JP2014016398A - 光走査装置及びレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光走査装置が、光を角移動させながら放射する投光部15と、投光部15から放射された光を反射して所定の走査線上に導く1以上の反射部16と、を備える。1以上の反射部16のうち少なくとも一つが、斜辺面41、第1境界面42及び第2境界面43を有した直角プリズム40を有し、直角プリズム40に入射した光は、斜辺面41を通過して第1境界面42で反射し、第2境界面43で反射して斜辺面41を通過し、直角プリズム40から出射し、直角プリズム40への入射光路が当該直角プリズム40からの出射光路と平行である。
【選択図】図5
Description
(レーザ加工装置)
図1は、本発明の実施形態に係るレーザ加工装置1を模式的に示す斜視図である。図1に示すように、レーザ加工装置1は、支持部2と光走査部3とを有している。支持部2は、少なくともワーク90を支持する機能を有しており、例えばワーク90は水平姿勢で支持される。支持部2は、ワーク90を支持しながら水平な一方向に搬送する機能を更に有していてもよい。
図2は、光走査部3の構成を示す模式図である。光走査部3は、前述のとおり、レーザ発振器4と光走査ヘッド5とを備える。光走査ヘッド5は、複数の光学素子を内蔵する筐体10と、レーザ光を走査する光学系を成す複数の光学素子又は光学ユニットとを備えている。例えば、このような光学素子又は光学ユニットには、レーザ光の光路に沿ってビーム発振器4から順に、レンズ11、プリズム12、第1折返しミラー13、第2折返しミラー14、投光部15、光反射部16及びシリンドリカルレンズ17が含まれる。図2には、筐体10が第2折返しミラー14、投光部15、光反射部16及びシリンドリカルレンズ17を収容する場合を例示しているが、これは一例に過ぎない。レンズ11、プリズム12及び第1折返しミラー13が筐体10内に配置されていてもよいし、シリンドリカルレンズ17が筐体10外に配置されていてもよい。
投光部15は、ポリゴンミラー21と、ポリゴンミラー21を回転駆動する偏向アクチュエータ22とを備える。ポリゴンミラー21は、筐体10内で回転可能に支持された偏向器であり、ポリゴンミラー21の回転軸線は、(対地の)走査方向と直交する水平な方向に延びる。偏向アクチュエータ22は、例えば、制御器(図示せず)によって制御される電気モータである。偏向アクチュエータ22は、ポリゴンミラー21を回転軸線周りの一方向に定速で回転駆動する。なお、偏向器には、ポリゴンミラー21の他、ガルバノミラーが適用されてもよい。
最後に、本実施形態に係る光走査部が2以上の光反射部を有することによって得られる作用効果について簡単に説明する。上記実施形態では、ポリゴンミラー21の回転角に応じてレーザ光の焦点距離を変える手段を特段備えてはいない。仮に光反射部が存在しなければ、レーザ光の焦点は円弧状の軌跡を描く。その軌跡の中心は偏向中心となり、その軌跡の半径は当該偏向中心から焦点までの光路長である。一方、ワーク90上の走査線は、円弧状の軌跡とは異なり、走査方向に直線状に延在する。すると、走査線上の任意の被照射点から焦点までの距離は、当該被照射点の位置(すなわち、レーザ光の偏向角度及びポリゴンミラー21の回転角度)に応じて変わってしまう。よって、ポリゴンミラー21から走査線上の任意の被照射点までの光路長は、全被照射点にわたって一定とはならず、当該被照射点の位置に応じて変わることとなる。また、レーザ光が等速で角移動していれば、レーザ光の走査線上での走査速度も一定とはならない。そこで本実施形態に係る光走査部3においては、光反射部16が、この問題を解消すべく、投光部15からのレーザ光を少なくとも2度反射してからワーク90に導くように構成される。
3 光走査部
5 光走査ヘッド
14 第2折返しミラー
15 投光部
16 光反射部
21 ポリゴンミラー
22 偏向アクチュエータ
24 反射偏向部
31 一次光反射部
32 二次光反射部
33,34 反射板
40 直角プリズム
41 第1境界面
42 第2境界面
43 斜辺面
Claims (6)
- 光を角移動させながら放射する投光部と、前記投光部から放射された光を反射して所定の走査線上に導く1以上の反射部と、を備え、
前記1以上の反射部のうち少なくとも一つが、斜辺面、第1境界面及び第2境界面を有した直角プリズムを有し、前記直角プリズムに入射した光は、前記斜辺面を通過して前記第1境界面で反射し、前記第2境界面で反射して前記斜辺面を通過し、前記直角プリズムから出射し、
前記投光部における光の角移動の回転軸線が通過する平面に投影したときに、前記直角プリズムへの入射光路が当該直角プリズムからの出射光路と平行である、光走査装置。 - 前記投光部が、光を反射して偏向する反射偏向部を有し、回転により光を前記反射偏向部から角移動させながら放射する偏向器を備え、
