JP2014011353A - シート剥離装置およびシート剥離方法 - Google Patents

Abstract

【課題】剥離用テープを連続的に供給して接着シートを剥離する際、それらが安易に剥離してしまうことを防止するシート剥離装置およびシート剥離方法を提供する。
【解決手段】第１剥離用テープＰＴ１をおよび第２剥離用テープＰＴ２を、それぞれ第１支持ローラ３１Ａおよび第２支持ローラ３１Ｂに繰り出し可能に支持する。第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２のうち、一方の終端領域に他方の先端領域を繋ぎ手段６で繋ぎ合わせる。第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２が装置の各部位に接着する不都合がなく、順次繋ぎ合わされて連続して繰り出され、接着シートＡＳに順次貼付することができ、剥離用テープＰＴを交換する際に装置を停止する必要がなく、接着シートＡＳを剥離する作業の効率を向上できる。
【選択図】図１

Description

本発明は、被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置およびシート剥離方法に関する。

従来、半導体製造工程において、半導体チップを小型化するために半導体ウェハ（以下単にウェハという場合がある）の表面（回路が形成された面）に接着シートを貼付し、裏面を研削する工程があり、この接着シートは切削後剥離される。このような接着シートの剥離装置としては、接着シートの端部に接着した剥離用テープを引っ張って剥離するものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
この特許文献１に記載されたような従来の剥離装置では、剥離用テープがなくなり、新たな剥離用テープに交換するときに、使い終わった剥離用テープの巻芯等の残物を取り外して新たな剥離用テープを取り付け、この新たな剥離用テープを再度装置内に掛け回さなければならない。そして、このようなテープ交換作業を行う間は、剥離装置の操業を停止しておかなければならないので、当該剥離装置が接着シートを剥離する単位時間当たりの能力が低減してしまうという不都合がある。
そこで、例えば特許文献２に記載のロールラベルの自動つなぎ装置を利用し、剥離用テープを繋ぎ合わせることが考えられる。

特開平１１−１６８６２号公報 特開平３−１０２０５７号公報

しかしながら、剥離用テープは、巻回した状態で取り扱われることがあるため、接着面の反対面に接着剤が接着しないように剥離処理が行われている場合があり、上記特許文献２に記載のような自動つなぎ装置では、一方の剥離用テープにおける剥離処理が行われている面に、他方の剥離用テープにおける接着面を当接させてそれらを繋ぎ合せる構成となるので、繋ぎ合せ後にそれらが剥離してしまうという不都合を発生する。
本発明の目的は、剥離用テープを連続的に供給して接着シートを剥離する際、それらが安易に剥離してしまうことを防止することができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供することである。

前記目的を達成するために、本発明のシート剥離装置は、一方の面に接着面を有する剥離用テープを被着体に貼付された接着シートに貼付して当該剥離用テープに張力を付与することにより前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、第１剥離用テープおよび第２剥離用テープの少なくとも一方を繰り出す繰出手段と、前記第１剥離用テープおよび第２剥離用テープの一方の終端領域に、前記第１剥離用テープおよび前記第２剥離用テープの他方の先端領域を当接させて繋ぎ合わせる繋ぎ手段と、前記第１剥離用テープまたは第２剥離用テープの接着面を前記接着シートに貼付する貼付手段と、前記接着シートに貼付された剥離用テープと前記被着体とを相対移動させて当該剥離用テープに張力を付与する移動手段とを備え、前記繋ぎ手段は、前記第１剥離用テープおよび前記第２剥離用テープの接着面同士を当接させて繋ぎ合わせることを可能にするテープガイド手段を備えている、という構成を採用している。

この際、本発明のシート剥離装置では、前記繋ぎ手段は、前記第１剥離用テープおよび前記第２剥離用テープの一方の終端領域における繋ぎ合わされた部分よりも終端側、または、前記第１剥離用テープおよび前記第２剥離用テープの他方の先端領域における繋ぎ合わされた部分よりも先端側を除去する除去手段を備えている、ことが好ましい。

一方、本発明のシート剥離方法は、一方の面に接着面を有する剥離用テープを被着体に貼付された接着シートに貼付して当該剥離用テープに張力を付与することにより前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、第１剥離用テープおよび第２剥離用テープの少なくとも一方を繰り出す工程と、前記第１剥離用テープおよび第２剥離用テープの一方の終端領域に、前記第１剥離用テープおよび前記第２剥離用テープの他方の先端領域を繋ぎ合わせるときに、前記第１剥離用テープおよび前記第２剥離用テープの接着面同士を当接させて繋ぎ合わせる工程と、記第１剥離用テープまたは第２剥離用テープの接着面を前記接着シートに貼付する工程と、前記接着シートに貼付された剥離用テープと前記被着体とを相対移動させて当該剥離用テープに張力を付与する工程とを有する、という構成を採用している。

