TWI736738B - 發光二極體晶片的製造方法及發光二極體晶片 - Google Patents

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Abstract

[課題]提供一種可得到充分的亮度的發光二極體晶片的製造方法及發光二極體晶片。 [解決手段]一種發光二極體晶片的製造方法，其特徵在於具備有：晶圓準備步驟，準備晶圓，該晶圓是在結晶成長用之透明基板上具有積層體層，並於該積層體層的正面以相互交叉之複數條分割預定線所區劃出之各區域中各自形成有LED電路，該積層體層形成有包含發光層的複數層半導體層；透明基板加工步驟，在涵蓋整個面形成有複數個貫通孔的第1透明基板或涵蓋整個面形成有複數個貫通孔的第2透明基板之至少其中任一個的正面或背面，對應於各LED電路來形成複數個凹陷；透明基板貼附步驟，在實施該透明基板加工步驟後，將該第1透明基板的正面貼附在晶圓的背面，並且將該第2透明基板的正面貼附在該第1透明基板的背面以形成一體化晶圓；及分割步驟，在實施該透明基板貼附步驟後，沿著該分割預定線將該晶圓和該第1及第2透明基板一起切斷以將該一體化晶圓分割成一個個的發光二極體晶片。

Description

發光二極體晶片的製造方法及發光二極體晶片
發明領域 本發明是有關於一種發光二極體晶片的製造方法及發光二極體晶片。
發明背景 在藍寶石基板、GaN基板、SiC基板等的結晶成長用基板的正面上形成有將n型半導體層、發光層、p型半導體層積層複數層而成的積層體層，並且在此積層體層上藉由交叉的複數條分割預定線所區劃出的區域中形成有複數個LED(發光二極體(Light Emitting Diode))等之發光元件的晶圓，是沿著分割預定線切斷而分割成一個個的發光元件晶片，已分割的發光元件晶片可廣泛地應用在手機、個人電腦、照明機器等的各種電氣機器上。
由於從發光元件晶片的發光層射出的光具有各向同性，所以即使被照射到結晶成長用基板的內部也會使光從基板的背面及側面射出。然而，由於已被照射到基板之內部的光之中在與空氣層之間的界面上的入射角為臨界角以上的光會在界面上進行全反射而被封閉在基板內部，並不會有從基板射出到外部之情形，所以會有導致發光元件晶片的亮度降低的問題。
為了解決此問題，在日本專利特開2014-175354號公報中已記載有下述之發光二極體(LED)：為了抑制從發光層射出的光被封閉在基板的內部，而形成為在基板的背面貼附透明構件來謀求亮度的提升。 先前技術文獻 專利文獻
專利文獻1：日本專利特開2014-175354號公報
發明概要 發明欲解決之課題 然而，在專利文獻1所揭示的發光二極體中，雖然可藉由在基板的背面貼附透明構件而使亮度稍微提升，但是仍有無法得到充分的亮度的問題。
本發明是有鑒於像這樣的點而作成的發明，其目的在於提供一種能夠得到充分的亮度的發光二極體晶片的製造方法及發光二極體晶片。 用以解決課題之手段
依據請求項1記載的發明，可提供一種發光二極體晶片的製造方法，該發光二極體晶片的製造方法之特徵在於具備有： 晶圓準備步驟，準備晶圓，該晶圓是在結晶成長用之透明基板上具有積層體層，並於該積層體層的正面以相互交叉之複數條分割預定線所區劃出之各區域中各自形成有LED電路，該積層體層形成有包含發光層的複數層半導體層； 透明基板加工步驟，在涵蓋整個面形成有複數個貫通孔的第1透明基板或涵蓋整個面形成有複數個貫通孔的第2透明基板之至少其中任一個的正面或背面，對應於各LED電路來形成複數個凹陷； 透明基板貼附步驟，在實施該透明基板加工步驟後，將該第1透明基板的正面貼附在晶圓的背面，並且將該第2透明基板的正面貼附在該第1透明基板的背面以形成一體化晶圓；及 分割步驟，在實施該透明基板貼附步驟後，沿著該分割預定線將該晶圓和該第1及第2透明基板一起切斷以將該一體化晶圓分割成一個個的發光二極體晶片。
