JP2013526071A - Euvコレクター - Google Patents
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Abstract
【選択図】図2
Description
Claims (14)
- 少なくとも1つのEUV放射線源(3;31;32)の放射を主強度スポット(23)に伝達するためのEUVコレクター(15;32;36;43)であって、
放射線源(3;31;32)からのEUV放射線(14)を伝達強度スポット(23,48,49)に伝達する少なくとも1つのかすめ入射ミラー(251から254)を含む少なくとも1つのコレクターサブユニット(24;37,38;44から46)と、
臨界かすめ入射角よりも小さい入射角で入射を受ける楕円体ミラー面(29;41,42;52,53)を有する少なくとも1つの楕円体ミラー(28;33,34;39,40;50,51)と、
を含み、
少なくとも1つのかすめ入射ミラー(251から254)を含む1つよりも多くないコレクターサブユニット(24;37,38;44から46)が、前記EUV放射線源(3;31;32)の位置と前記伝達強度スポット(23,48,49)の間の該EUV放射線源(3;31;32)によって放出されるEUV部分ビーム(14)のビーム経路に、各EUV部分ビーム(14)が、少なくとも1つのかすめ入射ミラーを含む1つよりも多くない単一のコレクターサブユニット(24;37,38;44から46)によって反射されるように配置され、
前記EUV放射線源(3;31;32)によって放出される前記EUV部分ビーム(14)の少なくとも一部が、少なくとも1つのかすめ入射ミラー(251から254)を含む前記コレクターサブユニット(24;37,38;44)によってのみ反射される、
ことを特徴とするコレクター。 - 少なくとも1つのかすめ入射ミラー(251から254)を含むちょうど1つのコレクターサブユニット(24)を特徴とする請求項1に記載のコレクター。
- 少なくとも1つのかすめ入射ミラー(251から254)を含むちょうど2つのコレクターサブユニット(37,38;53,55)を特徴とする請求項1に記載のコレクター。
- 少なくとも1つのかすめ入射ミラー(251から254)を含む前記少なくとも1つのコレクターサブユニット(45,46)は、前記放射線源(3)からの前記EUV放射線(142,143)を中間強度スポット(48,49)に伝達することを特徴とする請求項1に記載のコレクター。
- 少なくとも1つのかすめ入射ミラー(251から254)及び楕円体ミラー(28;33;39,40;50,51)を含むちょうど1つのコレクターサブユニット(24;37,38;45,46)が、前記EUV放射線源(3;31及び32)の位置と前記主強度スポット(23)の間の該EUV放射線源(3;31;32)によって放出されるEUV部分ビーム(14)の前記ビーム経路に配置されることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のコレクター。
- 前記楕円体ミラー(28;33)によって反射されたEUV放射線(141)が、少なくとも1つのかすめ入射ミラー(251から254)を含む前記コレクターサブユニット(24)内の貫通開口部(31)を通じて前記主強度スポット(23)に直接に案内されるような配列を特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のコレクター。
- 前記楕円体ミラー(34)によって反射されたEUV放射線(14a)が、少なくとも1つのかすめ入射ミラー(251から254)を含む前記コレクターサブユニット(24)の周囲に配置された空間領域を通じて前記主強度スポット(23)に直接に案内されるような配列を特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のコレクター。
- 少なくとも1つのかすめ入射ミラー(251から254)を含む複数のコレクターサブユニット(44から46)が、EUV放射線源(3)の前記位置の周囲に配置可能であることを特徴とする請求項4から請求項7のいずれか1項に記載のコレクター。
- 少なくとも1つのEUV放射線源(3;31;32)の放射を主強度スポット(23)に伝達するためのコレクター(15;33;36;43)であって、
放射線源(3)からのEUV放射線(14)を強度スポット(23)に伝達する少なくとも1つのかすめ入射ミラー(541,542;56,57)を含む少なくとも2つのコレクターサブユニット(53,55)、
を含み、
前記コレクターサブユニット(55)のうちの1つが、前記EUV放射線(14)を反射するために利用される外壁を有する少なくとも1つかすめ入射ミラーシェル(57)を含み、
前記コレクターサブユニット(53)のうちの別の1つが、前記EUV放射線(14)を反射するために利用される内壁を有する少なくとも1つかすめ入射ミラーシェル(541,542)を含む、
ことを特徴とするコレクター。 - 結像光学系(9)によって結像可能である物体視野(5)を照明するための請求項1から請求項9のいずれか1項に記載のコレクター、
を含むことを特徴とする照明光学系。 - 請求項10に記載の照明光学系と、
少なくとも1つのEUV放射線源(3;31;32)と、
を含むことを特徴とする照明系。 - 請求項11に記載の照明系と、
物体視野(5)を像視野(10)に結像するための結像光学系(9)と、
を含むことを特徴とする投影露光装置(1)。 - 微細又はナノ構造化構成要素を生成する方法であって、
レチクル(7)を準備する段階と、
照明光束(14)に対して感受性であるコーティングを有するウェーハ(12)を準備する段階と、
請求項12に記載の投影露光装置を用いて前記レチクルの少なくとも一部分を前記ウェーハ(12)上に投影する段階と、
前記照明光束(14)への露光の後に前記ウェーハ(12)上の前記感光層を現像する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 請求項13に記載の方法に従って生成された構成要素。
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