以上のような本発明によれば、第１剥離用テープおよび第２剥離用テープの接着面同士を当接させて繋ぎ合わせることを可能にするテープガイド手段を繋ぎ手段に採用したので、それらが安易に剥離してしまうといった不都合を防止することができる。
また、終端領域の繋ぎ合わせた部分より終端側、または先端領域の繋ぎ合わせた部分より先端側を除去することにより、接着シートの剥離には余分な部分が除去され、装置の他の部位に絡み付いたり、接着したりする等の不都合の他、余分な部分により剥離用テープを接着シートへ適切に貼付できず、接着シートを適切に剥離できなくなる等の不都合が生じることを防止できる。

本発明の一実施形態に係るシート剥離装置を示す側面図。 （Ａ）〜（Ｄ）は、図１のシート剥離装置の動作説明図。

以下、本発明の一実施形態に係るシート剥離装置を図１および図２に基づいて説明する。
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１を正規の方向（付した番号が適切な向きとなる方向）から見た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥方向とする。

［シート剥離装置の構成］
図１において、シート剥離装置１は、一方の面に接着面を有する剥離用テープＰＴ（ＰＴ１，ＰＴ２）を被着体としてのウェハＷＦの表面に貼付された接着シートＡＳに貼付して当該剥離用テープＰＴに張力を付与することによりウェハＷＦの表面から接着シートＡＳを剥離する装置であって、ウェハＷＦを保持する保持手段２と、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の少なくとも一方を繰り出す繰出手段３と、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の一方の終端領域に、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の他方の先端領域を当接させて繋ぎ合わせる繋ぎ手段６と、第１剥離用テープＰＴ１または第２剥離用テープＰＴ２の接着面を接着シートＡＳに貼付する貼付手段４と、接着シートＡＳに貼付された剥離用テープＰＴとウェハＷＦとを相対移動させて剥離用テープＰＴに張力を付与する移動手段５と、を備えて構成されている。

保持手段２は、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段に連通された吸引口を介してウェハＷＦを他方の面（下面）から吸着保持するテーブル２１を備え、移動手段５を構成する駆動機器である直動モータ５３のスライダ５４上に支持されている。

繰出手段３は、フレーム３０と、フレーム３０に設けられ第１剥離用テープＰＴ１を繰り出し可能に支持する第１支持ローラ３１Ａと、フレーム３０に設けられ第２剥離用テープＰＴ２を繰り出し可能に支持する第２支持ローラ３１Ｂと、フレーム３０に設けられたガイドローラ３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ，３２Ｄと、投光器３３１Ａおよび受光器３３２Ａ等の光学センサやカメラ等の撮像手段等で構成され、第１剥離用テープＰＴ１の残量が少なくなったことを検出可能な第１検出手段３３Ａと、投光器３３１Ｂおよび受光器３３２Ｂ等の光学センサやカメラ等で構成され、第２剥離用テープＰＴ２の残量が少なくなったことを検出可能な第２検出手段３３Ｂと、フレーム３０の下部に設けられ繰り出された剥離用テープＰＴ（ＰＴ１，ＰＴ２）の先端領域を下方から支持するテープ支持部３４と、剥離用テープＰＴの先端領域を一対の把持爪３５Ａで把持する駆動機器としてのチャックシリンダ３５と、チャックシリンダ３５をそのスライダ３５Ｂで支持する駆動機器である直動モータ３５Ｃと、テープ支持部３４の上方に設けられ、繰り出された剥離用テープＰＴを切断するテープ切断部３６と、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の一方の終端領域に、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の他方の先端領域を繋ぎ合わせる繋ぎ手段６とを備えている。なお、第１および第２剥離用テープＰＴ１，ＰＴ２は、第１および第２基材テープＢＴ１，ＢＴ２の一方の面に、それぞれ感熱接着性の第１および第２接着剤層ＡＤ１，ＡＤ２が積層され、当該第１および第２接着剤層ＡＤ１，ＡＤ２における表出面が接着面とされる。