較理想的是，在透明基板加工步驟中所形成之凹陷的截面形狀為三角形、四角形、或圓形的任一種。較理想的是，在透明基板加工步驟中所形成的凹陷是藉由蝕刻、噴砂、雷射的任一種方式而形成。
較理想的是，該第1及第2透明基板是以透明陶瓷、光學玻璃、藍寶石、透明樹脂的任一種所形成，並且在該透明基板貼附步驟中第1透明基板是利用透明接著劑來貼附於晶圓，第2透明基板是利用透明接著劑來接著於第1透明基板。
依據請求項5記載的發明，可提供一種發光二極體晶片，該發光二極體晶片具備於正面形成有LED電路的發光二極體、貼附在該發光二極體的背面之具有複數個貫通孔的第1透明構件、及貼附在該第1透明構件的背面之具有複數個貫通孔的第2透明構件，且在該第1透明構件或該第2透明構件之至少其中任一個的正面或背面形成有凹陷。 發明效果
由於本發明的發光二極體晶片是在具有複數個貫通孔的第1透明構件或具有複數個貫通孔的第2透明構件之至少其中任一個的正面或背面形成有凹陷，所以除了會使第1透明構件或第2透明構件的表面積增大以外，還可藉由至少2層的透明構件與凹陷來使光複雜地折射而讓被封閉在第1及第2透明構件內的光減少，且讓從第1及第2透明構件射出之光的量增大並使發光二極體晶片的亮度提升。
用以實施發明之形態 以下，參照圖式詳細地說明本發明的實施形態。參照圖1，所示為光元件晶圓(以下，有時會簡稱為晶圓)11的正面側立體圖。
光元件晶圓11是在藍寶石基板13上積層氮化鎵(GaN)等的晶膜層(epitaxial layer)(積層體層)15而構成的。光元件晶圓11具有積層有晶膜層15的正面11a、及露出了藍寶石基板13的背面11b。
在此，在本實施形態的光元件晶圓11中，雖然是採用藍寶石基板13作為結晶成長用基板，但是也可以採用GaN基板或SiC基板等來替代藍寶石基板13。
積層體層(晶膜層)15是藉由依序使電子成為多數載子(carrier)的n型半導體層(例如n型GaN層)、成為發光層的半導體層(例如InGaN層)、電洞成為多數載子的p型半導體層(例如p型GaN層)進行晶膜生長而形成。
藍寶石基板13具有例如100μm的厚度，且積層體層15具有例如5μm的厚度。於積層體層15上以形成為格子狀的複數條分割預定線17來區劃而形成有複數個LED電路19。晶圓11具有形成有LED電路19的正面11a、和露出了藍寶石基板13的背面11b。
依據本發明實施形態的發光二極體晶片的製造方法，首先會實施準備如圖1所示的光元件晶圓11的晶圓準備步驟。然後，實施透明基板加工步驟，該透明基板加工步驟是在要貼附於晶圓11的背面11b之涵蓋整個面形成有複數個貫通孔29的第1透明基板21的正面或背面、或者在要貼附於第1透明基板21的背面之涵蓋整個面形成有複數個貫通孔29A的第2透明基板21A的正面或背面，對應於LED電路19而形成複數個凹陷。
在此透明基板加工步驟中，是例如圖2(A)所示，使用具有對應於晶圓11之LED電路19的複數個孔4的遮罩2。如圖2(B)所示，使遮罩2的孔4對應於晶圓11之各LED電路19來將遮罩貼附於涵蓋整個面形成有複數個貫通孔29之第1透明基板21的正面21a。
然後，藉由濕蝕刻(wet etching)或電漿蝕刻(plasma etching)在第1透明基板21的正面21a形成如圖2(C)所示，對應於遮罩2的孔4之形狀的三角形的凹陷(凹部)5。
