施した後、氷サブストレートIを融解して水または水蒸気に相変化して、被加工物Wから除去する除去工程S4と、を備える。
これにより、分割予定ライン上を延性材で形成された被加工物Wは、氷サブストレートIに埋没固定した上で、氷サブストレートIと共に切削されるので、被加工物Wの分割予定ライン上の延性材のバリが、氷サブストレートIとの当接面に発生することを抑制することができ、加工表面から上方や空間に向けて延出するようなバリの発生を抑制できる。また、氷サブストレートIを融解すれば被加工物Wから除去できるので、切削時に被加工物Wを固定するための氷サブストレートIを、被加工物Wを切削した後に被加工物Wから容易に除去することが可能となり、被加工物Wの加工効率を向上できる。
また、本実施形態に係る被加工物Wの加工方法では、被加工物Wの分割予定ライン上には延性材で形成されたスルーホールhを有する。被加工物固定工程S2では、スルーホールhを氷で充填しつつ被加工物Wを氷サブストレートIに埋没固定する。切削工程S3では、分割予定ラインに沿ってスルーホールhに充填された氷と共に被加工物Wを切削する。
これにより、分割予定ラインに沿ってスルーホールhに充填された氷と共に被加工物Wが切削されるので、被加工物Wの分割予定ライン上の延性材層のバリがスルーホールh内に発生することを好適に抑制することができる。
[変形例]
次に、図6を参照して上記実施形態の変形例を説明する。図6は、実施形態の変形例における切削工程の一例を示す模式図である。
次に、図6を参照して上記実施形態の変形例を説明する。図6は、実施形態の変形例における切削工程の一例を示す模式図である。
この変形例では、被加工物Wが、樹脂基板上に多数のドーム型LED(図6に符号dで示す)を配設したものである点で、上記実施形態と異なる。図6のドーム型LEDのような突起物dを有する被加工物Wを氷サブストレートIに埋没固定する場合には、図6に示すように、突起物dを配設した面aを氷サブストレートIと対向して埋没させ、面aと反対側の面bを氷サブストレートIの表面と同一平面状となるように、被加工物Wを氷サブストレートIに埋没固定する。すなわち、突起物dが氷サブストレートIの内部に配置され、突起物d全体を氷サブストレートIで覆う状態になる。
このように被加工物Wを分割予定ラインが突起物d上を通るように切削する場合には、分割予定ラインに沿って氷で全体を被覆された突起物dと共に被加工物Wが切削される。このため、上記実施形態と同様に、被加工物Wの分割予定ライン上の延性材層のバリが突起物dから下方に発生することを好適に抑制することができる。
以上、本発明の実施形態を説明したが、上記実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上記実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。上記実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
上記実施形態では、被加工物Wとしてスルーホールhを有するものや、変形例としてドーム型LEDなどの突起物dを有する構成を例示したが、被加工物Wは、例えば分割予定ラインに沿って溝を有する形状や、凸部や凹部を有する形状など他の形状であってもよい。
上記実施形態では、被加工物Wを埋没固定するための固定部材の一例として、純水Pを凍結させた氷からなる氷サブストレートIを例示したが、固定部材の材料は、冷凍により固体に相変化し、常温で液体または気体に相変化するものであれば、純水P以外のものを用いてもよい。また、固定部材は、切削工程後に液体または気体に相変化させることで容易に被加工物から除去することができればよく、例えば常温で固体に相変化し、加熱により液体または気体に相変化する材料を用いてもよいし、定常状態では固体であり、化学変化等によって液体または気体に相変化する材料を用いてもよい。
1 切削装置
2 切削ブレード
W 被加工物
I 氷サブストレート(固定部材)
h スルーホール(中空部)
ステップS2 被加工物固定工程
ステップS3 切削工程
ステップS4 除去工程
2 切削ブレード
W 被加工物
I 氷サブストレート(固定部材)
h スルーホール(中空部)
ステップS2 被加工物固定工程
ステップS3 切削工程
ステップS4 除去工程
Claims (2)
- 少なくとも分割予定ライン上に延性材が形成された被加工物を前記分割予定ラインに沿って切削ブレードで切削する被加工物の加工方法であって、
凝固体により形成され前記被加工物の外形よりも大きいサイズの固定部材に、前記被加工物の表面と前記固定部材の表面を平行にした状態で前記被加工物を埋没固定する被加工物固定工程と、
前記被加工物固定工程を実施した後、前記切削ブレードで前記被加工物の表面側から前記固定部材まで切り込み、前記分割予定ラインに沿って前記延性材と共に前記被加工物を切削する切削工程と、
前記切削工程を実施した後、前記固定部材を液体または気体に相変化して前記被加工物から除去する除去工程と、
を備える被加工物の加工方法。 - 前記被加工物の前記分割予定ライン上には延性材で形成された中空部を有し、
前記被加工物固定工程では、前記中空部を前記凝固体で充填しつつ前記被加工物を前記固定部材に埋没固定し、
前記切削工程では、前記分割予定ラインに沿って前記中空部に充填された前記凝固体と共に前記被加工物を切削する、
ことを特徴とする請求項1記載の被加工物の加工方法。
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2012
- 2012-07-06 JP JP2012152938A patent/JP2014017330A/ja active Pending
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