テープ支持部３４は、フレーム３０に固定されるブッシュ３４１と、このブッシュ３４１に進退自在に支持されるロッド３４２と、このロッド３４２の先端に固定されるとともにカッター溝３４３を有するテープ受け板３４４と、テープ受け板３４４をブッシュ３４１から突出する方向に付勢するコイルばね３４５とを有して構成されている。
テープ切断部３６は、剥離用テープＰＴを切断するカッター刃３６１と、カッター刃３６１を上下方向に駆動させる駆動機器であるエアシリンダ３６２とを備えている。

繋ぎ手段６は、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の一方の終端領域と、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の他方の先端領域とを挟み込むことで、それらを繋ぎ合わせる挟込手段６１と、挟込手段６１が第１基材テープＢＴ１および第２基材テープＢＴ２側からそれらを挟み込むことで、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の接着面同士を当接させて繋ぎ合わせることを可能にするテープガイド手段６２と、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の一方の終端領域における繋ぎ合わされた部分よりも終端側、または、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の他方の先端領域における繋ぎ合わされた部分よりも先端側を除去する除去手段６３とを備えている。

挟込手段６１は、駆動機器としての直動モータ６１２Ａの出力軸６１１Ａに支持されるとともに、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段に連通された吸引口によって剥離用テープＰＴを吸着保持可能な第１支持部材６１３Ａと、駆動機器としての直動モータ６１２Ｂの出力軸６１１Ｂに支持されるとともに、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段に連通された吸引口によって剥離用テープＰＴを吸着保持可能な第２支持部材６１３Ｂとを備えている。第１および第２支持部材６１３Ａ、６１３Ｂのうち少なくとも一方には、コイルヒータや赤外線ヒータ等の図示しない加熱手段が内蔵されている。

テープガイド手段６２は、駆動機器である直動モータ６２１のスライダ６２２に回転可能に支持されたローラ６２３を備えている。

除去手段６３は、第１支持部材６１３Ａの右側に設けられた駆動機器としての直動モータ６３１の出力軸６３２に支持された第１切断刃６３３と、第２支持部材６１３Ｂの右側に設けられた駆動機器としての直動モータ６３４の出力軸６３５に支持された第２切断刃６３６と、第２支持部材６１３Ｂの左側に設けられた駆動機器としての直動モータ６３７の出力軸６３８に支持された第３切断刃６３９とを備えている。

貼付手段４は、駆動機器である直動モータ４１の出力軸４２の下端部に設けられた押圧ヘッド４３と、この押圧ヘッド４３下端の押圧面部４４を加熱するコイルヒータや赤外線ヒータ等の加熱手段４５とを備えている。

［シート剥離装置の動作］
次に、本実施形態における接着シートＡＳの剥離方法として、シート剥離装置１の動作について図面を参照して説明する。
先ず、図１に示すように、第１剥離用テープＰＴ１を第１支持ローラ３１Ａに支持させ、当該第１剥離用テープＰＴ１を引き出してガイドローラ３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ，３２Ｄに掛け渡し、その先端領域をテープ受け板３４４上に位置させておく。一方、第２剥離用テープＰＴ２を第２支持ローラ３１Ｂに支持させ、当該第２剥離用テープＰＴ２を引き出し、繋ぎ手段６が図示しない減圧手段を駆動して吸着力を付与する第２支持部材６１３Ｂにその先端領域を吸着保持させておく。そして、図示しない搬送手段がウェハＷＦをテーブル２１上の所定位置に搬送すると、保持手段２が図示しない減圧手段を駆動し、吸引口を介してウェハＷＦをテーブル２１で吸着保持する。
そして、移動手段５が直動モータ５３を駆動し、ウェハＷＦに貼付された接着シートＡＳの左端を押圧面部４４の左端の直下に位置させると、繰出手段３が直動モータ３５Ｃを駆動し、下方に位置する把持爪３５Ａでテープ受け板３４４をブッシュ３４１方向に押し込み、第１剥離用テープＰＴ１の先端領域を上下の把持爪３５Ａ間に受け入れる。次いで、繰出手段３がチャックシリンダ３５を駆動し、第１剥離用テープＰＴ１の先端領域を把持爪３５Ａで挟持し、直動モータ３５Ｃを駆動し、チャックシリンダ３５を左方向に移動させ、第１剥離用テープＰＴ１を所定長さ引き出して停止する。