亦可設成：藉由將遮罩2的孔4之形狀變更成四角形、或圓形，而在第1透明基板21的正面21a形成如圖2(D)所示的四角形的凹陷5A，或如圖2(E)所示的在第1透明基板21的正面21a形成圓形的凹陷5B。
第1透明基板21是由透明樹脂、光學玻璃、藍寶石、透明陶瓷的任一種所形成。在本實施形態中，是由比光學玻璃更有耐久性之聚碳酸酯、丙烯酸等之透明樹脂來形成第1透明基板21。
作為本實施形態的變形例，亦可設成：藉由將遮罩2貼附在第1透明基板21的正面21a之後，實施噴砂加工，而在第1透明基板21的正面21a形成如圖2(C)所示的三角形的凹陷5、或如圖2(D)所示的四角形的凹陷5A、或如圖2(E)所示的圓形的凹陷5B。
亦可設成將雷射加工裝置利用於：在第1透明基板21的正面21a形成對應於LED電路19的複數個凹陷上。在藉由雷射加工進行之實施形態中，如圖3(A)所示，是一邊將對第1透明基板21具有吸收性之波長(例如266nm)的雷射光束間歇性地從聚光器(雷射頭)24照射到第1透明基板21的正面21a，一邊使已保持有第1透明基板21之圖未示的工作夾台朝箭頭X1方向加工進給，藉此以燒蝕(ablation)在第1透明基板21的正面21a形成對應於晶圓11之LED電路19的複數個凹陷9。
將第1透明基板21朝與箭頭X1方向正交的方向按晶圓11的分割預定線17的每個間距來分度進給，並且對第1透明基板21的正面21a進行燒蝕加工，以逐次地形成複數個凹陷9。凹陷9的截面形狀，通常是成為與雷射光束之光斑形狀相對應之如圖3(B)所示的圓形。
雖然在上述之透明基板加工步驟中，是在第1透明基板21的正面21a形成有複數個凹陷5、5A、5B、9，但亦可取代此實施形態，而設成為在第1透明基板21的背面21b形成複數個凹陷5、5A、5B、9。
或者，亦可設成對第1透明基板21的正面及背面不施行任何加工，而是在涵蓋整個面形成有複數個貫通孔29A之第2透明基板21A的正面21a或背面21b對應於晶圓11之各LED電路來形成複數個凹陷5、5A、5B、9。第2透明基板21A也是與第1透明基板21同樣，由透明樹脂、光學玻璃、藍寶石、透明陶瓷的任一種所形成。
已實施透明基板加工步驟之後，實施透明基板貼附步驟，該透明基板貼附步驟是將第1透明基板21的正面21a貼附到晶圓11的背面11b，並且將第2透明基板21A的正面21a貼附到第1透明基板21的背面21b。
在此透明基板貼附步驟中，首先，是如圖4(A)所示，藉由透明接著劑將晶圓11的背面11b接著於已在正面21a對應於晶圓11的LED電路19而形成有複數個凹陷9之第1透明基板21的正面21a，以如圖4(B)所示，將晶圓11與第1透明基板21一體化而形成第1一體化晶圓25。
接著，如圖5(A)所示，將第2透明基板21A的正面21a貼附到第1一體化晶圓25的第1透明基板21的背面21b，以形成如圖5(B)所示的第2一體化晶圓25A。
此透明基板貼附步驟並非限定於上述之順序的步驟，亦可設成：於將第2透明基板21A的正面21a貼附在第1透明基板21的背面21b後，再將第1透明基板21的正面21a貼附到晶圓11的背面11b來形成第2一體化晶圓25A。
已實施透明基板貼附步驟後，實施支撐步驟，該支撐步驟是如圖6所示，將第2一體化晶圓25A的第2透明基板21A貼附到外周部已貼附於環狀框架F上之切割膠帶T來形成框架單元，並透過切割膠帶T以環狀框架F支撐第2一體化晶圓25A。
