JP2013254907A - 量子カスケード半導体レーザ - Google Patents
量子カスケード半導体レーザ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013254907A JP2013254907A JP2012131076A JP2012131076A JP2013254907A JP 2013254907 A JP2013254907 A JP 2013254907A JP 2012131076 A JP2012131076 A JP 2012131076A JP 2012131076 A JP2012131076 A JP 2012131076A JP 2013254907 A JP2013254907 A JP 2013254907A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor layer
- semiconductor
- layer
- quantum cascade
- type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/34—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers
- H01S5/3401—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers having no PN junction, e.g. unipolar lasers, intersubband lasers, quantum cascade lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/065—Mode locking; Mode suppression; Mode selection ; Self pulsating
- H01S5/0651—Mode control
- H01S5/0653—Mode suppression, e.g. specific multimode
- H01S5/0655—Single transverse or lateral mode emission
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y20/00—Nanooptics, e.g. quantum optics or photonic crystals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/22—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure
- H01S5/2205—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers
- H01S5/2218—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers having special optical properties
- H01S5/2219—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers having special optical properties absorbing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/22—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure
- H01S5/227—Buried mesa structure ; Striped active layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/34—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers
- H01S5/3401—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers having no PN junction, e.g. unipolar lasers, intersubband lasers, quantum cascade lasers
- H01S5/3402—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers having no PN junction, e.g. unipolar lasers, intersubband lasers, quantum cascade lasers intersubband lasers, e.g. transitions within the conduction or valence bands
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/22—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure
- H01S5/2205—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers
- H01S5/2218—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers having special optical properties
- H01S5/222—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers having special optical properties having a refractive index lower than that of the cladding layers or outer guiding layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/22—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure
- H01S5/2205—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers
- H01S5/2222—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers having special electric properties