前記偏向器の前記反射偏向部にも、斜辺面、第1境界面及び前記第2境界面を有した直角プリズムが設けられている、請求項1に記載の光走査装置。 - 前記直角プリズムが、前記投光部及び前記1以上の反射部それぞれに適用されており、前記直角プリズムの前記斜辺面が、互いに平行に配置されており、前記投光部及び前記1以上の反射部が、一方向に互いに離れて配置されている、請求項1又は2に記載の光走査装置。
- 前記斜辺面と前記第1境界面とがなす角、前記斜辺面と前記第2境界面とがなす角は、45度である、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光走査装置。
- 前記直角プリズムの臨界角は45度以下である、請求項4に記載の光走査装置。
- 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の光走査装置を備え、前記光走査装置からのレーザ光でワークを加工して当該ワークに走査線に沿って溝を形成する、レーザ加工装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018097055A (ja) * | 2016-12-09 | 2018-06-21 | 川崎重工業株式会社 | ポリゴンミラー回転装置 |
JP2018105903A (ja) * | 2016-12-22 | 2018-07-05 | 川崎重工業株式会社 | ミラー旋回装置 |
EP3812825A4 (en) * | 2018-06-25 | 2022-04-27 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | LIGHT GUIDE DEVICE AND LASER PROCESSING DEVICE |
EP3812826A4 (en) * | 2018-06-25 | 2022-04-27 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | LIGHT GUIDE DEVICE AND LASER TREATMENT DEVICE |
JP2022145423A (ja) * | 2021-03-19 | 2022-10-04 | 株式会社東京精密 | ウエハエッジ部の改質装置及び改質方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62203117A (ja) * | 1986-03-03 | 1987-09-07 | Chiyouonpa Kogyo Kk | 光ビ−ムのスキヤンニング装置 |
JPH0475310U (ja) * | 1990-11-14 | 1992-07-01 | ||
JPH11149052A (ja) * | 1997-11-17 | 1999-06-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 走査装置 |
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2012
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62203117A (ja) * | 1986-03-03 | 1987-09-07 | Chiyouonpa Kogyo Kk | 光ビ−ムのスキヤンニング装置 |
JPH0475310U (ja) * | 1990-11-14 | 1992-07-01 | ||
JPH11149052A (ja) * | 1997-11-17 | 1999-06-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 走査装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018097055A (ja) * | 2016-12-09 | 2018-06-21 | 川崎重工業株式会社 | ポリゴンミラー回転装置 |
JP2018105903A (ja) * | 2016-12-22 | 2018-07-05 | 川崎重工業株式会社 | ミラー旋回装置 |
EP3812825A4 (en) * | 2018-06-25 | 2022-04-27 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | LIGHT GUIDE DEVICE AND LASER PROCESSING DEVICE |
EP3812826A4 (en) * | 2018-06-25 | 2022-04-27 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | LIGHT GUIDE DEVICE AND LASER TREATMENT DEVICE |
JP2022145423A (ja) * | 2021-03-19 | 2022-10-04 | 株式会社東京精密 | ウエハエッジ部の改質装置及び改質方法 |
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