已實施支撐步驟之後，實施分割步驟，該分割步驟是將框架單元投入切削裝置，並且利用切削裝置來將第2一體化晶圓25切削以分割成一個個的發光二極體晶片。參照圖7來說明此分割步驟。
如圖7所示，切削裝置的切削單元10包含有主軸殼體12、可旋轉地***主軸殼體12中的圖未示的主軸、和裝設在主軸的前端的切削刀14。
切削刀14的切割刃是以例如用鍍鎳方式來將鑽石磨粒固定而成的電鑄磨石所形成，且其前端形狀是做成三角形、四角形、或半圓形。
切削刀14的大致上半部分是被刀片罩(blade cover)(輪罩(wheel cover))16所覆蓋，在刀片罩16上配設有於切削刀14的裏側及近前側水平地伸長的一對(圖中僅顯示1支)冷卻噴嘴18。
在分割步驟中，是隔著框架單元的切割膠帶T而在切削裝置的工作夾台20上吸引保持第2一體化晶圓25A，且是將環狀框架F以圖未示的夾具夾持來固定。
然後，使切削刀14一邊朝箭頭R方向高速旋轉一邊切入晶圓11的分割預定線17直到切削刀14的前端到達切割膠帶T為止，並且一邊從冷卻噴嘴18朝向切削刀14及晶圓11的加工點供給切削液一邊將第2一體化晶圓25A朝箭頭X1方向加工進給，藉此形成沿著晶圓11的分割預定線17切斷晶圓11以及第1及第2透明基板21、21A的切斷溝27。
將切削單元10在Y軸方向上分度進給，並且沿著朝第1方向伸長的分割預定線17逐次地形成同樣的切斷溝27。其次，將工作夾台20旋轉90°之後，沿著於與第1方向正交的第2方向上伸長之全部的分割預定線17形成同樣的切斷溝27，以形成圖8所示之狀態，藉此將第2一體化晶圓25A分割成如圖9所示的發光二極體晶片31。
在上述之實施形態中，雖然在將第2一體化晶圓25A分割成一個個的發光二極體晶片31上是使用切削裝置，但是亦可設成：將對晶圓11及透明基板21、21A具有穿透性之波長的雷射光束沿著分割預定線13朝晶圓11照射，並且在晶圓11以及透明基板21、21A的內部於厚度方向上形成複數層的改質層，接著，對第2一體化晶圓25A賦與外力，來以改質層為分割起點將第2一體化晶圓25A分割成一個個的發光二極體晶片31。
圖9所示的發光二極體晶片31是在正面具有LED電路19之LED13A的背面貼附有第1透明構件21’，且該第1透明構件21’具有複數個貫通孔。又，在第1透明構件21’的正面形成有凹陷5、5A、5B或凹陷9。此外，在第1透明構件21’的背面貼附有第2透明構件21A’，且該第2透明構件21A’具有複數個貫通孔。
因此，在圖9所示之發光二極體晶片31上，由於在第1透明構件21’的正面形成有凹陷，所以會使第1透明構件21’的表面積增大。此外，從發光二極體晶片31的LED電路19射出並朝第1透明構件21’入射之光的一部分是在凹陷部分進行折射後進入第1透明構件21’內。
從而，在光從第1透明構件21’及第2透明構件21A’朝外部折射而射出之時，在第1及第2透明構件21’、21A’與空氣層之間的界面上之入射角成為臨界角以上之光的比例會減少，而使從第1、第2透明構件21’、21A’射出之光的量增大，並使發光二極體晶片31的亮度提升。
2‧‧‧遮罩4‧‧‧孔5、5A、5B、9‧‧‧凹陷10‧‧‧切削單元11‧‧‧光元件晶圓(晶圓)11a、21a‧‧‧正面11b、21b‧‧‧背面12‧‧‧主軸殼體13‧‧‧藍寶石基板13A‧‧‧LED14‧‧‧切削刀15‧‧‧積層體層16‧‧‧刀片罩17‧‧‧分割預定線18‧‧‧冷卻噴嘴19‧‧‧LED電路20‧‧‧工作夾台21‧‧‧第1透明基板21A‧‧‧第2透明基板21’‧‧‧第1透明構件21A’‧‧‧第2透明構件24‧‧‧聚光器(雷射頭)25‧‧‧第1一體化晶圓25A‧‧‧第2一體化晶圓27‧‧‧切斷溝29、29A‧‧‧貫通孔31‧‧‧發光二極體晶片R、X1‧‧‧箭頭T‧‧‧切割膠帶F‧‧‧環狀框架X、Y、Z‧‧‧方向