- H01S5/2224—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers having special electric properties semi-insulating semiconductors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/22—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure
- H01S5/2205—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers
- H01S5/2222—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers having special electric properties
- H01S5/2226—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers having special electric properties semiconductors with a specific doping
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geometry (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
【解決手段】量子カスケード半導体レーザ11では、埋め込み領域15の第1半導体層17が、メサ導波路13に接する側部17aと、支持基体主面21aに接する底部17bとを有しており、この第1半導体層17は半絶縁性半導体及びp型半導体いずれか一方を含む。第2半導体層19は、n型ドーパントを含むn型半導体を備える。埋め込み領域15内の半導体層にはドーパントが添加されているので、浸み出し光成分は、半導体内のドーパントに吸収されて減衰する。これ故に、埋め込み領域15の上記構造は、基本横モードを余り減衰させず、高次横モードを選択的に減衰させる。その結果、電流増加時の高次モード発振を効果的に抑制でき、高電流域まで安定して基本横モードのレーザ発振が可能になる。
【選択図】図1
Description
図5〜図8に示される量子カスケード半導体レーザは、半導体基板上に設けられたメサ導波路と、このメサ導波路を埋め込むようにメサ導波路の両側を覆う埋め込み領域とを備える。メサ導波路は、素子中央部において半導体基板上に設けられ、また下部クラッド層、下部光閉じ込め層、コア層、上部光閉じ込め層、上部クラッド層、及びコンタクト層を含む。埋め込み領域は、メサ導波路の両側に順に積層を成す第1領域とこの第1領域上に第2領域から構成されるが形成されている。第1領域は、半絶縁半導体及び/又はp型半導体から成る。第2領域はn型半導体を含み、第1領域に接触を成す。第1領域はメサ導波路の両側に接触を成す。
下部クラッド層:n型InP。
下部光閉じ込め層:GaInAs。
コア層の発光層:GaInAs/AlInAsの超格子列。
コア層の注入層:GaInAs/AlInAsの超格子列。
上部光閉じ込め層:GaInAs。
上部クラッド層:n型InP。
コンタクト層:n型GaInAs。
絶縁膜(誘電体膜):SiO2、SiON、SiN、アルミナ。
上部電極:Ti/Au。
半導体基板:n−InP基板。
下部電極:Ti/Au。
中赤外領域の発光を生成する量子カスケード半導体レーザを構成する半導体材料はInPに近い格子定数を有するので、基板にはInPを用いる。これによって、InP基板上に、QCLを構成する半導体層を良好に結晶成長できる。下部クラッド層及び上部クラッド層にはInP半導体が一般に用いられる。InP半導体はInP基板に格子整合するので、InP基板上への良好な結晶成長が容易であり、且つ熱伝導性がよい。このため、InPをクラッド層に用いることより、コア層からの良好な放熱性が得られ、量子カスケード半導体レーザの温度特性が向上する。
(構造例1)
埋め込み領域は、図5に示されるように、第2領域の全体はn型半導体から成し、この第1領域に接触を成すと共に、絶縁膜は第2領域に接触を成す。
埋め込み領域は、図6に示されるように、第2領域の主要部はn型半導体から成し、この第1領域に接触を成すと共に第2領域の最上層はp型または半絶縁性半導体からなる。絶縁膜は第2領域の最上層に接触を成す。第2領域のn型半導体は、p型半導体又は半絶縁性半導体によって、メサ導波路、及びメサ導波路に接続される導電体から隔置される。
埋め込み領域の第1領域は、p型または半絶縁の高抵抗半導体から成り、メサ導波路の側壁(図5及び図6におけるC領域)上と、基板主面、または基板主面上の半導体層と接する領域(図5及び図6におけるD領域)上とに形成される。この第1領域は、キャリアである電子に対して埋め込み領域を高抵抗化し、メサ導波路領域に電流を閉じ込めるために寄与する。半絶縁半導体の利用はそれ自体の高抵抗性により、またp型半導体層の利用はこのp型半導体層とその周囲のn型半導体やn型基板との間の逆バイアスのpn接合により、埋め込み領域を高抵抗化する。半絶縁半導体としては、例えばFe、Ti、Cr、Co等の、電子をトラップする深い準位を禁制帯中に形成可能な遷移金属を半導体に添加することにより、半絶縁性が得られる。これらの遷移金属の添加により、InP基板と格子整合し良好な結晶成長が可能なInPやAlInAs等が半絶縁化され、電子に対して例えば105Ω・cm以上の充分な高抵抗が得られる。
実施例1では、埋め込み領域における第2領域の全体が1種類のn型半導体で形成されている。しかしながら、第2領域の構造は、これに限定されるものではなく、第2領域は、異なる材料、異なる導電型、異なるドーパント濃度の半導体を組み合わせて構成されていても良い。第2領域は、例えば2種の半導体層A及びBから構成されることができる。図7及び図8の構造においては、導波光の高次横モードを抑制するために、半導体層Aには、中赤外域の光吸収が可能であるn型半導体が用いられる。しかし、半導体層Bは、後述の通り、必要に応じて、異なる材料、異なる導電型、異なるドーパント濃度の半導体層を使用できる。本構造においても、半導体層Aの寄与により、実施例1と同様に高次モード抑制に有効である。