次に、貼付手段４が直動モータ４１を駆動し、図１中二転鎖線で示すように、押圧ヘッド４３を下降させて押圧面部４４で第１剥離用テープＰＴ１を接着シートＡＳに押圧し、加熱手段４５を駆動し、押圧面部４４を加熱して第１剥離用テープＰＴ１を接着シートＡＳに貼付する。次いで、繰出手段３がエアシリンダ３６２を駆動し、カッター刃３６１をカッター溝３４３内に下降させることで第１剥離用テープＰＴ１を切断する。その後、貼付手段４が直動モータ４１を駆動し、押圧ヘッド４３を上昇させ、繰出手段３がエアシリンダ３６２を駆動し、カッター刃３６１を上昇させる。

次に、移動手段５が直動モータ５３を駆動し、テーブル２１を左方向に移動させることで、接着シートＡＳは順次ウェハＷＦから剥離され、接着シートＡＳ全体が剥離されたウェハＷＦは、適宜な搬送装置でテーブル２１から別の工程に搬送される。ウェハＷＦから剥離された接着シートＡＳは、図示しない回収手段によってチャックシリンダ３５から離脱させて回収され、以降上記同様の動作が繰り返される。

上述の動作が繰り返され、図２（Ａ）に示すように、第１剥離用テープＰＴ１の残量が少なくなり、受光器３３２Ａが投光器３３１Ａの光を受光すると、挟込手段６１が直動モータ６１２Ａ、６１２Ｂを駆動し、第１および第２支持部材６１３Ａ，６１３Ｂを近接する方向にそれぞれ移動させ、第１および第２支持部材６１３Ａ，６１３Ｂ間に第１剥離用テープＰＴ１の終端領域および第２剥離用テープＰＴ２の先端領域を挟み込み、図示しない加熱手段が第１および第２支持部材６１３Ａ，６１３Ｂのうち少なくとも一方を加熱して繋ぎ合わせる。この繋ぎ合わせの際、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の接着面（接着剤層ＡＤ１，ＡＤ２における表出面）同士が当接する状態となるので、第１および第２支持部材６１３Ａ，６１３Ｂに第１または第２接着剤層ＡＤ１，ＡＤ２が接着してしまう不都合は発生しない。ここで、第１および第２支持部材６１３Ａ，６１３Ｂで押圧されて貼付された位置を繋ぎ部分ＰＴＸという。

そして、除去手段６３が直動モータ６３１を駆動し、第１切断刃６３３を下降させて第１剥離用テープＰＴ１における繋ぎ部分ＰＴＸより終端側を切断除去する。
次いで、図２（Ｂ）に示すように、挟込手段６１が直動モータ６１２Ａ，６１２Ｂを駆動し、第１および第２支持部材６１３Ａ，６１３Ｂを離間させるとともに、テープガイド手段６２が直動モータ６２１を駆動し、ローラ６２３を右方に移動させて第２剥離用テープＰＴ２を掛け回す。
これにより、第１剥離用テープＰＴ１に繋がる第２剥離用テープＰＴ２が順次繰り出され、第１剥離用テープＰＴ１と同様の第２剥離用テープＰＴ２による接着シートＡＳの剥離が継続される。なお、第２剥離用テープＰＴ２によって剥離が行われている間に、作業者が第１支持ローラ３１Ａに残った第１剥離用テープＰＴ１の紙管などの残物を取り除き、新たな第１剥離用テープＰＴ１を第１支持ローラ３１Ａに支持させ、図２（Ｃ）に示すように、当該新たな第１剥離用テープＰＴ１を引き出し、繋ぎ手段６が図示しない減圧手段を駆動して吸着力を付与する第１支持部材６１３Ａにその先端領域を吸着保持させておく。