圖1是光元件晶圓的正面側立體圖。 圖2(A)是顯示將具有對應於光元件晶圓的各LED電路之複數個孔的遮罩貼附到第1透明基板之正面的情形的立體圖，圖2(B)是已將遮罩貼附在第1透明基板之正面的狀態之立體圖，圖2(C)~圖2(E)是顯示形成在第1透明基板之正面的凹陷之形狀的局部立體圖。 圖3(A)是顯示藉由雷射光束的照射而在第1透明基板之正面形成對應於光元件晶圓之各LED電路的複數個凹陷的情形之立體圖，圖3(B)是顯示凹陷之形狀的局部立體圖。 圖4(A)是顯示將於正面具有複數個凹陷之第1透明基板貼附到晶圓之背面而形成一體化之第1一體化步驟的立體圖，圖4(B)是第1一體化晶圓的立體圖。 圖5(A)是顯示將第2透明基板的正面貼附到第1一體化晶圓之第1透明基板的背面而進行一體化之第2一體化步驟的立體圖，圖5(B)是第2一體化晶圓的立體圖。 圖6是顯示透過切割膠帶而以環狀框架支撐第2一體化晶圓的支撐步驟的立體圖。 圖7是顯示將第2一體化晶圓分割成發光二極體晶片的分割步驟的立體圖。 圖8是分割步驟結束後之第2一體化晶圓的立體圖。 圖9是本發明實施形態之發光二極體晶片的立體圖。
13A‧‧‧LED
19‧‧‧LED電路
21’‧‧‧第1透明構件
21A’‧‧‧第2透明構件
31‧‧‧發光二極體晶片

Claims (4)

  1. 一種發光二極體晶片的製造方法，該發光二極體晶片的製造方法之特徵在於具備有：晶圓準備步驟，準備晶圓，該晶圓是在結晶成長用之透明基板上具有積層體層，並於該積層體層的正面以相互交叉之複數條分割預定線所區劃出之各區域中各自形成有LED電路，該積層體層形成有包含發光層的複數層半導體層；透明基板加工步驟，在涵蓋整個面形成有複數個貫通孔的第1透明基板或涵蓋整個面形成有複數個貫通孔的第2透明基板之至少其中任一個的正面或背面，對應於各LED電路來形成複數個凹陷；透明基板貼附步驟，在實施該透明基板加工步驟後，將該第1透明基板的正面貼附在晶圓的背面，並且將該第2透明基板的正面貼附在該第1透明基板的背面以形成一體化晶圓；及分割步驟，在實施該透明基板貼附步驟後，沿著該分割預定線將該晶圓和該第1及第2透明基板一起切斷以將該一體化晶圓分割成一個個的發光二極體晶片，在該透明基板加工步驟中，前述凹陷是藉由蝕刻、噴砂、雷射的任一種方式而形成。
  2. 如請求項1之發光二極體晶片的製造方法，其中在該透明基板加工步驟中所形成之前述凹陷的截面形狀為三角形、四角形、圓形的任一種。
  3. 如請求項1之發光二極體晶片的製造方法，其中該第1及第2透明基板是以透明陶瓷、光學玻璃、藍寶石、透明樹脂的任一種所形成，並且在該透明基板貼附步驟中該第1透明基板是使用透明接著劑來貼附於該晶圓的背面，該第2透明基板是使用透明接著劑來貼附於該第1透明基板的背面。
  4. 一種發光二極體晶片，具備：於正面形成有LED電路的發光二極體；貼附在該發光二極體的背面之具有複數個貫通孔的第1透明構件；及貼附在該第1透明構件的背面之具有複數個貫通孔的第2透明構件，且在該第1透明構件或該第2透明構件之至少其中任一個的正面或背面形成有凹陷，前述凹陷是藉由蝕刻、噴砂、雷射的任一種方式而形成。
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