ここで、材料が異なる半導体層A及びBの具体例を示す。図7に示される構造では、例えば、半導体層Aには低屈折率の材料、例えばAlInAsを用いるのが好ましい。例えば波長8μm帯において、InPの屈折率は3.35程度であるのに対して、AlInAsの屈折率は3.15程度であり、InPの屈折率に比べて低い。したがって、半導体層Aに低い屈折率の材料(例えばAlInAs)を用いるとき、高い屈折率のInPに比べて、埋め込み領域とメサ導波路領域との屈折率差を大きくでき、導波光の基本モードを導波路メサ領域内により強く閉じ込めることができる。この結果、より安定な基本モード発振を得ることが期待できる。
図8は別の構造を示す。図7同様、埋め込み領域は、半導体層Aと半導体層Bを含み、更に埋め込み領域の最上層はp型または半絶縁性半導体からなる。絶縁膜は前記最上層に接触を成す。第2領域のn型半導体は、p型半導体又は半絶縁性半導体によって、メサ導波路、及びメサ導波路に接続される導電体から隔置される。埋め込み領域中の高次モードは、メサ導波路領域とその近傍の埋め込み領域、即ち半導体層Aの領域にその殆どが分布するため、高次モードの発振抑制のために、半導体層Aには上記ドープ量3.3×1016cm−3程度以上のn型半導体を用いることが良い。一方で、半導体層Bでは高次モードの分布は微少のため、光吸収層としての機能は不要である。そこで、半導体層Bは、半導体層Aより低いドーパント濃度のn型半導体またはアンドープ半導体、または半絶縁性半導体からなることが良い。
Claims (15)
- 量子カスケードレーザであって、
n型半導体からなる主面を有する支持基体上に設けられ、コア層及びn型上部クラッド層を含むメサ導波路と、
前記メサ導波路の側面を埋め込むように、前記メサ導波路及び前記支持基体の前記主面上に設けられた第1半導体層と、
前記メサ導波路を埋め込むように前記第1半導体層上に設けられた第2半導体層と、
を備え、
前記第1半導体層及び前記第2半導体層は、前記第1半導体層上において前記メサ導波路を埋め込む埋め込み領域を構成し、
前記第1半導体層は半絶縁性半導体及びp型半導体の少なくともいずれか一方を含むと共に、前記第2半導体層はn型ドーパントを含むn型半導体を含み、
前記埋め込み領域の前記第1半導体層は、前記メサ導波路と接する側部と、前記支持基体の前記主面に接する底部とを有し、
前記第1半導体層が前記メサ導波路と前記第2半導体層との間に設けられ、
前記第1半導体層が前記支持基体の前記主面と前記第2半導体層との間に設けられ、
前記コア層は前記支持基体の前記主面と前記n型上部クラッド層との間に設けられる、量子カスケード半導体レーザ。 - 前記第2半導体層の前記n型半導体は3.3×1016cm−3以上のn型ドーパント濃度を有する、請求項1に記載された量子カスケード半導体レーザ。
- 前記第1半導体層は、前記第2半導体層と異なる半導体から成り、
前記第1半導体層は、前記第2半導体層の半導体のバンドギャップより大きいバンドギャップを有する半導体を含む、請求項1又は請求項2に記載された量子カスケード半導体レーザ。 - 前記メサ導波路を埋め込むように前記第2半導体層上に設けられた第3半導体層を更に備え、
前記第2半導体層は前記第3半導体層と異なる半導体からなる、請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載された量子カスケード半導体レーザ。 - 前記メサ導波路を埋め込むように前記第2半導体層上に設けられた第3半導体層を更に備え、
前記第2半導体層は前記第3半導体層より低い屈折率の半導体を備える、請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載された量子カスケード半導体レーザ。 - 前記メサ導波路を埋め込むように前記第2半導体層上に設けられた第3半導体層を更に備え、
前記第3半導体層は、前記第2半導体層と異なるn型ドーパント濃度のn型半導体を備え、
前記第3半導体層の前記n型半導体は、前記第2半導体層のn型ドーパント濃度より小さいn型ドーパント濃度を有する、請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載された量子カスケード半導体レーザ。 - 前記メサ導波路を埋め込むように前記第2半導体層上に設けられた第3半導体層を更に備え、
前記第3半導体層はアンドープ半導体からなる、請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載された量子カスケード半導体レーザ。 - 前記メサ導波路を埋め込むように前記第2半導体層上に設けられた第3半導体層を更に備え、
前記第3半導体層は半絶縁性半導体からなる、請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載された量子カスケード半導体レーザ。 - 前記半絶縁性半導体は、Fe、Ti、Cr、またはCoのうちの少なくともいずれかの遷移金属を含む、請求項1〜請求項8のいずれか一項に記載された量子カスケード半導体レーザ。
- 前記埋め込み領域の上面を覆う絶縁膜と、
前記絶縁膜上に設けられた電極と、
を更に備え、
前記絶縁膜は、前記メサ導波路の上面に設けられた開口を有し、
前記電極は前記絶縁膜の前記開口を介して前記メサ導波路の前記上面に接触を成す、請求項1〜請求項9のいずれか一項に記載された量子カスケード半導体レーザ。 - 前記埋め込み領域の前記第1、第2、又は第3半導体層は、InP及びAlInAsのいずれか一方である、請求項1〜請求項10のいずれか一項に記載された量子カスケード半導体レーザ。
- 前記支持基体は、基板及び該基板上のn型InP半導体層、並びにn型InP基板のいずれか一方であり、
前記n型上部クラッド層はInP半導体からなる、請求項1〜請求項11のいずれか一項に記載された量子カスケード半導体レーザ。 - 前記コア層は、発光のための複数の発光層と、前記発光層にキャリアを注入するための複数の注入層とを含み、
前記発光層及び前記注入層は交互に配列されており、
前記発光層及び前記注入層の各々はGaInAs/AlInAsの超格子列を含む、請求項1〜請求項12のいずれか一項に記載された量子カスケード半導体レーザ。 - 前記第1半導体層は半絶縁性半導体を含み、
前記埋め込み領域の前記第1半導体層は、前記メサ導波路の前記側面及び前記支持基体の前記主面の全体を覆う、請求項1〜請求項13のいずれか一項に記載された量子カスケード半導体レーザ。 - 前記第1半導体層はp型半導体を含み、
前記埋め込み領域の前記第1半導体層は、前記メサ導波路の前記側面及び前記支持基体の前記主面の全体を覆う、請求項1〜請求項13のいずれか一項に記載された量子カスケード半導体レーザ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012131076A JP2013254907A (ja) | 2012-06-08 | 2012-06-08 | 量子カスケード半導体レーザ |