さらに、第２剥離用テープＰＴ２による接着シートＡＳの剥離動作が繰り返され、図２（Ｃ）に示すように、第２剥離用テープＰＴ２の残量が少なくなり、受光器３３２Ｂが投光器３３１Ｂの光を受光すると、挟込手段６１が直動モータ６１２Ａ，６１２Ｂを駆動し、図２（Ｄ）に示すように、第１および第２支持部材６１３Ａ，６１３Ｂを近接する方向にそれぞれ移動させ、第１および第２支持部材６１３Ａ，６１３Ｂ間に第１剥離用テープＰＴ１の先端領域およびテープガイド手段６２で折り返されている第２剥離用テープＰＴ２の終端領域を挟み込み、図示しない加熱手段が第１および第２支持部材６１３Ａ，６１３Ｂのうち少なくとも一方を加熱して繋ぎ合わせる。この繋ぎ合わせの際も、接着面同士が当接する状態となるので、第１および第２支持部材６１３Ａ，６１３Ｂに第１または第２接着剤層ＡＤ１，ＡＤ２が接着してしまう不都合は発生しない。
そして、除去手段６３が直動モータ６３４，６３７を駆動し、第２切断刃６３６および第３切断刃６３９を上昇させ、第２剥離用テープＰＴ２における第２剥離用テープＰＴ２の繋ぎ部分ＰＴＸよりも終端側となるテープガイド手段６２で折り返された部分および、第２支持部材６１３Ｂから第２支持ローラ３１Ｂに連なる部分を切断除去する。
次いで、挟込手段６１が直動モータ６１２Ａ，６１２Ｂを駆動し、第１および第２支持部材６１３Ａ，６１３Ｂを離間させるとともに、テープガイド手段６２が直動モータ６２１を駆動し、ローラ６２３を図２（Ａ）に示す位置に移動させる。これにより、第２剥離用テープＰＴ２に繋がる第１剥離用テープＰＴ１が順次繰り出され、上記同様の接着シートＡＳの剥離が継続される。なお、第１剥離用テープＰＴ１によって剥離が行われている間に、作業者が第２支持ローラ３１Ｂに残った残物を取り除き、新たな第２剥離用テープＰＴ２を第２支持ローラ３１Ｂに支持させ、上述と同様に、第２支持部材６１３Ｂにその先端領域を吸着保持させておく。
なお、図２（Ｂ）で示すように、繋ぎ部分ＰＴＸで第１剥離用テープＰＴ１と第２剥離用テープＰＴ２とが２層に重なり合う部分や、図２（Ｄ）で示すように、繋ぎ部分ＰＴＸで第１剥離用テープＰＴ１と第２剥離用テープＰＴ２とが折り返されて３層に重なり合う部分が貼付手段４にて接着シートＡＳに貼付される位置まで繰り出された場合には、この部分は貼付手段４にて貼付させる動作を実施せず、テープ切断部３６にて切断して廃棄し、チャックシリンダ３５により新たに剥離用テープＰＴを把持して引き出す。これら重なり合う部分の検出は、光学センサや撮像手段等の検出手段にて検出したり、剥離用テープＰＴの繰り出し量にて検出したりすることができる。

以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の接着面同士を当接させて繋ぎ合わせることを可能にするテープガイド手段６２を繋ぎ手段６に採用したので、それらが安易に剥離してしまうといった不都合を防止することができる。

［変形例］
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

例えば、前記実施形態では、被着体が半導体ウェハＷＦである場合を示したが、被着体は半導体ウェハＷＦに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板、基板、光ディスク等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウェハＷＦは、シリコンウェハや化合物ウェハ等が例示でき、この被着体に貼付された接着シート（シート、フィルム、テープ等）を剥離する剥離装置や剥離方法にも本発明を適用することができる。
さらに、前記実施形態では、剥離用テープＰＴとして感熱接着性のものを用いたが、これに限らず、感圧接着性や感光接着性等のものを用いてもよい。また、剥離用テープＰＴは、例えば、基材テープＢＴと接着剤層ＡＤとの間に中間層を有するものや、基材テープＢＴ上に更に別の層を有するものでもよいし、基材テープＢＴのない接着剤層ＡＤのみで構成されたものでもよい。
さらに、接着シートＡＳは、適宜なシート、フィルム、テープ等であってもよい。

また、ウェハＷＦと剥離用テープＰＴとの両方を移動させて相対移動させたり、ウェハＷＦを停止させておいて剥離用テープＰＴを移動させたりする構成としてもよい。
そして、剥離用テープＰＴの終端領域を検出する第１検出手段３３Ａおよび第２検出手段３３Ｂとしては、例えば剥離用テープＰＴの終端領域に設けた色や磁気を検出したり、剥離用テープＰＴの巻芯の回転数をカウントして剥離用テープＰＴの繰り出し量を検出することで終端領域を検出したりする等、既知の方法を適用できる。