US13/907,059 US8804785B2 (en) | 2012-06-08 | 2013-05-31 | Quantum cascade semiconductor laser |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012131076A JP2013254907A (ja) | 2012-06-08 | 2012-06-08 | 量子カスケード半導体レーザ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013254907A true JP2013254907A (ja) | 2013-12-19 |
Family
ID=49715283
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012131076A Pending JP2013254907A (ja) | 2012-06-08 | 2012-06-08 | 量子カスケード半導体レーザ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8804785B2 (ja) |
JP (1) | JP2013254907A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016092080A (ja) * | 2014-10-30 | 2016-05-23 | 浜松ホトニクス株式会社 | 量子カスケードレーザ |
JP2016197657A (ja) * | 2015-04-03 | 2016-11-24 | 住友電気工業株式会社 | 量子カスケード半導体レーザ |
JP2017208497A (ja) * | 2016-05-20 | 2017-11-24 | シャープ株式会社 | 量子カスケードレーザ |
JP2017537481A (ja) * | 2014-12-03 | 2017-12-14 | アルプ レイザーズ ソシエテ アノニムAlpes Lasers S.A. | 電流ブロック層を有する量子カスケードレーザ |
JP2018152370A (ja) * | 2017-03-09 | 2018-09-27 | 住友電気工業株式会社 | 半導体レーザ |
WO2022097329A1 (ja) * | 2020-11-04 | 2022-05-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体レーザ装置 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013149665A (ja) * | 2012-01-17 | 2013-08-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 量子カスケード半導体レーザ |
JP2015222811A (ja) * | 2014-05-01 | 2015-12-10 | 住友電気工業株式会社 | 量子カスケード半導体レーザ、量子カスケード半導体レーザを作製する方法 |
JP6282756B2 (ja) * | 2015-03-13 | 2018-02-21 | 株式会社東芝 | 量子カスケードレーザ |
JP6390485B2 (ja) * | 2015-03-26 | 2018-09-19 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ装置、半導体レーザ装置の製造方法 |
JP6464895B2 (ja) * | 2015-04-03 | 2019-02-06 | 住友電気工業株式会社 | 量子カスケード半導体レーザ |
US10686091B2 (en) * | 2016-02-12 | 2020-06-16 | Lg Innotek Co., Ltd. | Semiconductor device |
US20200185885A1 (en) * | 2017-05-19 | 2020-06-11 | The Regents Of The University Of California | Unipolar light devices integrated with foreign substrates and methods of fabrication |
US11031753B1 (en) * | 2017-11-13 | 2021-06-08 | The Government Of The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Extracting the fundamental mode in broad area quantum cascade lasers |
CN113140965B (zh) * | 2021-04-20 | 2022-04-19 | 苏州长光华芯光电技术股份有限公司 | 一种半导体激光器外延结构及其制备方法 |
CN115133397B (zh) * | 2022-09-01 | 2023-01-20 | 武汉云岭光电有限公司 | 脊波导半导体激光器及其制备方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08255950A (ja) * | 1995-03-15 | 1996-10-01 | Toshiba Corp | 半導体レーザ |
JP2004119814A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ユニポーラ多重量子井戸デバイスとその製造方法 |
JP2009054637A (ja) * | 2007-08-23 | 2009-03-12 | Hamamatsu Photonics Kk | 量子カスケードレーザ素子 |
WO2011084201A1 (en) * | 2009-12-16 | 2011-07-14 | Wisconsin Alumni Research Foundation | High-power quantum cascade lasers with active-photonic-crystal structure |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1130724A1 (fr) * | 2000-03-03 | 2001-09-05 | Alpes Lasers | Laser à cascade quantique et procédé pour la fabrication d'un tel laser |
JP2013149665A (ja) * | 2012-01-17 | 2013-08-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 量子カスケード半導体レーザ |
-
2012
- 2012-06-08 JP JP2012131076A patent/JP2013254907A/ja active Pending
-
2013
- 2013-05-31 US US13/907,059 patent/US8804785B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08255950A (ja) * | 1995-03-15 | 1996-10-01 | Toshiba Corp | 半導体レーザ |
JP2004119814A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ユニポーラ多重量子井戸デバイスとその製造方法 |
JP2009054637A (ja) * | 2007-08-23 | 2009-03-12 | Hamamatsu Photonics Kk | 量子カスケードレーザ素子 |
WO2011084201A1 (en) * | 2009-12-16 | 2011-07-14 | Wisconsin Alumni Research Foundation | High-power quantum cascade lasers with active-photonic-crystal structure |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016092080A (ja) * | 2014-10-30 | 2016-05-23 | 浜松ホトニクス株式会社 | 量子カスケードレーザ |
JP2017537481A (ja) * | 2014-12-03 | 2017-12-14 | アルプ レイザーズ ソシエテ アノニムAlpes Lasers S.A. | 電流ブロック層を有する量子カスケードレーザ |
JP2016197657A (ja) * | 2015-04-03 | 2016-11-24 | 住友電気工業株式会社 | 量子カスケード半導体レーザ |
JP2017208497A (ja) * | 2016-05-20 | 2017-11-24 | シャープ株式会社 | 量子カスケードレーザ |
JP2018152370A (ja) * | 2017-03-09 | 2018-09-27 | 住友電気工業株式会社 | 半導体レーザ |
WO2022097329A1 (ja) * | 2020-11-04 | 2022-05-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体レーザ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130329761A1 (en) | 2013-12-12 |
US8804785B2 (en) | 2014-08-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2013254907A (ja) | 量子カスケード半導体レーザ | |
JP2013254908A (ja) | 量子カスケード半導体レーザ | |
US9184567B2 (en) | Quantum cascade laser | |
JP6801416B2 (ja) | 量子カスケード半導体レーザ | |
US9356429B2 (en) | Quantum cascade laser | |
KR19990045620A (ko) | 반도체 레이저 장치 | |
US20210359163A1 (en) | Semiconductor light-emitting device | |
US8340147B2 (en) | Laser diode | |
JP2008235574A (ja) | 面発光半導体レーザ | |
US9246308B2 (en) | Quantum cascade laser | |
JP2007311632A (ja) | 面発光レーザ素子 | |
JP4570353B2 (ja) | 半導体レーザ素子 | |
JP2011040632A (ja) | 半導体光素子 | |
US7809041B2 (en) | Surface emitting semiconductor laser | |
JP2010021430A (ja) | 半導体光素子 | |
JP4155997B2 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP3645320B2 (ja) | 半導体レーザ素子 | |
JP2008124123A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP4278985B2 (ja) | 光電子放射源装置の効率を改善させる方法および装置 | |
JP2007005642A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP4720522B2 (ja) | 半導体レーザ | |
RU2444101C1 (ru) | Инжекционный лазер | |
US20040131098A1 (en) | Method and apparatus for improving efficiency in opto-electronic radiation source devices | |
JP6603507B2 (ja) | 半導体レーザ素子 | |
JP2016184611A (ja) | 半導体レーザ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150423 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160105 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160303 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160705 |