さらに、第２支持ローラ３１Ｂを第２支持部材６１３Ｂより右側に配置して、第２接着剤層ＡＤ２が上方に向く状態で繰り出し可能に支持させる。そして、第１剥離用テープＰＴ１の終端領域に、第２剥離用テープＰＴ２の先端領域を繋ぎ合わせた後、第２支持ローラ３１Ｂを図１の左右方向に直交する面内で１８０度回転させることで、第２接着剤層ＡＤ２が下方に向く状態とする構成としてもよい。また、第２剥離用テープＰＴ２自体を反転する他、繋ぎ合わせた後の繰り出される第２剥離用テープＰＴ２を繰出途中で上下反転させてもよい。
また、剥離用テープＰＴが紫外線、赤外線、マイクロ波、超音波等のエネルギー線で接着力を増す（発揮する）ものの場合、加熱手段に代えて、紫外線照射装置、赤外線照射装置、マイクロ波照射装置、超音波照射装置等のエネルギー線照射装置としてもよいし、それらを適宜組み合わせたものとしてもよいし、予めエネルギー線照射装置でエネルギー線を照射しておいて接着剤層ＡＤが接着力を増した状態で、挟込手段６１で挟み込んでそれらを繋ぎ合せてもよい。

さらに、除去手段６３を設けず、例えば繋ぎ部分ＰＴＸの位置が繰り出された際に、貼付手段４にて貼付することなくテープ切断部３６にて切断して除去する等してもよい。
また、テープガイド手段６２でローラ６２３に掛け回された部分を切除する場合に限らず、例えば、ローラ６２３を前後方向に移動可能に設け、ローラ６２３を第２剥離用テープＰＴ２の掛け回された部分から引き抜くように移動させたり、ローラ６２３を軸方向の一端側が倒れ込むように回動可能に設け、ローラ６２３を第２剥離用テープＰＴ２の掛け回された部分から抜き取るように回動させたりして、第２剥離用テープＰＴ２の掛け回された部分からローラ６２３を外す等してもよい。
さらに、挟込手段６１は、圧縮エアの噴出により第１、第２剥離用テープＰＴ１，ＰＴ２の接着面同士を当接させて繋ぎ合せる等、他の構成を採用することができる。

また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的または間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

１ シート剥離装置
３ 繰出手段
４ 貼付手段
５ 移動手段
６ 繋ぎ手段
６１ 挟込手段
６２ テープガイド手段
６３ 除去手段
ＡＳ 接着シート
ＰＴ 剥離用テープ
ＰＴ１ 第１剥離用テープ
ＰＴ２ 第２剥離用テープ
ＷＦ 半導体ウェハ（被着体）

Claims (3)

1. 一方の面に接着面を有する剥離用テープを被着体に貼付された接着シートに貼付して当該剥離用テープに張力を付与することにより前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、
   第１剥離用テープおよび第２剥離用テープの少なくとも一方を繰り出す繰出手段と、
   前記第１剥離用テープおよび第２剥離用テープの一方の終端領域に、前記第１剥離用テープおよび前記第２剥離用テープの他方の先端領域を当接させて繋ぎ合わせる繋ぎ手段と、
   前記第１剥離用テープまたは第２剥離用テープの接着面を前記接着シートに貼付する貼付手段と、
   前記接着シートに貼付された剥離用テープと前記被着体とを相対移動させて当該剥離用テープに張力を付与する移動手段とを備え、
   前記繋ぎ手段は、前記第１剥離用テープおよび前記第２剥離用テープの接着面同士を当接させて繋ぎ合わせることを可能にするテープガイド手段を備えていることを特徴とするシート剥離装置。
2. 前記繋ぎ手段は、前記第１剥離用テープおよび前記第２剥離用テープの一方の終端領域における繋ぎ合わされた部分よりも終端側、または、前記第１剥離用テープおよび前記第２剥離用テープの他方の先端領域における繋ぎ合わされた部分よりも先端側を除去する除去手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
3. 一方の面に接着面を有する剥離用テープを被着体に貼付された接着シートに貼付して当該剥離用テープに張力を付与することにより前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、
   第１剥離用テープおよび第２剥離用テープの少なくとも一方を繰り出す工程と、
   前記第１剥離用テープおよび第２剥離用テープの一方の終端領域に、前記第１剥離用テープおよび前記第２剥離用テープの他方の先端領域を繋ぎ合わせるときに、前記第１剥離用テープおよび前記第２剥離用テープの接着面同士を当接させて繋ぎ合わせる工程と、
   前記第１剥離用テープまたは第２剥離用テープの接着面を前記接着シートに貼付する工程と、
   前記接着シートに貼付された剥離用テープと前記被着体とを相対移動させて当該剥離用テープに張力を付与する工程とを有することを特徴とするシート剥離方法。

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